JP2980854B2 - 動圧空気軸受型光偏向器 - Google Patents
動圧空気軸受型光偏向器Info
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- JP2980854B2 JP2980854B2 JP33264696A JP33264696A JP2980854B2 JP 2980854 B2 JP2980854 B2 JP 2980854B2 JP 33264696 A JP33264696 A JP 33264696A JP 33264696 A JP33264696 A JP 33264696A JP 2980854 B2 JP2980854 B2 JP 2980854B2
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- optical deflector
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報機器、画像機器、
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の一例
の構造と作用とを図８から図１２を参照して説明する。
図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図であ
る。動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間な
く固着されている。また、動圧軸１ａとカバー部材４は
Ｏリング２０を介して、又カバー部材４とモータケース
３はＯリング２１を介して、隙間なく固着されている。
モータケース３の開口部に架設した支持板１７にホール
素子１８を設ける。動圧軸１ａの外周には円筒状スリー
ブ２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネ
ット２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよ
うにモータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の内側壁上に
は、動圧軸１ａの外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を
設け、スラスト動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設す
る。また符号１４はマグネット２２の下端に設けられ、
ワッシャ１３に固着したスペーサである。カバー部材４
内には、スリーブ２の外周に固定したハブ６とこのハブ
６に水平にネジ９で固着した回転多面鏡５とを、スリー
ブ２と共に動圧軸１ａの外周を回転自在に、収納する。
又スリーブ２の上端とこれに対面するカバー部材４の内
側面にそれぞれ極性の異なる一対のスラスト抑え用磁石
１０，１１を配設する。モータ回転部内の空間と外部と
は、動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１ａに設けた入口Ｋを具えた長手方向の中心
孔Ｈｇと、これに連通している孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部に
より流通している。コイル１５に通電すると、ヨーク１
６、ホール素子１８、マグネット２２よりなるモータ駆
動部が作動して、その外周に、マグネット２２を嵌挿固
着した円筒状スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持
され、動圧軸１ａを芯として回転する。それと同時に前
記スリーブ２の外周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５
が回転する。この際、動圧軸１ａとスリーブ２の間に動
圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生ずる。又磁石
１０、１１との間には磁石の反発力により適宜な隙間が
保持されている。動圧軸１ａとスリーブ２との間の隙間
内の空気の圧力分布を、図９から図１２で説明する。図
９は動圧軸１ａの平面図で、軸受部を示す。動圧軸１ａ
には互いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン
溝ＨｄとＨｅと溝非加工部Ｈｆより構成される一つの動
圧軸受Ｍａが設けてある。図１０は動圧軸１ａの上半分
の断面図であり、動圧軸１ａの中心部の長手方向に、大
気と連通する入口Ｋを具えた中央孔Ｈｇと、この中央孔
Ｈｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔Ｈｂ，Ｈ
ｃが穿設してある。又入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設
けてある（図８）。孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部はヘリングボ
ーン溝Ｈｄ，Ｈｅの中心に位置しており、図９で図示の
従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受Ｍａの境界
条件は孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部分での空気の圧力が大気圧
に等しいということになる。又回転安定状態では、図１
１に図示のように、空気吸い込み口では軸方向の質量流
量は０になるので、この動圧軸受Ｍａ内の圧力分布は図
１２に図示の状態となる。図１２において縦軸は代表値
を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、Ｐ＝１のとき空
