JP2995835B2 - エリア光電センサ - Google Patents
エリア光電センサInfo
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- JP2995835B2 JP2995835B2 JP26468590A JP26468590A JP2995835B2 JP 2995835 B2 JP2995835 B2 JP 2995835B2 JP 26468590 A JP26468590 A JP 26468590A JP 26468590 A JP26468590 A JP 26468590A JP 2995835 B2 JP2995835 B2 JP 2995835B2
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- Japan
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- elastic deformation
- vibration
- elastic
- unit
- scanning unit
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、２次元の検知領域を有するエリア光電セン
サに関する。
サに関する。
［背景技術とその問題点］ 第５図に示すものは、一軸型の１次元光センサ40であ
り、正多角形状をしたポリゴンミラー41の外周面にはミ
ラー面41a,41a,…が形成されており、ポリゴンミラー41
はドライバ回路45で制御された直流サーボモータ42によ
って一定角速度で回転させられている。そして、半導体
レーザ装置46から出射されたレーザビームαは結像レン
ズ43によって集光され、ポリゴンミラー41のミラー面41
aに照射される。そして、ポリゴンミラー41のミラー面4
1aで反射されたレーザビームαは、被検出物47の表面に
照射される。ここでポリゴンミラー41が一定角速度で回
転していると、レーザビームαを照射されているミラー
面41aの角度が変化するので、ポリゴンミラー41で反射
されたレーザビームαの出射方向が変化し、レーザビー
ムαで被検出物47の表面が走査され、被検出物47の表面
のバーコード44等が読み取られる。
り、正多角形状をしたポリゴンミラー41の外周面にはミ
ラー面41a,41a,…が形成されており、ポリゴンミラー41
はドライバ回路45で制御された直流サーボモータ42によ
って一定角速度で回転させられている。そして、半導体
レーザ装置46から出射されたレーザビームαは結像レン
ズ43によって集光され、ポリゴンミラー41のミラー面41
aに照射される。そして、ポリゴンミラー41のミラー面4
1aで反射されたレーザビームαは、被検出物47の表面に
照射される。ここでポリゴンミラー41が一定角速度で回
転していると、レーザビームαを照射されているミラー
面41aの角度が変化するので、ポリゴンミラー41で反射
されたレーザビームαの出射方向が変化し、レーザビー
ムαで被検出物47の表面が走査され、被検出物47の表面
のバーコード44等が読み取られる。
この１次元光センサ40では、ポリゴンミラー41によっ
て光ビームを直線状にスキャンしているので、１次元の
検知領域しか持たず、２次元の領域を検知することがで
きなかった。
て光ビームを直線状にスキャンしているので、１次元の
検知領域しか持たず、２次元の領域を検知することがで
きなかった。
これに対し、第６図に示す従来例の２次元光センサ50
では２次元の検知領域を有している。これは、照明源51
によって被検出物54を照明し、カメラレンズ等の光学系
52を通してCCDのようなアレイ型の２次元受光素子53で
被検出物54の反射光55を受光させ、被検出物54の２次元
領域を検知している。
では２次元の検知領域を有している。これは、照明源51
によって被検出物54を照明し、カメラレンズ等の光学系
52を通してCCDのようなアレイ型の２次元受光素子53で
被検出物54の反射光55を受光させ、被検出物54の２次元
領域を検知している。
しかしながら、このような２次元光センサ50にあって
は、広い領域を検知させるためには、カメラレンズのよ
うに大きな光学系を必要とするため、センサ全体として
の小型化に限界があった。また、CCDのような２次元受
光素子自体の価格が高価であるうえ、その信号処理回路
も複雑であるため、コストがかなり高価についていた。
は、広い領域を検知させるためには、カメラレンズのよ
うに大きな光学系を必要とするため、センサ全体として
の小型化に限界があった。また、CCDのような２次元受
光素子自体の価格が高価であるうえ、その信号処理回路
も複雑であるため、コストがかなり高価についていた。
本発明は、叙上の従来例の欠点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、新規な原理に基づく
