JP3046479B2

JP3046479B2 - 液晶表示装置の検査装置

Info

Publication number: JP3046479B2
Application number: JP5242293A
Authority: JP
Inventors: 栄一高橋
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1993-09-29
Filing date: 1993-09-29
Publication date: 2000-05-29
Anticipated expiration: 2015-05-29
Also published as: JPH0798348A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶分子のライトバル
ブ特性を利用した例えば透過型、あるいは反射型の液晶
表示装置について、表示検査を行うための検査装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、対向するガラス基板の
透明電極間に液晶が挟装された構成を有しており、この
電極間に電気信号を加えることにより、外部から入射す
る光を変調し、情報を表示するものである。液晶表示装
置は、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）に比べて消費電力が
低いこと、薄く軽量であることなどから、次世代の表示
装置として注目されており、その生産量も年々増加して
いる状況にある。液晶表示装置の製造歩留りは、元来１
００％でないため、表示品位の検査を十分に行う必要が
ある。

【０００３】この検査を効率良く行うために、従来使用
されている検査装置の一例を図４を参照して説明する。
尚、ここでは、駆動ドライバを設ける前の透過型の液晶
パネルに対して表示検査を行う場合について説明する。

【０００４】この検査装置において、検査対象となる液
晶表示装置４２は、バックライトを備えた固定台４１上
に設置される。そして、駆動回路を内蔵した固定ボード
４４に取り付けたプローバ４３を、上記液晶表示装置４
２に形成されている各電極端子に個別にコンタクトさせ
ることにより、液晶表示装置４２に電圧を加えて駆動状
態にし、点欠陥、線欠陥や、表示ムラ等を検出する。上
記固定ボード４４は、エアーシリンダ４５により上下動
され、これにより、液晶表示装置４２の交換、プローバ
４３による電極コンタクトが行われる。

【０００５】また、上記の検査を実施する際には、周囲
環境の光が正確な検査の妨げにならないように、シール
ドボックス４６の中に、液晶表示装置４２の点灯（駆
動）機構部が設置される。

【０００６】目視による検査の場合は、シールドボック
ス４６の中に作業者が入り、液晶表示装置４２の良否を
判定検査する。また、近年では、人件費の増加、新人教
育の負荷増大などによる生産性の低下、また、個人差に
よる不良判定のばらつき等の問題を解決するために、画
像処理装置４８と高解像度のＣＣＤ（Charge CoupledDe
vice)カメラ４７とを備えた検査装置も一般的になりつ
つある。

【０００７】上記ＣＣＤカメラ４７には、ＣＣＤの画素
を直線状に配列させたラインセンサタイプと、上記画素
を長方形に配列した通常のエリアセンサタイプとの２種
類がある。前者の場合は、液晶表示装置の表示画面全域
を検査するのにＣＣＤカメラ４７または液晶表示装置４
２のいずれかを移動させる機構が必要である。また、後
者の場合には、ＣＣＤカメラ４７および液晶表示装置４
２を固定したままで良い。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成の検査装置をクリーンルーム内に設置して
も、液晶表示装置４２をカセット等で保管、停滞してい
る間や、搬送している間等に、液晶表示装置４２表裏面
にゴミ、ダスト等の付着物４９が付着する。特に、液晶
表示装置４２が高精細の絵素を有するものであれば、欠
陥と、ゴミ、ダスト等の付着物４９との識別は、作業者
の目にも難しく、あいまいな判断による不正確な検査し
かできなかった。

【０００９】また、画像処理装置４８およびＣＣＤカメ
ラ４７等を使用して自動検査を行う場合においては、上
記絵素の密度に関わらず、欠陥と付着物４９との識別が
不可能であり、良否の判定を誤ることがあった。

【００１０】また、検査前に溶剤等の洗浄液を用いて液
晶表示装置４２を洗浄する場合、所定の間隔で洗浄液を
交換しながら大量の液晶表示装置４２を一度に、かつ連
続して洗浄することが可能であるが、洗浄液の交換直前
等においては、洗浄液の汚れが、液晶表示装置４２に付
着することがある。このような汚れは、検査直前にエア
ー噴射により、ゴミ、ダスト等を吹き飛ばす等の工夫を
行ったとしても完全に取り除くことは不可能であった。

【００１１】このように、前記従来の検査装置では、液
晶表示装置に付着したゴミ、ダスト、汚れ等を表示欠陥
と誤判断する虞れがあった。

【００１２】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであって、液晶表示装置の表示検査において、液
晶表示装置に付着したゴミ、ダスト、汚れ等の影響によ
る誤検査を防ぐことができる液晶表示装置の検査装置を
提案することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る液
晶表示装置の検査装置は、上記の課題を解決するため
に、液晶表示装置を検査位置に搬送する搬送手段を備
え、上記検査位置で液晶表示装置に駆動信号を入力する
ことにより、表示状態を検査する液晶表示装置の検査装
置において、上記検査位置に至るまでの液晶表示装置の
搬送路途中に、上記液晶表示装置に接触することによ
り、液晶表示装置に付着している付着物を除去する粘着
性ローラが設けられていることを特徴としている。

