JP2645768B2 - 動圧空気軸受型光偏向器 - Google Patents
動圧空気軸受型光偏向器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報機器、画像機器、
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例の空気軸受型光偏向器の一例の構
造と作用とを図８、図９、図１０、図１１を参照して説
明する。図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面
図である。動圧軸１ａはモータケース３に嵌挿固着され
ており、又動圧軸１ａの外周表面には、図９で示すよう
に、互いに反対向きの吸入角を具えた動圧発生用のヘリ
ングボーン溝Ｈａ，Ｈｂが、例えば２対刻設してある。
動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間なく嵌
挿固着されており、動圧軸１ａ外周には円筒状スリーブ
２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネッ
ト２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよう
に、モータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の上端に、Ｏ
リング２１を介して、隙間なく気密状態でカバ部材４を
固着し、又動圧軸１ａの端部外周にはＯリング２０を介
して、カバ部材４が気密状態で装着される。モータケー
ス３の開口部に架設した支持板１７にホール素子１８を
設ける。モータケース３の水平内側壁上には、動圧軸１
ａ外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を設け、スラスト
動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設する。又符号１４
はマグネット２２の下端に設けられ、ワッシャ１３に固
着したスペーサである。カバ部材４内には、スリーブ２
の外周に固定したハブ６とこのハブ６に水平にねじ９で
固着した回転多面鏡５とを、スリーブ２と共に動圧軸１
ａの外周を回転自在に、収納する。またスリーブ２の上
端とこれに対面するカバ部材４の内側面にそれぞれ極性
の異なる一対のスラスト浮上用磁石１０，１１を配設す
る。コイル１５に通電すると、ヨーク１６、ホール素子
１８、マグネット２２よりなるモータ駆動部が作動し
て、その外周に、マグネット２２を嵌挿固着した円筒状
スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持され、動圧軸
１ａを芯として回転する。と同時に前記スリーブ２の外
周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５が回転する。前記
モータ駆動部は、スリーブ２の両端に配設した１対のス
ラスト浮上用磁石１０，１１の作用により浮上しつつ回
転する。尚回転多面鏡５の回転により、動圧軸１ａとス
リーブ２の間の隙間に動圧が発生し、この動圧により軸
受剛性が維持される。
造と作用とを図８、図９、図１０、図１１を参照して説
明する。図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面
図である。動圧軸１ａはモータケース３に嵌挿固着され
ており、又動圧軸１ａの外周表面には、図９で示すよう
に、互いに反対向きの吸入角を具えた動圧発生用のヘリ
ングボーン溝Ｈａ，Ｈｂが、例えば２対刻設してある。
動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間なく嵌
挿固着されており、動圧軸１ａ外周には円筒状スリーブ
２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネッ
ト２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよう
に、モータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の上端に、Ｏ
リング２１を介して、隙間なく気密状態でカバ部材４を
固着し、又動圧軸１ａの端部外周にはＯリング２０を介
して、カバ部材４が気密状態で装着される。モータケー
