JP3246106B2 - 光スキャナ - Google Patents
光スキャナInfo
- Publication number
- JP3246106B2 JP3246106B2 JP20950893A JP20950893A JP3246106B2 JP 3246106 B2 JP3246106 B2 JP 3246106B2 JP 20950893 A JP20950893 A JP 20950893A JP 20950893 A JP20950893 A JP 20950893A JP 3246106 B2 JP3246106 B2 JP 3246106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical scanner
- mirror
- excited
- bending
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バーコードリーダ、レ
ーザレーダ等の光学読み取り装置などに適用される光ス
キャナに関する。
ーザレーダ等の光学読み取り装置などに適用される光ス
キャナに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
バーコードは、スーパーマーケット等のＰＯＳ分野、物
流分野などさまざまな分野で幅広く利用されている。ま
た、バーコードも小型のものから大型のものまでさまざ
まなものが使用されている。これらのバーコードを読み
取る装置では、従来よりポリゴンミラーやガルバノミラ
ーで走査した光ビームをバーコードに照射し、散乱され
た光を受光素子で電気信号に変換してバーコードを読み
取る構成が多く採用されている。
バーコードは、スーパーマーケット等のＰＯＳ分野、物
流分野などさまざまな分野で幅広く利用されている。ま
た、バーコードも小型のものから大型のものまでさまざ
まなものが使用されている。これらのバーコードを読み
取る装置では、従来よりポリゴンミラーやガルバノミラ
ーで走査した光ビームをバーコードに照射し、散乱され
た光を受光素子で電気信号に変換してバーコードを読み
取る構成が多く採用されている。
【０００３】このような装置に対し、近年、装置の低価
格化、小型化が要求されている。しかし、ポリゴンミラ
ーやガルバノミラーはいずれもモータ等の駆動機構を必
要としており、装置の低価格化を狙った単純化や小型化
には限界があった。これに対し、単純化、小型化を目指
した光走査機構として、振動子を１個の積層型圧電素子
で共振させるものが提案されている（例えば、特開平４
−９５９１６号公報）。しかし、この機構は不釣合い構
造に加速度を作用させることにより得られる慣性力を利
用して加振力を得るものであるため、加速度が外乱とし
て加わった場合に走査軌跡が変動してしまうという欠点
があり、手持ち型のバーコードリーダでの使用は困難と
考えられた。
格化、小型化が要求されている。しかし、ポリゴンミラ
ーやガルバノミラーはいずれもモータ等の駆動機構を必
要としており、装置の低価格化を狙った単純化や小型化
には限界があった。これに対し、単純化、小型化を目指
した光走査機構として、振動子を１個の積層型圧電素子
で共振させるものが提案されている（例えば、特開平４
−９５９１６号公報）。しかし、この機構は不釣合い構
造に加速度を作用させることにより得られる慣性力を利
用して加振力を得るものであるため、加速度が外乱とし
て加わった場合に走査軌跡が変動してしまうという欠点
があり、手持ち型のバーコードリーダでの使用は困難と
考えられた。
【０００４】また、他の機構としては、音叉の振動を利
用するものが提案されているが（例えば、特開昭６３−
１１３５１７号公報）、音叉の振幅は非常に小さいこと
が考えられ、この機構ではビームの走査角が十分に得ら
れないと考えられた。これら以外の機構として、水晶の
ねじり振動子を電磁力で加振する機構が提案されている
が、振動子の外側に磁界を得るための磁石を必要とする
ため、小型化には限界があった。
用するものが提案されているが（例えば、特開昭６３−
１１３５１７号公報）、音叉の振幅は非常に小さいこと
が考えられ、この機構ではビームの走査角が十分に得ら
れないと考えられた。これら以外の機構として、水晶の
ねじり振動子を電磁力で加振する機構が提案されている
が、振動子の外側に磁界を得るための磁石を必要とする
ため、小型化には限界があった。
【０００５】一方、最近では、２次元バーコード等の読
み取りのため、２次元光走査の可能な装置も提案されて
いる。例えば、２個の振動モードを持つ振動子を１個の
積層圧電アクチュエータで共振させる機構（特開平４−
１４０７０６号公報）や、３個のバイモルフを共振さ
せ、それらの位相差を利用する機構（特公表平４−５０
５９６９号公報）が提案されている。しかし、前者は不
釣合いを利用して２個の振動モードを得ているため、お
のおののモードで１次元光走査を行った場合に走査パタ
ーンの直線性が悪いという欠点を持っていた。また、後
者は１個のミラーをゴムのベアリングを利用して３個の
バイモルフに連結しているため構造的に弱く、かつ、バ
イモルフそのものの共振を利用しているため走査角を大
きくとるとバイモルフが脆性破壊してしまうため、大き
な走査角がとれないという問題点があった。
み取りのため、２次元光走査の可能な装置も提案されて
いる。例えば、２個の振動モードを持つ振動子を１個の
積層圧電アクチュエータで共振させる機構（特開平４−
１４０７０６号公報）や、３個のバイモルフを共振さ
せ、それらの位相差を利用する機構（特公表平４−５０
５９６９号公報）が提案されている。しかし、前者は不
釣合いを利用して２個の振動モードを得ているため、お
のおののモードで１次元光走査を行った場合に走査パタ
ーンの直線性が悪いという欠点を持っていた。また、後
者は１個のミラーをゴムのベアリングを利用して３個の
バイモルフに連結しているため構造的に弱く、かつ、バ
イモルフそのものの共振を利用しているため走査角を大
きくとるとバイモルフが脆性破壊してしまうため、大き
な走査角がとれないという問題点があった。
【０００６】そこで、本発明は、走査パターンの直線性
を確保することができ、かつ大きな走査角で光走査を行
うことも可能で、小型化にも適する光スキャナを提供す
ることを目的とする。
を確保することができ、かつ大きな走査角で光走査を行
うことも可能で、小型化にも適する光スキャナを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の光スキ
ャナは、請求項１に記載した様に、光源から照射される
光をミラー部で反射して被検出体に照射し、該ミラー部