気圧は大気圧に等しいことを示す。この従来例では図１
２に示すように、動圧軸受部Ｍａの両端の空気吸い込み
口では大気圧よりも圧力が低くなるから、図８で示す動
圧空気軸受型光偏向器内の空気圧は大気圧よりも低くな
り、風損を小さくしているが、しかし、動圧軸受Ｍａの
内部の最大空気圧は前記の通り大気圧となっていた。
の構造と作用とを図８から図１２を参照して説明する。
図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図であ
る。動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間な
く固着されている。また、動圧軸１ａとカバー部材４は
Ｏリング２０を介して、又カバー部材４とモータケース
３はＯリング２１を介して、隙間なく固着されている。
モータケース３の開口部に架設した支持板１７にホール
素子１８を設ける。動圧軸１ａの外周には円筒状スリー
ブ２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネ
ット２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよ
うにモータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の内側壁上に
は、動圧軸１ａの外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を
設け、スラスト動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設す
る。また符号１４はマグネット２２の下端に設けられ、
ワッシャ１３に固着したスペーサである。カバー部材４
内には、スリーブ２の外周に固定したハブ６とこのハブ
６に水平にネジ９で固着した回転多面鏡５とを、スリー
ブ２と共に動圧軸１ａの外周を回転自在に、収納する。
又スリーブ２の上端とこれに対面するカバー部材４の内
側面にそれぞれ極性の異なる一対のスラスト抑え用磁石
１０，１１を配設する。モータ回転部内の空間と外部と
は、動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１ａに設けた入口Ｋを具えた長手方向の中心
孔Ｈｇと、これに連通している孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部に
より流通している。コイル１５に通電すると、ヨーク１
６、ホール素子１８、マグネット２２よりなるモータ駆
動部が作動して、その外周に、マグネット２２を嵌挿固
着した円筒状スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持
され、動圧軸１ａを芯として回転する。それと同時に前
記スリーブ２の外周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５
が回転する。この際、動圧軸１ａとスリーブ２の間に動
圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生ずる。又磁石
１０、１１との間には磁石の反発力により適宜な隙間が
保持されている。動圧軸１ａとスリーブ２との間の隙間
内の空気の圧力分布を、図９から図１２で説明する。図
９は動圧軸１ａの平面図で、軸受部を示す。動圧軸１ａ
には互いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン
溝ＨｄとＨｅと溝非加工部Ｈｆより構成される一つの動
圧軸受Ｍａが設けてある。図１０は動圧軸１ａの上半分
の断面図であり、動圧軸１ａの中心部の長手方向に、大
気と連通する入口Ｋを具えた中央孔Ｈｇと、この中央孔
Ｈｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔Ｈｂ，Ｈ
ｃが穿設してある。又入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設
けてある（図８）。孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部はヘリングボ
ーン溝Ｈｄ，Ｈｅの中心に位置しており、図９で図示の
従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受Ｍａの境界
条件は孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部分での空気の圧力が大気圧
に等しいということになる。又回転安定状態では、図１
１に図示のように、空気吸い込み口では軸方向の質量流
量は０になるので、この動圧軸受Ｍａ内の圧力分布は図
１２に図示の状態となる。図１２において縦軸は代表値
を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、Ｐ＝１のとき空
気圧は大気圧に等しいことを示す。この従来例では図１
２に示すように、動圧軸受部Ｍａの両端の空気吸い込み
口では大気圧よりも圧力が低くなるから、図８で示す動
圧空気軸受型光偏向器内の空気圧は大気圧よりも低くな
り、風損を小さくしているが、しかし、動圧軸受Ｍａの
内部の最大空気圧は前記の通り大気圧となっていた。
【０００３】
【発明の解決すべき課題】前記従来例の動圧空気軸受型
光偏向器では、モータ回転部の回転により回転多面鏡ま
たは回転単面鏡（以下単に「回転鏡」という。）を含む
モータ回転部の外周における気圧を低下させて回転鏡の
風損を少なくするために動圧軸とスリーブとの隙間の気
圧を大気圧としているので、軸受剛性が低くなるという
問題点があった。
光偏向器では、モータ回転部の回転により回転多面鏡ま
