JP3041670B2 - 単結晶引上げ装置 - Google Patents
単結晶引上げ装置Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
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- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
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-
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- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
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-
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン単結晶等をチ
ョクラルスキー法（ＣＺ法）により引上げ形成する引上
げ装置に係り、特に、アイソレーションバルブの高温化
によるトラブルを防止するに好適な単結晶引上げ装置に
関する。
ョクラルスキー法（ＣＺ法）により引上げ形成する引上
げ装置に係り、特に、アイソレーションバルブの高温化
によるトラブルを防止するに好適な単結晶引上げ装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に示すようにＣＺ法によって単結晶
を育成するための引上げ装置１ｃは大別して、シリコン
の溶融液１７を蓄溜する石英製のルツボ１８、加熱手段
のヒータ１９、断熱材２０等を収納するロアチャンバ１
３と、単結晶２２を種結晶２１を介して引上げるワイヤ
２３やこの駆動機構部（図略）を収納するアッパチャン
バ１４と、両チャンバ１３，１４間に介設され両チャン
バ１３，１４の連通を遮断するアイソレーションバルブ
１６のバルブ収納部１５等から構成される。なお、アイ
ソレーションバルブ１６は、ロアチャンバ１３とアッパ
チャンバ１４間の開口部２４を開閉する形状のものから
なり、各シール手段，冷却手段，真空保持手段等を有す
る構造からなる。
を育成するための引上げ装置１ｃは大別して、シリコン
の溶融液１７を蓄溜する石英製のルツボ１８、加熱手段
のヒータ１９、断熱材２０等を収納するロアチャンバ１
３と、単結晶２２を種結晶２１を介して引上げるワイヤ
２３やこの駆動機構部（図略）を収納するアッパチャン
バ１４と、両チャンバ１３，１４間に介設され両チャン
バ１３，１４の連通を遮断するアイソレーションバルブ
１６のバルブ収納部１５等から構成される。なお、アイ
ソレーションバルブ１６は、ロアチャンバ１３とアッパ
チャンバ１４間の開口部２４を開閉する形状のものから
なり、各シール手段，冷却手段，真空保持手段等を有す
る構造からなる。
【０００３】育成された単結晶２２を取り出すには、ま
ず、アイソレーションバルブ１６で開口部２４を閉止
し、ロアチャンバ１３は減圧状態に保持したまま、アッ
パチャンバ１４を常圧に戻して単結晶２２の取り出しを
行う。次に、アッパチャンバ１４を減圧し、アイソレー
ションバルブ１６を開き、再び単結晶２２の引上げ操作
を行う。なお、アイソレーションバルブ１６は閉止時に
おいてはバルブ収納部１５と相対向する位置に形成され
る収納部６にその先端側を収納して支持される。
ず、アイソレーションバルブ１６で開口部２４を閉止
し、ロアチャンバ１３は減圧状態に保持したまま、アッ
パチャンバ１４を常圧に戻して単結晶２２の取り出しを
行う。次に、アッパチャンバ１４を減圧し、アイソレー
ションバルブ１６を開き、再び単結晶２２の引上げ操作
を行う。なお、アイソレーションバルブ１６は閉止時に
おいてはバルブ収納部１５と相対向する位置に形成され
る収納部６にその先端側を収納して支持される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】単結晶２２の大径化に
伴ってアイソレーションバルブ１６も大型化し、その構
造も複雑になってきている。一方、引上げ装置内は高温
雰囲気となっており、このアイソレーションバルブ１６
が高温雰囲気に直接接触するとアイソレーションバルブ
１６の各シール手段に熱破損が発生したり、冷却手段や
真空保持手段等が損傷するトラブルが生じ易い。以上の
ようなトラブルが発生するとアイソレーションバルブの
開閉動作が不確実になり、シール性も低下するためその
後の単結晶２２の引上げ操作が不能となる。
伴ってアイソレーションバルブ１６も大型化し、その構
造も複雑になってきている。一方、引上げ装置内は高温