を振動させることによって被検出体の所定方向に光を走
査する光スキャナにおいて、片持ち梁状に各一端を固定
端として併設された２個の曲げ運動を行う駆動源と、該
２個の駆動源の自由端側同士を連結する連結部材と、該
連結部材の中央部から延出されたねじり変形部材と、該
ねじり変形部材に設けられたミラー部とを備え、該ミラ
ー部の重心がねじり変形部材のねじり中心軸上に位置せ
しめられていることを特徴とする。
ャナは、請求項１に記載した様に、光源から照射される
光をミラー部で反射して被検出体に照射し、該ミラー部
を振動させることによって被検出体の所定方向に光を走
査する光スキャナにおいて、片持ち梁状に各一端を固定
端として併設された２個の曲げ運動を行う駆動源と、該
２個の駆動源の自由端側同士を連結する連結部材と、該
連結部材の中央部から延出されたねじり変形部材と、該
ねじり変形部材に設けられたミラー部とを備え、該ミラ
ー部の重心がねじり変形部材のねじり中心軸上に位置せ
しめられていることを特徴とする。
【０００８】この光スキャナによれば、２個の曲げ駆動
源を併設し、しかもミラー部は駆動源間を連結する連結
部材の中央部から延出されたねじり変形部材に設けら
れ、かつミラー部の重心がねじり変形部材のねじり中心
軸上に位置せしめられているので、振動系全体が構造的
にバランスしており、外乱の影響を受け難い。また、曲
げ駆動源が２個あるので、これらを逆位相で振動させれ
ばねじり変形部材にねじり変形を生じさせることがで
き、振動系全体が構造的にバランスしているにもかかわ
らず、ミラー部に大きな振動を発生させることも可能と
なっている。
源を併設し、しかもミラー部は駆動源間を連結する連結
部材の中央部から延出されたねじり変形部材に設けら
れ、かつミラー部の重心がねじり変形部材のねじり中心
軸上に位置せしめられているので、振動系全体が構造的
にバランスしており、外乱の影響を受け難い。また、曲
げ駆動源が２個あるので、これらを逆位相で振動させれ
ばねじり変形部材にねじり変形を生じさせることがで
き、振動系全体が構造的にバランスしているにもかかわ
らず、ミラー部に大きな振動を発生させることも可能と
なっている。
【０００９】また、請求項２に記載した様に、この請求
項１記載の光スキャナにおいて、前記ねじり変形部材の
延出された先端側が自由端とされ、ねじり変形部材が曲
げ変形部材としても機能するよう構成すれば、曲げ駆動
源を同位相に振動させることでミラー部を系全体の曲げ
方向に振動させることもできる。
項１記載の光スキャナにおいて、前記ねじり変形部材の
延出された先端側が自由端とされ、ねじり変形部材が曲
げ変形部材としても機能するよう構成すれば、曲げ駆動
源を同位相に振動させることでミラー部を系全体の曲げ
方向に振動させることもできる。
【００１０】さらに、請求項３に記載した様に、請求項
１記載の光スキャナにおいて、前記ねじり変形部材の延
出された先端側が固定端とすれば、ミラー部のねじり振
動の直線性が一層良好となる。これら振動子は、さらに
以下の様に構成することにより、走査角の大きくとれる
光スキャナとなる。
１記載の光スキャナにおいて、前記ねじり変形部材の延
出された先端側が固定端とすれば、ミラー部のねじり振
動の直線性が一層良好となる。これら振動子は、さらに
以下の様に構成することにより、走査角の大きくとれる
光スキャナとなる。
【００１１】曲げ振動の走査角を大きくとるには、請求
項４に記載した様に、請求項２記載の光スキャナにおい
て、前記駆動源を振動させる励振手段として、ミラー部
を中心とした曲げ振動系の曲げ振動に対する共振周波数
に対応する振動数で前記２個の駆動源を同位相に励振す
るとよい。駆動源を同位相にだけ励振すると、振動系全
体は曲げ振動を起こす。そして、ミラー部を中心とした
曲げ振動系が曲げ振動に共振する結果、ミラー部を曲げ
方向に大きく振動させる。この結果、ミラー部の走査角
を大きくとることができる。
項４に記載した様に、請求項２記載の光スキャナにおい
て、前記駆動源を振動させる励振手段として、ミラー部
を中心とした曲げ振動系の曲げ振動に対する共振周波数
に対応する振動数で前記２個の駆動源を同位相に励振す
るとよい。駆動源を同位相にだけ励振すると、振動系全
体は曲げ振動を起こす。そして、ミラー部を中心とした
曲げ振動系が曲げ振動に共振する結果、ミラー部を曲げ
方向に大きく振動させる。この結果、ミラー部の走査角
を大きくとることができる。
【００１２】また、ねじり振動の走査角を大きくとるに
は、請求項５に記載した様に、請求項２または請求項３
記載の光スキャナにおいて、前記駆動源を振動させる励
振手段として、ミラー部を中心としたねじり振動系のね
じり振動に対する共振周波数に対応する振動数で前記２
個の駆動源を逆位相に励振するとよい。曲げ駆動源を逆
位相にだけ励振すると、振動系全体はねじり振動を起こ
す。そして、ミラー部を中心としたねじり振動系がねじ
り振動に共振する結果、ミラー部をねじり方向に大きく
振動させる。この結果、ミラー部の走査角を大きくとる
ことができる。
は、請求項５に記載した様に、請求項２または請求項３
記載の光スキャナにおいて、前記駆動源を振動させる励
振手段として、ミラー部を中心としたねじり振動系のね
じり振動に対する共振周波数に対応する振動数で前記２
個の駆動源を逆位相に励振するとよい。曲げ駆動源を逆
位相にだけ励振すると、振動系全体はねじり振動を起こ
す。そして、ミラー部を中心としたねじり振動系がねじ
り振動に共振する結果、ミラー部をねじり方向に大きく
振動させる。この結果、ミラー部の走査角を大きくとる
ことができる。
【００１３】さらに、請求項６に記載した様に、請求項
２記載の光スキャナにおいて、前記駆動源を振動させる
励振手段として、ミラー部を中心とした曲げ振動系の曲
げ振動に対する共振周波数に対応する振動数で前記２個
の駆動源を同位相に励振するモードと、ミラー部を中心
としたねじり振動系のねじり振動に対する共振周波数に
対応する振動数で前記２個の駆動源を逆位相に励振する
モードとを重畳して作用させることとすれば、曲げ振動
とねじり振動とが重畳されて２次元光走査が可能とな
る。
２記載の光スキャナにおいて、前記駆動源を振動させる
励振手段として、ミラー部を中心とした曲げ振動系の曲
げ振動に対する共振周波数に対応する振動数で前記２個
の駆動源を同位相に励振するモードと、ミラー部を中心
としたねじり振動系のねじり振動に対する共振周波数に
対応する振動数で前記２個の駆動源を逆位相に励振する
モードとを重畳して作用させることとすれば、曲げ振動
とねじり振動とが重畳されて２次元光走査が可能とな
る。