小型で安価なエリア光電センサを提供することにある。
であり、その目的とするところは、新規な原理に基づく
小型で安価なエリア光電センサを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明のエリア光電センサは、ねじれ変形モードと曲
げ変形モードの２つの弾性変形モードを有する弾性変形
部と、弾性変形部の一端に設けられた加振部と、前記弾
性変形部の各弾性変形モードに対する共振周波数の振動
を加振部に付与するための駆動源と、弾性変形部の他端
に設けられ、加振部に振動が印加された時に少なくとも
いずれかの弾性変形モードで弾性変形部を弾性振動させ
るように配置され、弾性変形部の弾性振動によってねじ
れ方向と曲げ方向とに回動できるようになったスキャン
部と、スキャン部に設けられた発光素子と、発光素子か
ら出射され被検出物で反射された反射光を検出する受光
素子とからなることを特徴としている。
げ変形モードの２つの弾性変形モードを有する弾性変形
部と、弾性変形部の一端に設けられた加振部と、前記弾
性変形部の各弾性変形モードに対する共振周波数の振動
を加振部に付与するための駆動源と、弾性変形部の他端
に設けられ、加振部に振動が印加された時に少なくとも
いずれかの弾性変形モードで弾性変形部を弾性振動させ
るように配置され、弾性変形部の弾性振動によってねじ
れ方向と曲げ方向とに回動できるようになったスキャン
部と、スキャン部に設けられた発光素子と、発光素子か
ら出射され被検出物で反射された反射光を検出する受光
素子とからなることを特徴としている。
［作用］ 弾性変形部の２つの弾性変形モードに対する共振周波
数の振動を加振部に加えると、弾性変形部が両弾性変形
モードで弾性振動し、スキャン部がねじれ方向と曲げ方
向で同時に回動する。このため、スキャン部に設けられ
た発光素子から光ビームを出射させていると、光ビーム
は被検出物の表面の２次元領域でスキャンされる。した
がって、この反射光を受光素子で受光すれば２次元の領
域の様子を検出することができる。
数の振動を加振部に加えると、弾性変形部が両弾性変形
モードで弾性振動し、スキャン部がねじれ方向と曲げ方
向で同時に回動する。このため、スキャン部に設けられ
た発光素子から光ビームを出射させていると、光ビーム
は被検出物の表面の２次元領域でスキャンされる。した
がって、この反射光を受光素子で受光すれば２次元の領
域の様子を検出することができる。
また、スキャン部、弾性変形部及び加振部は、プレー
ト状に形成することができ、駆動源としては圧電振動子
のような小型のアクチュエータを使用することができる
ので、エリア光電センサを超小形化することができる。
しかも、構造も簡略であるので、製作コストや組立て調
整コスト等も安価となり、低コストでエリア光電センサ
を製作できる。
ト状に形成することができ、駆動源としては圧電振動子
のような小型のアクチュエータを使用することができる
ので、エリア光電センサを超小形化することができる。
しかも、構造も簡略であるので、製作コストや組立て調
整コスト等も安価となり、低コストでエリア光電センサ
を製作できる。
さらに、駆動源によって加振部の振幅を変化させれ
ば、弾性変形部における弾性振動の振幅（スキャン部の
回動角）を変化させることができ、容易に光ビームのス
キャン領域ないし検知領域を変化させることもできる。
ば、弾性変形部における弾性振動の振幅（スキャン部の
回動角）を変化させることができ、容易に光ビームのス
キャン領域ないし検知領域を変化させることもできる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を添付図に基づいて詳述す
る。
る。
第１図（ａ）（ｂ）に本発明の一実施例を示す。この
エリア光電センサ１は、薄板状のプレート７と、圧電振
動子や磁歪振動子等の微小振動を発生する小形の駆動源
６と、フォトインタラプタ16とから構成されている。プ
レート７は、長い細幅の弾性変形部２の下端に、駆動源
６から振動を印加させるための加振部５が一体に設けら
れ、弾性変形部２の上端にスキャン部３が一体に設けら
れている。ここで、弾性変形部２は、第１図（ａ）に示
すように軸心Ｐの回りにねじれ変形するねじれ変形モー
ドと、第１図（ｂ）に示すように軸心Ｐに沿って曲げ変
形する曲げ変形モードが可能になっており、ねじれ変形
モードの弾性振動についてはfTの共振周波数を有し、曲
げ変形モードの弾性振動についてはfBの共振周波数を有
している。スキャン部３は、弾性変形部２の軸心Ｐに関
してアンバランスな形状に形成されており、弾性変形部
２の軸心Ｐから離れた部分にウエイト部８が形成されて
いる。したがって、スキャン部３の重心は、弾性変形部
２の軸心Ｐから外れた位置にあり、さらに、弾性変形部
２の上端よりも上方に位置している。また、スキャン部
３の表面には、発光ダイオード（LED）等の発光素子4a