たは回転単面鏡（以下単に「回転鏡」という。）を含む
モータ回転部の外周における気圧を低下させて回転鏡の
風損を少なくするために動圧軸とスリーブとの隙間の気
圧を大気圧としているので、軸受剛性が低くなるという
問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記問題を解決
するためになされたもので、ラジアル支持用の動圧軸受
を形成するための動圧軸と、この動圧軸との間に動圧軸
受を形成した回転自在なスリーブと、このスリーブを介
して保持される回転鏡およびそのモータ回転部とを密閉
のモータケース内に収容した動圧空気軸受型光偏向器に
おいて、上記動圧軸は、その動圧軸受の両側方に同動圧
軸受の方向に空気を送る送り用ヘリングボーン溝を穿設
し、これら送り用ヘリングボーン溝と上記動圧空気軸受
との間に開口する孔を形成し、この孔の他端を大気に連
通する。また、前記送り用ヘリングボーン溝と動圧軸受
との間に開口する孔は、この孔を挟む両者の間の中心位
置に配置し、かつ、動圧軸の中心部の長手方向に穿設し
た中央孔を介して大気に連通する。
するためになされたもので、ラジアル支持用の動圧軸受
を形成するための動圧軸と、この動圧軸との間に動圧軸
受を形成した回転自在なスリーブと、このスリーブを介
して保持される回転鏡およびそのモータ回転部とを密閉
のモータケース内に収容した動圧空気軸受型光偏向器に
おいて、上記動圧軸は、その動圧軸受の両側方に同動圧
軸受の方向に空気を送る送り用ヘリングボーン溝を穿設
し、これら送り用ヘリングボーン溝と上記動圧空気軸受
との間に開口する孔を形成し、この孔の他端を大気に連
通する。また、前記送り用ヘリングボーン溝と動圧軸受
との間に開口する孔は、この孔を挟む両者の間の中心位
置に配置し、かつ、動圧軸の中心部の長手方向に穿設し
た中央孔を介して大気に連通する。
【０００５】
【作用】上記構成の動圧空気軸受型光偏向器は、動圧軸
に対するスリーブの回転動作により、送り用ヘリングボ
ーン溝が大気と連通する孔を介してケース内の空気を大
気側に送り出してその排出圧とバランスする圧力差を発
生する一方、この孔を介して動圧軸受の両端に大気圧が
導かれることから、ケース内が減圧されるとともに、そ
の影響を受けることなく動圧軸受が大気圧を基礎とする
本来の軸受支持力を発生する。また、開口位置とその連
通孔の位置を所定の構成に限定することにより、加工性
と軸受特性の確保が容易となる。
に対するスリーブの回転動作により、送り用ヘリングボ
ーン溝が大気と連通する孔を介してケース内の空気を大
気側に送り出してその排出圧とバランスする圧力差を発
生する一方、この孔を介して動圧軸受の両端に大気圧が
導かれることから、ケース内が減圧されるとともに、そ
の影響を受けることなく動圧軸受が大気圧を基礎とする
本来の軸受支持力を発生する。また、開口位置とその連
通孔の位置を所定の構成に限定することにより、加工性
と軸受特性の確保が容易となる。
【０００６】
【実施例】以下添付図面を参照して、本発明に係る動圧
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚、本
実施例においては回転多面鏡を装着した動圧空気軸受型
光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着して
もよいことは勿論である。尚従来例の動圧空気軸受型光
偏向器の説明において採用した符号のうち、本実施例と
同一のものは同一部材を示す。図１は本発明による動圧
空気軸受型光偏向器の断面図である。動圧軸１はモータ
ケース３に焼きばめ等で隙間なく固着されている。又、
動圧軸１とカバー部材４はＯリング２０を介して、又カ
バー部材４とモータケース３とはＯリング２１を介して
隙間なく固着されている。モータ回転部内の空間と外部
とは、動圧軸１とスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１に設けた長手方向の中心孔ｇと、これに連
通している孔ｂ，ｃの開口部により流通している。ヨー
ク１６、コイル１５…、ホール素子１８、マグネット２
２から構成されるモータ部を駆動すると、マグネット２
２が固着された中空円筒形のスリーブ２が回転し、更
に、スリーブ２に固着されたハブ６にネジ９で固着され
た回転多面鏡５が回転する。この際、動圧軸１とスリー
ブ２の間に動圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生
ずる。
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚、本
実施例においては回転多面鏡を装着した動圧空気軸受型
光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着して
もよいことは勿論である。尚従来例の動圧空気軸受型光
偏向器の説明において採用した符号のうち、本実施例と
同一のものは同一部材を示す。図１は本発明による動圧
空気軸受型光偏向器の断面図である。動圧軸１はモータ
ケース３に焼きばめ等で隙間なく固着されている。又、
動圧軸１とカバー部材４はＯリング２０を介して、又カ
バー部材４とモータケース３とはＯリング２１を介して
隙間なく固着されている。モータ回転部内の空間と外部
とは、動圧軸１とスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１に設けた長手方向の中心孔ｇと、これに連
通している孔ｂ，ｃの開口部により流通している。ヨー
ク１６、コイル１５…、ホール素子１８、マグネット２
２から構成されるモータ部を駆動すると、マグネット２
２が固着された中空円筒形のスリーブ２が回転し、更
に、スリーブ２に固着されたハブ６にネジ９で固着され
た回転多面鏡５が回転する。この際、動圧軸１とスリー
