JP3039423B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/30Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、テスト機能を有す
る半導体集積回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の半導体集積回路装置の一
実施形態例の回路図、図6は、図5の回路の動作を説明
するためのタイミング図である。
【0003】従来のこの種の半導体集積回路装置は、た
とえば特開昭62−274276号に示される様に、高
周波動作において、精度の高い時間差及びパルス幅を持
ったテスト用クロック信号を形成するために用いられて
いる。
【0004】例えばシンクロナスSRAM(STATIC RAND
OM ACCESS MEMORY)の様な製品に対して、内部ラッチ回
路のマスターとスレーブの切り替えの実力を確認するに
は、極めて高い周波数のクロックを精度良く集積回路の
内部に伝える必要がある。しかしながら、半導体集積回
路における外部端子やその半導体集積回路と試験装置と
の間に設けられる信号配線には、寄生容量や分布抵抗が
必然的に存在するため、高い周波数のクロック信号を直
接半導体集積回路の内部に伝えることが困難とされる。
なぜならば、高い周波数のクロック信号を供給しようと
しても、上述の寄生容量や分布抵抗による時定数回路に
より、クロック信号に無視できない信号の遅延や波形の
なまりが生ずるからである。
【0005】図5に示されている特開昭62−2742
76号において説明する。外部端子から供給されるシス
テムクロック信号SCKは、アンド(AND)ゲート回
路G11を介して、内部論理回路を構成するフリップフ
ロップ回路FF1、FF2等のクロック端子に供給され
る。外部端子から供給される制御信号Cは、上述のシス
テムクロック信号SCKと後述するテスト用クロック信
号TCKの発生回路により形成されるクロック信号TC
Kとの切り換えるための切り換え制御信号Cであり、A
NDゲート回路G12に供給される。ANDゲート回路
G12の反転出力C’は、上述ANDゲート回路G11
の他方の入力に制御信号として供給される。ANDゲー
ト回路G12の非反転出力は、後述するテスト用クロッ
ク信号TCKの発生回路により形成されるテスト用クロ
ック信号TCKを伝えるANDゲート回路G13の制御
信号とされる。上述アンドゲート回路G11とG13の
出力端子は、ワイヤードオア回路YG1接続され、その
出力信号が上述フリップフロップ回路FF1、FF2等
のクロック端子に供給される。内部論理回路は、例示的
に示されているフリップフロップ回路FF1と、その出
力信号や図示しない他のフリップフロップ回路の出力信
号を受ける論理ブロックLOGと、この論理ブロックL
OGの出力信号を受けるフリップフロップ回路FF2等
により構成される。
【0006】これらの内部論理回路における上述論理ブ
ロックLOGでの信号伝播遅延時間を精度良く判定する
ために、次のテスト用クロック信号TCK1,TCK2
の発生回路が設けられている。
【0007】第1の端子から供給される第1のテスト用
信号TCAは、一方においてANDゲート回路から成る
入力バッファG14に供給され、他方において、反転遅
延回路DLとして動作するインバータ構成の3個のNA
NDゲート回路G15、G16及びG17から成る反転
遅延回路DLに供給される。上述のゲート回路G14と
G17の出力端子は、ワイヤードアンド回路YG2に接
続される。このワイヤードアンド接続によって、上述の
信号TCAのロウレベル(論理「0」)からハイレベル
(論理「1」)の立ち上がりに同期して、上述遅延回路
DLのほぼ遅延時間に相当する1ショットパルスが形成
される。
【0008】第2の端子から供給される第2テスト用信
号TCBは、上述と同様な他の1ショットパルス発生回
路に供給される。すなわち、第2のテスト用信号TCB
は、一方においてANDゲート回路から成る入力バッフ
ァG18に供給され、他方においてインバータ構成の3
個のNANDゲート回路G19、G20及びG21から
成る反転遅延回路DLに供給される。上述ゲート回路G
18、G21の出力端子は、ワイヤードアンド回路YG
4に接続される。このワイヤードアンド接続によって、
上述信号TCBのロウレベル(論理「0」)からハイレ
ベル(論理「1」)の立ち上がりに同期して、ほぼ上述
遅延回路DLの遅延時間に相当する1ショットパルスが
形成される。
【0009】上述2つの1ショットパルス発生回路の両
出力端子がワイヤードオア回路YG3に接続されること
によって、上述テスト用クロック信号TCKが形成され
る。
【0010】次に、図6のタイミング図を参照して、こ