とフォトダイオード等の受光素子15aとレンズ系とから
なるフォトインタラプタ16が取り付けられている。加振
部５は、圧電振動子等の駆動源６に接着もしくは接合さ
れて駆動源６に固定されており、スキャン部３は弾性変
形部２によってフリーに支持されている。
エリア光電センサ１は、薄板状のプレート７と、圧電振
動子や磁歪振動子等の微小振動を発生する小形の駆動源
６と、フォトインタラプタ16とから構成されている。プ
レート７は、長い細幅の弾性変形部２の下端に、駆動源
６から振動を印加させるための加振部５が一体に設けら
れ、弾性変形部２の上端にスキャン部３が一体に設けら
れている。ここで、弾性変形部２は、第１図（ａ）に示
すように軸心Ｐの回りにねじれ変形するねじれ変形モー
ドと、第１図（ｂ）に示すように軸心Ｐに沿って曲げ変
形する曲げ変形モードが可能になっており、ねじれ変形
モードの弾性振動についてはfTの共振周波数を有し、曲
げ変形モードの弾性振動についてはfBの共振周波数を有
している。スキャン部３は、弾性変形部２の軸心Ｐに関
してアンバランスな形状に形成されており、弾性変形部
２の軸心Ｐから離れた部分にウエイト部８が形成されて
いる。したがって、スキャン部３の重心は、弾性変形部
２の軸心Ｐから外れた位置にあり、さらに、弾性変形部
２の上端よりも上方に位置している。また、スキャン部
３の表面には、発光ダイオード（LED）等の発光素子4a
とフォトダイオード等の受光素子15aとレンズ系とから
なるフォトインタラプタ16が取り付けられている。加振
部５は、圧電振動子等の駆動源６に接着もしくは接合さ
れて駆動源６に固定されており、スキャン部３は弾性変
形部２によってフリーに支持されている。
加振部５へ高周波振動（例えば、数100Hz）を加える
圧電振動子等の駆動源６は、駆動回路によって制御され
ており、ねじれ変形モードの共振周波数fT及び曲げ変形
モードの共振周波数fBの振動を励起される。第３図に示
すものは、この駆動回路９の一例であり、ねじれ変形モ
ードの共振周波数fTと一致する周波数の電圧信号を出力
し続けている発振器10と、発振器10から出力されている
電圧信号を増幅する増幅器11と、曲げ変形モードの共振
周波数fBと一致する周波数の電圧信号を出力し続けてい
る発振器12と、この発振器12から出力されている電圧信
号を増幅する増幅器13と、両増幅器11,13から出力され
た周波数fTの電圧信号と周波数fBの電圧信号を重畳させ
て出力するミキシング回路14とから構成されている。
圧電振動子等の駆動源６は、駆動回路によって制御され
ており、ねじれ変形モードの共振周波数fT及び曲げ変形
モードの共振周波数fBの振動を励起される。第３図に示
すものは、この駆動回路９の一例であり、ねじれ変形モ
ードの共振周波数fTと一致する周波数の電圧信号を出力
し続けている発振器10と、発振器10から出力されている
電圧信号を増幅する増幅器11と、曲げ変形モードの共振
周波数fBと一致する周波数の電圧信号を出力し続けてい
る発振器12と、この発振器12から出力されている電圧信
号を増幅する増幅器13と、両増幅器11,13から出力され
た周波数fTの電圧信号と周波数fBの電圧信号を重畳させ
て出力するミキシング回路14とから構成されている。
しかして、本発明に係るエリア光電センサ１は、上述
のように構成されているので、駆動回路９によって駆動
源６を振動させ、この振動を加振部５に印加させて往復
振動させると、スキャン部３に慣性力が作用し、この慣
性力によって弾性変形部２は、慣性力の加わった方向に
弾性変形し振動する。しかも、加振部５に印加される駆
動周波数ｆの成分が、弾性変形部２のばね剛性や慣性モ
ーメントの値、プレート７の形状等から決まるねじれ変
形モードの共振周波数fTまたは曲げ変形モードの共振周
波数fBに一致すると、当該モードの弾性振動が弾性変形
部２で増幅され、スキャン部３が大きな回動角で駆動さ
れる。すなわち、駆動周波数ｆ（成分）とスキャン部３
のねじれ変形モードの回動角θＴまたは曲げ変形モード
の回動角θＢとの関係は、例えば第２図に示すようにな
る。第２図は、２つの共振周波数がfT＜fBの場合におけ
る、駆動源６の駆動周波数ｆとスキャン部３の回動角と
の関係を示しており、横軸が駆動周波数ｆ、縦軸がスキ
ャン部３のねじれ変形モードの回動角θＴまたは曲げ変
形モードの回動角θＢを示している。このようにねじれ
変形モードにおける回動角θＴは、駆動周波数ｆがfTに
等しい時に最大となり、その両側では急激に減衰する。
一方、曲げ変形モードにおける回動角θＢは、駆動周波
数ｆがfBに等しい時に最大となり、その両側で急激に減
衰する。したがって、圧電振動子のように微小振動しか
行えないような駆動源６であっても、各弾性変形モード
の共振周波数と等しい周波数で駆動させることにより、
スキャン部３を大きな角度で回動させることができる。
