JP2645773B2 - 動圧空気軸受型光偏向器 - Google Patents
動圧空気軸受型光偏向器Info
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- JP2645773B2 JP2645773B2 JP32695591A JP32695591A JP2645773B2 JP 2645773 B2 JP2645773 B2 JP 2645773B2 JP 32695591 A JP32695591 A JP 32695591A JP 32695591 A JP32695591 A JP 32695591A JP 2645773 B2 JP2645773 B2 JP 2645773B2
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- bearing
- optical deflector
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報機器、画像機器、
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の一例
の構造と作用とを図８から図１２を参照して説明する。
図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図であ
る。動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間な
く固着されている。また、動圧軸１ａとカバー部材４は
Ｏリング２０を介して、又カバー部材４とモータケース
３はＯリング２１を介して、隙間なく固着されている。
モータケース３の開口部に架設した支持板１７にホール
素子１８を設ける。動圧軸１ａの外周には円筒状スリー
ブ２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネ
ット２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよ
うにモータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の内側壁上に
は、動圧軸１ａの外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を
設け、スラスト動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設す
る。また符号１４はマグネット２２の下端に設けられ、
ワッシャ１３に固着したスペーサである。カバー部材４
内には、スリーブ２の外周に固定したハブ６とこのハブ
６に水平にネジ９で固着した回転多面鏡５とを、スリー
ブ２と共に動圧軸１ａの外周を回転自在に、収納する。
又スリーブ２の上端とこれに対面するカバー部材４の内
側面にそれぞれ極性の異なる一対のスラスト抑え用磁石
１０，１１を配設する。モータ回転部内の空間と外部と
は、動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１ａに設けた入口Ｋを具えた長手方向の中心
孔Ｈｇと、これに連通している孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部に
より流通している。コイル１５に通電すると、ヨーク１
６、ホール素子１８、マグネット２２よりなるモータ駆
動部が作動して、その外周に、マグネット２２を嵌挿固
着した円筒状スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持
され、動圧軸１ａを芯として回転する。それと同時に前
記スリーブ２の外周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５
が回転する。この際、動圧軸１ａとスリーブ２の間に動
圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生ずる。又磁石
１０、１１との間には磁石の反発力により適宜な隙間が
保持されている。動圧軸１ａとスリーブ２との間の隙間
内の空気の圧力分布を、図９から図１２で説明する。図
９は動圧軸１ａの平面図で、動圧軸受部を示す。動圧軸
１ａには互いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボ
ーン溝ＨｄとＨｅと溝非加工部Ｈｆより構成される一対
の動圧軸受部Ｍａが設けてある。図１０は動圧軸１ａの
上半分の断面図であり、動圧軸１ａの中心部の長手方向
に、大気と連通する入口Ｋを具えた中央孔Ｈｇと、この
中央孔Ｈｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔Ｈ
ｂ，Ｈｃが穿設してある。又入口Ｋ付近にはフィルタ２
３が設けてある（図８）。孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部はヘリ
ングボーン溝Ｈｄ，Ｈｅの中心に位置しており、図９で
図示の従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受部Ｍ
ａの境界条件は孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部分での空気の圧力
が大気圧に等しいということになる。又回転安定状態で
は、図１１に図示のように、空気吸い込み口では軸方向
の質量流量は０になるので、この動圧軸受部Ｍａ内の圧
力分布は図１２に図示の状態となる。図１２において縦
軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、Ｐ＝
１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示す。この従来
例では図１２に示すように、動圧軸受部Ｍａの両端の空
気吸い込み口では大気圧よりも圧力が低くなるから、図
８で示す動圧空気軸受型光偏向器内の空気圧は大気圧よ
りも低くなり、風損を小さくしているが、しかし、動圧
軸受部Ｍａの内部の最大空気圧は前記の通り大気圧とな
っていた。
の構造と作用とを図８から図１２を参照して説明する。
図８は従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図であ
る。動圧軸１ａはモータケース３に焼きばめ等で隙間な
く固着されている。また、動圧軸１ａとカバー部材４は
Ｏリング２０を介して、又カバー部材４とモータケース
３はＯリング２１を介して、隙間なく固着されている。
モータケース３の開口部に架設した支持板１７にホール
素子１８を設ける。動圧軸１ａの外周には円筒状スリー
ブ２が嵌挿してあり、更にスリーブ２の外周にはマグネ
ット２２が嵌挿固着され、このスリーブ２と対面するよ
うにモータケース３の垂直側壁内に設けたヨーク１６に
はコイル１５を巻回する。モータケース３の内側壁上に
は、動圧軸１ａの外周に渉ってスラスト動圧軸受１２を
設け、スラスト動圧軸受１２上にワッシャ１３を配設す
る。また符号１４はマグネット２２の下端に設けられ、
ワッシャ１３に固着したスペーサである。カバー部材４
内には、スリーブ２の外周に固定したハブ６とこのハブ
６に水平にネジ９で固着した回転多面鏡５とを、スリー
ブ２と共に動圧軸１ａの外周を回転自在に、収納する。
又スリーブ２の上端とこれに対面するカバー部材４の内
側面にそれぞれ極性の異なる一対のスラスト抑え用磁石
１０，１１を配設する。モータ回転部内の空間と外部と
は、動圧軸１ａとスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１ａに設けた入口Ｋを具えた長手方向の中心
孔Ｈｇと、これに連通している孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部に
より流通している。コイル１５に通電すると、ヨーク１
６、ホール素子１８、マグネット２２よりなるモータ駆
動部が作動して、その外周に、マグネット２２を嵌挿固
着した円筒状スリーブ２がスラスト動圧軸受１２に支持
され、動圧軸１ａを芯として回転する。それと同時に前
記スリーブ２の外周に設けたハブ６と共に回転多面鏡５
が回転する。この際、動圧軸１ａとスリーブ２の間に動
圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生ずる。又磁石
１０、１１との間には磁石の反発力により適宜な隙間が
保持されている。動圧軸１ａとスリーブ２との間の隙間
内の空気の圧力分布を、図９から図１２で説明する。図
９は動圧軸１ａの平面図で、動圧軸受部を示す。動圧軸
１ａには互いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボ
ーン溝ＨｄとＨｅと溝非加工部Ｈｆより構成される一対
の動圧軸受部Ｍａが設けてある。図１０は動圧軸１ａの
上半分の断面図であり、動圧軸１ａの中心部の長手方向
に、大気と連通する入口Ｋを具えた中央孔Ｈｇと、この
中央孔Ｈｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔Ｈ
ｂ，Ｈｃが穿設してある。又入口Ｋ付近にはフィルタ２
３が設けてある（図８）。孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部はヘリ
ングボーン溝Ｈｄ，Ｈｅの中心に位置しており、図９で
図示の従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受部Ｍ
ａの境界条件は孔Ｈｂ，Ｈｃの開口部分での空気の圧力
が大気圧に等しいということになる。又回転安定状態で
は、図１１に図示のように、空気吸い込み口では軸方向
の質量流量は０になるので、この動圧軸受部Ｍａ内の圧
力分布は図１２に図示の状態となる。図１２において縦
軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力Ｐであり、Ｐ＝
１のとき空気圧は大気圧に等しいことを示す。この従来
例では図１２に示すように、動圧軸受部Ｍａの両端の空
気吸い込み口では大気圧よりも圧力が低くなるから、図
８で示す動圧空気軸受型光偏向器内の空気圧は大気圧よ
りも低くなり、風損を小さくしているが、しかし、動圧
軸受部Ｍａの内部の最大空気圧は前記の通り大気圧とな
っていた。
【０００３】
【発明の解決すべき課題】前記従来例の動圧空気軸受型
光偏向器では、モータ回転部の回転により回転多面鏡、
回転単面鏡を含むモータ回転部の外周における気圧を低
下させて回転多面鏡又は回転単面鏡の風損を少なくする
ために動圧軸とスリーブとの隙間の気圧を大気圧として
いるので、軸受剛性が低くなるという問題点があった。
光偏向器では、モータ回転部の回転により回転多面鏡、
回転単面鏡を含むモータ回転部の外周における気圧を低
下させて回転多面鏡又は回転単面鏡の風損を少なくする
ために動圧軸とスリーブとの隙間の気圧を大気圧として
いるので、軸受剛性が低くなるという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 本発明は前記問題を解
決するためになされたもので、モータケース３に立設し
た動圧軸１と外周の回転多面鏡５又は回転単面鏡と共に
回転自在のモータ回転部２２とをモータケース３とカバ
ー部材４内に収納した光偏向器において、前記モータケ
ース３とカバー部材４を隙間なく固着し、内設した動圧
軸１の中心部の長手方向に、大気と連通している中央孔
ｇを穿設し、同動圧軸１の外周にヘリングボーン溝ｄ，
ｅ，ｄ，ｅによる二つの動圧軸受Ｍ，Ｍを構成し、その
最外側のヘリングボーン溝ｄ，ｅの外側に動圧軸受Ｍの
方向に空気を送る減圧用ヘリングボーン溝ｑ，ｒを穿設
し、これら減圧用ヘリングボーン溝ｑ，ｒと上記動圧軸
受Ｍ，Ｍとの間の中心位置に、上記中央孔ｇと連通して
おり、動圧軸１とスリーブ２との隙間方向へ開口した孔
ｂ，ｃを穿設し、モータ回転部２２の回転により回転多
面鏡５、回転単面鏡を含むモータ回転部２２の外周にお
ける気圧を低下せしめながら動圧軸受Ｍ，Ｍの気圧を大
気圧よりも高く保ち、回転多面鏡５又は回転単面鏡の風
損を少なくしつつ軸受剛性を高めることものである。
決するためになされたもので、モータケース３に立設し
た動圧軸１と外周の回転多面鏡５又は回転単面鏡と共に
回転自在のモータ回転部２２とをモータケース３とカバ
ー部材４内に収納した光偏向器において、前記モータケ
ース３とカバー部材４を隙間なく固着し、内設した動圧
軸１の中心部の長手方向に、大気と連通している中央孔
ｇを穿設し、同動圧軸１の外周にヘリングボーン溝ｄ，
ｅ，ｄ，ｅによる二つの動圧軸受Ｍ，Ｍを構成し、その
最外側のヘリングボーン溝ｄ，ｅの外側に動圧軸受Ｍの
方向に空気を送る減圧用ヘリングボーン溝ｑ，ｒを穿設
し、これら減圧用ヘリングボーン溝ｑ，ｒと上記動圧軸
受Ｍ，Ｍとの間の中心位置に、上記中央孔ｇと連通して
おり、動圧軸１とスリーブ２との隙間方向へ開口した孔
ｂ，ｃを穿設し、モータ回転部２２の回転により回転多
面鏡５、回転単面鏡を含むモータ回転部２２の外周にお
ける気圧を低下せしめながら動圧軸受Ｍ，Ｍの気圧を大
気圧よりも高く保ち、回転多面鏡５又は回転単面鏡の風
損を少なくしつつ軸受剛性を高めることものである。
【０００５】
【作用】本発明の動圧空気軸受型光偏向器においては、
モータ回転部が回転すると動圧軸受部を構成する孔がモ
ータ回転部外周における空気を吸い込むことにより、光
偏向器内部の気圧を下げると同時に動圧軸とスリーブと
の隙間の気圧を大気圧よりも高めることによって、回転
多面鏡又は回転単面鏡による風損を少なくしたままで剛
性を高めることができる。
モータ回転部が回転すると動圧軸受部を構成する孔がモ
ータ回転部外周における空気を吸い込むことにより、光
偏向器内部の気圧を下げると同時に動圧軸とスリーブと
の隙間の気圧を大気圧よりも高めることによって、回転
多面鏡又は回転単面鏡による風損を少なくしたままで剛
性を高めることができる。
【０００６】
【実施例】以下添付図面を参照して、本発明に係る動圧
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚、本
実施例においては回転多面鏡を装着した動圧空気軸受型
光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着して
もよいことは勿論である。尚従来例の動圧空気軸受型光
偏向器の説明において採用した符号のうち、本実施例と
同一のものは同一部材を示す。図１は本発明による動圧
空気軸受型光偏向器の断面図である。動圧軸１はモータ
ケース３に焼きばめ等で隙間なく固着されている。又、
動圧軸１とカバー部材４はＯリング２０を介して、又カ
バー部材４とモータケース３とはＯリング２１を介して
隙間なく固着されている。モータ回転部内の空間と外部
とは、動圧軸１とスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１に設けた長手方向の中心孔ｇと、これに連
通している孔ｂ，ｃの開口部により流通している。ヨー
ク１６、コイル１５…、ホール素子１８、マグネット２
２から構成されるモータ部を駆動すると、マグネット２
２が固着された中空円筒形のスリーブ２が回転し、更
に、スリーブ２に固着されたハブ６にネジ９で固着され
た回転多面鏡５が回転する。この際、動圧軸１とスリー
ブ２の間に動圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生
ずる。
空気軸受型光偏向器の実施例について説明する。尚、本
実施例においては回転多面鏡を装着した動圧空気軸受型
光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着して
もよいことは勿論である。尚従来例の動圧空気軸受型光
偏向器の説明において採用した符号のうち、本実施例と
同一のものは同一部材を示す。図１は本発明による動圧
空気軸受型光偏向器の断面図である。動圧軸１はモータ
ケース３に焼きばめ等で隙間なく固着されている。又、
動圧軸１とカバー部材４はＯリング２０を介して、又カ
バー部材４とモータケース３とはＯリング２１を介して
隙間なく固着されている。モータ回転部内の空間と外部
とは、動圧軸１とスリーブ２の間の隙間を通して、後述
する動圧軸１に設けた長手方向の中心孔ｇと、これに連
通している孔ｂ，ｃの開口部により流通している。ヨー
ク１６、コイル１５…、ホール素子１８、マグネット２
２から構成されるモータ部を駆動すると、マグネット２
２が固着された中空円筒形のスリーブ２が回転し、更
に、スリーブ２に固着されたハブ６にネジ９で固着され
た回転多面鏡５が回転する。この際、動圧軸１とスリー
ブ２の間に動圧が発生し、この動圧により軸受剛性が生
ずる。
【０００７】動圧軸１とスリーブ２との間の隙間内の空
気の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧
軸１の断面図で、動圧軸受Ｍを示す。動圧軸１には、互
いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン溝ｄと
ｅと溝非加工部ｆより構成される２つの動圧軸受Ｍ，Ｍ
と、この２つの動圧軸受Ｍ，Ｍの両側端に位置し、とな
りあうヘリングボーン溝ｄ，ｅと同じ向きの吸入角βを
持って動圧軸受Ｍの方向に空気を送る減圧用ヘリングボ
ーン溝ｑとｒが設けてある。又動圧軸受Ｍは、図４に示
すように溝非加工部をなくして、全面加工を施したヘリ
ングボーン溝ｄ，ｅのみであってもよい。図３は動圧溝
１の上半分の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方
向に、大気と連通する入口Ｋを具えた中央孔ｇと、この
中央孔ｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，
ｃが穿設してある。入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設け
てある。孔ｂ，ｃの開口部は、動圧軸受Ｍ，Ｍとその外
側に設けた減圧用ヘリングボーン溝ｑ及びｒとの、それ
ぞれの中心に位置しており、図１で図示の本発明に係る
動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸１の境界条件は孔ｂ，
ｃの開口部分での空気の圧力が大気圧に等しいというこ
とになる。又回転安定状態では、図６に図示のように、
空気吸い込み口では軸方向の質量流量は０になるので、
この動圧軸１内の圧力分布は図７に図示の状態となる。
図７において縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力
Ｐであり、Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを
示す。本発明では、前記の通り動圧軸受Ｍとヘリングボ
ーン溝ｑ，ｒとの中心に位置する孔ｂ，ｃの開口部分で
の空気の圧力が大気圧に等しくなるため、図７に示すよ
うに空気吸い込み口における気圧は大気圧よりも低くな
って、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の気圧も大
気圧より低くなるが、動圧軸１とスリーブ２との間の隙
間内の最大空気圧は大気圧よりも高くなり、風損を低下
させたまま軸受剛性を高めることができる。
気の圧力分布を、図２から図７で説明する。図２は動圧
軸１の断面図で、動圧軸受Ｍを示す。動圧軸１には、互
いに反対向きの吸入角βを持ったヘリングボーン溝ｄと
ｅと溝非加工部ｆより構成される２つの動圧軸受Ｍ，Ｍ
と、この２つの動圧軸受Ｍ，Ｍの両側端に位置し、とな
りあうヘリングボーン溝ｄ，ｅと同じ向きの吸入角βを
持って動圧軸受Ｍの方向に空気を送る減圧用ヘリングボ
ーン溝ｑとｒが設けてある。又動圧軸受Ｍは、図４に示
すように溝非加工部をなくして、全面加工を施したヘリ
ングボーン溝ｄ，ｅのみであってもよい。図３は動圧溝
１の上半分の断面図であり、動圧軸１の中心部の長手方
向に、大気と連通する入口Ｋを具えた中央孔ｇと、この
中央孔ｇに連通してスリーブ２の方向へ開口する孔ｂ，
ｃが穿設してある。入口Ｋ付近にはフィルタ２３が設け
てある。孔ｂ，ｃの開口部は、動圧軸受Ｍ，Ｍとその外
側に設けた減圧用ヘリングボーン溝ｑ及びｒとの、それ
ぞれの中心に位置しており、図１で図示の本発明に係る
動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸１の境界条件は孔ｂ，
ｃの開口部分での空気の圧力が大気圧に等しいというこ
とになる。又回転安定状態では、図６に図示のように、
空気吸い込み口では軸方向の質量流量は０になるので、
この動圧軸１内の圧力分布は図７に図示の状態となる。
図７において縦軸は代表値を大気圧にとった無次元圧力
Ｐであり、Ｐ＝１のとき空気圧は大気圧に等しいことを
示す。本発明では、前記の通り動圧軸受Ｍとヘリングボ
ーン溝ｑ，ｒとの中心に位置する孔ｂ，ｃの開口部分で
の空気の圧力が大気圧に等しくなるため、図７に示すよ
うに空気吸い込み口における気圧は大気圧よりも低くな
って、図１で示す動圧空気軸受型光偏向器内の気圧も大
気圧より低くなるが、動圧軸１とスリーブ２との間の隙
間内の最大空気圧は大気圧よりも高くなり、風損を低下
させたまま軸受剛性を高めることができる。
【０００８】
【効果】以上詳細に説明したように、本発明によれば、
回転多面鏡の周囲圧力を下げたまま動圧軸受内部すなわ
ち動圧軸とスリーブの隙間の気圧を高めることができる
ので、風損を小さくしてモータの省力化を行う際にも軸
受剛性を低下させることがなく、モータの性能を維持で
きる。
回転多面鏡の周囲圧力を下げたまま動圧軸受内部すなわ
ち動圧軸とスリーブの隙間の気圧を高めることができる
ので、風損を小さくしてモータの省力化を行う際にも軸
受剛性を低下させることがなく、モータの性能を維持で
きる。
【図１】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の一実施
例の断面図。
例の断面図。
【図２】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸
受部の一実施例の平面図。
受部の一実施例の平面図。
【図３】図２の動圧軸受部の上半分断面図。
【図４】本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸
受部の別の実施例の平面図。
受部の別の実施例の平面図。
【図５】図４の動圧軸受部の上半分断面図。
【図６】図２に図示するヘリングボーン溝を具えたスリ
ーブを含む動圧軸受部の断面図。
ーブを含む動圧軸受部の断面図。
【図７】図６に示す動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受
部周辺の圧力分布の図。
部周辺の圧力分布の図。
【図８】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図。
【図９】従来例の動圧空気軸受型光偏向器の動圧軸受部
の平面図。
の平面図。
【図１０】図９の動圧軸受部の上半分断面図。
【図１１】図９に図示するヘリングボーン溝を具えたス
リーブを含む動圧軸受部の断面図。
リーブを含む動圧軸受部の断面図。
【図１２】図１１に示す動圧空気軸受型光偏向器の動圧
軸受部周辺の圧力分布の図。
軸受部周辺の圧力分布の図。
１ 動圧軸 ２ スリーブ ３ モータケース ４ カバー部材 ５ 回転多面鏡 １０ スラスト抑え用磁石 １１ スラスト抑え用磁石 １２ スラスト動圧軸受 １３ ワッシャ １５ コイル １６ ヨーク ２０ Ｏリング ２１ Ｏリング ２２ マグネット ２３ フィルタ ｂ 孔 ｃ 孔 ｄ ヘリングボーン溝 ｅ ヘリングボーン溝 ｑ 減圧用ヘリングボーン溝 ｒ 減圧用ヘリングボーン溝 ｆ 溝非加工部 ｇ 中央孔 Ｋ 入口 Ｍ 動圧軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−27194（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−161213（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 モータケースに立設した動圧軸と外周の
回転多面鏡又は回転単面鏡と共に回転自在のモータ回転
部とをモータケースとカバー部材内に収納した光偏向器
において、前記モータケースとカバー部材を隙間なく固
着し、内設した動圧軸の中心部の長手方向に、大気と連
通している中央孔を穿設し、同動圧軸の外周にヘリング
ボーン溝による二つの動圧軸受を構成し、その最外側の
ヘリングボーン溝の外側に動圧軸受の方向に空気を送る
減圧用ヘリングボーン溝を穿設し、これら減圧用ヘリン
グボーン溝と上記動圧軸受との間の中心位置に、上記中
央孔と連通しており、動圧軸とスリーブとの隙間方向へ
開口した孔を穿設し、モータ回転部の回転により回転多
面鏡、回転単面鏡を含むモータ回転部の外周における気
圧を低下せしめながら動圧軸受の気圧を大気圧よりも高
く保ち、回転多面鏡又は回転単面鏡の風損を少なくしつ
つ軸受剛性を高めることを特徴とする動圧空気軸受型光
偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32695591A JP2645773B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32695591A JP2645773B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33264696A Division JP2980854B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134203A JPH05134203A (ja) | 1993-05-28 |
| JP2645773B2 true JP2645773B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=18193648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32695591A Expired - Lifetime JP2645773B2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2645773B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9709092B2 (en) | 2014-05-12 | 2017-07-18 | Nidec Copal Electronics Corporation | Fluid dynamic bearing, motor, and optical deflector |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1991
- 1991-11-15 JP JP32695591A patent/JP2645773B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05134203A (ja) | 1993-05-28 |
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