の実施例回路におけるテスト用クロック発生回路の動作
を説明する。
【0011】第1のテスト用信号TCAをロウレベルか
らハイレベルに変化させると、反転遅延回路DLの出力
信号が遅れてハイレベルからロウレベルに変化するた
め、ワイヤードアンド回路YG2により形成されるクロ
ック信号TCK1は、上述反転遅延回路DLの遅延時間
T15の間、両信号の共にハイレベルによるハイレベル
の信号とされる。同様に、第2のテスト用信号TCBを
ロウレベルからハイレベルに変化させると、反転遅延回
路DLの出力信号が遅れてハイレベルからロウレベルに
変化するため、ワイヤードアンド回路YG4により形成
されるクロック信号TCK2は、上述反転遅延回路DL
の遅延時間T15の間、両信号の共にハイレベルによる
ハイレベルの信号とされる。
【0012】これにより、上述外部端子から供給される
両テスト用信号TCAとTCBとの立ち上がり時間差T
14から、上述クロック信号TCK1とTCK2の時間
差を規定することができる。すなわち、クロック信号T
CK1とTCK2とは、内部回路により形成されるか
ら、そのパルス幅が上述時間T14とほぼ等しく、その
パルス幅が上述反転遅延時問T15により設定されるも
のとなる。上述クロック信号TCK1とTCK2は、内
部回路により形成されるから、そのパルス幅T15及び
立ち下がりエッジがほぼ一定になる。したがって、高い
周波数のクロック信号を精度良く試験するためには、外
部端子から供給されるテスト用信号TCA、TCBの立
ち上がりの時間差T14のみを精度良く供給すればよ
い。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
装置回路では、システムクロックのパスとテストクロッ
クのパスが異なるため、外部入力と内部タイミングを正
確に把握することができない欠点があった。
【0014】また、ワンショットパルス発生回路を利用
しているため、クロックの立ち上がり、立ち下がりの幅
(以下、TKHKLと記載する。)、クロックの立ち下
がり、立ち上がりの幅(以下、TKLKHと記載す
る。)を任意に変化させることができない欠点があっ
た。
【0015】更に、TKHKL及びTKLKHの両方を
測定する場合、本発明と比べ、回路規模が大きくなると
ういう欠点があった。
【0016】そこで本発明の日的は、試験装置では形成
が困難であるパルスの立ち上がりから立ち下がり、ま
た、立ち下がりから立ち上がりまでの最小幅を実現する
ことができる半導体集積回路装置を提供することであ
る。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明半導体集積回路装
置は、外部クロック信号が入力される第1の入力バッフ
ァと、第1の入力バッファの出力を受け内部クロック信
号を出力する論理回路とを有する半導電体集積回路装置
において、論理回路は、ノンコネクト端子に印加された
外部信号が入力される第2の入力バッファの出力を受
け、半導電体集積回路装置に印加されるテストモード信
号が第1の状態の時は、論理回路は前記ノンコネクト端
子に印加された外部信号に依らず内部クロック信号を出
力し、テストモード信号が第2の状態の時は、論理回路
は外部クロック信号とノンコネクト端子に印加された外
部信号との位相差に対応したパルス幅を有する内部クロ
ック信号を出力することを特徴としている。
【0018】また、請求項2の半導体集積回路装置は、
さらに、位相差が、前記外部クロック信号が第1の状態
(H)から第2の状態(L)に変化してから、前記ノン
コネクト端子に印加された外部信号が第2の状態(L)
から第1の状態(H)に変化するまでの時間であること
を特徴としている。
【0019】なお、これらの半導体集積回路装置は、
部クロック信号が入力される端子から論理回路への入力
端子までの各論理回路の段数、素子サイズ、寄生容量及
び寄生抵抗は、外部信号が印加されるノンコネクト端子
から前記論理回路への入力端子までのそれらとそれぞれ
等しい構造を有する、ことが望ましい。
【0020】これらにより、本発明において、システム
クロックとテスト信号の論理をとり、さらにそれらのパ
スの論理ゲートのサイズ及び段数等を等しくし、内部ク
ロック信号の入力からの遅延時問も通常動作時と一致さ
せることができる。
【0021】上述した手段によれば、2つの端子から供
給される入力信号のタイミング差で決まる、パルスの立
ち上がりから立ち下がり、また、立ち下がりから立ち上
がりまでの最小幅を内部で発生させることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0023】図1は、本発明の半導体集積回路装置の一
実施形態例の回路図、図2(a)は、図1の回路の通常
動作時の動作を説明するためのタイミング図、(b)
