JP3041445B2 - 高純度一酸化炭素の製造方法 - Google Patents
高純度一酸化炭素の製造方法Info
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Description
方法に関する。さらに詳しくは、集積回路等の半導体製
造分野で用いられる99.99%以上の純度を有する高
純度一酸化炭素の製造方法に関する。
ては天然ガスを水蒸気改質して高濃度の一酸化炭素を発
生させ、それをさらに分離精製する方法、または蟻酸を
硫酸あるいは固体触媒を用いて分離、脱水し精製する方
法等が知られている。精製工程を考慮すると蟻酸分解法
の方が一酸化炭素を高い選択率で得られるために有利で
あるが、硫酸を用いて脱水反応を行った場合、反応で生
成した水が硫酸濃度を下げるので、反応速度を維持する
には多量の硫酸が必要となり、また硫酸を含む廃水の処
理の面からも工業的には好ましい方法とはいえない。一
方、固体触媒を用いて蟻酸を分解する方法は、前記の問
題点は生じないものの、一酸化炭素の生成反応以外に水
素と二酸化炭素を生成する副反応が起こる。
において用いることができる触媒としては、一般にイオ
ン交換樹脂、アルミナ、アルミナ/五酸化燐、燐酸カル
シウム、硼燐酸カルシウム、クリプチノライト、H−Z
SM−5/アルミナ等が知られている。
る温度が100〜130℃程度に制限され、この温度で
の蟻酸の転化率は高くない。アルミナは300℃以上で
高い転化率が得られるが、一酸化炭素の選択率は99.
7%以下でありかなりの量の水素が不純物として含まれ
てくる。アルミナ/五酸化燐、燐酸カルシウム、硼燐酸
カルシウム、クリプチノライトもアルミナの場合と同様
の傾向を示す。一方、H−ZSM−5/アルミナは反応
温度250℃の反応で転化率99.5%、選択率100
%で一酸化炭素を与え、水素を一切発生しないとされて
いる(Bull.Soc.Belg., 92,225(1983)) 。しかし、本発
明者らの追試によると、H−ZSM−5/アルミナ触媒
のロングラン・テストでは反応温度250℃で反応初期
より0.5vol%の水素が発生する。従って、H−Z
SM−5/アルミナも高純度一酸化炭素の製造のために
は優れた触媒とはいい難い。
触媒においても高転化率、高選択率を同時に達成するこ
とは困難であり、さらに触媒の単位体積あたりの一酸化
炭素の生産能力が低いことが問題点である。また、H−
ZSM−5/アルミナ触媒は、転化率の点ではほぼ満足
できるものの経時的に選択率が低下するので工業的には
決して好ましい触媒とはいい難い。そこで、本発明者ら
は高純度の一酸化炭素を効率よく工業的に有利に得る方
法を開発すべく、蟻酸を高転化率、高選択率で一酸化炭
素と水に分解する方法を探索した。その結果、ゼオライ
ト系触媒を用い蟻酸と一緒に鉱酸を加えて反応を行うと
反応速度が速くなり、しかも反応の選択率が著しく向上
することを見い出し本発明に到達した。
て一酸化炭素を製造する方法において、ゼオライト系触
媒を用い、鉱酸の存在下に上記反応を行うことを特徴と
する高純度一酸化炭素の製造方法に関する。
て気化させ、反応器に導くことにより反応を行わせる
が、この時、鉱酸を蟻酸と混合して同時に気化器に通し
てもよいし、鉱酸を別途、連続的に反応器に添加しても
よい。本発明で用いることのできる鉱酸としては、塩
酸、硫酸、燐酸、硼酸等を挙げることができ、なかでも
塩酸と硫酸は価格と廃水処理の容易さの点から好適に用
いることができる。塩酸の場合には塩化水素の形でガス
状で反応器に添加することもできるし、水溶液として反
応器に添加してもよい。硫酸の場合も蟻酸に混ぜて気化
器に導いてもよいし、直接反応器に加えてもよい。鉱酸
の濃度は特に限定されるものではないが、蟻酸に対して
通常0.05〜5wt%、好適には0.3〜3wt%で
加えればよい。0.05wt%より酸濃度が低いと副反
応を抑制する効果が小さくなり水素の発生量が増えてく
る。一方、酸濃度が5wt%より高くてもさしたるメリ
ットがない。
応用可能であるが、特にゼオライト系触媒に好適に用い
ることができる。ゼオライト系触媒の一例としてはH−
モルデナイト、H−ZSM−5、クリノプチロライト等
を挙げることができ、なかでもH−モルデナイトおよび
H−ZSM−5は耐酸性に優れているので本発明の目的
に適した触媒である。本発明で用いるH−モルデナイト
触媒としては、Si/Al原子比が5〜30であれば特に限
定されず、天然モルデナイト、合成モルデナイトのいず
れもが使用可能である。例えば、Si/Al 原子比は天然物
で5、合成品で約5 〜約30程度であり、いずれの比率で
も触媒として用いることができる。Si/Al 原子比が5よ