のように構成されているので、駆動回路９によって駆動
源６を振動させ、この振動を加振部５に印加させて往復
振動させると、スキャン部３に慣性力が作用し、この慣
性力によって弾性変形部２は、慣性力の加わった方向に
弾性変形し振動する。しかも、加振部５に印加される駆
動周波数ｆの成分が、弾性変形部２のばね剛性や慣性モ
ーメントの値、プレート７の形状等から決まるねじれ変
形モードの共振周波数fTまたは曲げ変形モードの共振周
波数fBに一致すると、当該モードの弾性振動が弾性変形
部２で増幅され、スキャン部３が大きな回動角で駆動さ
れる。すなわち、駆動周波数ｆ（成分）とスキャン部３
のねじれ変形モードの回動角θＴまたは曲げ変形モード
の回動角θＢとの関係は、例えば第２図に示すようにな
る。第２図は、２つの共振周波数がfT＜fBの場合におけ
る、駆動源６の駆動周波数ｆとスキャン部３の回動角と
の関係を示しており、横軸が駆動周波数ｆ、縦軸がスキ
ャン部３のねじれ変形モードの回動角θＴまたは曲げ変
形モードの回動角θＢを示している。このようにねじれ
変形モードにおける回動角θＴは、駆動周波数ｆがfTに
等しい時に最大となり、その両側では急激に減衰する。
一方、曲げ変形モードにおける回動角θＢは、駆動周波
数ｆがfBに等しい時に最大となり、その両側で急激に減
衰する。したがって、圧電振動子のように微小振動しか
行えないような駆動源６であっても、各弾性変形モード
の共振周波数と等しい周波数で駆動させることにより、
スキャン部３を大きな角度で回動させることができる。
よって、加振部５に印加される電圧にねじれ変形モー
ドの共振周波数fTが含まれていると、弾性変形部２でね
じれ変形モードの振動が増幅され、スキャン部３は第１
図（ａ）に示すようにθＴの回動角で軸心Ｐの回りに回
動させられる。したがって、発光素子4aから光ビームα
を出射させれば、光ビームαは被検出物17の表面でｘ方
向にスキャンされ、被検出物17の表面で反射された光ビ
ームαは受光素子15aで検出される。
ドの共振周波数fTが含まれていると、弾性変形部２でね
じれ変形モードの振動が増幅され、スキャン部３は第１
図（ａ）に示すようにθＴの回動角で軸心Ｐの回りに回
動させられる。したがって、発光素子4aから光ビームα
を出射させれば、光ビームαは被検出物17の表面でｘ方
向にスキャンされ、被検出物17の表面で反射された光ビ
ームαは受光素子15aで検出される。
また、加振部５に印加される電圧に曲げ変形モードの
共振周波数fBが含まれていると、弾性変形部２で曲げ変
形モードの振動が増幅され、スキャン部３は第１図
（ｂ）に示すようにθＢの回動角で軸心とＰと直交する
方向Ｑの回りに回動させられる。したがって、発光素子
4aから光ビームαが出射されていると、この光ビームα
が被検出物17の表面でＹ方向にスキャンされ、反射され
た光ビームαは受光素子15aで検出される。
共振周波数fBが含まれていると、弾性変形部２で曲げ変
形モードの振動が増幅され、スキャン部３は第１図
（ｂ）に示すようにθＢの回動角で軸心とＰと直交する
方向Ｑの回りに回動させられる。したがって、発光素子
4aから光ビームαが出射されていると、この光ビームα
が被検出物17の表面でＹ方向にスキャンされ、反射され
た光ビームαは受光素子15aで検出される。
従って、駆動源６により、ねじれ変形モードの共振周
波数fTをもつ振動と曲げ変形モードの共振周波数fBをも
つ振動とを重ね合わせた振動モードで加振部５を振動さ
せると、弾性変形部２でねじれ変形モードと曲げ変形モ
ードの両振動が増幅され、スキャン部３では軸心Ｐ回り
の回動角θＴの振動とＱ方向の回りの回転角θＢの振動
とが合成され、発光素子4aから出射された光ビームαは
被検出物17の表面の２次元領域をスキャンされ、受光素
子15aによって被検出物17の２次元領域の様子が検出さ
れる。
波数fTをもつ振動と曲げ変形モードの共振周波数fBをも
つ振動とを重ね合わせた振動モードで加振部５を振動さ
せると、弾性変形部２でねじれ変形モードと曲げ変形モ
ードの両振動が増幅され、スキャン部３では軸心Ｐ回り
の回動角θＴの振動とＱ方向の回りの回転角θＢの振動
とが合成され、発光素子4aから出射された光ビームαは
被検出物17の表面の２次元領域をスキャンされ、受光素
子15aによって被検出物17の２次元領域の様子が検出さ
れる。
また、駆動源６に印加する電圧を調整することにより
加振部５の振幅を変化させると、スキャン部３の回動角
θＴもしくはθＢを制御させることができる。すなわ
ち、第２図の破線で示した曲線は、実線で示した曲線よ
りも大きな振幅で加振部５を振動させた場合であり、加
振部５の振幅が大きくなると、スキャン部３の回動角θ
T,θＢも増大する。
加振部５の振幅を変化させると、スキャン部３の回動角
θＴもしくはθＢを制御させることができる。すなわ
ち、第２図の破線で示した曲線は、実線で示した曲線よ
りも大きな振幅で加振部５を振動させた場合であり、加