雰囲気となっており、このアイソレーションバルブ１６
が高温雰囲気に直接接触するとアイソレーションバルブ
１６の各シール手段に熱破損が発生したり、冷却手段や
真空保持手段等が損傷するトラブルが生じ易い。以上の
ようなトラブルが発生するとアイソレーションバルブの
開閉動作が不確実になり、シール性も低下するためその
後の単結晶２２の引上げ操作が不能となる。
【０００５】上記と関連する公知技術の１つとして特開
平１−２４６１９１号公報に開示する技術がある。この
「単結晶引上装置」は、アッパチャンバ内の下端部に、
アイソレーションバルブの出入口を閉鎖する閉鎖筒をア
ッパチャンバの内周面に沿って上下動可能に設けたもの
である。この公知技術ではアイソレーションバルブが開
の状態の時には高温雰囲気から隔離されるが、閉の状態
の時には引上げ装置内の高温雰囲気に直接接触するの
で、上記従来の問題の解決は不充分である。また、前記
したように閉鎖筒がアッパチャンバの内周面に沿って上
下動するため上下動作機構が複雑となり、且つ前記内周
面にＳｉＯ膜の形成により発生したゴミが閉鎖筒の上下
動に伴ってルツボに落下する問題点がある。このため結
晶体が有転位化し不良品が発生して生産性が低下すると
共に、コストの上昇につながる問題点がある。
平１−２４６１９１号公報に開示する技術がある。この
「単結晶引上装置」は、アッパチャンバ内の下端部に、
アイソレーションバルブの出入口を閉鎖する閉鎖筒をア
ッパチャンバの内周面に沿って上下動可能に設けたもの
である。この公知技術ではアイソレーションバルブが開
の状態の時には高温雰囲気から隔離されるが、閉の状態
の時には引上げ装置内の高温雰囲気に直接接触するの
で、上記従来の問題の解決は不充分である。また、前記
したように閉鎖筒がアッパチャンバの内周面に沿って上
下動するため上下動作機構が複雑となり、且つ前記内周
面にＳｉＯ膜の形成により発生したゴミが閉鎖筒の上下
動に伴ってルツボに落下する問題点がある。このため結
晶体が有転位化し不良品が発生して生産性が低下すると
共に、コストの上昇につながる問題点がある。
【０００６】本発明は、以上の事情に鑑みて創案された
もので、アイソレーションバルブの高温化が防止されて
その開閉動作が確実に行われ、単結晶の引上げ操作を円
滑に行うことができる単結晶引上げ装置を提供すること
を目的とする。
もので、アイソレーションバルブの高温化が防止されて
その開閉動作が確実に行われ、単結晶の引上げ操作を円
滑に行うことができる単結晶引上げ装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の単結晶
引上げ装置は、融液を蓄溜するルツボとその加熱手段と
を収納するロアチャンバと、種結晶を介して前記ルツボ
内から単結晶を引き上げるワイヤとその駆動機構部を収
納するアッパチャンバと、両チャンバ間の開口部を開閉
するアイソレーションバルブを収納するバルブ収納部と
を備える単結晶引上げ装置であって、前記アイソレーシ
ョンバルブの下方側に、該アイソレーションバルブの閉
止動作よりやや早く閉止動作し、前記アイソレーション
バルブの開放動作よりやや遅れて開放動作する遮熱板を
設けることを特徴とする。
引上げ装置は、融液を蓄溜するルツボとその加熱手段と
を収納するロアチャンバと、種結晶を介して前記ルツボ
内から単結晶を引き上げるワイヤとその駆動機構部を収
納するアッパチャンバと、両チャンバ間の開口部を開閉
するアイソレーションバルブを収納するバルブ収納部と
を備える単結晶引上げ装置であって、前記アイソレーシ
ョンバルブの下方側に、該アイソレーションバルブの閉
止動作よりやや早く閉止動作し、前記アイソレーション
バルブの開放動作よりやや遅れて開放動作する遮熱板を
設けることを特徴とする。
【０００８】請求項２に記載の単結晶引上げ装置は、前
記遮熱板が、前記バルブ収納部内の下方に配置されて開
閉動作することを特徴とする。
記遮熱板が、前記バルブ収納部内の下方に配置されて開
閉動作することを特徴とする。
【０００９】請求項３に記載の単結晶引上げ装置は、前
記遮熱板が、前記バルブ収納部と隔離される遮熱板収納
部内に配置されることを特徴とする。
記遮熱板が、前記バルブ収納部と隔離される遮熱板収納
部内に配置されることを特徴とする。
【００１０】請求項４に記載の単結晶引上げ装置は、前
記遮熱板が、前記開口部を覆って開閉するシャッタ状の
構造体からなることを特徴とする。
記遮熱板が、前記開口部を覆って開閉するシャッタ状の
構造体からなることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明の請求項１記載の単結晶引上げ装置によ
れば、アイソレーションバルブによる前記開口部の閉止