【００１４】また、請求項２の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、上記の課題を解決するために、請求項１
記載の液晶表示装置の検査装置において、少なくとも粘
着性ローラの設置位置から検査位置に至るまでの液晶表
示装置の搬送路と、上記検査位置とが、クリーンベンチ
内に設けられていることを特徴としている。

【００１５】また、請求項３の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、上記の課題を解決するために、所定の検
査位置で液晶表示装置に駆動信号を入力することによ
り、表示状態を検査する液晶表示装置の検査装置におい
て、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置さ
れると共に、この流体を流通させる流通手段が設けられ
ている一方、上記流体が、高電気抵抗の液体であること
を特徴としている。

【００１６】また、請求項４の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、上記の課題を解決するために、請求項３
記載の液晶表示装置の検査装置において、上記流体の温
度を制御する温度制御手段を備えたことを特徴としてい
る。

【００１７】また、請求項５の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、上記の課題を解決するために、所定の検
査位置で液晶表示装置に駆動信号を入力することによ
り、表示状態を検査する液晶表示装置の検査装置におい
て、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置さ
れると共に、この流体を流通させる流通手段が設けられ
ている一方、液晶表示装置の表示状態を画像として認識
する画像認識手段を備えており、この画像認識手段に設
けられたレンズに気体を吹き付ける送風手段が設けられ
ていることを特徴としている。

【００１８】また、請求項６の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、上記の課題を解決するために、所定の検
査位置で液晶表示装置に駆動信号を入力することによ
り、表示状態を検査する液晶表示装置の検査装置におい
て、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置さ
れると共に、この流体を流通させる流通手段が設けられ
ている一方、上記流体を除電する除電手段が設けられて
いることを特徴としている。

【００１９】

【作用】請求項１の構成によれば、液晶表示装置は、検
査位置に搬送される前に粘着性ローラに接触するので、
液晶表示装置に付着している、例えばゴミ、ダスト、汚
れ等の付着物がこの粘着性ローラにより除去される。し
たがって、検査位置において、駆動信号を入力して表示
状態を検査する際に、上記付着物を表示欠陥と誤判断す
るのを防ぐことが可能になり、より正確な検査を行え
る。

【００２０】また、請求項２の構成によれば、少なくと
も上記粘着性ローラの設置位置から検査位置までの搬送
路と、検査位置とがクリーンベンチ内に設けられてい
る。したがって、粘着性ローラに接触後、検査位置に到
達するまでの間、あるいは検査中において、ゴミ、ダス
ト等が液晶表示装置に付着するのを防ぐことが可能にな
る。つまり、粘着性ローラによる付着物の除去後、上記
液晶表示装置を清浄な状態に保持したまま、検査するこ
とが可能になり、ゴミ、ダスト、汚れ等を表示欠陥とし
て誤判定するのを防ぐことができるので、より正確な検
査を行える。

【００２１】また、請求項３の構成によれば、検査位置
にある液晶表示装置は、例えば液体、あるいは気体の流
体中に設置されると共に、この流体は流通手段により流
通されるようになっている。このような流体中では、液
晶表示装置に付着している付着物は、同一の場所に停ま
らず、流される。したがって、検査位置にある液晶表示
装置は、上記付着物が除去された状態になるので、この
ような流体中で表示状態を検査することにより、ゴミ、
ダスト、汚れ等を表示欠陥として誤判定するのを防ぐこ
とができ、より正確な検査を実施できる。

【００２２】さらに、上記流体として高電気抵抗の液
体、例えばアルコール等の有機溶剤が用いられるので、
液晶表示装置に駆動信号を入力する際、上記液体を通し
て電圧がリークするのを防ぐことが可能になる。

【００２３】請求項４の構成によれば、上記流体は、温
度制御手段によって、所望の温度に制御されるようにな
っており、常温状態だけでなく、高温状態等、所望の温
度で表示状態を検査することが可能になる。

【００２４】ところで、液晶表示装置における様々な欠
陥は、常温状態で認識できるものもあれば、例えば４０
℃以上の高温状態においてしか顕著に現れないのもあ
る。この理由は、高温になるとリーク欠陥部の抵抗が小
さくなるためと考えられている。このような欠陥は、検
査時の常温状態では確認できなかったにもかかわらず、
時間が経過すれば、常温時に欠陥として現れることがあ
る。したがって、後工程にこのような不良品を流さない
ためにも、このような欠陥を最初の検査時に検出する必
要があるが、従来の常温での検査では不可能であった。