振部５の振幅が大きくなると、スキャン部３の回動角θ
T,θＢも増大する。
第４図（ａ）（ｂ）の示すものは本発明の別な実施例
であって、プレート７のスキャン部３の表面には発光ダ
イオード（LED）や半導体レーザ等の発光素子4bが取り
付けられており、プレート７の基部、例えば加振部５に
は多分割の受光素子15bが取り付けられている。この実
施例では、発光素子4bから光ビームαを出射させながら
スキャン部３を駆動することにより、被検出物17の表面
に光ビームαを２次元的にスキャンさせることができ、
被検出部17で反射された光ビームαを受光素子15bで検
出させ、２次元のエリア測定を可能にしている。この実
施例では、スキャン部３には、受光素子15bのみを実装
されているので、スキャン部３の重量負荷が軽減され、
スキャン部３の高速動作が可能になる。
であって、プレート７のスキャン部３の表面には発光ダ
イオード（LED）や半導体レーザ等の発光素子4bが取り
付けられており、プレート７の基部、例えば加振部５に
は多分割の受光素子15bが取り付けられている。この実
施例では、発光素子4bから光ビームαを出射させながら
スキャン部３を駆動することにより、被検出物17の表面
に光ビームαを２次元的にスキャンさせることができ、
被検出部17で反射された光ビームαを受光素子15bで検
出させ、２次元のエリア測定を可能にしている。この実
施例では、スキャン部３には、受光素子15bのみを実装
されているので、スキャン部３の重量負荷が軽減され、
スキャン部３の高速動作が可能になる。
なお、本発明の光走査装置は、上記実施例に限定され
るものでなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲にお
いて種々の設計変更が可能である。例えば、駆動源とし
ては、圧電振動子や磁歪振動子等以外にも、高速で微小
振動可能なアクチュエータであればよく、例えば静電力
を用いて微小振動を発生させるアクチュエータを用いて
もよい。また、図示したプレートの形状は一例であっ
て、２種以上の弾性変形モードを得ることができる形状
であれば図示の形状に限らない。
るものでなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲にお
いて種々の設計変更が可能である。例えば、駆動源とし
ては、圧電振動子や磁歪振動子等以外にも、高速で微小
振動可能なアクチュエータであればよく、例えば静電力
を用いて微小振動を発生させるアクチュエータを用いて
もよい。また、図示したプレートの形状は一例であっ
て、２種以上の弾性変形モードを得ることができる形状
であれば図示の形状に限らない。
［発明の効果］ 本発明によれば、新規な原理による光走査装置を提供
することができる。すなわち、圧電振動子のような駆動
源の振動を弾性変形部によってスキャン部におけるねじ
れ方向と曲げ方向との回動運動に変換させることがで
き、スキャン部の発光素子から光ビームを出射させてい
れば、被検出物の表面等の２次元の領域で光ビームをス
キャニングさせることができる。そして、被検出物で反
射された光ビームを受光素子で受光することにより被検
出物の２次元領域の様子を検知できる。
することができる。すなわち、圧電振動子のような駆動
源の振動を弾性変形部によってスキャン部におけるねじ
れ方向と曲げ方向との回動運動に変換させることがで
き、スキャン部の発光素子から光ビームを出射させてい
れば、被検出物の表面等の２次元の領域で光ビームをス
キャニングさせることができる。そして、被検出物で反
射された光ビームを受光素子で受光することにより被検
出物の２次元領域の様子を検知できる。
しかも、本発明によれば、光走査装置の構造が簡素化
され、光走査装置を超小形化することができ、かつ、安
価に製作できる。
され、光走査装置を超小形化することができ、かつ、安
価に製作できる。
さらに、加振部の振幅を調整することにより、スキャ
ン部の各スキャン角を変化させることができ、１台の光
走査装置によって光ビームを任意の面積の領域で走査さ
せることができる。
ン部の各スキャン角を変化させることができ、１台の光
走査装置によって光ビームを任意の面積の領域で走査さ
せることができる。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明の一実施例であって、第１
図（ａ）はそのねじれ変形モードを示す斜視図、第１図
（ｂ）はその曲げ変形モードを示す斜視図、第２図は駆
動周波数とスキャン部の回動角との関係を示す図、第３
図は同上の駆動源を駆動させるための駆動回路を示すブ
ロック図、第４図（ａ）（ｂ）は本発明の他例であっ
て、第４図（ａ）はそのねじれ変形モードを示す斜視
図、第４図（ｂ）はその曲げ変形モードを示す斜視図、
第５図は従来例の概略斜視図、第６図は別な従来例の概