ス３の開口部に架設した支持板１７にホール素子１８を
設ける。モータケース３の水平内側壁上には、動圧軸１
ａ外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を設け、スラスト
動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設する。又符号１４
はマグネット２２の下端に設けられ、ワッシャ１３に固
着したスペーサである。カバ部材４内には、スリーブ２
の外周に固定したハブ６とこのハブ６に水平にねじ９で
固着した回転多面鏡５とを、スリーブ２と共に動圧軸１
ａの外周を回転自在に、収納する。またスリーブ２の上
端とこれに対面するカバ部材４の内側面にそれぞれ極性
の異なる一対のスラスト浮上用磁石１０，１１を配設す
る。コイル１５に通電すると、ヨーク１６、ホール素子
１８、マグネット２２よりなるモータ駆動部が作動し
て、その外周に、マグネット２２を嵌挿固着した円筒状
スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持され、動圧軸
１ａを芯として回転する。と同時に前記スリーブ２の外
周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５が回転する。前記
モータ駆動部は、スリーブ２の両端に配設した１対のス
ラスト浮上用磁石１０，１１の作用により浮上しつつ回
転する。尚回転多面鏡５の回転により、動圧軸１ａとス
リーブ２の間の隙間に動圧が発生し、この動圧により軸
受剛性が維持される。
【０００３】スリーブ２がハブ６、回転多面鏡５と共に
回転する際この際の動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間
内の空気の圧力分布状態を図１０、図１１で説明する。
図１０は動圧軸受部を示している。この構造ではスリー
ブ２が回転するとヘリングボーン溝Ｈａ、Ｈｂにより周
囲の空気を動圧軸１ａの軸受部内に吸い込むため、軸受
部内の圧力は周囲の圧力よりも高まるが、動圧軸受部の
両端が大気圧であるので、動圧軸受部内の圧力分布は図
１１のようになる。この図面で縦軸は大気圧を代表値と
した無次元圧力Ｐである。即ちここでは、動圧軸受部の
両端は大気圧Ｐ＝１となり、動圧軸受部内はＰ＞１とな
る。従って従来例の構成を有する動圧空気軸受型光偏向
器では、モータ回転部外周における空気圧はＰ＝１即ち
大気圧のままであった。ここで、周囲圧力をＰｓ、回転
数をＮｒ、回転多面鏡の形状による係数をＫmとする
と、回転多面鏡による風損Ｗは、Ｗ＝Ｐｓ×Ｎｒ3×Ｋ
ｍで表されるから、従来例の動圧軸受型光偏向器での回
転多面鏡５による風損Ｗ０は Ｗ０＝１．０×Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕 であった。
回転する際この際の動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間
内の空気の圧力分布状態を図１０、図１１で説明する。
図１０は動圧軸受部を示している。この構造ではスリー
ブ２が回転するとヘリングボーン溝Ｈａ、Ｈｂにより周
囲の空気を動圧軸１ａの軸受部内に吸い込むため、軸受
部内の圧力は周囲の圧力よりも高まるが、動圧軸受部の
両端が大気圧であるので、動圧軸受部内の圧力分布は図
１１のようになる。この図面で縦軸は大気圧を代表値と
した無次元圧力Ｐである。即ちここでは、動圧軸受部の
両端は大気圧Ｐ＝１となり、動圧軸受部内はＰ＞１とな
る。従って従来例の構成を有する動圧空気軸受型光偏向
器では、モータ回転部外周における空気圧はＰ＝１即ち
大気圧のままであった。ここで、周囲圧力をＰｓ、回転
数をＮｒ、回転多面鏡の形状による係数をＫmとする
と、回転多面鏡による風損Ｗは、Ｗ＝Ｐｓ×Ｎｒ3×Ｋ
ｍで表されるから、従来例の動圧軸受型光偏向器での回
転多面鏡５による風損Ｗ０は Ｗ０＝１．０×Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕 であった。
【０００４】
【発明の解決すべき課題】前記従来例の動圧空気軸受型
光偏向器では、回転多面鏡５や回転単面鏡を回転させた
ときに生ずる風損は、前述のようにＷ＝Ｐｓ×Ｎｒ3×
Ｋｍ〔ワット〕で表されるから、回転数Ｎｒと回転多面
鏡の諸元が決まれば、Ｐｓ＝１であるから、風損ＷはＷ