動作よりやや早く閉止動作し、前記アイソレーションバ
ルブによる前記開口部の開放動作よりやや遅れて開放動
作する遮熱板を設けたため、ロアチャンバからの熱が遮
熱板により遮られるので、アイソレーションバルブがロ
アチャンバからの熱気と直接接触することが防止され
る。そのためアイソレーションバルブの高温化が防止さ
れる。
れば、アイソレーションバルブによる前記開口部の閉止
動作よりやや早く閉止動作し、前記アイソレーションバ
ルブによる前記開口部の開放動作よりやや遅れて開放動
作する遮熱板を設けたため、ロアチャンバからの熱が遮
熱板により遮られるので、アイソレーションバルブがロ
アチャンバからの熱気と直接接触することが防止され
る。そのためアイソレーションバルブの高温化が防止さ
れる。
【００１２】本発明の請求項２に記載の単結晶引上げ装
置によれば、遮熱板が前記バルブ収納部内の下方に配置
されて開閉動作するようにしたので、遮熱板の収納スペ
ースが簡素化され、装置への遮熱板の配設が比較的容易
に行われる。
置によれば、遮熱板が前記バルブ収納部内の下方に配置
されて開閉動作するようにしたので、遮熱板の収納スペ
ースが簡素化され、装置への遮熱板の配設が比較的容易
に行われる。
【００１３】本発明の請求項３に記載の単結晶引上げ装
置によれば、遮熱板がバルブ収納部と隔離された場所に
収納されるため、遮熱板の開閉動作によるアイソレーシ
ョンバルブ側への悪影響が防止される。また、遮熱板の
開閉機構部の設置も比較的容易に行われる。
置によれば、遮熱板がバルブ収納部と隔離された場所に
収納されるため、遮熱板の開閉動作によるアイソレーシ
ョンバルブ側への悪影響が防止される。また、遮熱板の
開閉機構部の設置も比較的容易に行われる。
【００１４】本発明の請求項４に記載の単結晶引上げ装
置では、シャッタ状の構造体からなる遮熱板を採用する
ことにより、前記開口部の開閉動作を迅速に行うことが
でき、かつ省スペース化が可能になる。
置では、シャッタ状の構造体からなる遮熱板を採用する
ことにより、前記開口部の開閉動作を迅速に行うことが
でき、かつ省スペース化が可能になる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。図１はアイソレーションバルブの下方に遮熱板を有
する単結晶引上げ装置の軸断面図、図２はバルブ収納部
と隔離した場所に収納される遮熱板を有する単結晶引上
げ装置の軸断面図、図３はシャッタ状の構造体からなる
遮熱板を有する単結晶引上げ装置の軸断面図、図４は図
３の遮熱板の開閉動作を示す平面図である。
る。図１はアイソレーションバルブの下方に遮熱板を有
する単結晶引上げ装置の軸断面図、図２はバルブ収納部
と隔離した場所に収納される遮熱板を有する単結晶引上
げ装置の軸断面図、図３はシャッタ状の構造体からなる
遮熱板を有する単結晶引上げ装置の軸断面図、図４は図
３の遮熱板の開閉動作を示す平面図である。
【００１６】図１に示すように、単結晶引上げ装置１
は、ロアチャンバ１３，アッパチャンバ１４，その間の
バルブ収納部１５等で囲まれた装置構造を有する。前記
したように、ロアチャンバ１３内にはシリコンの融液１
７を蓄溜するルツボ１８，ヒータ１９，断熱材２０等が
収納され、アッパチャンバ１４には種結晶２１を介して
単結晶２２を引き上げるワイヤ２３やその駆動機構部
（図略）等が収納される。また、バルブ収納部１５には
アイソレーションバルブ１６が収納される。
は、ロアチャンバ１３，アッパチャンバ１４，その間の
バルブ収納部１５等で囲まれた装置構造を有する。前記
したように、ロアチャンバ１３内にはシリコンの融液１
７を蓄溜するルツボ１８，ヒータ１９，断熱材２０等が
収納され、アッパチャンバ１４には種結晶２１を介して
単結晶２２を引き上げるワイヤ２３やその駆動機構部
（図略）等が収納される。また、バルブ収納部１５には
アイソレーションバルブ１６が収納される。
【００１７】図１に示すように、バルブ収納部１５内に
収納されたアイソレーションバルブ１６の下方には遮熱
板２が平行に配設される。なお、遮熱板２はストローク
の関係上バルブ収納部１５より少し張り出した遮熱板収
納部４内に収納される。遮熱板２にはこれを往復動させ
る開閉手段３が設けられる。本実施例では遮熱板２側に
ラック（図略）を形成し、これに噛合するピニオンギヤ
５とその駆動用のモータ（図略）を開閉手段とするが、
それに限定するものではない。前記モータを作動しピニ
オンギヤ５を回転することにより遮熱板２が移動し、開
口部２４の開閉を行う。なお、閉止された状態で遮熱板
２はアイソレーションバルブ１６と共に収納部６にその
先端側を収納支持される。
収納されたアイソレーションバルブ１６の下方には遮熱
板２が平行に配設される。なお、遮熱板２はストローク