略図である。 ２……弾性変形部 ３……スキャン部 4a,4b……発光素子 ５……加振部 ６……駆動源 15a,15b……受光素子
図（ａ）はそのねじれ変形モードを示す斜視図、第１図
（ｂ）はその曲げ変形モードを示す斜視図、第２図は駆
動周波数とスキャン部の回動角との関係を示す図、第３
図は同上の駆動源を駆動させるための駆動回路を示すブ
ロック図、第４図（ａ）（ｂ）は本発明の他例であっ
て、第４図（ａ）はそのねじれ変形モードを示す斜視
図、第４図（ｂ）はその曲げ変形モードを示す斜視図、
第５図は従来例の概略斜視図、第６図は別な従来例の概
略図である。 ２……弾性変形部 ３……スキャン部 4a,4b……発光素子 ５……加振部 ６……駆動源 15a,15b……受光素子
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 26/10 G01J 1/04 H01L 31/12
Claims (1)
- 【請求項１】ねじれ変形モードと曲げ変形モードの２つ
の弾性変形モードを有する弾性変形部と、 弾性変形部の一端に設けられた加振部と、 前記弾性変形部の各弾性変形モードに対する共振周波数
の振動を加振部に付与するための駆動源と、 弾性変形部の他端に設けられ、加振部に振動が印加され
たときに少なくともいずれかの弾性変形モードで弾性変
形部を弾性振動させるように配置され、弾性変形部の弾
性振動によってねじれ方向と曲げ方向とに回動できるで
きるようになったスキャン部と、 スキャン部に設けられた発光素子と、 発光素子から出射され被検出物で出射され被検出物で反
射された反射光を検出する受光素子とからなることを特
徴とするエリア光電センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26468590A JP2995835B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | エリア光電センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26468590A JP2995835B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | エリア光電センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04140707A JPH04140707A (ja) | 1992-05-14 |
| JP2995835B2 true JP2995835B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=17406775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26468590A Expired - Lifetime JP2995835B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | エリア光電センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995835B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7182262B2 (en) * | 2003-03-13 | 2007-02-27 | Symbol Technologies, Inc. | Inertial drive scanning arrangement and method |
| KR100686081B1 (ko) * | 2006-02-14 | 2007-02-26 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로 미러 소자 및 이를 이용한 디스플레이 |
| JP2009151326A (ja) * | 2009-02-13 | 2009-07-09 | Sony Corp | 光スキャニング装置 |
| JP2013124968A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ihi Aerospace Co Ltd | 自動測距装置 |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP26468590A patent/JP2995835B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04140707A (ja) | 1992-05-14 |
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Legal Events
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