【００１４】なお、請求項７に記載した様に、これら請
求項１〜請求項６のいずれか記載の光スキャナにおい
て、弾性材料からなる板材から、幅広の固定端部と、該
固定端部から平行に伸ばされた駆動源形成部と、該駆動
源形成部間を連結する連結部と、該連結部の中央部から
延出されたねじれ変形部と、該ねじれ変形部の所定位置
に設けられたミラー接着部とからなる一体の基体を形成
し、該基体の駆動源形成部に駆動素子を接着することで
前記駆動源を構成し、ミラー接着部にミラーを接着する
ことで前記ミラー部を構成し、連結部にて前記連結部材
を構成し、ねじれ変形部にて前記ねじれ変形部材を構成
することにより、振動系の全体を一体構造とするなら
ば、構造的に強度があり、また、単純な構造なので全体
寸法を小さくすることが可能となる。
求項１〜請求項６のいずれか記載の光スキャナにおい
て、弾性材料からなる板材から、幅広の固定端部と、該
固定端部から平行に伸ばされた駆動源形成部と、該駆動
源形成部間を連結する連結部と、該連結部の中央部から
延出されたねじれ変形部と、該ねじれ変形部の所定位置
に設けられたミラー接着部とからなる一体の基体を形成
し、該基体の駆動源形成部に駆動素子を接着することで
前記駆動源を構成し、ミラー接着部にミラーを接着する
ことで前記ミラー部を構成し、連結部にて前記連結部材
を構成し、ねじれ変形部にて前記ねじれ変形部材を構成
することにより、振動系の全体を一体構造とするなら
ば、構造的に強度があり、また、単純な構造なので全体
寸法を小さくすることが可能となる。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の好適な実施例を説明する。第
１実施例としての光スキャナ１は、図１に示すように、
基体２に片持ち梁状に各一端を固定端として併設された
２個の圧電バイモルフ３，３と、この２個の圧電バイモ
ルフ３，３の自由端側同士を連結する連結部材４と、連
結部材４の中央部から上方に延出されたねじり変形部材
５と、ねじり変形部材５の先端に設けられたミラー部６
とを備えている。
１実施例としての光スキャナ１は、図１に示すように、
基体２に片持ち梁状に各一端を固定端として併設された
２個の圧電バイモルフ３，３と、この２個の圧電バイモ
ルフ３，３の自由端側同士を連結する連結部材４と、連
結部材４の中央部から上方に延出されたねじり変形部材
５と、ねじり変形部材５の先端に設けられたミラー部６
とを備えている。
【００１６】光スキャナ１は、次のようにして製作され
る。まず、一枚の弾性材料（例えばベリリウム銅，リン
青銅など）に、機械加工またはエッチング等を施して、
図２に示すような形状の基体２を作成する。そして、こ
の基体２の一部として形成されたミラー接着部２ａに、
高反射コーティング（Ａｌ蒸着，Ａｕ蒸着など）が施さ
れたミラーを接着してミラー部６を構成する。また、２
つの中位の帯板部２ｂ，２ｂのそれぞれの両面に、圧電
素子を分極方向を考慮して接着することにより、圧電バ
イモルフ３，３を構成する。一方、連結部材４及びねじ
り変形部材５は、この基体２の上部の細い帯板部２ｃ，
２ｄがそのままこれらを兼ねることによって構成され
る。なお、基体２の下端は幅広部２ｅとなっており、圧
電バイモルフ３，３を片持ち梁とみたときの固定端とし
て機能する。以下、幅広部２ｅのことを固定端２ｅとも
称する。
る。まず、一枚の弾性材料（例えばベリリウム銅，リン
青銅など）に、機械加工またはエッチング等を施して、
図２に示すような形状の基体２を作成する。そして、こ
の基体２の一部として形成されたミラー接着部２ａに、
高反射コーティング（Ａｌ蒸着，Ａｕ蒸着など）が施さ
れたミラーを接着してミラー部６を構成する。また、２
つの中位の帯板部２ｂ，２ｂのそれぞれの両面に、圧電
素子を分極方向を考慮して接着することにより、圧電バ
イモルフ３，３を構成する。一方、連結部材４及びねじ
り変形部材５は、この基体２の上部の細い帯板部２ｃ，
２ｄがそのままこれらを兼ねることによって構成され
る。なお、基体２の下端は幅広部２ｅとなっており、圧
電バイモルフ３，３を片持ち梁とみたときの固定端とし
て機能する。以下、幅広部２ｅのことを固定端２ｅとも
称する。
【００１７】この様に、第１実施例の光スキャナ１は、
弾性材料から形成された基体２に、ミラーや圧電素子を
接着することににより全体を構成しているため、一体構
造といえる。従って、構造的に強度があり、また、単純
な構造なので、本構造を作成するための加工方法の限界
まで全体寸法を小さくすることが可能である。また、本
実施例では、基体２を導電性材料で製作することによ
り、固定端２ｅは、圧電バイモルフ３，３の共通電極と
しての機能も兼ねることができ、図３の様に配線をする
ことができる。
弾性材料から形成された基体２に、ミラーや圧電素子を
接着することににより全体を構成しているため、一体構
造といえる。従って、構造的に強度があり、また、単純
な構造なので、本構造を作成するための加工方法の限界
まで全体寸法を小さくすることが可能である。また、本
実施例では、基体２を導電性材料で製作することによ
り、固定端２ｅは、圧電バイモルフ３，３の共通電極と
しての機能も兼ねることができ、図３の様に配線をする
ことができる。
【００１８】なお、ミラー部６は、ミラー接着部２ａを
鏡面仕上げして高反射コーティングを施すことによって
も製作可能である。また、基体２についても、弾性材料
ならばよく、Ｓｉ、水晶、樹脂などあらゆるものが利用
可能である。次に、第１実施例の光スキャナ１の作用に
ついて説明する。
鏡面仕上げして高反射コーティングを施すことによって
も製作可能である。また、基体２についても、弾性材料
ならばよく、Ｓｉ、水晶、樹脂などあらゆるものが利用
可能である。次に、第１実施例の光スキャナ１の作用に
ついて説明する。
【００１９】第１実施例の光スキャナ１は、バネ−質量
系の振動体を構成している。そして、ねじり変形部材５
は、一端を自由端としているので、ねじり変形方向だけ
でなく曲げ方向にも変形が可能である。従って、第１実
施例の光スキャナ１においては、ミラー部６は図４の
（ａ），（ｂ）の様な、曲げ及びねじりの２自由度の振
動が可能である。特に、光スキャナ１を固定端２ｅで支
持し、圧電バイモルフ３，３を曲げ振動させると、ミラ
ー部６には慣性力が作用し大きな角度で振動する。
系の振動体を構成している。そして、ねじり変形部材５
は、一端を自由端としているので、ねじり変形方向だけ
でなく曲げ方向にも変形が可能である。従って、第１実
施例の光スキャナ１においては、ミラー部６は図４の
（ａ），（ｂ）の様な、曲げ及びねじりの２自由度の振
動が可能である。特に、光スキャナ１を固定端２ｅで支