＝Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕と決定し、これより小さくす
ることはできなかった。従って回転数Ｎｒが大きいか又
は回転多面鏡や回転単面鏡の形状による係数Ｋｍの大き
なものであれば、風損Ｗも大きくなる。又採用するモー
タの発生トルクが風損より小さければ、発生トルクを大
きくするために別の大型モータに変更するか、又はコイ
ルに流れる電流をおおきくして、発生トルクを大きくし
なければならない。この様な変更に起因する発熱を小さ
くするためには、例えばモータに放熱板を設けるなど余
分の工作を実施する必要があり、これがため動圧空気軸
受型光偏向器の小型化や製造コストの低減を計ることは
出来ない等の問題点があった。
光偏向器では、回転多面鏡５や回転単面鏡を回転させた
ときに生ずる風損は、前述のようにＷ＝Ｐｓ×Ｎｒ3×
Ｋｍ〔ワット〕で表されるから、回転数Ｎｒと回転多面
鏡の諸元が決まれば、Ｐｓ＝１であるから、風損ＷはＷ
＝Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕と決定し、これより小さくす
ることはできなかった。従って回転数Ｎｒが大きいか又
は回転多面鏡や回転単面鏡の形状による係数Ｋｍの大き
なものであれば、風損Ｗも大きくなる。又採用するモー
タの発生トルクが風損より小さければ、発生トルクを大
きくするために別の大型モータに変更するか、又はコイ
ルに流れる電流をおおきくして、発生トルクを大きくし
なければならない。この様な変更に起因する発熱を小さ
くするためには、例えばモータに放熱板を設けるなど余
分の工作を実施する必要があり、これがため動圧空気軸
受型光偏向器の小型化や製造コストの低減を計ることは
出来ない等の問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題を解
決するためになされたもので、動圧空気軸受部により、
モータ回転部外周における気圧を下げ、これにより回転
多面鏡又は回転単面鏡による風損を少なくすることを目
的とする動圧空気軸受型光偏向器である。以下その手段
を更に詳細に説明する。モータケース３に立設した動圧
軸１の外周を回転多面鏡５と共に回転しうるモータ回転
部を隙間なく固着されたケースとカバ部材内に収納した
光偏向器において、外周にヘリングボーン溝ｄ，ｅを穿
設した動圧軸１の中心部の長手方向に、外気と連通して
いる中央孔ｇを穿設し、この中央孔ｇと連通しており、
ヘリングボーン溝ｄ，ｅによって形成される動圧空気軸
受部Ｍの中心位置で、動圧軸１とスリーブ２との隙間方
向へ開口した孔ｂ（又はｃ）を穿設したことを特徴とす
る動圧空気軸受型光偏向器であり、動圧軸１の外周に穿
設したヘリングボーン溝ｄ，ｅが、互いに反対向きの吸
入角βを有し、これら対をなすヘリングボーン溝ｄ，ｅ
によって前記動圧空気軸受部Ｍを形成し、この動圧空気
軸受部Ｍの中心部に孔ｂ（又はｃ）が開口してなり、更
に前記中央孔ｇの吸入口にフィルター２３を装着した構
成を具えている。
決するためになされたもので、動圧空気軸受部により、
モータ回転部外周における気圧を下げ、これにより回転
多面鏡又は回転単面鏡による風損を少なくすることを目
的とする動圧空気軸受型光偏向器である。以下その手段
を更に詳細に説明する。モータケース３に立設した動圧
軸１の外周を回転多面鏡５と共に回転しうるモータ回転
部を隙間なく固着されたケースとカバ部材内に収納した
光偏向器において、外周にヘリングボーン溝ｄ，ｅを穿
設した動圧軸１の中心部の長手方向に、外気と連通して
いる中央孔ｇを穿設し、この中央孔ｇと連通しており、
ヘリングボーン溝ｄ，ｅによって形成される動圧空気軸
受部Ｍの中心位置で、動圧軸１とスリーブ２との隙間方
向へ開口した孔ｂ（又はｃ）を穿設したことを特徴とす
る動圧空気軸受型光偏向器であり、動圧軸１の外周に穿
設したヘリングボーン溝ｄ，ｅが、互いに反対向きの吸
入角βを有し、これら対をなすヘリングボーン溝ｄ，ｅ
によって前記動圧空気軸受部Ｍを形成し、この動圧空気
軸受部Ｍの中心部に孔ｂ（又はｃ）が開口してなり、更
に前記中央孔ｇの吸入口にフィルター２３を装着した構
成を具えている。
【０００６】
【作用】本発明の動圧空気軸受型光偏向器において、モ
ータ回転部が回転すると動圧軸受部を構成する孔がモー
タ回転部外周における空気を吸い込むことにより、光偏
向器内部の気圧を下げ、回転多面鏡または回転単面鏡に
よる風損を少なくするものである。従って、モータへの
