JP3019630B2 - 接着剤塗布装置 - Google Patents
接着剤塗布装置Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
Description
詳しくは、転写ピンにより電子部品を接着するための接
着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置に関する。
プリント基板やリードフレームなどの基板の所定位置に
予め接着剤を塗布し、次いでこの接着剤上に電子部品を
搭載する手段が知られている。また基板に接着剤を塗布
する手段として、塗布ピンにより容器内の接着剤を基板
に転写する転写方式が知られている。このような接着剤
としては、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂が多用さ
れる。
布装置を提案した(特願昭60−107488号)。こ
のものは、転写ピンの下面中央部に突起を突設したもの
であり、このものによれば基板に塗布された接着剤表面
のけば立ちを解消でき、また接着剤の塗布量を安定させ
ることができるなどの長所を有している。
れた接着剤は、中央部の方が周辺部よりも高い形状とな
ることが望ましく、このような形状にすれば、この接着
剤上に電子部品を搭載する場合に、接着剤は電子部品の
下面に押圧されて中央部から周辺部へ流動し、接着剤の
内部に空気が巻込まれるのを回避できる。因みに接着剤
の内部に空気が巻込まれて気泡が生じると、接着剤が熱
硬化性の場合において接着剤を加熱して硬化させる際の
熱や、電子部品が電気機器類に組み込まれて駆動する際
の電子部品の自己発熱により、この気泡が熱膨張し、電
子部品を破壊する原因となるので、空気の巻込みによる
気泡の発生は極力解消しなければならない。
に突起を突設したことにより、上記要求をある程度は充
足するものであったが、殊に大サイズの電子部品を搭載
するために転写ピンの塗布面積を大きくした場合、基板
に塗布された接着剤を上記形状にする作用は必ずしも十
分ではなく、やや空気を巻込みやすいという問題点があ
った。
も高くなるように接着剤を基板に塗布できる接着剤塗布
装置を提供することを目的とする。
写ピンの下面に、下面中央部の接着剤付着量を下面縁部
の接着剤付着量よりも多くする凹凸部を形成し、且つ凹
凸部の下面よりも下方へ突出して転写ピンの下降限度を
規定するリブを上記転写ピンに突設したものである。
溜された接着剤中に没入させて上昇させると、この下面
には接着剤が付着する。次にこの接着剤を基板に着地さ
せて転写ピンを上昇させると、基板に接着剤が転写され
るが、その形状は中央部が周辺部よりも高い形状とな
る。またこの場合、リブが基板に着地し、凹凸部は基板
に着地せずに基板から浮き上っているので、基板に転写
された接着剤が凹凸部の下面に押しつぶされることはな
く、接着剤を形状よく基板に転写できる。したがってこ
の接着剤上に電子部品を着地させて搭載する際に、接着
剤は電子部品の下面に押圧されて中央部から周辺部へ空
気を外部へ押し出しながら流動するので空気を巻込みに
くく、接着剤の内部に気泡が生じることはない。
説明する。
のダイボンダは上記特願昭60−107488号に記載
されたものと同構造であり、以下簡単にその構造を説明
する。1は移載装置であり、接着剤の転写ピン11を備
えた塗布ヘッド2と、移載ヘッド3とピックアップヘッ
ド30を有している。塗布ヘッド2の下方には、接着剤
4が貯溜された容器5を備えた接着剤塗布装置6が設け
られている。7はプリント基板であり、XY方向に移動
するXYテーブル上の基板ホルダー8に保持位置決めさ
れている。9は電子部品位置決め装置である。移載ヘッ
ド3は、電子部品位置決め装置9上の電子部品10を基
板ホルダー8に位置決めされたプリント基板7に移載す
る。また塗布ヘッド2は容器5内の接着剤4をプリント
基板7に塗布する。18は電子部品10のウエハホル
ダ、19はウエハ上の電子部品10を下方から突き上げ
るダイエジェクタである。ピックアップヘッド30は、
ダイエジェクタ19で突上げられた電子部品10をピッ
クアップして位置決め装置9に搭載する。
ヘッド2に設けられた転写ピン11を説明する。転写ピ
ン11は、塗布ヘッド2に結合するためのシャフト12
と、このシャフト12の下部に結合されたプレート13
と、このプレート13の下面に突設された凹凸部として
の突部14(14A,14B,14C,14D,14
E,14F,14G,14H)から成っている。図示す
るように、各突部14の平面形状は4角形であって、ス
リット15をおいてマトリスク状に配列されているが、
下面中央部の突部14Aの面積が最大であり、また中央
部から周辺部へ向う程、突部14B〜14Hの面積は次
第に小さくなっている。またプレート13の四隅近くの
突部14Eには、リブ16が突部14の下面よりも下方
に突出するように突設されている。このスリット15の