【００２５】そこで、上記のような温度制御手段を用い
て流体の温度を制御することにより、任意温度環境下で
の検査を実現でき、従来の常温検査では見つけられなか
った欠陥も確実に検出できる。

【００２６】また、請求項５の構成によれば、検査装置
には、液晶表示装置の表示状態を画像として認識する画
像認識手段と、この画像認識手段のレンズに常時気体を
吹き付ける送風手段が設けられている。このような送風
手段により、上記画像認識手段のレンズに気体を吹き付
けることにより、上記レンズの曇りを防ぐことが可能に
なる。

【００２７】特に、流体として高温の液体を用いた場合
には、液体が蒸発することにより、上記レンズが曇り易
くなるが、このような送風手段を設けることにより、レ
ンズの曇りを防ぐことができ、有効である。

【００２８】また、請求項６の構成によれば、上記流体
を除電する除電手段が設けられている。ところで、電荷
を有する流体が液晶表示装置に接触すると、液晶表示装
置内部における絶縁部の静電破壊が招来される。しかし
ながら、このような除電手段により除電した流体を用い
ることにより、上記静電破壊を防ぐことが可能である。

【００２９】

【実施例】〔実施例１〕本発明の一実施例について図１に基づいて説明すれば、
以下の通りである。

【００３０】本発明に係る液晶表示装置の検査装置は、
液晶分子のライトバルブ特性を利用した透過型、あるい
は反射型の液晶表示装置について表示検査を行うもので
ある。また、検査対象となる液晶表示装置の形態として
は、駆動ドライバが装着されモジュール化されたもので
あっても、駆動ドライバを備えていないパネル形態のも
のでもよい。尚、ここでは、駆動ドライバを備えていな
いパネル形態の透過型液晶表示装置に対して表示検査を
行う場合を例に挙げて説明する。

【００３１】本実施例の検査装置は、図１に示すよう
に、液晶表示装置２をクリーンベンチ６内に搬送するロ
ーディング用コンベア１と、検査終了後の液晶表示装置
２をクリーンベンチ６外に排出するアンローディング用
コンベア８とを備えている。また、このクリーンベンチ
６内には、上記アンローディング用コンベア８により搬
送される液晶表示装置２を所定の検査位置に固定する固
定台９を備えている。

【００３２】また、このクリーンベンチ６の上面には、
ヘパ(HEPA:High efficiency particulate air)フィルタ
７が設けられており、クリーンベンチ６内では、上記固
定台９上の液晶表示装置２に対して、ヘパフィルタ７を
通過した清浄空気が直接流れるようになっている。

【００３３】クリーンベンチ６における液晶表示装置２
の搬入口６ａ付近には、ローディング用コンベア１によ
り搬送されてきた液晶表示装置２を挟み込み、アンロー
ディング用コンベア８上に液晶表示装置２を送り出す一
対の粘着性ローラ１０・１０が設けられている。これら
の粘着性ローラ１０・１０は、円筒状のローラ芯１０ａ
・１０ａの外周面上に粘着シート１０ｂ・１０ｂを設け
た構成になっている。

【００３４】尚、上記ローラ芯１０ａ・１０ａの外周面
は、上記液晶表示装置２が上記粘着性ローラ１０・１０
間を通過する際、液晶表示装置２に無理な力がかからな
いように、例えばウレタン、ゴム等の弾性材料から構成
されていることが好ましい。

【００３５】また、金属のローラ芯１０ａ・１０ａを使
用することも可能であるが、その場合には、粘着シート
１０ｂ・１０ｂに弾性を有する材料を用いる必要があ
る。二つの粘着性ローラ１０・１０は、その間を液晶表
示装置２が通過する際、液晶表示装置２に粘着シート１
０ｂ・１０ｂが密着するようセッティングされている。
また、これら粘着性ローラ１０・１０に強制回転機能を
設けて、液晶表示装置２の搬送を補助するような構成と
することも可能である。

【００３６】このような構成の粘着性ローラ１０・１０
間に、クリーンベンチ６内に搬送する前の液晶表示装置
２を通過させることにより、液晶表示装置２表裏面のゴ
ミ、ダスト、汚れ等からなる付着物１１が除去されるよ
うになっている。また、上記粘着シート１０ｂ・１０ｂ
は、定期的に交換されることにより、上記付着物１１の
除去機能が持続されるようになっている。

【００３７】また、上記クリーンベンチ６内における固
定台９周辺には、液晶表示装置２に設けられている電極
端子にコンタクトするプローバ３を備えた固定ボード４
が設けられている。固定ボード４内には、図示しない駆
動回路が設けられている。図示しない電源からの電圧
は、駆動回路を介して駆動信号波形となり、プローバ３
を介して液晶表示装置２の各電極端子に印加されること
により、液晶表示装置２が駆動状態となる。

