JP3092028B2 - 密閉型光偏向器 - Google Patents
密閉型光偏向器Info
- Publication number
- JP3092028B2 JP3092028B2 JP11787792A JP11787792A JP3092028B2 JP 3092028 B2 JP3092028 B2 JP 3092028B2 JP 11787792 A JP11787792 A JP 11787792A JP 11787792 A JP11787792 A JP 11787792A JP 3092028 B2 JP3092028 B2 JP 3092028B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- magnet ring
- rotary shaft
- polygon mirror
- hollow rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報機器、画像機器、
計測機器に用いられる光偏向器に関するものである。
計測機器に用いられる光偏向器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の光偏向器として、図３，
図４，図５に示すラジアルギャップ型の光偏向器が提案
されている。この光偏向器は、非回転体Ｆ即ち固定側
は、外周面に動圧発生溝ｅ，ｆの刻設されている固定軸
２７と、ステータヨーク２８がケース２４に固着されて
おり、さらに図５に示すように動圧発生溝ｋを設けたワ
ッシャ２６が固定軸２７に嵌挿されて構成されている。
また回転体Ｒは、固定軸２７にわずかな微小間隙ｓで外
嵌し、かつ底面がスラスト受け面ｎである中空回転軸２
３と、この中空回転軸２３に固着された回転多面鏡２２
と、固定側のステータヨーク２８に対向した回転駆動用
マグネット２５と、さらに微小穴ｐを有するキャップ２
１が中空回転軸２３に固着されて構成されている。尚、
２７はレーザ光入出窓である。このように構成された動
圧軸受型光偏向器を動作させるには、まず回転体Ｒが回
転すると、ラジアル軸受部ｈでは固定軸２７に設けられ
た動圧発生溝ｅ，ｆに図４に示すように空気が流れ込ん
で動圧を発生し、この圧力でラジアル方向を非接触で支
持するようになる。スラスト動圧軸受部ｍでは、図５に
示すようにラジアル軸受部ｈと同様に、ワッシャ２６に
設けられた動圧発生溝ｋに空気が流れ込み動圧を発生
し、この圧力による力が前記回転体を浮上させ、スラス
ト方向に非接触で支持する。
図４，図５に示すラジアルギャップ型の光偏向器が提案
されている。この光偏向器は、非回転体Ｆ即ち固定側
は、外周面に動圧発生溝ｅ，ｆの刻設されている固定軸
２７と、ステータヨーク２８がケース２４に固着されて
おり、さらに図５に示すように動圧発生溝ｋを設けたワ
ッシャ２６が固定軸２７に嵌挿されて構成されている。
また回転体Ｒは、固定軸２７にわずかな微小間隙ｓで外
嵌し、かつ底面がスラスト受け面ｎである中空回転軸２
３と、この中空回転軸２３に固着された回転多面鏡２２
と、固定側のステータヨーク２８に対向した回転駆動用
マグネット２５と、さらに微小穴ｐを有するキャップ２
１が中空回転軸２３に固着されて構成されている。尚、
２７はレーザ光入出窓である。このように構成された動
圧軸受型光偏向器を動作させるには、まず回転体Ｒが回
転すると、ラジアル軸受部ｈでは固定軸２７に設けられ
た動圧発生溝ｅ，ｆに図４に示すように空気が流れ込ん
で動圧を発生し、この圧力でラジアル方向を非接触で支
持するようになる。スラスト動圧軸受部ｍでは、図５に
示すようにラジアル軸受部ｈと同様に、ワッシャ２６に
設けられた動圧発生溝ｋに空気が流れ込み動圧を発生
し、この圧力による力が前記回転体を浮上させ、スラス
ト方向に非接触で支持する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例の光偏向器で