の関係上バルブ収納部１５より少し張り出した遮熱板収
納部４内に収納される。遮熱板２にはこれを往復動させ
る開閉手段３が設けられる。本実施例では遮熱板２側に
ラック（図略）を形成し、これに噛合するピニオンギヤ
５とその駆動用のモータ（図略）を開閉手段とするが、
それに限定するものではない。前記モータを作動しピニ
オンギヤ５を回転することにより遮熱板２が移動し、開
口部２４の開閉を行う。なお、閉止された状態で遮熱板
２はアイソレーションバルブ１６と共に収納部６にその
先端側を収納支持される。
【００１８】前記モータとアイソレーションバルブ１６
の駆動機構部とは、図略の制御手段により動作が制御さ
れる。すなわち、開口部２４の閉止工程において、ま
ず、前記モータが作動され遮熱板２が閉方向に移動す
る。また、これよりやや遅れてアイソレーションバルブ
１６の駆動機構部が作動し、アイソレーションバルブ１
６が閉方向に移動する。一方、開放工程の場合は、アイ
ソレーションバルブ１６側がまず開方向に移動し、これ
よりやや遅れて遮熱板２の前記モータが作動し、遮熱板
２を開方向に移動するように制御される。以上により、
ロアチャンバ１３からの熱気がアイソレーションバルブ
１６に直接接触することが防止される。
の駆動機構部とは、図略の制御手段により動作が制御さ
れる。すなわち、開口部２４の閉止工程において、ま
ず、前記モータが作動され遮熱板２が閉方向に移動す
る。また、これよりやや遅れてアイソレーションバルブ
１６の駆動機構部が作動し、アイソレーションバルブ１
６が閉方向に移動する。一方、開放工程の場合は、アイ
ソレーションバルブ１６側がまず開方向に移動し、これ
よりやや遅れて遮熱板２の前記モータが作動し、遮熱板
２を開方向に移動するように制御される。以上により、
ロアチャンバ１３からの熱気がアイソレーションバルブ
１６に直接接触することが防止される。
【００１９】遮熱板２としては、例えば耐熱性無機繊維
材を炭化材に含浸させ、成形後、高温で焼成したものを
使用することができる。また、耐熱性無機繊維材として
は、例えば炭化珪素（ＳｉＣ），窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4
）、モリブデン（Ｍｏ），タングステン（Ｗ）、タン
タル（Ｔａ）、石英等の繊維の他、カーボン繊維、ガラ
スコートされたカーボン繊維等が使用される。また、上
記耐熱性無機繊維材の板状成形物２５の外面を図６のよ
うにセラミックス層２６で被覆したものも遮熱板として
用いることができる。セラミックス層の替わりに金属層
を用いる場合は図７に示すように、少なくとも上面と下
面を金属層２７とし、周囲は断熱のためにリング状の断
熱被覆材２８を設けるのが好ましい。
材を炭化材に含浸させ、成形後、高温で焼成したものを
使用することができる。また、耐熱性無機繊維材として
は、例えば炭化珪素（ＳｉＣ），窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4
）、モリブデン（Ｍｏ），タングステン（Ｗ）、タン
タル（Ｔａ）、石英等の繊維の他、カーボン繊維、ガラ
スコートされたカーボン繊維等が使用される。また、上
記耐熱性無機繊維材の板状成形物２５の外面を図６のよ
うにセラミックス層２６で被覆したものも遮熱板として
用いることができる。セラミックス層の替わりに金属層
を用いる場合は図７に示すように、少なくとも上面と下
面を金属層２７とし、周囲は断熱のためにリング状の断
熱被覆材２８を設けるのが好ましい。
【００２０】図２の単結晶引上げ装置１ａは図１のもの
とほぼ同一構造のものからなるが、遮熱板２の収納され
る遮熱板収納部４ａがバルブ収納部１５と隔離されて形
成されている点において相違する。すなわち、遮熱板収
納部４ａはバルブ収納部１５の下方にこれとほぼ平行に
隔壁を介して形成される。遮熱板収納部４ａを隔離する
ことにより、バルブ収納部１５に設けられている各装置
類と遮熱板２自体およびその開閉手段３ａとの干渉が避
けられると共に、開閉手段３ａのレイアウトが自由に行
われるメリットがある。
とほぼ同一構造のものからなるが、遮熱板２の収納され
る遮熱板収納部４ａがバルブ収納部１５と隔離されて形
成されている点において相違する。すなわち、遮熱板収
納部４ａはバルブ収納部１５の下方にこれとほぼ平行に
隔壁を介して形成される。遮熱板収納部４ａを隔離する
ことにより、バルブ収納部１５に設けられている各装置
類と遮熱板２自体およびその開閉手段３ａとの干渉が避
けられると共に、開閉手段３ａのレイアウトが自由に行
われるメリットがある。
【００２１】また、隔離することにより遮熱板２からア
イソレーションバルブ１６側への熱影響が緩和される。
また、遮熱板２側からのゴミの影響も防止される。本実