【００３８】この固定ボード４の下部には、エアーシリ
ンダ５がそれぞれ設けられており、このエアーシリンダ
５により上記プローバ３および固定ボード４が上下動さ
れて、液晶表示装置２における駆動のＯＮ／ＯＦＦが切
換えられる。また、固定台９上の液晶表示装置２を交換
する際には、エアーシリンダ５によりプローバ３および
固定ボード４が、液晶表示装置２から離間した位置に上
昇するようになっている。

【００３９】尚、上記プローバ３及び固定ボード４を上
下動させる方法として、本実施例では、エアーシリンダ
５を用いているが、モータ等の駆動機構であっても何ら
差し支えない。

【００４０】さらに、上記固定台９の内部には、表示検
査を行う際に液晶表示装置２の背面から光を照射するバ
ックライト（図示せず）が備えられている。このバック
ライトにより発せられる光が液晶表示装置２を通過する
ことにより、電圧のＯＮ／ＯＦＦの状態が確認できる。

【００４１】さらに、クリーンベンチ６内における固定
台９の上方には、液晶表示装置２の表示状態を画像とし
て認識する高解像度のＣＣＤカメラ（画像認識手段）１
２が備えられている。このＣＣＤカメラ１２は、ＣＣＤ
の画素が長方形に配列されたエリアセンサタイプのもの
である。尚、上記ＣＣＤカメラ１２としてＣＣＤの画素
が直線状に配列されたラインセンサタイプのものを用い
ることも可能であるが、この場合には、ＣＣＤカメラ１
２、あるいは液晶表示装置２を移動させる機構が必要に
なる。

【００４２】また、クリーンベンチ６外には、上記ＣＣ
Ｄカメラ１２に接続される画像処理装置１３が設けられ
ている。この画像処理装置１３は、ＣＣＤカメラ１２が
認識した液晶表示装置２の表示状態から、線欠陥、点欠
陥、表示ムラ等の欠陥を検出するものである。

【００４３】上記の構成において、液晶表示装置２の表
示検査を行う際の動作について説明する。まず、検査対
象である液晶表示装置２をローディング用コンベア１上
にセットする。液晶表示装置２がクリーンベンチ６の搬
入口６ａを通過する際には、この搬入口６ａ付近に設け
られたに粘着性ローラ１０・１０間を液晶表示装置２が
通過することにより、液晶表示装置２表裏面に付着して
いる付着物１１が、粘着シート１０ｂ・１０ｂに付着し
て除去される。尚、粘着シート１０ｂ・１０ｂに液晶表
示装置２を密着させることにより、粘着シート１０ｂ・
１０ｂから液晶表示装置２に汚れが転写されることはな
く、後の検査にも全く影響のないことが確認されてい
る。

【００４４】粘着性ローラ１０・１０間を通過した液晶
表示装置２は、ゴミ、ダスト等の存在しないクリーンベ
ンチ６内に搬送され、続いて、アンローディング用コン
ベア８により、検査位置である固定台９上まで搬送され
る。このような液晶表示装置２の搬送を行う際、エアー
シリンダ５によりプローバ３および固定ボード４は、液
晶表示装置２の搬送を妨害しないよう上昇した位置にあ
る。

【００４５】次に、エアーシリンダ５により、プローバ
３および固定ボード４を下降させて、固定台９に設置さ
れた液晶表示装置２の各個別端子に、プローバ３の各針
を対応させコンタクトさせる。これにより、プローバ３
から液晶表示装置２に駆動信号が入力され、液晶表示装
置２が表示状態になる。そして、この状態をＣＣＤカメ
ラ１２および画像処理装置１３で検出することにより、
液晶表示装置２に表示欠陥があるか否かを判定する。

【００４６】以上のように、上記液晶表示装置２は、検
査位置が設けられたクリーンベンチ６内に入る直前に、
二つの粘着性ローラ１０・１０の間を通過することによ
って、このような検査に先立って液晶表示装置２の洗浄
が行われてから、ローディング用コンベア１上等におい
て上記クリーンベンチ６に搬送されるまでの間に、液晶
表示装置２の表裏面に付着したゴミ、ダスト、汚れ等の
付着物１１が除去される。また、検査は、ゴミ、ダスト
等が存在しない上記クリーンベンチ６内で行われるた
め、検査中に、ゴミ、ダスト等が液晶表示装置２に付着
することもなく、液晶表示装置２の清浄な状態が保持さ
れた状態で、表示欠陥があるか否かを正確に判定でき
る。