持し、圧電バイモルフ３，３を曲げ振動させると、ミラ
ー部６には慣性力が作用し大きな角度で振動する。
【００２０】このとき、圧電バイモルフ３，３に、図５
（ａ）に示す様に、同位相で、かつミラー部６の曲げ方
向の共振周波数に対応する周波数の正弦波信号をそれぞ
れ印加すると、２個の圧電バイモルフ３，３は同位相に
振動し、その結果、ミラー部６は曲げ方向に加振され、
図４（ａ）の様に、曲げ方向に共振する。また、圧電バ
イモルフ３，３に、図５（ｂ）に示す様に、逆位相で、
ミラー部６のねじり方向の共振周波数に対応する周波数
の正弦波信号をそれぞれ印加すると、２個の圧電バイモ
ルフ３，３は逆位相に振動し、その結果、ミラー部６は
ねじり方向に加振され、図４（ｂ）の様にねじり方向に
共振する。上記の図５（ａ），（ｂ）の正弦波信号を加
算すると、図５（ｃ）の様な信号が得られる。この信号
をそれぞれの圧電バイモルフ３，３に印加すると、ミラ
ー部６は曲げ方向の共振とねじり方向の共振が合成され
た運動をする。なお、曲げ方向及びねじり方向の振幅は
それぞれの駆動信号の電圧により制御することができ
る。
（ａ）に示す様に、同位相で、かつミラー部６の曲げ方
向の共振周波数に対応する周波数の正弦波信号をそれぞ
れ印加すると、２個の圧電バイモルフ３，３は同位相に
振動し、その結果、ミラー部６は曲げ方向に加振され、
図４（ａ）の様に、曲げ方向に共振する。また、圧電バ
イモルフ３，３に、図５（ｂ）に示す様に、逆位相で、
ミラー部６のねじり方向の共振周波数に対応する周波数
の正弦波信号をそれぞれ印加すると、２個の圧電バイモ
ルフ３，３は逆位相に振動し、その結果、ミラー部６は
ねじり方向に加振され、図４（ｂ）の様にねじり方向に
共振する。上記の図５（ａ），（ｂ）の正弦波信号を加
算すると、図５（ｃ）の様な信号が得られる。この信号
をそれぞれの圧電バイモルフ３，３に印加すると、ミラ
ー部６は曲げ方向の共振とねじり方向の共振が合成され
た運動をする。なお、曲げ方向及びねじり方向の振幅は
それぞれの駆動信号の電圧により制御することができ
る。
【００２１】第１実施例の光スキャナ１は、そのミラー
部６にレーザ光を照射し、上記の振動をさせることによ
り、１次元及び２次元の光走査を行うことができる。圧
電バイモルフ３，３の一方に曲げ方向の共振周波数に対
応する駆動信号を印加し、もう一方にねじり方向の共振
周波数に対応する駆動信号を印加しても同様の動作を得
ることができる。
部６にレーザ光を照射し、上記の振動をさせることによ
り、１次元及び２次元の光走査を行うことができる。圧
電バイモルフ３，３の一方に曲げ方向の共振周波数に対
応する駆動信号を印加し、もう一方にねじり方向の共振
周波数に対応する駆動信号を印加しても同様の動作を得
ることができる。
【００２２】次に、実施例の光スキャナ１をバーコード
リーダ１０に応用した応用例を図６に示す。バーコード
リーダ１０は、レーザ駆動回路１１により駆動されるレ
ーザダイオード１２から発生したレーザ光を、光スキャ
ナ１のミラー部６に反射させて走査し、バーコード１３
上に照射する。散乱された光を集光レンズ１４で集光し
た後、受光素子１５により電気信号に変換する。そし
て、得られた電気信号を２値化回路１６に入力して２値
信号に変換し、デコード回路１７により信号処理を行う
ことにより、バーコードの読み取りを行う。
リーダ１０に応用した応用例を図６に示す。バーコード
リーダ１０は、レーザ駆動回路１１により駆動されるレ
ーザダイオード１２から発生したレーザ光を、光スキャ
ナ１のミラー部６に反射させて走査し、バーコード１３
上に照射する。散乱された光を集光レンズ１４で集光し
た後、受光素子１５により電気信号に変換する。そし
て、得られた電気信号を２値化回路１６に入力して２値
信号に変換し、デコード回路１７により信号処理を行う
ことにより、バーコードの読み取りを行う。
【００２３】光スキャナ１は、駆動回路２１，２２、位
相反転回路２３、増幅回路２４，２５により駆動され
る。駆動回路２１は、光スキャナ１のミラー部６を中心
としたねじり振動系のねじり振動の共振周波数に等しい
周波数の正弦波信号を発生する。その信号は、２分さ
れ、一方が位相反転回路２３に入力されて位相を反転さ
れる。そして、それぞれを、増幅回路２４，２５で増幅
した後、圧電バイモルフ３，３に印加する。すると、２
個の圧電バイモルフ３，３は逆位相で振動する。この振
動は、光スキャナ１のミラー部６をねじり振動させる方
向に加振力として作用し、その結果、ミラー部６はねじ
り共振する。
相反転回路２３、増幅回路２４，２５により駆動され
る。駆動回路２１は、光スキャナ１のミラー部６を中心
としたねじり振動系のねじり振動の共振周波数に等しい
周波数の正弦波信号を発生する。その信号は、２分さ
れ、一方が位相反転回路２３に入力されて位相を反転さ
れる。そして、それぞれを、増幅回路２４，２５で増幅
した後、圧電バイモルフ３，３に印加する。すると、２
個の圧電バイモルフ３，３は逆位相で振動する。この振
動は、光スキャナ１のミラー部６をねじり振動させる方
向に加振力として作用し、その結果、ミラー部６はねじ
り共振する。
【００２４】駆動回路２２は、光スキャナ１のミラー部
６を中心とした曲げ振動系の曲げ振動の共振周波数に等
しい周波数の正弦波信号を発生する。この信号は、２分
され、それぞれ増幅回路２４，２５で増幅した後、圧電
バイモルフ３，３に印加される。この結果、２個の圧電
バイモルフ３，３は同位相で振動する。この振動は、光
スキャナ１のミラー部６を曲げ振動させる方向に加振力
として作用し、その結果、ミラー部６は曲げ共振する。
６を中心とした曲げ振動系の曲げ振動の共振周波数に等
しい周波数の正弦波信号を発生する。この信号は、２分
され、それぞれ増幅回路２４，２５で増幅した後、圧電
バイモルフ３，３に印加される。この結果、２個の圧電
バイモルフ３，３は同位相で振動する。この振動は、光
スキャナ１のミラー部６を曲げ振動させる方向に加振力
として作用し、その結果、ミラー部６は曲げ共振する。
【００２５】従って、ミラー部６は、駆動回路２１を作
動させることによりねじり共振をし、駆動回路２２を作
動させることにより曲げ共振をする。このときの光走査
は、それぞれ１次元走査となる。駆動回路２１，２２を
同時に作動させることにより、ミラー部６はねじり共振
と曲げ共振が合成された運動をし、この時の光走査は２
次元走査となる。
動させることによりねじり共振をし、駆動回路２２を作
動させることにより曲げ共振をする。このときの光走査
は、それぞれ１次元走査となる。駆動回路２１，２２を
同時に作動させることにより、ミラー部６はねじり共振