施例の場合も、前記の実施例と同様に開閉手段３ａは、
ピニオンギヤ５ａおよび図略のモータ等からなり、ピニ
オンギヤ５ａと遮熱板２の前記ラックとの噛合により遮
熱板２の開閉動作を行う。また、閉止において遮熱板２
は遮熱板収納部４ａと相対向して配置される収納部７内
にその先端部を収納し支持される。なお、図２において
図１と同一符号のものは同一物又は同一の機能を有する
ものである。
イソレーションバルブ１６側への熱影響が緩和される。
また、遮熱板２側からのゴミの影響も防止される。本実
施例の場合も、前記の実施例と同様に開閉手段３ａは、
ピニオンギヤ５ａおよび図略のモータ等からなり、ピニ
オンギヤ５ａと遮熱板２の前記ラックとの噛合により遮
熱板２の開閉動作を行う。また、閉止において遮熱板２
は遮熱板収納部４ａと相対向して配置される収納部７内
にその先端部を収納し支持される。なお、図２において
図１と同一符号のものは同一物又は同一の機能を有する
ものである。
【００２２】図３はシャッタ状の構造体からなる遮熱板
２ｂを有する単結晶引上げ装置１ｂを示す。なお、遮熱
板２ｂおよびその開閉手段３ｂ以外の構造は前記実施例
のものと同一であり、重複説明を省略する。図示のよう
に、この遮熱板２ｂは開口部２４を直接覆って配置さ
れ、アイソレーションバルブ１６の閉止動作よりやや早
く閉止動作し、アイソレーションバルブ１６の開放動作
よりやや遅れて開放動作するものからなる。遮熱板２ｂ
は写真機等に使用されるシャッタのような構造のものか
らなり、図４（ａ），（ｂ）に示すように多数枚のシャ
ッタ羽根８を放射状に配置したものからなる。この開閉
手段３ｂは公知技術が適用されるが、一例としてはシャ
ッタ羽根８のそれぞれに係合するワイヤ部材９や、この
巻取りプーリ１０およびモータ１１等からなる。モータ
１１の正逆転により、図４に示すようにシャッタ羽根８
の開閉が行われる。なお、シャッタ羽根８は開放時には
シャッタ収納部１２に収納される。
２ｂを有する単結晶引上げ装置１ｂを示す。なお、遮熱
板２ｂおよびその開閉手段３ｂ以外の構造は前記実施例
のものと同一であり、重複説明を省略する。図示のよう
に、この遮熱板２ｂは開口部２４を直接覆って配置さ
れ、アイソレーションバルブ１６の閉止動作よりやや早
く閉止動作し、アイソレーションバルブ１６の開放動作
よりやや遅れて開放動作するものからなる。遮熱板２ｂ
は写真機等に使用されるシャッタのような構造のものか
らなり、図４（ａ），（ｂ）に示すように多数枚のシャ
ッタ羽根８を放射状に配置したものからなる。この開閉
手段３ｂは公知技術が適用されるが、一例としてはシャ
ッタ羽根８のそれぞれに係合するワイヤ部材９や、この
巻取りプーリ１０およびモータ１１等からなる。モータ
１１の正逆転により、図４に示すようにシャッタ羽根８
の開閉が行われる。なお、シャッタ羽根８は開放時には
シャッタ収納部１２に収納される。
【００２３】以上の説明において、図示のような遮熱板
２，２ｂおよび開閉手段３，３ａ，３ｂを採用したが、
勿論それ等に限定するものではない。例えば、回動式の
ものや観音開き的なものも適用される。いずれにして
も、アイソレーションバルブ１６が開放・閉止する際
に、これがロアチャンバ１３側の熱気に直接接触しない
構造・動作の遮熱板であればよい。
２，２ｂおよび開閉手段３，３ａ，３ｂを採用したが、
勿論それ等に限定するものではない。例えば、回動式の
ものや観音開き的なものも適用される。いずれにして
も、アイソレーションバルブ１６が開放・閉止する際
に、これがロアチャンバ１３側の熱気に直接接触しない
構造・動作の遮熱板であればよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、次のような顕著な効果
を奏する。 １）請求項１に記載の単結晶引上げ装置によれば、遮熱
板がアイソレーションバルブの閉止動作よりやや早く閉
止動作し、アイソレーションバルブの開放動作よりやや
遅れて開放動作するように構成したので、アイソレーシ
ョンバルブがロアチャンバからの熱気と直接接触するこ
とが防止される。このためアイソレーションバルブの高
温化が防止され、高温化に伴うシール手段の破損、冷却
手段の水漏れ、真空保持手段の損傷等のトラブルが解消
される。また、アイソレーションバルブがＳｉＯガスと
直接接触する問題も確実に防止され、さらに、水蒸気爆
発の危険性も防止される。 ２）請求項２に記載の単結晶引上げ装置によれば、アイ
ソレーションバルブを収納するバルブ収納部の下方に遮
熱板を開閉自在に配設したので、遮熱板の収納スペース
が簡素化され、この単結晶引上げ装置への遮熱板の配設
を比較的容易に行うことができる。 ３）請求項３ に記載の単結晶引上げ装置によれば、バル