り小さいと、触媒活性が低下するため好ましくなく、3
0より大きいと触媒調製が繁雑となり経済的でない。ま
た、ゼオライト系触媒をその使用に先だって鉱酸で含浸
処理すると効果的な場合も多い。
るものではないが、40〜100%純度の蟻酸を用いる
と効率的に反応を行うことができる。純度が40%未満
となると、蟻酸以外の残りの部分は水であるため、加熱
にエネルギーを要するので得策ではない。
の触媒と接触させることにより行う。反応器としては反
応釜や触媒を充填した塔が用いられる。触媒と蟻酸と鉱
酸を反応釜に仕込み、加熱することにより一酸化炭素を
発生させてもよいが、反応効率を考慮すると触媒を充填
した塔に鉱酸と蟻酸の蒸気を通気する方が好ましい。こ
の場合、1塔式の反応器に蟻酸を通してもよいし、多管
式の反応器を用いてもよい。特に、多管式の反応器では
ガス通の片流れが防止でき、さらに加熱のための伝熱面
積を確保できるので好ましい。
反応温度は通常150〜350℃である。反応温度が1
50℃未満になると反応が進み難くなり、転化率が低く
なるので好ましくなく、350℃を越えると副反応が顕
著になり、一酸化炭素中の水素濃度が高くなるので好ま
しくない。また、H−モルデナイトおよびH−ZSM−
5を触媒として用いた場合、3ヶ月以上の期間にわたっ
て高転化率、高選択率を保持して反応を継続することが
できる。
として水および極微量の水素、二酸化炭素および鉱酸が
含まれている。このガスにさらに精製工程を加えて高純
度の一酸化炭素を得る方法としては、公知の組み合わせ
を用いることが可能である。その一例としては、薄い苛
性ソーダで洗浄して、微量に残存する未反応の蟻酸と二
酸化炭素を取り除いた後、乾燥して水を取り除くと高純
度の一酸化炭素を得ることができる。このようにして得
られる一酸化炭素の純度は99.99%以上であり、半
導体製造分野のみならず種々の用途に利用可能である。
本発明で用いる反応器の材質としては、蟻酸および一酸
化炭素で腐食を受けず、かつ、反応に影響を及ぼさない
ものが求められるが、その要件を満たすものとしてアル
ミニウム、チタン、ジルコニウム、炭素等を好適に用い
ることができる。
さらに詳しく説明するが、本発明はここに示す実施例等
により何等制限をうけるものではない。
イト(Si/Al 原子比7.6 )を11cmの長さに充填し
た。用いた触媒は50mlである。このカラムの前段に
蟻酸の気化器を設けた。35%塩酸水を市販の88%純
度の蟻酸に対して2wt%加えたものを原料として用
い、気化器を通して130℃の蒸気として45g/hの
速度で反応器上部に送り込んだ。反応は外部を加熱して
250℃にて行った。反応器下部より反応ガスを取り出
して分析を行い、反応の転化率、選択率を決定した。蟻
酸の転化率は未反応の蟻酸を定量することにより求め、
一酸化炭素への選択率は生成する水素の量をガスクロマ
トグラフ質量分析計(GC−MS)で定量することによ
り求めた。その結果、蟻酸の転化率99.9%、一酸化
炭素への選択率99.99%以上で反応が進んでいた。
得られた反応ガスを10%苛性ソーダ水溶液で洗浄して
微量に含まれる二酸化炭素を除去し、さらに水で洗浄し
た。このガスをゼオライトに通して乾燥した。この結果
99.99%以上の高純度の一酸化炭素が得られた。こ
のガス中には不純物として水素が3.4ppm含まれて
いた。
t%加えた以外は、実施例1と同様に反応を行った。そ
の結果、蟻酸の転化率99.9%、一酸化炭素への選択
率99.99%以上で反応が進んでいた。実施例1と同
様に精製の処理を行った結果、99.99%以上の高純
度の一酸化炭素が得られ、その中には水素が1.6pp
m含まれていた。
t%加えた以外は、実施例1と同様に反応を行った。そ
の結果、蟻酸の転化率99.9%、一酸化炭素への選択
率99.99%以上で反応が進んでいた。実施例1と同
様に精製の処理を行った結果、99.99%以上の高純
度の一酸化炭素が得られ、その中には水素が0.9pp
m含まれていた。
った。その結果、蟻酸の転化率99.9%、一酸化炭素
への選択率99.99%以上で反応が進んでいた。実施
例1と同様に精製の処理を行った結果、99.99%以
上の高純度の一酸化炭素が得られ、その中には水素が
0.4ppm含まれていた。
は、実施例2と同様に行った。その結果、蟻酸の転化率
99.9%、一酸化炭素への選択率99.99%以上で
反応が進んでいた。実施例1と同様に精製の処理を行っ
た結果、99.99%以上の高純度の一酸化炭素が得ら
れ、その中には水素が14.7ppm含まれていた。
同様に行った。その結果、蟻酸の転化率99.9%、一
酸化炭素への選択率99.99%以上で反応が進んでい
た。実施例1と同様に精製の処理を行った結果、99.