と曲げ共振が合成された運動をし、この時の光走査は２
次元走査となる。
【００２６】ねじり振動と曲げ振動の共振周波数を、そ
れぞれωt ，ωb とする。このωt，ωb の比が１対２
以上となるように光スキャナ１を設計すると、光スキャ
ナ１による光走査軌跡は、図７に示すようになる。ωt
，ωb の周波数比を大きくすることにより、曲げ振動
の１周期の間のねじり振動の回数が多くなる。このた
め、走査軌跡はラスタ走査となり、走査範囲内の２次元
的な画像情報が得られる。これは、絵・文字の読み取
り、２次元バーコードの読み取り等に利用できる。
れぞれωt ，ωb とする。このωt，ωb の比が１対２
以上となるように光スキャナ１を設計すると、光スキャ
ナ１による光走査軌跡は、図７に示すようになる。ωt
，ωb の周波数比を大きくすることにより、曲げ振動
の１周期の間のねじり振動の回数が多くなる。このた
め、走査軌跡はラスタ走査となり、走査範囲内の２次元
的な画像情報が得られる。これは、絵・文字の読み取
り、２次元バーコードの読み取り等に利用できる。
【００２７】ωt ，ωb の比が１対２以下となるように
光スキャナ１を設計すると、光スキャナ１は図８に示す
ような走査軌跡を描く。このとき、周波数比を１に近づ
けることにより、１周期ごとに少しずつずれた軌道を描
くマルチ走査となり、バーコードの全方向読み取りが可
能となる。
光スキャナ１を設計すると、光スキャナ１は図８に示す
ような走査軌跡を描く。このとき、周波数比を１に近づ
けることにより、１周期ごとに少しずつずれた軌道を描
くマルチ走査となり、バーコードの全方向読み取りが可
能となる。
【００２８】次に、第２実施例について説明する。第２
実施例は、１次元光走査用の光スキャナ３１である。こ
の光スキャナ３１は、図９に示すように、固定端３２に
片持ち梁状に各一端を固定端として併設された２個の圧
電バイモルフ３３，３３と、この２個の圧電バイモルフ
３３，３３の自由端側同士を連結する連結部材３４と、
連結部材３４の中央部から下方に延出されると共に固定
端３２に固定されたねじり変形部材３５と、ねじり変形
部材３５の中程に設けられたミラー部３６とを備えてい
る。
実施例は、１次元光走査用の光スキャナ３１である。こ
の光スキャナ３１は、図９に示すように、固定端３２に
片持ち梁状に各一端を固定端として併設された２個の圧
電バイモルフ３３，３３と、この２個の圧電バイモルフ
３３，３３の自由端側同士を連結する連結部材３４と、
連結部材３４の中央部から下方に延出されると共に固定
端３２に固定されたねじり変形部材３５と、ねじり変形
部材３５の中程に設けられたミラー部３６とを備えてい
る。
【００２９】光スキャナ３１も、第１実施例と同様に、
一枚の弾性材料から図１０の様に切り出された基体３７
を基に、ミラーや圧電素子を接着することにより製作さ
れる。ミラー部３６はミラー接着部３７ａの両面にミラ
ー接着することで構成し、圧電バイモルフ３３，３３も
分極方向を考慮して帯板部３７ｂ，３７ｂの両面に圧電
素子を接着することで構成する。ここで、圧電素子の分
極方向は、同一信号を各々のバイモルフに印加した場合
に、各々が逆の位相で曲げ振動するように構成する。固
定端３２は幅広部３７ｅを樹脂等で固めることで構成す
る。なお、ミラーを両面に接着するのは、表裏の重量バ
ランスをとるためである。
一枚の弾性材料から図１０の様に切り出された基体３７
を基に、ミラーや圧電素子を接着することにより製作さ
れる。ミラー部３６はミラー接着部３７ａの両面にミラ
ー接着することで構成し、圧電バイモルフ３３，３３も
分極方向を考慮して帯板部３７ｂ，３７ｂの両面に圧電
素子を接着することで構成する。ここで、圧電素子の分
極方向は、同一信号を各々のバイモルフに印加した場合
に、各々が逆の位相で曲げ振動するように構成する。固
定端３２は幅広部３７ｅを樹脂等で固めることで構成す
る。なお、ミラーを両面に接着するのは、表裏の重量バ
ランスをとるためである。
【００３０】この光スキャナ３１も、連続した基体３７
の上にミラー、圧電素子等を接着して全体を構成してい
るので強度があり、また、単純な構造なので加工、組立
等が容易であり、小型な光スキャナを提供することがで
きる。また、ねじり変形部材３５のねじり中心軸とミラ
ーの重心位置を一致させているので、中心軸に対する偏
心がなく、加速度が外乱として加わった場合にも、ねじ
り運動は励起されない。また圧電バイモルフ３３，３３
は非常に大きいバネ定数を持っており、曲げ方向の運動
も励起されにくい。即ち、第２実施例の光スキャナ３１
は外乱を受けにくい構造となっている。
の上にミラー、圧電素子等を接着して全体を構成してい
るので強度があり、また、単純な構造なので加工、組立
等が容易であり、小型な光スキャナを提供することがで
きる。また、ねじり変形部材３５のねじり中心軸とミラ
ーの重心位置を一致させているので、中心軸に対する偏
心がなく、加速度が外乱として加わった場合にも、ねじ
り運動は励起されない。また圧電バイモルフ３３，３３
は非常に大きいバネ定数を持っており、曲げ方向の運動
も励起されにくい。即ち、第２実施例の光スキャナ３１
は外乱を受けにくい構造となっている。
【００３１】さらに、ミラー部３６とねじり変形部材３
５は、機械的Ｑ値の高い振動子を構成しており、圧電バ
イモルフ３３，３３の振動の振幅を大きく拡大すること
ができる。また、連結部材３４は、図９，１０に示すよ
うな形状をし、圧電バイモルフ３３，３３と連結する部
分３４ａ，３４ａが幅広となっており、変位する部分３
５ｂを中心に近づけることで圧電バイモルフ３３，３３
の変位をできるだけ大きいねじり変位に変換する様な構
造となっている。さらに、連結部材３４は、角リング部
３４ｃ，３４ｃを有するバネ構造となっているので、圧
電バイモルフ３３，３３が変位した場合に伸びることが
でき、圧電バイモルフの曲げ方向の変位を効率よくミラ
ー部３６のねじり方向の変位に変換することができる。
その結果としてミラー部３６の静的変位量を大きくする
ことができ、ねじり共振時における大走査角の実現に寄
与することができる。
５は、機械的Ｑ値の高い振動子を構成しており、圧電バ
イモルフ３３，３３の振動の振幅を大きく拡大すること
ができる。また、連結部材３４は、図９，１０に示すよ
うな形状をし、圧電バイモルフ３３，３３と連結する部
分３４ａ，３４ａが幅広となっており、変位する部分３
５ｂを中心に近づけることで圧電バイモルフ３３，３３
の変位をできるだけ大きいねじり変位に変換する様な構
造となっている。さらに、連結部材３４は、角リング部
３４ｃ，３４ｃを有するバネ構造となっているので、圧
電バイモルフ３３，３３が変位した場合に伸びることが