巾は、中央部よりも周辺部の方を狭くすることが望まし
い。このリブ16がプリント基板7に着地することによ
り、転写ピン11の下降限度を規定する。
に貯溜された接着剤4に没入させた後、上昇させた状態
を示している。図示するように、面積の大きい突部14
Aには大量の接着剤4が付着しており、面積の小さい突
部14B,14Dほど接着剤4の付着量は少ない。図示
しないが、他の突部14C,14E〜14Hも、その面
積に応じて接着剤4が付着する。
4をプリント基板7の上面に着地させた後、転写ピン1
1を上昇させて接着剤4をプリント基板7に転写した状
態を示している。図示するように、中央部に転写された
接着剤4Aの量は多く、且つその高さも高いが、周辺部
に転写された接着剤4B,4Dの量は比較的少なく、且
つその高さも低い。このようにプリント基板7に転写さ
れる接着剤4の量や高さは、突部14の面積と略比例す
る。また転写ピン11を下降させると、リブ16がプリ
ント基板7に着地し、突部14の下面はプリント基板7
から浮き上っているので、プリント基板7に転写された
接着剤4が突部14に押しつぶされることはなく、した
がって接着剤4を形状よくプリント基板7に転写するこ
とができる。更には、突部14の平面形状を4角形とす
ることにより、プリント基板7に転写された接着剤4の
外周縁を直線状とし、その後で搭載される電子部品10
からの接着剤4のはみ出し量を適量に維持できる。
真空吸着された電子部品10をプリント基板7に搭載し
ている状態の正面図、図6は搭載後の正面図を示してい
る。図6に示すように、電子部品10の下面は基板7に
しっかりボンディングされており、接着剤4の内部には
空気の巻込みによる気泡は生じていない。次に図7を参
照しながらその理由を説明する。
の接着剤4A,4B,4Dを理解しやすいように模式的
に三角形の山形で示している。図中、Aは電子部品10
の下面のレベルである。図5において、ノズル17に真
空吸着された電子部品10を下降させると、その下面は
まず最も高い接着剤4Aの頂部に着地する。電子部品1
0が更に下降すると、接着剤4Aはその下面に押圧され
て側方へ流動しながら押し潰される。次に電子部品10
の下面は接着剤4Bの頂部に着地し、電子部品10が更
に下降することにより、この接着剤4Bもその下面に押
されて側方へ流動しながら押し潰される。次に電子部品
10の下面は最も低い接着剤4Dに着地し、この接着剤
4Dも同様に側方へ流動しながら押し潰される。図中、
矢印nは接着剤4の流動方向を示している。したがって
接着剤4は、全体としては矢印Nにて示すように中央部
から周辺部へ向って流動し、接着剤4と接着剤4の間の
すき間を埋めていく。
れて接着剤4が中央部から周辺部へ流動することによ
り、この下面の下方の空気は外方へ押し出され、空気の
巻込みによる気泡の発生を解消できる。
示している。プレート13の下面には円形の突部22
A,22B,22Cが多数突設されている。図示するよ
うに、中央エリアの突部22Aのサイズは大きく、中間
エリアの突部22B、周辺エリアの突部22Cは次第に
小さくなっている。すなわちこのものは、中央エリアほ
ど突部22のサイズは大きく突部の配設密度は高くなっ
ている。
塗布したプリント基板7を示している。図示するよう
に、中央エリアの突部22Aで塗布された接着剤4Aが
最も多量であり、突部22B,22Cで塗布された接着
剤4B,4Cほど少量になっている。したがってこのも
のも、電子部品10を搭載すると、接着剤4は全体とし
て中央部から周辺部へ空気を押し出しながら流動し、空
気の巻込みを防止できる。
ている。このものは、下面中央部の突部32の突出高さ
は、周辺部の突部33の突出高さよりも小さい。また突
部32の下面には針状の突起34が突設されている。こ
の突起34は、転写ピン31の下降限度を規定し、接着
剤4をプリント基板7に転写して上昇する際に接着剤4
の中央部を盛上げる作用を有する。
の突出高さは小さいので、容器5の接着剤4に没入させ
ると、中央部32の突部32には周辺部の突部33より
も多量に接着剤4が付着し、上記実施例と同様の作用効
果が得られる。
を示している。プレート13の下面中央部にはすりばち
状の凹入部42が形成されている。またその中央には上
記突起34と同様の作用を有する針状の突起43が突設
されている。またプレート13には空気抜孔44が形成
されている。図12は、この転写ピン41によりプリン
ト基板7に転写された接着剤4を示している。この接着
剤4は中央部が周辺部よりも高い山形であり、このもの
も電子部品10を搭載すると、その下面に押圧されて矢
印N方向へ流動する。このように、転写ピンに形成され
る凹凸部の形状は種々考えられる。
央部に塗布される接着剤の量は周辺部に塗布される接着
剤の量よりも多くなるので、電子部品を搭載する際に、
接着剤は電子部品の下面に押されて中央部から周辺部へ