【００４７】このように、液晶表示装置２の表裏面に停
まるゴミ、ダスト、汚れ等を除去した状態で、表示検査
を行うことが可能になるため、ゴミ、ダスト、汚れ等を
欠陥として誤判定するのを防ぐことができ、表示検査を
正確に実施できる。

【００４８】尚、本実施例では、ＣＣＤカメラ１２およ
び画像処理装置１３により検査結果を判定する場合を例
に挙げたが、検査装置が上記ＣＣＤカメラ１２および画
像処理装置１３を備えていない場合には、作業者自身が
上記クリーンベンチ６内に入り目視により検査結果を判
定することも可能である。また、このような目視判定を
行う場合でも、上記のように、検査位置にある液晶表示
装置２には、ゴミ、ダスト、汚れ等がほとんど付着して
いないので、個人差による判定結果に大きなばらつきが
生じることもなく、より正確な検査を実施できる。

【００４９】〔実施例２〕次に、本発明の他の実施例を、図２に基づいて説明すれ
ば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の実施
例の図面に示した部材と同一の機能を有する部材には、
同一の符号を付記し、その説明を省略する。

【００５０】本実施例に係る液晶表示装置の検査装置
は、図２に示すように、流体としての液体１７中で液晶
表示装置２を駆動して表示検査を行うものである。この
検査装置は、液晶表示装置２をセットする固定台２２を
液体１７中に備えている。この固定台２２の下方には、
表示検査を行う際、液晶表示装置２に光を照射するため
のバックライト１６が設けられている。

【００５１】この検査装置には、前記実施例１における
検査装置と同様のプローバ３、固定ボード４、エアーシ
リンダ５、ＣＣＤカメラ１２、および画像処理装置１３
が設けられている。上記固定台２２上に載置された液晶
表示装置２の各端子に、上記プローバ３がコンタクトす
ることにより、液晶表示装置２に駆動電圧が印加され
る。

【００５２】本実施例では、上記液体１７として、エチ
ルアルコールを用いている。尚、液体１７は、これに限
定されるものではなく、高電気抵抗の液体例えばＩＰＡ
(Isopropyl Alcohol) や、メチルアルコール、アセトン
等の有機溶剤や、フロン、ハロン等を用いることも可能
である。このように絶縁性の高い溶剤を液体１７として
用いることにより、液晶表示装置２の電極端子に上記プ
ローバ３をコンタクトさせる際等において、上記液体１
７を通して電圧がリークするのを防ぐことが可能にな
る。

【００５３】この液体１７は、上記固定台２２上にセッ
トされた液晶表示装置２、および上記プローバ３が浸る
ように配備される。上記固定台２２は、液晶表示装置２
の表面だけでなく、その裏面側にも上記液体１７が接触
するように、液晶表示装置２の下面を部分的に支持する
ものである。

【００５４】本検査装置には、さらに、循環ポンプ（流
通手段）１８ａ・１８ｂ、濾過器１９、ヒータ（温度制
御手段）２４、及びファン（送風手段）１５が設けられ
ている。上記循環ポンプ１８ａ・１８ｂは、液体１７を
強制循環させることにより、液体１７の流通経路を形成
するものである。このように流通する液体１７により、
固定台２２上の液晶表示装置２に付着しているゴミ、ダ
スト等が流されるようになっている。

【００５５】上記濾過器１９は、ゴミ、ダストによって
汚れた液体１７を浄化するものである。上記液体１７
は、この濾過器１９でゴミ、ダスト等の除去が行われる
ことにより、常時クリーンな状態に保持され、上記循環
ポンプ１８ａ・１８ｂにより、繰返し循環されるように
なっている。

【００５６】上記ヒータ２４は、上記液体１７の流通経
路内に設置されており、液体１７の温度を任意に設定さ
れた温度に制御する。ところで、液晶表示装置２におけ
る様々な欠陥には、常温状態で認識できるものもあれ
ば、例えば４０℃以上の高温状態においてしか顕著に現
れないものもある。これは、高温状態になると、リーク
欠陥部の抵抗が小さくなることが原因と考えられてい
る。

【００５７】このような欠陥は、検査時の常温状態では
確認できなかったにもかかわらず、時間が経過すれば、
常温時に欠陥として現れることがある。したがって、上
記ヒータ２４を用いて液体１７を例えば４０℃に加熱し
て検査を行うことにより、常温の検査では検出できない
このような欠陥を検出することができる。

【００５８】また、上記ファン１５は、前記したＣＣＤ
カメラ１２の近傍に設けられており、ＣＣＤカメラ１２
のレンズに向かって、風を吹き付けるものである。これ
は、上記ヒータ２４により液体１７を加熱する際、液体
１７の蒸気により上記レンズが曇るのを防ぐために設け
られている。