でき、圧電バイモルフの曲げ方向の変位を効率よくミラ
ー部３６のねじり方向の変位に変換することができる。
その結果としてミラー部３６の静的変位量を大きくする
ことができ、ねじり共振時における大走査角の実現に寄
与することができる。
【００３２】この光スキャナ３１は、固定端３２を固定
することで１自由度の振動系を構成している。圧電バイ
モルフ３３，３３に、ミラー部３６を中心としたねじり
振動系の共振周波数に対応する正弦波信号を印加し、互
いに逆の位相で曲げ振動させると、この振動は連結部材
３４を経由してねじり変形部材３５とミラー部３６のね
じり振動に変換され、ミラー部３６はねじり共振する。
この振動を利用し、ミラー部３６にレーザ光を照射する
ことで１次元光走査ができる。
することで１自由度の振動系を構成している。圧電バイ
モルフ３３，３３に、ミラー部３６を中心としたねじり
振動系の共振周波数に対応する正弦波信号を印加し、互
いに逆の位相で曲げ振動させると、この振動は連結部材
３４を経由してねじり変形部材３５とミラー部３６のね
じり振動に変換され、ミラー部３６はねじり共振する。
この振動を利用し、ミラー部３６にレーザ光を照射する
ことで１次元光走査ができる。
【００３３】この第２実施例の光スキャナ３１をバーコ
ードリーダ４０に応用した例を図１１に示す。バーコー
ドリーダ４０は、レーザ駆動回路４１により駆動される
レーザダイオード４２から発生したレーザ光を、光スキ
ャナ３１のミラー部３６に反射させて走査し、バーコー
ド４３上に照射する。散乱された光を集光レンズ４４で
集光した後、受光素子４５により電気信号に変換する。
そして、得られた電気信号を２値化回路４６に入力して
２値信号に変換し、デコード回路４７により信号処理を
行うことにより、バーコードの読み取りを行う。
ードリーダ４０に応用した例を図１１に示す。バーコー
ドリーダ４０は、レーザ駆動回路４１により駆動される
レーザダイオード４２から発生したレーザ光を、光スキ
ャナ３１のミラー部３６に反射させて走査し、バーコー
ド４３上に照射する。散乱された光を集光レンズ４４で
集光した後、受光素子４５により電気信号に変換する。
そして、得られた電気信号を２値化回路４６に入力して
２値信号に変換し、デコード回路４７により信号処理を
行うことにより、バーコードの読み取りを行う。
【００３４】光スキャナ３１は、駆動回路５１、増幅回
路５２により駆動される。駆動回路５１は、光スキャナ
３１における振動子部分のねじり振動の共振周波数に等
しい周波数の正弦波信号を発生する。この信号を増幅回
路５２で増幅した後、圧電バイモルフ３３，３３に印加
する。２個の圧電バイモルフ３３，３３は、既述の通
り、同一信号を印加した場合に各々が逆の位相で曲げ振
動するように構成されている。従って、駆動回路５１及
び増幅回路５２により正弦波信号が与えられると、２個
の圧電バイモルフ３３，３３が逆位相で振動する。この
振動は、ミラー部３６をねじり振動させる方向に加振力
として作用し、その結果、ミラー部３６はねじり共振す
る。この振動を利用することで、大きな走査角にて１次
元光走査を行うことができる。
路５２により駆動される。駆動回路５１は、光スキャナ
３１における振動子部分のねじり振動の共振周波数に等
しい周波数の正弦波信号を発生する。この信号を増幅回
路５２で増幅した後、圧電バイモルフ３３，３３に印加
する。２個の圧電バイモルフ３３，３３は、既述の通
り、同一信号を印加した場合に各々が逆の位相で曲げ振
動するように構成されている。従って、駆動回路５１及
び増幅回路５２により正弦波信号が与えられると、２個
の圧電バイモルフ３３，３３が逆位相で振動する。この
振動は、ミラー部３６をねじり振動させる方向に加振力
として作用し、その結果、ミラー部３６はねじり共振す
る。この振動を利用することで、大きな走査角にて１次
元光走査を行うことができる。
【００３５】なお、この第２実施例の光スキャナ３１
は、図１２に示すように、振動子全体を囲う上枠３９を
固定端３２から連続的に形成し、ねじり変形部材３５の
上端側を延出してこの上枠３９に固定することにより両
端を固定として、加速度が外乱として加わった場合の安
定性をさらに向上させることも可能である。
は、図１２に示すように、振動子全体を囲う上枠３９を
固定端３２から連続的に形成し、ねじり変形部材３５の
上端側を延出してこの上枠３９に固定することにより両
端を固定として、加速度が外乱として加わった場合の安
定性をさらに向上させることも可能である。
【００３６】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこれらに限定されず、その要旨を逸脱しない範囲内の
種々なる態様を採用することができる。例えば、上記各
実施例においては、駆動源として圧電バイモルフを利用
したが、その他、圧電ユニモルフ、圧電モノモルフ、磁
歪素子、電磁ソレノイド、静電気力等が利用可能であ
る。
はこれらに限定されず、その要旨を逸脱しない範囲内の
種々なる態様を採用することができる。例えば、上記各
実施例においては、駆動源として圧電バイモルフを利用
したが、その他、圧電ユニモルフ、圧電モノモルフ、磁
歪素子、電磁ソレノイド、静電気力等が利用可能であ
る。
【００３７】
【発明の効果】本発明の光スキャナによれば、小型化が
可能であり、かつ、外乱の影響を受け難く、走査パター
ンの直線性を確保することもできる。特に、請求項２記
載の装置では、２次元光走査も可能な上、１次元光スキ
ャナとして使用した場合のそれぞれの走査方向への直線
性を確保できる。また、請求項３記載の装置では、１次
元光走査用ではあるが、その直線性確保の機能がより強
く発揮される。また、請求項４〜請求項６記載の装置に
よれば、さらに走査角をきわめて大きくとることができ
る。そして、本発明の光スキャナは、請求項７記載の様
に構成することで、一体構造となり、強度も十分なもの
となり、単純構造ゆえに一層の小型化が可能となる。
可能であり、かつ、外乱の影響を受け難く、走査パター
ンの直線性を確保することもできる。特に、請求項２記
載の装置では、２次元光走査も可能な上、１次元光スキ
ャナとして使用した場合のそれぞれの走査方向への直線
性を確保できる。また、請求項３記載の装置では、１次
元光走査用ではあるが、その直線性確保の機能がより強
く発揮される。また、請求項４〜請求項６記載の装置に
よれば、さらに走査角をきわめて大きくとることができ
る。そして、本発明の光スキャナは、請求項７記載の様
に構成することで、一体構造となり、強度も十分なもの
となり、単純構造ゆえに一層の小型化が可能となる。