ブ収納部と隔離された遮熱板収納部を形成することによ
り、遮熱板からの熱影響やゴミの付着が防止され、且つ
遮熱板の開閉手段の配置が自由に行われ、アイソレーシ
ョンバルブ側との干渉が防止される。４）請求項４ に記載の単結晶引上げ装置によれば、シャ
ッタ状の構造体からなる遮熱板を採用することにより開
閉動作の迅速化が図れ、かつ省スペース化が可能にな
る。
を奏する。 １）請求項１に記載の単結晶引上げ装置によれば、遮熱
板がアイソレーションバルブの閉止動作よりやや早く閉
止動作し、アイソレーションバルブの開放動作よりやや
遅れて開放動作するように構成したので、アイソレーシ
ョンバルブがロアチャンバからの熱気と直接接触するこ
とが防止される。このためアイソレーションバルブの高
温化が防止され、高温化に伴うシール手段の破損、冷却
手段の水漏れ、真空保持手段の損傷等のトラブルが解消
される。また、アイソレーションバルブがＳｉＯガスと
直接接触する問題も確実に防止され、さらに、水蒸気爆
発の危険性も防止される。 ２）請求項２に記載の単結晶引上げ装置によれば、アイ
ソレーションバルブを収納するバルブ収納部の下方に遮
熱板を開閉自在に配設したので、遮熱板の収納スペース
が簡素化され、この単結晶引上げ装置への遮熱板の配設
を比較的容易に行うことができる。 ３）請求項３ に記載の単結晶引上げ装置によれば、バル
ブ収納部と隔離された遮熱板収納部を形成することによ
り、遮熱板からの熱影響やゴミの付着が防止され、且つ
遮熱板の開閉手段の配置が自由に行われ、アイソレーシ
ョンバルブ側との干渉が防止される。４）請求項４ に記載の単結晶引上げ装置によれば、シャ
ッタ状の構造体からなる遮熱板を採用することにより開
閉動作の迅速化が図れ、かつ省スペース化が可能にな
る。
【図１】本発明の一実施例の全体構造を示す軸断面図。
【図２】アイソレーションバルブのバルブ収納部と隔離
した遮熱板収納部を有する本発明の単結晶引上げ装置の
実施例の全体構造を示す軸断面図。
した遮熱板収納部を有する本発明の単結晶引上げ装置の
実施例の全体構造を示す軸断面図。
【図３】シャッタ状の構造体の遮熱板を有する本発明の
単結晶引上げ装置の実施例の全体構造を示す軸断面図。
単結晶引上げ装置の実施例の全体構造を示す軸断面図。
【図４】図３における遮熱板の詳細構造とその開閉手段
の概要を示す平面図。
の概要を示す平面図。
【図５】従来の単結晶引上げ装置の全体構造を示す軸断
面図。
面図。
【図６】遮熱板の一例を示す断面図。
【図７】遮熱板の一例を示す断面図。
１ 単結晶引上げ装置 １ａ 単結晶引上げ装置 １ｂ 単結晶引上げ装置 ２ 遮熱板 ２ｂ 遮熱板 ３ 開閉手段 ３ａ 開閉手段 ３ｂ 開閉手段 ４ 遮熱板収納部 ４ａ 遮熱板収納部 ５ ピニオンギヤ ５ａ ピニオンギヤ ６ 収納部 ７ 収納部 ８ シャッタ羽根 ９ ワイヤ部材 １０ 巻取りプーリ １１ モータ １２ シャッタ収納部 １３ ロアチャンバ １４ アッパチャンバ １５ バルブ収納部 １６ アイソレーションバルブ １７ 融液 １８ ルツボ １９ ヒータ ２０ 断熱材 ２１ 種結晶 ２２ 単結晶 ２３ ワイヤ ２４ 開口部 ２５ 耐熱性無機繊維材の板状成形物 ２６ セラミックス層 ２７ 金属層 ２８ 断熱被覆材
フロントページの続き (72)発明者 水石 孝司 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 半導体株式会社 磯部工場内 (72)発明者 山岸 浩利 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 半導体株式会社 半導体磯部研究所内 (56)参考文献 特開 平４−160087（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C30B 1/00 - 35/00
Claims (4)
- 【請求項１】 融液を蓄溜するルツボとその加熱手段と
を収納するロアチャンバと、種結晶を介して前記ルツボ
内から単結晶を引き上げるワイヤとその駆動機構部を収
納するアッパチャンバと、両チャンバ間の開口部を開閉
するアイソレーションバルブを収納するバルブ収納部と
を備える単結晶引上げ装置であって、前記アイソレーシ
ョンバルブの下方側に、該アイソレーションバルブの閉
止動作よりやや早く閉止動作し、前記アイソレーション
バルブの開放動作よりやや遅れて開放動作する遮熱板を
設けることを特徴とする単結晶引上げ装置。 - 【請求項２】 前記遮熱板が、前記バルブ収納部内の下
方に配置されて開閉動作することを特徴とする請求項１
に記載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項３】 前記遮熱板が、前記バルブ収納部と隔離