【００５９】また、外乱光が検査に与える影響を無くす
ためと、液体１７が蒸発するのを防ぐために、上記固定
台２２、プローバ３、固定ボード４、循環ポンプ１８ａ
・１８ｂ、濾過器１９、ヒータ２４、及びＣＣＤカメラ
１２等を覆うように、シールドボックス２０が設けられ
ている。また、上記シールドボックス２０には、作業者
がシールドボックス２０内に入って目視検査を行う際、
シールドボックス２０内における液体１７の蒸気を換気
するための、ダクト２１が設けられている。

【００６０】上記の構成において、まず、固定台２２上
に液晶表示装置２が設置されると、検査前に予め洗浄を
行ってから、シールドボックス２０内に搬送されるまで
の間に、液晶表示装置２の表裏面に付着したゴミ、ダス
ト等が、循環ポンプ１８ａ・１８ｂにより循環する液体
１７によって、流され除去される。そして、エアーシリ
ンダ５によって、プローバ３および固定ボード４が下降
し、液晶表示装置２の各個別端子にプローバ３の各針を
対応させコンタクトさせる。電源からの電圧は、固定ボ
ード４内の駆動回路を介して駆動信号波形となり液晶表
示装置２に印加され、液晶表示装置２が駆動状態とな
る。

【００６１】この状態で、バックライト１６から液晶表
示装置２に光を照射することにより、上記ＣＣＤカメラ
１２及び画像処理装置１３により、液晶表示装置２の表
示状態を確認し、線欠陥、点欠陥、表示ムラ等の表示結
果を検出する。

【００６２】また、上記ＣＣＤカメラ１２及び画像処理
装置１３を用いずに、作業者により目視検査を行う場合
には、前記ダクト２１でシールドボックス２０内を換気
しながら、シールドボックス２０内に作業者が入り、表
示欠陥を判定する。

【００６３】以上のように、本実施例の検査装置は、循
環する液体１７中で液晶表示装置２を駆動し表示状態を
検査するようになっている。したがって、検査前に予め
行われた洗浄後から、検査が終了するまでの間に液晶表
示装置２に付着したゴミ、ダスト等が上記流体に流され
てしまうため、同一の場所に停まるゴミ、ダストもな
く、作業者、あるいは画像処理装置１３が、ゴミ、ダス
ト等を欠陥と誤判定するのを防ぐことができる。

【００６４】また、本検査装置には、液体１７の温度を
制御するヒータ２４が設けられているので、このヒータ
２４で液体１７を所定の温度まで加熱して、検査を行う
ことにより、検査時には常温で検出できず、経時変化に
より欠陥として現れてくる欠陥をこの段階で検出できる
ようになる。したがって、このような不良品が、後工程
に流れるのを防ぐことが可能になる。

【００６５】さらに、画像処理装置１３で検査を行う場
合は、流体１７を高温にすることにより、その蒸気によ
ってＣＣＤカメラ１２のレンズが曇ることがあるが、Ｃ
ＣＤカメラ１２近傍に設けた前記ファン１５を用いて、
常時ＣＣＤカメラ１２のレンズに風を送ることにより、
上記レンズの曇りを防ぐことが可能になる。

【００６６】〔実施例３〕次に、本発明のさらに他の実施例を、図３に基づいて説
明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記
の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有する部材
には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。

【００６７】本実施例の検査装置は、図３に示すよう
に、気体２６を流通させて流体とし、その気体２６中に
液晶表示装置２を設置して、表示検査を行うものであ
る。本検査装置は、前記実施例２における検査装置と同
様に、固定台２２、バックライト１６、プローバ３、固
定ボード４、エアーシリンダ５、ＣＣＤカメラ１２、画
像処理装置１３、シールドボックス２０、及び濾過器２
９を備えている。

【００６８】また、本検査装置には、上記気体２６を強
制的に流体とする第１ないし第３のファン２８ａ〜２８
ｃ、第１および第２のファン２８ａ・２８ｂに供給する
気体２６を例えば４０℃に加熱する第１および第２のヒ
ータ（温度制御手段）２５ａ・２５ｂ、および第１およ
び第２のファン（流通手段）２８ａ・２８ｂにより送ら
れる気体２６を除電する第１および第２の除電装置２７
ａ・２７ｂが設けられている。

【００６９】すなわち、上記第１のファン２８ａ、第１
のヒータ２５ａ、第１の除電装置２７ａは、固定台２２
上に設置された液晶表示装置２に対して側方から気体２
６を送風するために設けられている。一方、上記第２の
ファン２８ｂ、第１のヒータ２５ｂ、第１の除電装置２
７ｂは、上記液晶表示装置２に対して斜め上方から気体
２６を送風するために設けられている。