【図１】 第１実施例の光スキャナの概略斜視図であ
る。
る。
【図２】 第１実施例の光スキャナの基体の平面図であ
る。
る。
【図３】 第１実施例の光スキャナにおける電極構造の
説明図である。
説明図である。
【図４】 第１実施例の光スキャナにおける２自由度の
振動モードの説明図である。
振動モードの説明図である。
【図５】 第１実施例の光スキャナに対する駆動信号の
説明図である。
説明図である。
【図６】 第１実施例の光スキャナを応用したバーコー
ドリーダの概略構成図である。
ドリーダの概略構成図である。
【図７】 第１実施例の応用に係るバーコードリーダに
よる走査軌跡を例示した説明図である。
よる走査軌跡を例示した説明図である。
【図８】 同じく、このバーコードリーダによる走査軌
跡を例示した説明図である。
跡を例示した説明図である。
【図９】 第２実施例の光スキャナの概略斜視図であ
る。
る。
【図１０】 第２実施例の光スキャナの基体の平面図で
ある。
ある。
【図１１】 第２実施例の光スキャナを応用したバーコ
ードリーダの概略構成図である。
ードリーダの概略構成図である。
【図１２】 第２実施例の光スキャナの変形例の正面図
である。
である。
１，３１・・・光スキャナ、２，３７・・・基体、２
ｅ，３２・・・固定端、３，３３・・・圧電バイモル
フ、４，３４・・・連結部材、５，３５・・・ねじり変
形部材、６，３６・・・ミラー部、１０，４０・・・バ
ーコードリーダ、１１，４１・・・レーザ駆動回路、１
２，４２・・・レーザダイオード、１３，４３・・・バ
ーコード、１４，４４・・・集光レンズ、１５，４５・
・・受光素子、１６，４６・・・２値化回路、１７，４
７・・・デコード回路、２１，２２，５１・・・駆動回
路、２３・・・位相反転回路、２４，２５，５２・・・
増幅回路。
ｅ，３２・・・固定端、３，３３・・・圧電バイモル
フ、４，３４・・・連結部材、５，３５・・・ねじり変
形部材、６，３６・・・ミラー部、１０，４０・・・バ
ーコードリーダ、１１，４１・・・レーザ駆動回路、１
２，４２・・・レーザダイオード、１３，４３・・・バ
ーコード、１４，４４・・・集光レンズ、１５，４５・
・・受光素子、１６，４６・・・２値化回路、１７，４
７・・・デコード回路、２１，２２，５１・・・駆動回
路、２３・・・位相反転回路、２４，２５，５２・・・
増幅回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−140706（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−148117（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06K 7/10
Claims (7)
- 【請求項１】 光源から照射される光をミラー部で反射
して被検出体に照射し、該ミラー部を振動させることに
よって被検出体の所定方向に光を走査する光スキャナに
おいて、 片持ち梁状に各一端を固定端として併設された２個の曲
げ運動を行う駆動源と、 該２個の駆動源の自由端側同士を連結する連結部材と、 該連結部材の中央部から延出されたねじり変形部材と、 該ねじり変形部材に設けられたミラー部とを備え、 該ミラー部の重心がねじり変形部材のねじり中心軸上に
位置せしめられていることを特徴とする光スキャナ。 - 【請求項２】 請求項１記載の光スキャナにおいて、前
記ねじり変形部材の延出された先端側が自由端とされ、
ねじり変形部材が曲げ変形部材としても機能するよう構
成されたことを特徴とする光スキャナ。 - 【請求項３】 請求項１記載の光スキャナにおいて、前
記ねじり変形部材の延出された先端側が固定端とされて
いることを特徴とする光スキャナ。 - 【請求項４】 請求項２記載の光スキャナにおいて、前
記駆動源を振動させる励振手段として、ミラー部を中心
とした曲げ振動系の曲げ振動に対する共振周波数に対応
する振動数で前記２個の駆動源を同位相に励振すること
を特徴とする光スキャナ。 - 【請求項５】 請求項２または請求項３記載の光スキャ
ナにおいて、前記駆動源を振動させる励振手段として、
ミラー部を中心としたねじり振動系のねじり振動に対す
る共振周波数に対応する振動数で前記２個の駆動源を逆
位相に励振することを特徴とする光スキャナ。 - 【請求項６】 請求項２記載の光スキャナにおいて、前
記駆動源を振動させる励振手段として、ミラー部を中心
とした曲げ振動系の曲げ振動に対する共振周波数に対応
する振動数で前記２個の駆動源を同位相に励振するモー
ドと、ミラー部を中心としたねじり振動系のねじり振動
に対する共振周波数に対応する振動数で前記２個の駆動
源を逆位相に励振するモードとを重畳して作用させるこ
とを特徴とする光スキャナ。 - 【請求項７】 請求項１〜請求項６のいずれか記載の光
スキャナにおいて、 弾性材料からなる板材から、幅広の固定端部と、該固定
端部から平行に伸ばされた駆動源形成部と、該駆動源形
成部間を連結する連結部と、該連結部の中央部から延出
されたねじれ変形部と、該ねじれ変形部の所定位置に設
けられたミラー接着部とからなる一体の基体を形成し、 該基体の駆動源形成部に駆動素子を接着することで前記
駆動源を構成し、ミラー接着部にミラーを接着すること
で前記ミラー部を構成し、連結部にて前記連結部材を構
成し、ねじれ変形部にて前記ねじれ変形部材を構成する
ことにより、振動系の全体を一体構造としたことを特徴
とする光スキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20950893A JP3246106B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 光スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20950893A JP3246106B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765098A JPH0765098A (ja) | 1995-03-10 |