される遮熱板収納部内に配置されることを特徴とする請
求項２に記載の単結晶引上げ装置。 - 【請求項４】 前記遮熱板が、前記開口部を覆って開閉
するシャッタ状の構造体からなることを特徴とする請求
項１に記載の単結晶引上げ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191087A JP3041670B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 単結晶引上げ装置 |
| US08/673,590 US5735951A (en) | 1995-07-04 | 1996-07-01 | Single crystal pulling apparatus |
| EP96304901A EP0752488B1 (en) | 1995-07-04 | 1996-07-03 | Single crystal pulling apparatus |
| DE69604455T DE69604455T2 (de) | 1995-07-04 | 1996-07-03 | Einkristallziehvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191087A JP3041670B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 単結晶引上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0920585A JPH0920585A (ja) | 1997-01-21 |
| JP3041670B2 true JP3041670B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=16268648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7191087A Expired - Lifetime JP3041670B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | 単結晶引上げ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5735951A (ja) |
| EP (1) | EP0752488B1 (ja) |
| JP (1) | JP3041670B2 (ja) |
| DE (1) | DE69604455T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9596920B2 (en) | 2009-08-04 | 2017-03-21 | Pollogen Ltd. | Cosmetic skin rejuvination |
| US11590346B2 (en) | 2009-11-16 | 2023-02-28 | Pollogen Ltd. | Apparatus and method for cosmetic treatment of human mucosal tissue |
| US11918804B2 (en) | 2009-11-16 | 2024-03-05 | Pollogen Ltd. | Method and device for skin treatment by heating and muscle stimulation |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2202657C1 (ru) * | 2002-04-02 | 2003-04-20 | Костин Владимир Владимирович | Устройство для вытягивания монокристаллов |
| KR100955221B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2010-04-29 | 주식회사 글로실 | 힌지를 이용한 도어 개폐장치가 구비된 태양전지용 다결정실리콘 주괴 제조 장치 |
| JP2012101965A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Matels Inc | 熱遮蔽機 |
| KR101332271B1 (ko) * | 2011-07-26 | 2013-11-22 | 주식회사 케이씨씨 | 사파이어 단결정 성장 장치 |
| CN102517627B (zh) * | 2011-12-20 | 2014-05-14 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 | 水冷轴结构 |