流動し、したがって空気の巻込みによる気泡の発生を防
止でき、電子部品をプリント基板に確実にボンディング
できる。また転写ピンを下降させると、リブが基板に着
地し、凹凸部は基板に着地せずに基板から浮き上ってい
るので、基板に転写された接着剤が凹凸部の下面に押し
つぶされることはなく、接着剤を形状よく基板に転写で
きる。 また凹凸部の突部の平面形状を4角形としたこと
により、基板に転写された接着剤の外周縁を直線状と
し、その後で搭載される電子部品からの接着剤のはみ出
し量を適量に維持できる。
プリント基板の正面図
正面図
正面図
説明図
板の正面図
基板の正面図
Claims (2)
- 【請求項1】接着剤が貯溜された容器と、接着剤の転写
ピンとを備え、この転写ピンをこの接着剤中に没入させ
てその下面にこの接着剤を付着させ、またこの転写ピン
を基板に着地させて、この接着剤を基板に転写するよう
にした接着剤塗布装置において、上記転写ピンの下面
に、下面中央部の接着剤付着量を下面縁部の接着剤付着
量よりも多くする凹凸部を形成し、且つ凹凸部の下面よ
りも下方へ突出して転写ピンの下降限度を規定するリブ
を上記転写ピンに突設したことを特徴とする接着剤塗布
装置。 - 【請求項2】前記凹凸部の突部の平面形状を4角形とし
たことを特徴とする請求項1記載の接着剤突装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28413192A JP3019630B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 接着剤塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28413192A JP3019630B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 接着剤塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06132328A JPH06132328A (ja) | 1994-05-13 |
JP3019630B2 true JP3019630B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=17674573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28413192A Expired - Lifetime JP3019630B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 接着剤塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3019630B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1094034C (zh) * | 1997-11-05 | 2002-11-13 | 中国科学院海洋研究所 | 野生碱篷的人工栽培方法 |
US6638540B2 (en) | 1997-05-06 | 2003-10-28 | Universitat Bern | Plant extracts for the treatment of increased bone resorption |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990001716A (ko) * | 1997-06-17 | 1999-01-15 | 윤종용 | Loc 리드프레임 접착제 도포장치 및 도포방법 |
JP7014955B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2022-02-02 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP28413192A patent/JP3019630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6638540B2 (en) | 1997-05-06 | 2003-10-28 | Universitat Bern | Plant extracts for the treatment of increased bone resorption |
CN1094034C (zh) * | 1997-11-05 | 2002-11-13 | 中国科学院海洋研究所 | 野生碱篷的人工栽培方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06132328A (ja) | 1994-05-13 |
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