ブ２の間に動圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生
ずる。
【０００７】動圧軸１とスリーブ２との間の隙間内の空
気の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧
軸１の断面図で、動圧空気軸受型光偏向器の軸受部を示
す。動圧軸１には、互いに反対向きの吸入角βを持った
ヘリングボーン溝ｄとｅと溝非加工部ｆより構成される
２つの動圧軸受Ｍ，Ｍと、この２つの動圧軸受Ｍ，Ｍの
両側端に位置し、隣り合うヘリングボーン溝ｄ，ｅと同
Ｕ向きの吸入角βを持った送り用ヘリングボーン溝ｑと
ｒが設けてある。又動圧軸受Ｍは、図４に示すように溝
非加工部をなくして、全面加工を施したヘリングボーン
溝ｄ，ｅのみであってもよい。図３は動圧軸１の上半分
の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方向に、大気
と連通する入口Ｋを具えた中央孔ｇと、この中央孔ｇに
連通してスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，ｃが穿設し
てある。入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設けてある。孔
ｂ，ｃの開口部は、動圧軸受Ｍ，Ｍとその外側に設けた
送り用ヘリングボーン溝ｑ及びｒとの、それぞれの中心
に位置しており、図１で図示の本発明に係る動圧空気軸
受型光偏向器の動圧軸１の境界条件は孔ｂ，ｃの開口部
分での空気の圧力が大気圧に等しいということになる。
又回転安定状態では、図６に図示のように、空気吸い込
み口では軸方向の質量流量は０になるので、この動圧軸
１内の圧力分布は図７に図示の状態となる。図７におい
て縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、
Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示す。本発
明では、前記の通り動圧軸受Ｍと送り用ヘリングボーン
溝ｑ及びｒとの中心に位置する孔ｂ，ｃの開口部分での
空気の圧力が大気圧に等しくなるため、図７に示すよう
に空気吸い込み口における気圧は大気圧よりも低くなっ
て、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の気圧も大気
圧より低くなるが、動圧軸１とスリーブ２との間の隙間
内の最大空気圧は大気圧よりも高くなり、風損を低下さ
せたまま軸受剛性を高めることができる。
気の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧
軸１の断面図で、動圧空気軸受型光偏向器の軸受部を示
す。動圧軸１には、互いに反対向きの吸入角βを持った
ヘリングボーン溝ｄとｅと溝非加工部ｆより構成される
２つの動圧軸受Ｍ，Ｍと、この２つの動圧軸受Ｍ，Ｍの
両側端に位置し、隣り合うヘリングボーン溝ｄ，ｅと同
Ｕ向きの吸入角βを持った送り用ヘリングボーン溝ｑと
ｒが設けてある。又動圧軸受Ｍは、図４に示すように溝
非加工部をなくして、全面加工を施したヘリングボーン
溝ｄ，ｅのみであってもよい。図３は動圧軸１の上半分
の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方向に、大気
と連通する入口Ｋを具えた中央孔ｇと、この中央孔ｇに
連通してスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，ｃが穿設し
てある。入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設けてある。孔
ｂ，ｃの開口部は、動圧軸受Ｍ，Ｍとその外側に設けた
送り用ヘリングボーン溝ｑ及びｒとの、それぞれの中心
に位置しており、図１で図示の本発明に係る動圧空気軸
受型光偏向器の動圧軸１の境界条件は孔ｂ，ｃの開口部
分での空気の圧力が大気圧に等しいということになる。
又回転安定状態では、図６に図示のように、空気吸い込
み口では軸方向の質量流量は０になるので、この動圧軸
１内の圧力分布は図７に図示の状態となる。図７におい
て縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、
Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示す。本発
明では、前記の通り動圧軸受Ｍと送り用ヘリングボーン
溝ｑ及びｒとの中心に位置する孔ｂ，ｃの開口部分での
空気の圧力が大気圧に等しくなるため、図７に示すよう
に空気吸い込み口における気圧は大気圧よりも低くなっ
て、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の気圧も大気
圧より低くなるが、動圧軸１とスリーブ２との間の隙間
内の最大空気圧は大気圧よりも高くなり、風損を低下さ
せたまま軸受剛性を高めることができる。
【０００８】
【効果】以上詳細に説明したように、本発明の光偏向器
は、ラジアル支持のために一般に使用される各種の空気
動圧軸受について、軸受の本来的構成による標準気圧下
における基本的支持特性に基づき、その本来の支持剛性
が確保されるとともに、ケース内の減圧により回転鏡そ
の他の回転部の風損が低減されることから、大気連通孔
とヘリングボーン溝とからなる簡易な構成の圧力調整手
段により、動圧軸受の基本特性を確保しつつ回転駆動の
ための電力消費と回転鏡による回転音を低減することが
できるという特有の作用効果を奏するものである。
は、ラジアル支持のために一般に使用される各種の空気
動圧軸受について、軸受の本来的構成による標準気圧下