供給エネルギーを省力化することが出来、又モータの小
型化を計ることが出来る。
ータ回転部が回転すると動圧軸受部を構成する孔がモー
タ回転部外周における空気を吸い込むことにより、光偏
向器内部の気圧を下げ、回転多面鏡または回転単面鏡に
よる風損を少なくするものである。従って、モータへの
供給エネルギーを省力化することが出来、又モータの小
型化を計ることが出来る。
【０００７】
【実施例】以下添付図面を参照して、本発明に係る動圧
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚従来
例の空気軸受型光偏向器の説明において採用した符号と
同一のものは同一の部材を示すものであるから、それら
の詳細な説明は省略する。尚本実施例においては、回転
多面鏡を装着した動圧空気軸受型光偏向器について述べ
ているが、回転単面鏡を装着してもよいことは勿論であ
る。図１は本発明による動圧空気軸受型光偏向器の断面
図である。動圧軸１はモータケース３に焼きばめ等で隙
間なく固着されている。また、動圧軸１とカバ部材４は
Ｏリング２０を介して隙間なく固着されている。モータ
回転部内の空間と外部とは、動圧軸１とスリーブ２の間
の隙間を通して、後述する動圧軸１に設けた長手方向の
中心孔ｇと、これに連通している孔ｂ，ｃの開口部によ
り流通している。ヨーク１６、コイル１５…、ホール素
子１８、マグネット２２から構成されるモータ部を駆動
すると、マグネット２２に固着された中空円筒形のスリ
ーブ２が回転し、更にスリーブ２に固着されたハブ６に
ねじ９で固着された回転多面鏡５が回転する。この際、
動圧軸１とスリーブ２の間に動圧が発生し、この動圧に
より軸受剛性が生ずる。
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚従来
例の空気軸受型光偏向器の説明において採用した符号と
同一のものは同一の部材を示すものであるから、それら
の詳細な説明は省略する。尚本実施例においては、回転
多面鏡を装着した動圧空気軸受型光偏向器について述べ
ているが、回転単面鏡を装着してもよいことは勿論であ
る。図１は本発明による動圧空気軸受型光偏向器の断面
図である。動圧軸１はモータケース３に焼きばめ等で隙
間なく固着されている。また、動圧軸１とカバ部材４は
Ｏリング２０を介して隙間なく固着されている。モータ
回転部内の空間と外部とは、動圧軸１とスリーブ２の間
の隙間を通して、後述する動圧軸１に設けた長手方向の
中心孔ｇと、これに連通している孔ｂ，ｃの開口部によ
り流通している。ヨーク１６、コイル１５…、ホール素
子１８、マグネット２２から構成されるモータ部を駆動
すると、マグネット２２に固着された中空円筒形のスリ
ーブ２が回転し、更にスリーブ２に固着されたハブ６に
ねじ９で固着された回転多面鏡５が回転する。この際、
動圧軸１とスリーブ２の間に動圧が発生し、この動圧に
より軸受剛性が生ずる。
【０００８】動圧軸１とスリーブ２の間の隙間内の空気
の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧軸
１の平面図で、動圧軸受部を示す。動圧軸１には互いに
反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン溝ｄとｅと
溝非加工部ｆより構成される一対の動圧軸受部Ｍが設け
てある。また動圧軸受部Ｍは、図４に示すように、溝非
加工部をなくして、全面加工を施したヘリングボーン溝
ｄ1，ｅ1のみであってもよい。図３は動圧軸１の上半分
の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方向に、外気
と連通する入口ｉを具えた中央孔ｇを穿設する。入口ｉ
付近にフィルター２３を設ける。前記中央孔ｇに連通し
てスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，ｃを穿設する。孔
ｂ，ｃの開口部はヘリングボーン溝ｄ，ｅの中心に位置
する。従って、図１で図示の本発明に係る動圧空気軸受
型光偏向器の動圧軸受部Ｍの境界条件は孔ｂ，ｃの開口
部分で空気の圧力が大気圧に等しいということになる。
また回転安定状態では、図６に図示のように、空気吸い
込み口では軸方向の質量流量は０になるので、この動圧
軸受部Ｍ内の圧力分布は図７に図示の状態となる。図７