| JP3246106B2 true JP3246106B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=16573964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20950893A Expired - Lifetime JP3246106B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246106B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7554715B2 (en) | 2004-06-03 | 2009-06-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Mirror driver using diametrically opposed mechanical beams with mirror inbetween and retinal scanning display using the same |
| US8174750B2 (en) | 2009-06-09 | 2012-05-08 | Ricoh Company, Limited | Optical deflector, optical scanner, image forming apparatus, and image projector |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10282130A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Canon Inc | プローブとそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
| US7446911B2 (en) | 2002-11-26 | 2008-11-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
| JP5229899B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-07-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
| JP5582518B2 (ja) | 2006-09-27 | 2014-09-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
| JP5229704B2 (ja) | 2006-10-12 | 2013-07-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
| CN111717880B (zh) * | 2020-06-15 | 2024-05-14 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 悬臂梁及其制造方法 |
-
1993
- 1993-08-24 JP JP20950893A patent/JP3246106B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7554715B2 (en) | 2004-06-03 | 2009-06-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Mirror driver using diametrically opposed mechanical beams with mirror inbetween and retinal scanning display using the same |
| US8174750B2 (en) | 2009-06-09 | 2012-05-08 | Ricoh Company, Limited | Optical deflector, optical scanner, image forming apparatus, and image projector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0765098A (ja) | 1995-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3219123B2 (ja) | ２次元光走査装置及びそれを用いたバーコード読取装置 | |
| US5245463A (en) | Optical scanner | |
| US6155490A (en) | Microelectromechanical systems scanning mirror for a laser scanner | |
| EP1805535B1 (en) | Inertial drive scanning arrangement and method | |
| JP3733383B2 (ja) | ２次元光スキャナ | |
| JP3214583B2 (ja) | 光偏向子 | |
| JPH06214175A (ja) | レーザビーム走査装置 | |
| US7182262B2 (en) | Inertial drive scanning arrangement and method | |
| JP3246106B2 (ja) | 光スキャナ | |
| JP2001004952A (ja) | 光偏向子 | |
| JPH10104543A (ja) | 光走査装置および方法 | |
| JP2570237B2 (ja) | 光スキャナ、振動装置、光学装置及び光ビ−ムプリンタ | |
| JP3525555B2 (ja) | ２次元光走査装置 | |
| JPH08240782A (ja) | 光スキャナ、光センサ装置及び符号情報読み取り装置並びに符号情報読み取り方法 | |
| JP3605899B2 (ja) | 光スキャナ装置 | |
| JPH09185000A (ja) | ミラーディバイス | |
| JP2995836B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2995835B2 (ja) | エリア光電センサ | |
| JPH04368907A (ja) | 光スキャナ | |
| JP3210982B2 (ja) | 光走査装置、並びに当該光走査装置を用いた光センサ装置、符号情報読み取り装置及びｐｏｓシステム | |
| JP3620914B2 (ja) | 走査装置 | |
| JPH06289310A (ja) | 振動子、光走査装置、光学式情報読取り装置および光学式検出機器 | |
| JP2981576B2 (ja) | 光スキャナ | |
| JPH04336522A (ja) | 光スキャナ | |
| JPH05108860A (ja) | バーコードスキヤナ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |