JP2988480B2 - フィルタに係合できる保護回路 - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02H—EMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
- H02H9/00—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection
- H02H9/04—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage
- H02H9/041—Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage using a short-circuiting device
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、素子、及び/又
は、例えば移動体電話、コンピュータ若しくはプリンタ
のような電子装置に影響を及ぼす電気サージから保護す
る保護回路の分野に関する。例えば、短時間に数十アン
ペアの非常に高い電流ピークに対応することができる静
電気サージからこのような装置を保護することが、特に
所望される。
は、例えば移動体電話、コンピュータ若しくはプリンタ
のような電子装置に影響を及ぼす電気サージから保護す
る保護回路の分野に関する。例えば、短時間に数十アン
ペアの非常に高い電流ピークに対応することができる静
電気サージからこのような装置を保護することが、特に
所望される。
【0002】
【従来の技術】従来、図1Aに表されたように、外部素
子に接続された装置3の入力1及び2を保護するため
に、アバランシェダイオード5又は等価装置がこれらの
入力の間に配置されている。抵抗7及び8は、回路に自
発的に挿入された接続抵抗又は抵抗器に対応する。
子に接続された装置3の入力1及び2を保護するため
に、アバランシェダイオード5又は等価装置がこれらの
入力の間に配置されている。抵抗7及び8は、回路に自
発的に挿入された接続抵抗又は抵抗器に対応する。
【0003】理論的に、図1Bに表されたように、アバ
ランシェダイオードは、導通すべきその端子間の電圧V
Zを必要とする。しかしながら、このダイオードを通る
電流がかなり増加したとき、図1Bに表されているよう
に、アバランシェダイオードを通過する電圧Vは、VZ
=RZIに等しい値VSに達するように増加する。Iはサ
ージに係る電流である。実際の例として、およそ0.4
mm2の面領域のアバランシェダイオードならば、従来
の技術では、等価動的抵抗RZが0.4オームのオーダ
となる。電流ピークが30アンペアのオーダであるなら
ば、6ボルトの降伏電圧を有するアバランシェダイオー
ドの間の実効電圧は6+0.4×30=18ボルトとな
る。実効値は、ノーマル電圧の3倍であり、保護すべき
回路の素子の破壊はそれらに起因する。
ランシェダイオードは、導通すべきその端子間の電圧V
Zを必要とする。しかしながら、このダイオードを通る
電流がかなり増加したとき、図1Bに表されているよう
に、アバランシェダイオードを通過する電圧Vは、VZ
=RZIに等しい値VSに達するように増加する。Iはサ
ージに係る電流である。実際の例として、およそ0.4
mm2の面領域のアバランシェダイオードならば、従来
の技術では、等価動的抵抗RZが0.4オームのオーダ
となる。電流ピークが30アンペアのオーダであるなら
ば、6ボルトの降伏電圧を有するアバランシェダイオー
ドの間の実効電圧は6+0.4×30=18ボルトとな
る。実効値は、ノーマル電圧の3倍であり、保護すべき
回路の素子の破壊はそれらに起因する。
【0004】アバランシェダイオードの動的な抵抗値を
減少するために、その面を増加すべきであることは公知
である。面が係数4によって増加されるならば、例えば
1.6mm2の面に達するために、等価抵抗はわずか
0.1オームになる。電流の流れにつながる過電圧はわ
ずか3ボルトであり、即ちアバランシェダイオードの間
の電圧は、許容できる、30アンペアに対して9ボルト
のオーダの値に達する。
減少するために、その面を増加すべきであることは公知
である。面が係数4によって増加されるならば、例えば
1.6mm2の面に達するために、等価抵抗はわずか
0.1オームになる。電流の流れにつながる過電圧はわ
ずか3ボルトであり、即ちアバランシェダイオードの間
の電圧は、許容できる、30アンペアに対して9ボルト
のオーダの値に達する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これ
は、ダイオードのコストがその面と共に増加し、かなり
の面は電流に伴う電圧の増加が無視できるように提供し
なければならないという不都合な点を有する。
は、ダイオードのコストがその面と共に増加し、かなり
の面は電流に伴う電圧の増加が無視できるように提供し
なければならないという不都合な点を有する。
【0006】更に、アバランシェダイオードは、特定の
ストレイキャパシタンスを封鎖(非導通)状態で必然的
に表す。従来の場合、0.4mm2のダイオードに対し
て、250pFのオーダのストレイキャパシタンスとな
る。ダイオードの面が4倍ならば、ストレイキャパシタ
ンスは、1ナノファラッドのオーダの値に達するために
4倍になる。結果として、保護システムは、抵抗の選択
とは別に選択できない高キャパシタンスを示す。これ
は、特定の用途において不都合な点である。
ストレイキャパシタンスを封鎖(非導通)状態で必然的
に表す。従来の場合、0.4mm2のダイオードに対し
て、250pFのオーダのストレイキャパシタンスとな
る。ダイオードの面が4倍ならば、ストレイキャパシタ
ンスは、1ナノファラッドのオーダの値に達するために
4倍になる。結果として、保護システムは、抵抗の選択
とは別に選択できない高キャパシタンスを示す。これ
は、特定の用途において不都合な点である。
【0007】従って、本発明の目的は、前述したような
従来技術のシステムの不都合な点を克服することであ
る。
従来技術のシステムの不都合な点を克服することであ
る。
【0008】本発明の他の目的は、それらの間の電圧が
期待された通常値に近づいて維持するような保護構造を
提供することである。
期待された通常値に近づいて維持するような保護構造を
提供することである。
【0009】本発明の他の目的は、減少されたシリコン
面を占有するこのような構造を提供することである。
面を占有するこのような構造を提供することである。
【0010】本発明の他の目的は、選択されたフィルタ
リング特性を示すこのような構造を提供することであ
る。
リング特性を示すこのような構造を提供することであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】これら及び他の目的を達
成するために、本発明は、2つの入力端子と2つの出力
端子との間に接続されており、該出力端子は保護すべき
回路の入力に接続されており、第1の入力端子はインピ
ーダンスを介して第1の出力端子に接続されており、第
2の入力端子は、第2の出力端子に接続されており、入
力端子は、第1のアバランシェダイオードによって相互
接続されており、出力端子は、第1のアバランシェダイ
オードと同一極性の第2のアバランシェダイオードによ
って相互接続されている、電気サージに対する保護の構
造を提供する。
成するために、本発明は、2つの入力端子と2つの出力
端子との間に接続されており、該出力端子は保護すべき
回路の入力に接続されており、第1の入力端子はインピ
ーダンスを介して第1の出力端子に接続されており、第
2の入力端子は、第2の出力端子に接続されており、入
力端子は、第1のアバランシェダイオードによって相互
接続されており、出力端子は、第1のアバランシェダイ
オードと同一極性の第2のアバランシェダイオードによ
って相互接続されている、電気サージに対する保護の構
造を提供する。
【0012】本発明の一実施形態によれば、2つのアバ
ランシェダイオードは同一であるか又は少なくとも実質
的に同一である。
ランシェダイオードは同一であるか又は少なくとも実質
的に同一である。
【0013】本発明の一実施形態によれば、2つのアバ
ランシェダイオードは双方向である。
ランシェダイオードは双方向である。
【0014】本発明の一実施形態によれば、インピーダ
ンスは、第1の入力及び出力端子の間に接続された抵抗
である。
ンスは、第1の入力及び出力端子の間に接続された抵抗
である。
【0015】本発明の一実施形態によれば、インピーダ
ンスは、3極インピーダンスであり、その第3の端子は
第2の入力及び出力の端子に接続されており、3極の要
素はアバランシェダイオードと共にフィルタリング構造
を形成する。
ンスは、3極インピーダンスであり、その第3の端子は
第2の入力及び出力の端子に接続されており、3極の要
素はアバランシェダイオードと共にフィルタリング構造
を形成する。
【0016】本発明の一実施形態によれば、3極インピ
ーダンスは、2つの直列の抵抗と並列キャパシタとを含
んでいる。
ーダンスは、2つの直列の抵抗と並列キャパシタとを含
んでいる。
【0017】本発明は、また、第1の導電タイプの基板
に、アバランシェダイオードに対応してツェナー接合を
形成した第2の導電タイプの2つの領域と、並列キャパ
シタに対応して基板の上側表面に絶縁層を介して形成さ
れた1つのメタライゼーションと、、2つの直列の抵抗
に対応して、2つの領域の上に各々設けられる2つのメ
タライゼーションと並列キャパシタのためのメタライゼ
ーションとの間に各々設けられる抵抗手段とを含む。
に、アバランシェダイオードに対応してツェナー接合を
形成した第2の導電タイプの2つの領域と、並列キャパ
シタに対応して基板の上側表面に絶縁層を介して形成さ
れた1つのメタライゼーションと、、2つの直列の抵抗
に対応して、2つの領域の上に各々設けられる2つのメ
タライゼーションと並列キャパシタのためのメタライゼ
ーションとの間に各々設けられる抵抗手段とを含む。
【0018】更に以下に詳細に説明する本発明の効果に
よれば、本発明の構造は、特に、構造を保証する所定の
フィルタリング効果と組み合わせることに非常に適す
る。
よれば、本発明の構造は、特に、構造を保証する所定の
フィルタリング効果と組み合わせることに非常に適す
る。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明の前述した目的、特徴及び
効果は、添付図面に関する、限定しない特別の実施形態
の説明を、以下に詳細に説明していく。
効果は、添付図面に関する、限定しない特別の実施形態
の説明を、以下に詳細に説明していく。
【0020】図2に表されたように、本発明による保護
構造10は、保護すべき回路3に接続された入力端子1
1及び12と出力端子13及び14とを含む。端子12
及び14は相互に接続される。端子11及び13は、抵
抗Rを介して接続される。端子11及び12は、アバラ
ンシェダイオードZ1を介して接続される。端子13及
び14はアバランシェダイオードZ2を介して接続され
る。
構造10は、保護すべき回路3に接続された入力端子1
1及び12と出力端子13及び14とを含む。端子12
及び14は相互に接続される。端子11及び13は、抵
抗Rを介して接続される。端子11及び12は、アバラ
ンシェダイオードZ1を介して接続される。端子13及
び14はアバランシェダイオードZ2を介して接続され
る。
【0021】アバランシェダイオードZ1及びZ2は同
一であり、同じアバランシェ電圧VZと同じ動的な抵抗
値RZとを有し、サージに起因する入力電流ISは、 IS=I1+I2 (1) であり、I1はアバランシェダイオードZ1の電流を示
しており、I2はアバランシェダイオードZ2の電流を
示している。
一であり、同じアバランシェ電圧VZと同じ動的な抵抗
値RZとを有し、サージに起因する入力電流ISは、 IS=I1+I2 (1) であり、I1はアバランシェダイオードZ1の電流を示
しており、I2はアバランシェダイオードZ2の電流を
示している。
【0022】端子13の出力電流を無視して、以下の関
係式にできる。 I1RZ=IZ(R+RZ) (2)
係式にできる。 I1RZ=IZ(R+RZ) (2)
【0023】これは、以下の式を導く。 IS=I1(1+RZ/(R+RZ))=I1((R+2RZ)/(R+RZ)) (3) IS=I2(1+(R+RZ)/RZ)=I2((R+2RZ)/RZ) (4)
【0024】従って、過負荷に起因する入力電圧V
eは、 Ve=VZ+RZIS((R+RZ)/(R+2RZ)) (5) にでき、過電圧は、 VS=VZ+RZIS(RZ/(R+2RZ)) (6) となる。等価式(6)は、値Rが値RZよりもかなり大
きいならば、出力電圧VSは実質的にVZに等しくなるこ
とを表している。
eは、 Ve=VZ+RZIS((R+RZ)/(R+2RZ)) (5) にでき、過電圧は、 VS=VZ+RZIS(RZ/(R+2RZ)) (6) となる。等価式(6)は、値Rが値RZよりもかなり大
きいならば、出力電圧VSは実質的にVZに等しくなるこ
とを表している。
【0025】抵抗RZが予め0.4オームに等しく、R
=50オームならば係数RZ/(R+2RZ)が0.4/
50.8に等しく、即ちおよそ1/100になる。
=50オームならば係数RZ/(R+2RZ)が0.4/
50.8に等しく、即ちおよそ1/100になる。
【0026】従って、図1Aのダイオード5と同じダイ
オードをダイオードZ1及びZ2に用いることによっ
て、わずか0.1ボルトの過電圧が12ボルトの過電圧
の代わりに電流の流れに起因する。これは、非常に適度
な過電圧を維持する間、平行ダイオードのストレイキャ
パシタンスを更に減少するために、アバランシェダイオ
ードの面が更に減少される。4倍小さいダイオードの各
々は、70pFのオーダのストレイキャパシタンスを有
する。
オードをダイオードZ1及びZ2に用いることによっ
て、わずか0.1ボルトの過電圧が12ボルトの過電圧
の代わりに電流の流れに起因する。これは、非常に適度
な過電圧を維持する間、平行ダイオードのストレイキャ
パシタンスを更に減少するために、アバランシェダイオ
ードの面が更に減少される。4倍小さいダイオードの各
々は、70pFのオーダのストレイキャパシタンスを有
する。
【0027】図2の構造を種々の実施形態にでき、2つ
のダイオードZ1及びZ2は、同一である必要がないけ
れども、特定の場合に適応可能であることに、当業者は
注目すべきである。
のダイオードZ1及びZ2は、同一である必要がないけ
れども、特定の場合に適応可能であることに、当業者は
注目すべきである。
【0028】特に、通常、本発明による保護回路10
は、図3に表されたようにでき、抵抗Rは3極インピー
ダンスZに置き換える。値Rが3極Zの直列抵抗に置き
換えると仮定すると、前述の説明の計算が適する。
は、図3に表されたようにでき、抵抗Rは3極インピー
ダンスZに置き換える。値Rが3極Zの直列抵抗に置き
換えると仮定すると、前述の説明の計算が適する。
【0029】図3の通常のダイアグラムの特定の実施形
態の違いは、図4Aから図4Cに例として表されてい
る。
態の違いは、図4Aから図4Cに例として表されてい
る。
【0030】図4Aにおいて、抵抗R2及びアバランシ
ェダイオードZ3の組立体は、アバランシェダイオード
Z1及びZ2と抵抗R(図4AのR1として設計され
た)とに加えて用いられる。従って、第1の組立体が電
流過負荷によって導かれた過電圧以上の100の改善係
数を提供するならば、相補的組立体R2−Z3は、追加
の100の改善係数を提供し、即ちわずか1/10,0
00のオーダである電圧変化を提供する。この組立体
は、2つの抵抗R1及びR2の直列配列が、回路動作を
害せず、特にダイオードZ2のキャパシタンスの選択に
よってローパスフィルタ機能を保証する。
ェダイオードZ3の組立体は、アバランシェダイオード
Z1及びZ2と抵抗R(図4AのR1として設計され
た)とに加えて用いられる。従って、第1の組立体が電
流過負荷によって導かれた過電圧以上の100の改善係
数を提供するならば、相補的組立体R2−Z3は、追加
の100の改善係数を提供し、即ちわずか1/10,0
00のオーダである電圧変化を提供する。この組立体
は、2つの抵抗R1及びR2の直列配列が、回路動作を
害せず、特にダイオードZ2のキャパシタンスの選択に
よってローパスフィルタ機能を保証する。
【0031】図4Bは、端子11及び13の間で直列の
2つの抵抗R1及びR2と、抵抗R1及びR2並びに端
子12及び14の接続ノードの間の1つの抵抗R3とを
含む。この構造の利点は、過電圧を分割する追加ブリッ