において、縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐ
であり、Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示
す。本発明では、図７に図示するように動圧軸受部Ｍの
両端の空気吸い込み口では、大気圧よりも小さくなるか
ら、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の空気圧はＰ
＜１、即ち大気圧よりも小さくなる。例えばＰ＝０．７
であれば回転多面鏡の周囲圧力Ｐｓ＝０．７であるか
ら、回転数をＮｒ、回転多面鏡の形状による係数をＫｍ
とすると回転多面鏡の回転による風損Ｗは、Ｗ＝Ｐｓ×
Ｎｒ3×Ｋｍで表されるから、本動圧空気軸受型光偏向
器の回転多面体５の回転による風損Ｗは Ｗ＝０．７×Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕となり、 回転数Ｎｒと回転多面鏡の形状による係数Ｋｍが同じで
あれば風損は従来の動圧空気軸受型光偏向器に比べ３０
％減少する。このためモータに入力するエネルギーも従
来より小さくてすみ、放熱板を設けずとも発熱を小さく
することが出来るのでモータの小型化を実現できる。
の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧軸
１の平面図で、動圧軸受部を示す。動圧軸１には互いに
反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン溝ｄとｅと
溝非加工部ｆより構成される一対の動圧軸受部Ｍが設け
てある。また動圧軸受部Ｍは、図４に示すように、溝非
加工部をなくして、全面加工を施したヘリングボーン溝
ｄ1，ｅ1のみであってもよい。図３は動圧軸１の上半分
の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方向に、外気
と連通する入口ｉを具えた中央孔ｇを穿設する。入口ｉ
付近にフィルター２３を設ける。前記中央孔ｇに連通し
てスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，ｃを穿設する。孔
ｂ，ｃの開口部はヘリングボーン溝ｄ，ｅの中心に位置
する。従って、図１で図示の本発明に係る動圧空気軸受
型光偏向器の動圧軸受部Ｍの境界条件は孔ｂ，ｃの開口
部分で空気の圧力が大気圧に等しいということになる。
また回転安定状態では、図６に図示のように、空気吸い
込み口では軸方向の質量流量は０になるので、この動圧
軸受部Ｍ内の圧力分布は図７に図示の状態となる。図７
において、縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐ
であり、Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示
す。本発明では、図７に図示するように動圧軸受部Ｍの
両端の空気吸い込み口では、大気圧よりも小さくなるか
ら、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の空気圧はＰ
＜１、即ち大気圧よりも小さくなる。例えばＰ＝０．７
であれば回転多面鏡の周囲圧力Ｐｓ＝０．７であるか
ら、回転数をＮｒ、回転多面鏡の形状による係数をＫｍ
とすると回転多面鏡の回転による風損Ｗは、Ｗ＝Ｐｓ×
Ｎｒ3×Ｋｍで表されるから、本動圧空気軸受型光偏向
器の回転多面体５の回転による風損Ｗは Ｗ＝０．７×Ｎｒ3×Ｋｍ〔ワット〕となり、 回転数Ｎｒと回転多面鏡の形状による係数Ｋｍが同じで
あれば風損は従来の動圧空気軸受型光偏向器に比べ３０
％減少する。このためモータに入力するエネルギーも従
来より小さくてすみ、放熱板を設けずとも発熱を小さく
することが出来るのでモータの小型化を実現できる。
【０００９】
【効果】以上詳細に説明したように、本発明によれば、
動圧空気軸受により光偏向器内部の空気を排出すること
により、光偏向器内の気圧を下げ、回転数Ｎｒと回転多
面鏡の形状による係数Ｋｍが同じであれば、その風損を
従来の動圧空気軸受型光偏向器に比べ少なくすることが
出来るので、モータに入力するエネルギーも従来より小
さくてすみ、モータの小型化や発熱を小さく押えること
が出来る。
動圧空気軸受により光偏向器内部の空気を排出すること
により、光偏向器内の気圧を下げ、回転数Ｎｒと回転多
面鏡の形状による係数Ｋｍが同じであれば、その風損を