【００７０】すなわち、上記液晶表示装置２には、第１
および第２のヒータ２５ａ・２５ｂにより加熱され、第
１および第２の除電装置２７ａ・２７ｂにより除電され
た気体２６が、第１および第２のファン２８ａ・２８ｂ
によって吹き付けられるようになっている。上記第１お
よび第２の除電装置２７ａ・２７ｂは、液晶表示装置２
内の絶縁部が静電破壊するのを防ぐために設けられてい
る。

【００７１】また、第３のファン２８ｃは、液晶表示装
置２付近を通過した気体２６を濾過器２９に向かって送
風するためのものである。液晶表示装置２上に付着して
いたゴミ、ダスト等を含んだ気体２６は、この濾過器２
９を通過することにより浄化され、外部に排出されるよ
うになっている。

【００７２】上記の構成において、まず、固定台２２上
に液晶表示装置２をセットし、第１および第２のヒータ
２５ａ・２５ｂにより、例えば４０℃に加熱した気体２
６を第１および第２のファン２８ａ・２８ｂにより、強
制的に流通させる。上記気体２６は、第１および第２の
除電装置２７ａ・２７ｂを通過することにより、除電さ
れ、液晶表示装置２に流される。

【００７３】このとき、液晶表示装置２へは、その側方
からだけでなく斜め上方からも気体２６が吹き付けられ
るので、検査中においても、シールドボックス２０内の
ゴミ、ダスト等が上記液晶表示装置２上に付着するのを
防ぐことができる。

【００７４】この状態で、上記プローバ３の各針を液晶
表示装置２の各電極端子に対応させてコンタクトさせる
ことにより、液晶表示装置２を表示状態とし、バックラ
イト１６から光を照射して、ＣＣＤカメラ１２により表
示状態を検出することにより、画像処理装置１３で、表
示欠陥を検出する。尚、目視検査を行う場合には、作業
者が上記シールドボックス２０内に入り、表示欠陥を判
定する。

【００７５】以上のように、本実施例の検査装置は、フ
ァン２８ａ・２８ｂにより強制的に流通させた気体２６
中に液晶表示装置２を置くことにより、検査前に洗浄を
行ってから、検査が終了するまでの間に液晶表示装置２
に付着したゴミ、ダスト等を除去するようになってい
る。したがって、検査中において、ゴミ、ダストが上記
気体２６に流されて同一の場所に停まることはなく、作
業者、あるいは画像処理装置１３が、ゴミ、ダストを表
示欠陥と誤判定するのを防ぐことが可能になる。

【００７６】また、この気体２６は、流路に設置した第
１および第２のヒータ２５ａ・２５ｂにより、その温度
を任意に設定し制御することができる。これにより、例
えば４０℃以上の温度環境でしか現れない欠陥をあぶり
出し、検出することが可能になる。

【００７７】さらに、電荷を有する気体２６を用いた場
合には、液晶表示装置２内の絶縁部が静電破壊を受ける
虞れがあり、却って液晶表示装置２の品質を低下させる
という問題があったが、上記のように、ファン２８ａ・
２８ｂと液晶表示装置２の間における気体２６の流路に
除電装置２７ａ・２７ｂを設けることにより、液晶表示
装置２内の絶縁部の静電破壊を防ぐことも可能である。

【００７８】

【発明の効果】請求項１の発明に係る液晶表示装置の検
査装置は、以上のように、上記検査位置に至るまでの液
晶表示装置の搬送路途中に、上記液晶表示装置に接触す
ることにより、液晶表示装置に付着している付着物を除
去する粘着性ローラが設けられている構成である。

【００７９】それゆえ、液晶表示装置は、粘着性ローラ
に接触し、例えばゴミ、ダスト等の付着物がこの粘着性
ローラにより除去された後、検査位置まで搬送されるの
で、駆動信号を入力して表示状態を検査する際に、上記
付着物を表示欠陥と誤判断するのを防ぐことが可能にな
り、より正確な検査を行えるという効果を奏する。

【００８０】また、請求項２の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、以上のように、少なくとも粘着性ローラ
の設置位置から検査位置に至るまでの液晶表示装置の搬
送路と、上記検査位置とが、クリーンベンチ内に設けら
れている構成である。

【００８１】それゆえ、粘着性ローラに接触後、検査位
置に到達するまでの間、あるいは検査中においても、ゴ
ミ、ダスト等が液晶表示装置に付着するのを防ぐことが
可能になり、粘着性ローラによる付着物の除去後、上記
液晶表示装置を清浄な状態に保持したまま、検査するこ
とができるので、ゴミ、ダスト、汚れ等を表示欠陥とし
て誤判定するのを防ぐことが可能になり、より正確な検
査を行えるという効果を奏する。

【００８２】また、請求項３の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、以上のように、上記検査位置にある液晶
表示装置が流体中に設置されると共に、この流体を流通
させる流通手段が設けられている一方、上記流体が、高
電気抵抗の液体である構成である。