は、図1の回路のTKLKH測定時の動作を説明するた
めのタイミング図である。
【0024】本実施例において、ナンド(以下、NAN
Dと記載する)ゲート回路G1、G2は、同一サイズの
素子で構成される。また、外部端子から供給されるシス
テムクロック信号CLK1とノンコネクトピン入力信号
NC1は、それぞれNANDゲート回路G1,G2を介
して、NANDゲート回路G3において論理を取る。こ
の時、G1−G3間とG2−G3間の寄生容量及び抵抗
は一致する様に構成されている。なお、NANDゲート
G1の他方の入力ピンは、最高電源電位VDDに接続さ
れる。
【0025】次に、図2(a),(b)を用いて、本実
施形態例の回路におけるそれぞれ通常動作及びTKLK
H測定時の動作を説明する。
【0026】通常動作時には、テスト用信号TS1を
「L」固定(Low固定)としNANDゲート回路G2
の出力はノンコネピン入力信号NC1に無関係に「H」
固定(High固定)となる。この時、内部クロック信
号D1のTKHKL(T2)とTKLKH(T3)は、
それぞれ外部クロック信号CLK1のTKHKL(T
0)、TKLKH(T1)と等しくなる。
【0027】一方、TKLKHの動作限界を測定する時
には、テスト用信号をTS1を「H」固定とし、NAN
Dゲート回路G2の出力は、ノンコネピン入力信号NC
1の反転信号となり、NANDゲート回路G1の出力信
号とにより、NANDゲート回路G3で論理を取り、内
部クロック信号D1を出力する。
【0028】また、外部クロック信号CLK1とノンコ
ネピン入力信号NC1が共に「L」の期間T4の時にの
み、内部クロック信号D1は「L」となり、そのTKL
KHの期間T5が決まる。先に述べた様に、本回路は、
各入力段の構成する素子サイズ及び対応する段数間の寄
生容量及び抵抗が等しく構成されている。したがって、
高い周波数のクロック信号を精度良く試験するために
は、外部端子から供給される外部クロック信号CLK1
及びテスト用信号NC1のクロックエッジのタイミング
のみを精度良く供給すればよい。
【0029】次に、本発明の第2の実施形態例について
説明する。
【0030】図3は、第2の実施形態例の回路図、図4
(a)は、図3の回路の通常動作時の動作を説明するた
めのタイミング図、(b)は、図3の回路のTKLKH
測定時の動作を説明するためのタイミング図、(c)
は、図3の回路のTKHKL測定時の動作を説明するた
めのタイミング図である。
【0031】第2の実施形態例の第1の実施形態例と異
なる点は、テストモード時のTKLKH測定に加え、T
KHKLの測定も合わせて可能にした点にある。
【0032】外部クロック信号CLK2は、NANDゲ
ート回路G4を介し、NANDゲート回路G8または次
段のNANDゲート回路G10で、それぞれノンコネク
トピン入力信号NC2のNANDゲート回路G6あるい
はNANDゲート回路G7,G9を介した信号と論理和
を取る。
【0033】入力から各論理段のNANDゲート回路G
4〜G7、G8とG9は、各々同一サイズの素子で構成
されている。更に、外部クロック信号CLK2とノンコ
ネピン入力信号NC2から、それらの論理和を取る論理
ゲートまでの各論理段数が等しく、また各論理段間G4
−G8、G6−G8とG7−G9また、G8−G10と
G9−G10の寄生容量及び抵抗は一致する様に構成さ
れている。
【0034】次に、図3の回路図および図4(a),
(b),(c)のタイミング図を参照して、本実施形態
例におけるそれぞれ通常動作、テストモード時のTKL
KH、TKHKL測定の動作を説明する。
【0035】通常動作時には、テスト用信号TS2、T
S3を共に「L」固定とし、TS2の反転信号〈TS
2〉は「H」固定とし、NANDゲート回路G6,G9
の出力D5、D7はノンコネピン入力信号NC2に無関
係に「H」固定となる。この時、内部クロック信号D4
のTKHKL測定時(T8)とTKLKH測定時(T
9)は、それぞれ外部クロック信号CLK2のTKHK
L測定時(T6)、TKLKH測定時(T7)と等しく
なる。
【0036】一方、TKLKHの動作限界を測定する時
には、テスト用信号TS2を「H」固定、テスト用信号
TS3、反転信号〈TS2〉を共に「L」固定とし、N
ANDゲート回路G6の出力D5は、ノンコネピン入力
信号NC2の反転信号となり、NANDゲート回路G4
の出力信号とで、NANDゲート回路G8で論理を取
り、NANDゲート回路G10を介して内部クロック信
号D3を出力する。
【0037】また、外部クロック信号CLK2とノンコ
ネピン入力信号NC2が共に「L」の期間T10の時に
のみ、内部クロック信号D4は「L」となり、そのTK
LKHの期間T11が決まる。
【0038】更に、TKHKLの動作限界を測定する時
には、テスト用信号をTS2を「L」固定とし、テスト