従来の動圧空気軸受型光偏向器に比べ少なくすることが
出来るので、モータに入力するエネルギーも従来より小
さくてすみ、モータの小型化や発熱を小さく押えること
が出来る。
【図１】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の断面
図。
図。
【図２】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸
受部の一例の平面図。
受部の一例の平面図。
【図３】図２の動圧軸受部の上半分断面図。
【図４】本発明にかかる動圧空気軸受型光偏向器の動圧
軸受部の別の実施例の平面図。
軸受部の別の実施例の平面図。
【図５】図４の上半分断面図。
【図６】図２に図示するヘリングボーン溝を具えたスリ
ーブを含む動圧軸受部の断面図。
ーブを含む動圧軸受部の断面図。
【図７】図６に示す動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受
部の圧力分布の図。
部の圧力分布の図。
【図８】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図。
【図９】従来例の動圧軸受部の平面図。
【図１０】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受
部の断面図。
部の断面図。
【図１１】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受
部の圧力分布図。
部の圧力分布図。
１ 動圧軸 ２ スリーブ ３ モータケース ４ カバ部材 ５ 回転多面鏡 １０ スラスト浮上用磁石 １１ スラスト浮上用磁石 １２ スラスト動圧軸受 １３ ワッシャ １５ コイル １６ ヨーク ２０ Ｏリング ２１ Ｏリング ２２ マグネット ２３ ッフィルター ｂ 孔 ｃ 孔 ｄ ヘリングボーン溝 ｅ ヘリングボーン溝 ｄ１ ヘリングボーン溝 ｅ１ ヘリングボーン溝 ｆ 溝非加工部 ｇ 中央孔 ｉ 入口 Ｍ 動圧空気軸受部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭62−161213（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】 ケースに立設した動圧軸の外周を回転多
面鏡又は回転単面鏡と共に回転自在のモータ回転部を隙
間なく固着されたケースとカバ部材内に収納した光偏向
器において、外周にヘリングボーン溝を穿設した動圧軸
の中心部の長手方向に、外気と連通している中央孔を穿
設し、この中央孔と連通しており、ヘリングボーン溝に
よって形成される動圧空気軸受部の中心位置で、動圧軸
とスリーブとの隙間方向へ開口した孔を穿設し、モータ
回転部の回転により回転多面鏡、回転単面鏡を含むモー
タ回転部の外周における気圧を低下せしめて、回転多面
鏡又は回転単面鏡の風損を少なくしたことを特徴とする
動圧空気軸受型光偏向器。 - 【請求項２】 動圧軸の外周に穿設したヘリングボーン
溝が、互いに反対向きの吸入角を有し、これら対をなす
ヘリングボーン溝によって前記動圧空気軸受部を形成
し、この動圧空気軸受部の中心部に開口した孔を設けて
なる請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器。 - 【請求項３】 前記中央孔の入口にフィルターを装着し
た請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20554291A JP2645768B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20554291A JP2645768B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527194A JPH0527194A (ja) | 1993-02-05 |
| JP2645768B2 true JP2645768B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=16508621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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