【００８３】それゆえ、検査位置にある液晶表示装置で
は、流通手段により流通している流体により、付着物が
同一場所に停まることなく流されるので、ゴミ、ダスト
等を表示欠陥として誤判定するのを防ぐことができ、よ
り正確な検査を実施できるという効果を奏する。

【００８４】さらに、流体として高電気抵抗の液体が用
いられるので、液晶表示装置に駆動信号を入力する際、
上記液体を通して電圧がリークするのを防ぐことが可能
になるという効果を奏する。

【００８５】また、請求項４の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、以上のように、上記流体の温度を制御す
る温度制御手段を備えた構成である。

【００８６】それゆえ、上記流体は、温度制御手段によ
って、所望の温度に制御されるようになっており、高温
状態等、所望の温度で表示状態を検査することが可能に
なるため、常温では見出せなかった欠陥をも確実に検出
できるという効果を奏する。

【００８７】また、請求項５の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、以上のように、検査位置にある液晶表示
装置が流体中に設置されると共に、この流体を流通させ
る流通手段が設けられている一方、液晶表示装置の表示
状態を画像として認識する画像認識手段を備えており、
この画像認識手段に設けられたレンズに気体を吹き付け
る送風手段が設けられている構成である。

【００８８】それゆえ、例えば、流体として高温の液体
を用いた場合には、液体が蒸発することにより、画像認
識手段のレンズが曇り易くなるが、このような送風手段
を設けることにより、レンズの曇りを防ぐことができ、
検査の妨害を抑制できるという効果を奏する。

【００８９】また、請求項６の発明に係る液晶表示装置
の検査装置は、以上のように、検査位置にある液晶表示
装置が流体中に設置されると共に、この流体を流通させ
る流通手段が設けられている一方、上記流体を除電する
除電手段が設けられている構成である。

【００９０】それゆえ、除電手段により除電した流体を
用いることにより、液晶表示装置内部における絶縁部の
静電破壊を防ぐことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における液晶表示装置の検査
装置の構成を示す模式図である。

【図２】本発明の他の実施例における液晶表示装置の検
査装置の構成を示す模式図である。

【図３】本発明のさらに他の実施例における液晶表示装
置の検査装置の構成を示す模式図である。

【図４】従来の液晶表示装置の検査装置の構成を示す模
式図である。

【符号の説明】

２液晶表示装置６クリーンベンチ１０粘着性ローラ１１付着物１２ＣＣＤカメラ（画像認識手段）１５ファン（送風手段）１７液体（流体）１８ａ・１８ｂ循環ポンプ（流通手段）２４ヒータ（温度制御手段）２５ａ・２５ｂヒータ（温度制御手段）２６気体（流体）２７ａ・２７ｂ除電手段２８ａ・２８ｂ・２８ｃファン（流通手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/13 G01R 31/00 G01N 21/84

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示装置を検査位置に搬送する搬送手
段を備え、上記検査位置で液晶表示装置に駆動信号を入
力することにより、表示状態を検査する液晶表示装置の
検査装置において、上記検査位置に至るまでの液晶表示装置の搬送路途中
に、上記液晶表示装置に接触することにより、液晶表示
装置に付着している付着物を除去する粘着性ローラが設
けられていることを特徴とする液晶表示装置の検査装
置。
【請求項２】少なくとも粘着性ローラの設置位置から検
査位置に至るまでの液晶表示装置の搬送路と、上記検査
位置とが、クリーンベンチ内に設けられていることを特
徴とする請求項１記載の液晶表示装置の検査装置。
【請求項３】所定の検査位置で液晶表示装置に駆動信号
を入力することにより、表示状態を検査する液晶表示装
置の検査装置において、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置される
と共に、この流体を流通させる流通手段が設けられてい
る一方、上記流体が、高電気抵抗の液体であることを特徴とする
液晶表示装置の検査装置。
【請求項４】上記流体の温度を制御する温度制御手段を
備えたことを特徴とする請求項３記載の液晶表示装置の
検査装置。
【請求項５】所定の検査位置で液晶表示装置に駆動信号
を入力することにより、表示状態を検査する液晶表示装
置の検査装置において、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置される
と共に、この流体を流通させる流通手段が設けられてい
る一方、液晶表示装置の表示状態を画像として認識する画像認識
手段を備えており、この画像認識手段に設けられたレン
ズに気体を吹き付ける送風手段が設けられていることを
特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項６】所定の検査位置で液晶表示装置に駆動信号
を入力することにより、表示状態を検査する液晶表示装
置の検査装置において、上記検査位置にある液晶表示装置が流体中に設置される
と共に、この流体を流通させる流通手段が設けられてい
る一方、上記流体を除電する除電手段が設けられていることを特
徴とする液晶表示装置の検査装置。