ジを挿入することである。
2つの抵抗R1及びR2と、抵抗R1及びR2並びに端
子12及び14の接続ノードの間の1つの抵抗R3とを
含む。この構造の利点は、過電圧を分割する追加ブリッ
ジを挿入することである。
【0032】図4Cの場合に、インピーダンスZは、端
子11及び13の間に直列の2つの抵抗R1及びR2
と、抵抗R1及びR2並びに端子12及び14の接続ノ
ードの間のキャパシタC1とを含む。
子11及び13の間に直列の2つの抵抗R1及びR2
と、抵抗R1及びR2並びに端子12及び14の接続ノ
ードの間のキャパシタC1とを含む。
【0033】当業者によって注目すべき点は、組立体が
ローパスフィルタを形成し、例えば移動体電話の搬送波
を除去することである。このフィルタは、カットオフ周
波数f1=1/RC1ω及びfZ=1/RCZωを有してお
り、CZはアバランシェダイオードのキャパシタンスを
示す。第1の減衰が第1のカットオフ周波数について現
れ、第2の減衰が第2のカットオフ周波数について現れ
る。
ローパスフィルタを形成し、例えば移動体電話の搬送波
を除去することである。このフィルタは、カットオフ周
波数f1=1/RC1ω及びfZ=1/RCZωを有してお
り、CZはアバランシェダイオードのキャパシタンスを
示す。第1の減衰が第1のカットオフ周波数について現
れ、第2の減衰が第2のカットオフ周波数について現れ
る。
【0034】R1=R2=R=250Ω、C1=25p
F及びCZ=70pFに対して、fZ=45MHz及びf
1=64MHzを得る。
F及びCZ=70pFに対して、fZ=45MHz及びf
1=64MHzを得る。
【0035】R1=R2=R=50Ω、C1=50pF
及びCZ=70pFに対して、fZ=9MHz及びf1=
25MHzを得る。
及びCZ=70pFに対して、fZ=9MHz及びf1=
25MHzを得る。
【0036】従って、本発明は、簡単な方法で、保護構
造及びフィルタリング構造を組み合わせる。
造及びフィルタリング構造を組み合わせる。
【0037】図5は、図4Cの構造のモノリシックな実
施形態を表している。表わされた例において、構造は、
基板にツェナー接合を形成する2つのN型領域21及び
22に形成されたP型基板20内に形成されている。素
子の底部面は、図4Cの端子12及び14に対応するメ
タライゼーションM1で覆われている。領域21及び2
2上に形成されたメタライゼーションM2及びM3は、
端子11及び13に対応する。キャパシタは、メタライ
ゼーションM4及び基板20の間に構成されており、図
4CのキャパシタC1に対応する。抵抗R1及びR2
は、公知の方法で形成可能であり、例えば、接点M2、
M3及びM4と接触するメタライゼーションの一部分を
形成する薄い導体を提供することによって、又はポリシ
リコン層内に提供され、若しくは基板20内に形成され
たウェル自身内に形成された拡散抵抗によって提供され
る。
施形態を表している。表わされた例において、構造は、
基板にツェナー接合を形成する2つのN型領域21及び
22に形成されたP型基板20内に形成されている。素
子の底部面は、図4Cの端子12及び14に対応するメ
タライゼーションM1で覆われている。領域21及び2
2上に形成されたメタライゼーションM2及びM3は、
端子11及び13に対応する。キャパシタは、メタライ
ゼーションM4及び基板20の間に構成されており、図
4CのキャパシタC1に対応する。抵抗R1及びR2
は、公知の方法で形成可能であり、例えば、接点M2、
M3及びM4と接触するメタライゼーションの一部分を
形成する薄い導体を提供することによって、又はポリシ
リコン層内に提供され、若しくは基板20内に形成され
たウェル自身内に形成された拡散抵抗によって提供され
る。
【0038】予め示されたように、接合21及び22の
全ての面は非常に小さい。
全ての面は非常に小さい。
【0039】もちろん、図5の構造と、図4Aから図4
Cの例として説明された回路は、当業者によれば容易に
することができる種々の変更、修正及び改善をすること
ができる。更に、本発明は一方向(単一方向)の保護素
子について記載されているが、両方向保護素子にも適す
る。
Cの例として説明された回路は、当業者によれば容易に
することができる種々の変更、修正及び改善をすること
ができる。更に、本発明は一方向(単一方向)の保護素
子について記載されているが、両方向保護素子にも適す
る。
【0040】このような変更、修正及び改善は、この開
示の部分でしようとするものであり、本発明の技術的思
想及び見地の中でしようとするものである。従って、前
述の説明は、例としてのみであり、限定しようとするも
のではない。本発明は、特許請求の範囲及びその均等物
に規定されているものにのみ限定される。
示の部分でしようとするものであり、本発明の技術的思
想及び見地の中でしようとするものである。従って、前
述の説明は、例としてのみであり、限定しようとするも
のではない。本発明は、特許請求の範囲及びその均等物
に規定されているものにのみ限定される。
【図1A】従来技術による保護構造の回路図である。
【図1B】図1Aの保護構造の電流対電圧特性図であ
る。
る。
【図2】本発明による保護回路の一実施形態の回路図で
ある。
ある。
【図3】本発明による保護構造の回路図である。
【図4A】本発明による保護構造の他の実施形態の回路
図である。
図である。
【図4B】本発明による保護構造の他の実施形態の回路
図である。
図である。
【図4C】本発明による保護構造の他の実施形態の回路
図である。
図である。
【図5】図4Cの保護構造のモノリシック構造の例とな
る実施形態の回路図である。
る実施形態の回路図である。
1、2 装置3の入力 3 保護される装置 5 アバランシェダイオード 7、8 抵抗 10 保護構造 11、12 保護構造10の入力 13、14 保護構造10の出力 20 P型領域 21、22 N型領域
Claims (7)
- 【請求項1】 2つの入力端子(11、12)と2つの
出力端子(13、14)との間に接続されており、該出
力端子は保護すべき回路(3)の入力に接続されてい
る、電気サージに対する保護の構造において、 前記第1の入力端子(11)はインピーダンス(Z)を
介して前記第1の出力端子(13)に接続されており、 前記第2の入力端子(12)は、前記第2の出力端子
(14)に接続されており、 前記入力端子(11、12)は、第1のアバランシェダ
イオード(Z1)によって相互接続されており、 前記出力端子(13、14)は、前記第1のアバランシ
ェダイオードと同一極性の第2のアバランシェダイオー
ド(Z2)によって相互接続されていることを特徴とす
る構造。 - 【請求項2】 前記2つのアバランシェダイオードは同
一であることを特徴とする請求項1に記載の構造。 - 【請求項3】 前記2つのアバランシェダイオードは双
方向であることを特徴とする請求項1に記載の構造。 - 【請求項4】 前記インピーダンス(Z)は、前記第1
の入力及び出力端子(11、13)の間に接続された抵
抗(R)であることを特徴とする請求項1に記載の構
造。 - 【請求項5】 前記インピーダンス(Z)は、3極イン
ピーダンスであり、その第3の端子は前記第2の入力
(12)及び出力(14)の端子に接続されており、前
記3極インピーダンスの各要素は、アバランシェダイオ
ードと共に、フィルタリング構造を形成することを特徴
とする請求項1に記載の構造。 - 【請求項6】 前記3極インピーダンスは、2つの直列
の抵抗(R1、R2)と並列キャパシタ(C1)とを含
んでいることを特徴とする請求項5に記載の構造。 - 【請求項7】 第1の導電タイプの基板(20)と、該
基板と共に前記アバランシェダイオードに対応したツェ
ナー接合を形成する、前記基板内に設けられた第2の導
電タイプの2つの領域(21、22)と、前記並列キャ
パシタに対応して前記基板の上側表面に絶縁層を介して
形成された1つのメタライゼーション(M4)と、前記
2つの直列の抵抗に対応して、前記2つの領域(21、
22)の上に各々設けられる2つのメタライゼーション
(M2、M3)と前記並列キャパシタのためのメタライ
ゼーション(M4)との間に各々設けられる抵抗手段と
を含むことを特徴とする請求項6に記載の構造を実現す
るモノリシック構造。
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