における基本的支持特性に基づき、その本来の支持剛性
が確保されるとともに、ケース内の減圧により回転鏡そ
の他の回転部の風損が低減されることから、大気連通孔
とヘリングボーン溝とからなる簡易な構成の圧力調整手
段により、動圧軸受の基本特性を確保しつつ回転駆動の
ための電力消費と回転鏡による回転音を低減することが
できるという特有の作用効果を奏するものである。
【図１】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の一実施
例の断面図。
例の断面図。
【図２】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の軸受部
の一実施例の平面図。
の一実施例の平面図。
【図３】図２の軸受部の上半分断面図。
【図４】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の軸受部
の別の実施例の平面図。
の別の実施例の平面図。
【図５】図４の軸受部の上半分断面図。
【図６】図２に図示するヘリングボーン溝を具えたスリ
ーブを含む軸受部の断面図。
ーブを含む軸受部の断面図。
【図７】図６に示す動圧空気軸受型光偏向器の軸受部周
辺の圧力分布の図。
辺の圧力分布の図。
【図８】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図。
【図９】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の軸受部の平
面図。
面図。
【図１０】図９の軸受部の上半分断面図。
【図１１】図９に図示するヘリングボーン溝を具えたス
リーブを含む軸受部の断面図。
リーブを含む軸受部の断面図。
【図１２】図１１に示す動圧空気軸受型光偏向器の軸受
部周辺の圧力分布の図。
部周辺の圧力分布の図。
１ 動圧軸 ２ スリーブ ３ モータケース ４ カバー部材 ５ 回転鏡（回転多面鏡） １０ スラスト抑え用磁石 １１ スラスト抑え用磁石 １２ スラスト動圧軸受 １３ ワッシャ １５ コイル １６ ヨーク ２０ Ｏリング ２１ Ｏリング ２２ マグネット ２３ フィルタ ｂ 孔 ｃ 孔 ｄ ヘリングボーン溝 ｅ ヘリングボーン溝 ｑ 送り用ヘリングボーン溝 ｒ 送り用ヘリングボーン溝 ｆ 溝非加工部 ｇ 中央孔 Ｋ 入口 Ｍ 動圧軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−254110（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−39410（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 26/10 102 F16C 17/02
Claims (2)
- 【請求項１】 ラジアル支持用の動圧軸受を形成するた
めの動圧軸と、この動圧軸との間に動圧軸受を形成した
回転自在なスリーブと、このスリーブを介して保持され
る回転鏡およびそのモータ回転部とを密閉のモータケー
ス内に収容した動圧空気軸受型光偏向器において、上記
動圧軸は、その動圧軸受の両側方に同動圧軸受の方向に
空気を送る送り用ヘリングボーン溝を穿設し、これら送
り用ヘリングボーン溝と上記動圧空気軸受との間に開口
する孔を形成し、この孔の他端を大気に連通してなるこ
とを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。 - 【請求項２】 前記送り用ヘリングボーン溝と動圧軸受
との間に開口する孔は、この孔を挟む両者の間の中心位
置に配置し、かつ、動圧軸の中心部の長手方向に穿設し
た中央孔を介して大気に連通してなることを特徴とする
請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33264696A JP2980854B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33264696A JP2980854B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32695591A Division JP2645773B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09179055A JPH09179055A (ja) | 1997-07-11 |
| JP2980854B2 true JP2980854B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=18257292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33264696A Expired - Fee Related JP2980854B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2980854B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003863A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Nidec Copal Electronics Corp | 動圧空気軸受型光偏向器 |
-
1996
- 1996-11-08 JP JP33264696A patent/JP2980854B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09179055A (ja) | 1997-07-11 |
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