は、回転多面鏡回転室ｕ内は大気圧であるため、回転多
面鏡２２を高速回転させると風損の影響が大きく、省電
力化，高速回転化ができないという問題点があった。
は、回転多面鏡回転室ｕ内は大気圧であるため、回転多
面鏡２２を高速回転させると風損の影響が大きく、省電
力化，高速回転化ができないという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、ケース（４）の底部中央に
スラスト下マグネットリング（１２）を環装した複数個
の動圧発生溝（ｅ），（ｆ）が刻設された透磁性の固定
軸（８）が配設され、上記ケース（４）の内壁周囲にス
テータヨーク（６）が配設され、上記固定軸（８）に
は、内壁に複数個の空気溜り溝（ｊ），（ｊ），・・・
を備えた中空回転軸（３）が微小間隙（ｓ）を保って外
嵌され、上記中空回転軸（３）の底部には磁性流体シー
ル部（Ａ）が備えられ、かつこの磁性流体シール部
（Ａ）の底部のマグネットリング（１３ｂ）が上記スラ
スト下マグネットリング（１２）の受け面となされるこ
とにより動圧発生室（ｖ）が構成され、上記中空回転軸
（３）の外周には上部より回転多面鏡（２）が配設さ
れ、上記ステータヨーク（６）に対向して回転駆動用マ
グネット（５）が配設され、空気引き出し孔（７）とレ
ーザ光入出窓（１６）とを設けたカバー（９）が、上記
中空回転軸（３）を覆うように上記ケース（４）に密着
装着されることにより回転多面鏡回転室（ｗ）が構成さ
れ、上記動圧発生室（ｖ）と上記回転多面鏡回転室
（ｗ）とを密閉分離するとともに、所望の軸受剛性を発
生させるため、上記動圧発生溝（ｅ），（ｆ）に供給す
る空気を上記空気溜まり溝（ｊ），（ｊ），・・・に保
持させることにより密閉型光偏向器を構成している。ま
た、上記磁性流体シール部（Ａ）は、上記中空回転軸
（３）の底部にサンドイッチ状に固着された第１の放熱
板（１４ａ）、第１のポールピース（１５ａ）、第１の
マグネットリング（１３ａ）、第２のポールピース（１
５ｂ）、第２の放熱板（１４ｂ）、第３のポールピース
（１５ｃ）、第２のマグネットリング（１３ｂ）と、上
記第１、第２、第３の各ポールピース（１５ａ），（１
５ｂ），（１５ｃ）と上記透磁性の固定軸（８）との間
に配設された磁性流体（ｘ），（ｘ），（ｘ）とにより
構成することにより密閉型光偏向器を構成している。
するためになされたもので、ケース（４）の底部中央に
スラスト下マグネットリング（１２）を環装した複数個
の動圧発生溝（ｅ），（ｆ）が刻設された透磁性の固定
軸（８）が配設され、上記ケース（４）の内壁周囲にス
テータヨーク（６）が配設され、上記固定軸（８）に
は、内壁に複数個の空気溜り溝（ｊ），（ｊ），・・・
を備えた中空回転軸（３）が微小間隙（ｓ）を保って外
嵌され、上記中空回転軸（３）の底部には磁性流体シー
ル部（Ａ）が備えられ、かつこの磁性流体シール部
（Ａ）の底部のマグネットリング（１３ｂ）が上記スラ
スト下マグネットリング（１２）の受け面となされるこ
とにより動圧発生室（ｖ）が構成され、上記中空回転軸
（３）の外周には上部より回転多面鏡（２）が配設さ
れ、上記ステータヨーク（６）に対向して回転駆動用マ
グネット（５）が配設され、空気引き出し孔（７）とレ
ーザ光入出窓（１６）とを設けたカバー（９）が、上記
中空回転軸（３）を覆うように上記ケース（４）に密着
装着されることにより回転多面鏡回転室（ｗ）が構成さ
れ、上記動圧発生室（ｖ）と上記回転多面鏡回転室
（ｗ）とを密閉分離するとともに、所望の軸受剛性を発
生させるため、上記動圧発生溝（ｅ），（ｆ）に供給す
る空気を上記空気溜まり溝（ｊ），（ｊ），・・・に保
持させることにより密閉型光偏向器を構成している。ま
た、上記磁性流体シール部（Ａ）は、上記中空回転軸
（３）の底部にサンドイッチ状に固着された第１の放熱