| KR101466061B1 (ko) * | 2013-06-14 | 2014-11-28 | 한국생산기술연구원 | 분리형 씨드 투입 장치 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4350560A (en) * | 1981-08-07 | 1982-09-21 | Ferrofluidics Corporation | Apparatus for and method of handling crystals from crystal-growing furnaces |
| JPH01246191A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-10-02 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 単結晶引上装置 |
| JP2628370B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1997-07-09 | 信越半導体 株式会社 | 単結晶引上装置 |
| JPH04260686A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上装置 |
| JPH0772116B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1995-08-02 | 信越半導体株式会社 | 単結晶引上装置 |
| JP2655576B2 (ja) * | 1992-09-30 | 1997-09-24 | 信越半導体株式会社 | 単結晶引上装置におけるアイソレーションバルブ |
-
1995
- 1995-07-04 JP JP7191087A patent/JP3041670B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-07-01 US US08/673,590 patent/US5735951A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-03 DE DE69604455T patent/DE69604455T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-03 EP EP96304901A patent/EP0752488B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9596920B2 (en) | 2009-08-04 | 2017-03-21 | Pollogen Ltd. | Cosmetic skin rejuvination |
| US11712560B2 (en) | 2009-08-04 | 2023-08-01 | Pollogen Ltd. | Cosmetic skin rejuvenation |
| US11590346B2 (en) | 2009-11-16 | 2023-02-28 | Pollogen Ltd. | Apparatus and method for cosmetic treatment of human mucosal tissue |
| US11865336B2 (en) | 2009-11-16 | 2024-01-09 | Pollogen Ltd. | Apparatus and method for cosmetic treatment of human mucosal tissue |
| US11918804B2 (en) | 2009-11-16 | 2024-03-05 | Pollogen Ltd. | Method and device for skin treatment by heating and muscle stimulation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0752488B1 (en) | 1999-09-29 |
| EP0752488A1 (en) | 1997-01-08 |
| DE69604455T2 (de) | 2000-04-13 |
| JPH0920585A (ja) | 1997-01-21 |
| DE69604455D1 (de) | 1999-11-04 |
| US5735951A (en) | 1998-04-07 |
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