99%以上の高純度の一酸化炭素が得られ、その中には
水素が4.1ppm含まれていた。
間)継続した。70日後の蟻酸の転化率は99.9%、
一酸化炭素への選択率は99.99%であり、触媒の経
時的な劣化は特に認められなかった。実施例1と同様に
精製の処理を行った結果、99.99%以上の高純度の
一酸化炭素が連続して得られ、その中には水素が3.7
ppm含まれていた。
イト(Si/Al 原子比7.6 )を11cmの長さに充填し
た。用いた触媒は50mlである。このカラムの前段に
蟻酸の気化器を設けた。市販の88%純度の蟻酸を原料
として用い、気化器を通して130℃の蒸気として45
g/hの速度で反応器上部に送り込んだ。反応は外部を
加熱して250℃にて行った。反応器下部より反応ガス
を取り出して分析を行い、反応の転化率、選択率を決定
した。蟻酸の転化率は未反応の蟻酸を定量することによ
り求め、一酸化炭素への選択率は生成する水素の量をガ
スクロマトグラフ質量分析計(GC−MS)で定量する
ことにより求めた。その結果、蟻酸の転化率99.9
%、一酸化炭素への選択率99.99%以上で反応が進
んでいた。得られた反応ガスを10%苛性ソーダ水溶液
で洗浄して微量に含まれる二酸化炭素を除去し、さらに
水で洗浄した。このガスをゼオライトに通して乾燥し
た。この結果99.99%以上の高純度の一酸化炭素が
得られた。このガス中には不純物として水素が50pp
m含まれていた。
った。その結果、蟻酸の転化率63.2%、一酸化炭素
への選択率99.99%以上で反応が進んでいた。実施
例1と同様に精製の処理を行った結果、99.99%以
上の高純度の一酸化炭素が得られ、その中には水素が1
7ppm含まれていた。
して一酸化炭素を得るに際し、蟻酸に鉱酸を加えて反応
を行うことにより、反応速度が向上し、しかも高い選択
率で反応が進むため、水素含量の低い高純度の一酸化炭
素を工業的に有利に得ることができる。
Claims (5)
- 【請求項1】 蟻酸を加熱分解して一酸化炭素を製造す
る方法において、ゼオライト系触媒を用い、鉱酸の存在
下に上記反応を行うことを特徴とする高純度一酸化炭素
の製造方法。 - 【請求項2】 ゼオライト系触媒がH−ZSM−5また
はH−モルデナイトである請求項1記載の製造方法。 - 【請求項3】 鉱酸が塩酸または硫酸である請求項1記
載の製造方法。 - 【請求項4】 鉱酸の濃度が蟻酸に対して0.05〜5
wt%である請求項1記載の製造方法。 - 【請求項5】 加熱分解温度が150〜350℃である
請求項1記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5195422A JP3041445B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 高純度一酸化炭素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5195422A JP3041445B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 高純度一酸化炭素の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0733421A JPH0733421A (ja) | 1995-02-03 |
JP3041445B2 true JP3041445B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=16340819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5195422A Expired - Lifetime JP3041445B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 高純度一酸化炭素の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3041445B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2813470A1 (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-17 | Bayer Technology Services GmbH | Method for decomposition of formic acid using zeolite catalysts |
DE102015202117A1 (de) * | 2015-02-06 | 2016-08-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Elektrolysesystem zur Kohlenstoffdioxid-Verwertung |
JP7119064B2 (ja) | 2018-03-06 | 2022-08-16 | 住友精化株式会社 | 粗一酸化炭素ガスから酸素を除去する方法、および一酸化炭素ガスの精製方法 |
CN116273143A (zh) * | 2023-02-22 | 2023-06-23 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 | 甲酸脱水制备高纯一氧化碳用催化剂及其合成方法和应用 |
-
1993
- 1993-07-12 JP JP5195422A patent/JP3041445B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Bull.Soc.Chim.Belg.92[3](1983)p225−227 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0733421A (ja) | 1995-02-03 |
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