用信号TS3、反転信号〈TS2〉を共に「H」固定と
し、NANDゲート回路G7の出力D6は、ノンコネピ
ン入力信号NC2の反転信号となり、NANDゲート回
路G9を介して、NANDゲート回路G8の出力信号と
で、NANDゲート回路G10で論理を取り、NAND
ゲート回路G10を介して内部クロック信号D3を出力
する。
【0039】また、外部クロック信号CLK2とノンコ
ネピン入力信号NC2が共に「H」の期間T12の時に
のみ、内部クロック信号D4は「H」となり、そのTK
HKLの期間T13が決まる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、通常の外
部クロックとNC入力信号との論理を取り、所望のパル
スをデバイス内部で発生させる構造を有し、あるいはさ
らに、論理回路を付加し、多種のパルスを発生させる構
造等を有することにより、パルスの立ち上がりから立ち
下がり、また、立ち下がりから立ち上がりまでの最小幅
を内部で発生させ得る半導体集積回路装置を提供できる
効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体集積回路装置の一実施形態例の
回路図である。
【図2】(a)は、図1の回路の通常動作時の動作を説
明するためのタイミング図、(b)は、図1の回路のT
KLKH測定時の動作を説明するためのタイミング図で
ある。
【図3】第2の実施形態例の回路図である。
【図4】(a)は、図3の回路の通常動作時の動作を説
明するためのタイミング図、(b)は、図3の回路のT
KLKH測定時の動作を説明するためのタイミング図、
(c)は、図3の回路のTKHKL測定時の動作を説明
するためのタイミング図である。
【図5】従来の半導体集積回路装置の一実施形態例の回
路図である。
【図6】図5の回路の動作を説明するためのタイミング
図である。
【符合の説明】
VDD 最高電源電位 CLK1,CLK2 システムクロック信号 TS1,TS2,TS3 テスト用信号 〈TS2〉 テスト用信号TS2の反転信号 NC1,NC2 ノンコネクトピン入力信号 G1〜G10 NANDゲート回路 TKHKL クロックの立ち上がり立ち下がり幅 TKLKH クロックの立ち下がり立ち上がり幅 D1〜D7 内部クロック信号 T0〜T13 時間 SCK システムクロック信号 C 制御信号 C’ 反転出力 G11〜G14,G18 ANDゲート回路 G15〜G17,G19〜G21 NANDゲート回
路 YG1、YG3 ワイヤードオア回路 YG2、YG4 ワイヤードアンド回路 I1 インバーター FF1、FF2 フリップフロップ回路 LOG 論理ブロック TCA 第1のテスト用信号 TCB 第2のテスト用信号 DL 反転遅延回路 TCK1,TCK2 クロック信号 TCK テスト用クロック信号 T14〜T16 時間

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部クロック信号が入力される第1の入
    力バッファと、前記第1の入力バッファの出力を受け内
    部クロック信号を出力する論理回路とを有する半導電体
    集積回路装置において、前記論理回路は、ノンコネクト端子に印加された外部信
    号が入力される第2の入力バッファの出力を受け、前記
    半導電体集積回路装置に印加されるテストモード信号が
    第1の状態の時は、前記論理回路は前記ノンコネクト端
    子に印加された外部信号に依らず内部クロック信号を出
    力し、前記テストモード信号が第2の状態の時は、前記
    論理回路は前記外部クロック信号と前記ノンコネクト端
    子に印加された外部信号との位相差に対応した パルス
    を有する内部クロック信号を出力することを特徴とする
    半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 前記位相差は、前記外部クロック信号が
    第1の状態から第2の状態に変化してから、前記ノンコ
    ネクト端子に印加された外部信号が第2の状態から第1
    の状態に変化するまでの時間であることを特徴とする、
    請求項1記載の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 前記外部クロック信号が入力される端子
    から前記論理回路への入力端子までの各論理回路の
    、素子サイズ、寄生容量及び寄生抵抗は、前記外部信
    号が印加されるノンコネクト端子から前記論理回路への
    入力端子までのそれらとそれぞれ等しい構造を有する、
    請求項1または2記載の半導体集積回路装置。
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