板（１４ａ）、第１のポールピース（１５ａ）、第１の
マグネットリング（１３ａ）、第２のポールピース（１
５ｂ）、第２の放熱板（１４ｂ）、第３のポールピース
（１５ｃ）、第２のマグネットリング（１３ｂ）と、上
記第１、第２、第３の各ポールピース（１５ａ），（１
５ｂ），（１５ｃ）と上記透磁性の固定軸（８）との間
に配設された磁性流体（ｘ），（ｘ），（ｘ）とにより
構成することにより密閉型光偏向器を構成している。
【０００５】
【作用】本発明の密閉型光偏向器においては、磁性流体
シール部Ａによって回転多面鏡回転室ｗと軸受空間ｖと
を密閉分離する構造となっているので、ラジアル動圧軸
受に必要な軸受空間ｖ内の空気を空気溜まり溝ｊに保持
したまま、空気引き出し孔７に真空ポンプを直結するな
どして回転多面鏡室ｗ内の空気を吸引して低圧にするこ
とができる。このとき、ラジアル軸受は固定軸８と中空
回転軸３で構成されるので、中空回転軸３が回転すると
固定軸８に刻設された動圧発生溝ｅ，ｆに空気溜まり溝
ｊに保持された空気が流れ込んで動圧を発生し、この圧
力でラジアル方向を非接触で支持するようになる。ま
た、スラスト軸受はスラスト下マグネットリング１２と
マグネットリング１３ｂで構成されるので、回転多面鏡
回転室ｗ内が低圧においても磁気反発による力でスラス
ト方向に非接触で支持する。さらに、回転多面鏡回転室
ｗを低圧にすることにより、回転多面鏡２の回転による
風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を図るこ
とができる。
シール部Ａによって回転多面鏡回転室ｗと軸受空間ｖと
を密閉分離する構造となっているので、ラジアル動圧軸
受に必要な軸受空間ｖ内の空気を空気溜まり溝ｊに保持
したまま、空気引き出し孔７に真空ポンプを直結するな
どして回転多面鏡室ｗ内の空気を吸引して低圧にするこ
とができる。このとき、ラジアル軸受は固定軸８と中空
回転軸３で構成されるので、中空回転軸３が回転すると
固定軸８に刻設された動圧発生溝ｅ，ｆに空気溜まり溝
ｊに保持された空気が流れ込んで動圧を発生し、この圧
力でラジアル方向を非接触で支持するようになる。ま
た、スラスト軸受はスラスト下マグネットリング１２と
マグネットリング１３ｂで構成されるので、回転多面鏡
回転室ｗ内が低圧においても磁気反発による力でスラス
ト方向に非接触で支持する。さらに、回転多面鏡回転室
ｗを低圧にすることにより、回転多面鏡２の回転による
風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を図るこ
とができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜２を用いて
説明する。本発明は図１，図２に示すとおりモータ構成
はラジアルギャップ型動圧空気軸受型による密閉型光偏
向器の例で、図１は全体の断面図、図２は磁性流体シー
ル部Ａの説明図である。図１において、この光偏向器の
非回転体Ｆ即ち固定側は、ケース４の底部中央に配設さ
れた外周円に動圧発生溝ｅ，ｆの刻設された透磁性の固
定軸８とこの固定軸８に環装されたスラスト下マグネッ
トリング１２およびケース４の内周壁に配設されたステ
ータヨーク６で構成されている。尚、スラスト下マグネ
ットリング１２はケース４の底部に固着されている。ま
た回転体Ｒは、固定軸８に微小間隙ｓを保って外嵌され
た内壁に複数個の空気溜り溝ｊ，ｊ，ｊを備えた中空回
転軸３とこの中空回転軸３の底部に配設されたスラスト
下マグネットリング１２の受け面となるマグネットリン
グ１３ａを有する磁性流体シール部Ａと、中空回転軸３
の頂部のキャップ１および外周に配設された回転多面鏡
２とステータヨーク６に対向配置された回転駆動用マグ
ネット５で構成されている。更に、中空回転軸３を覆っ
て空気引き出し孔７とレーザ光入出窓１６を設けたカバ
ー９がケース４に密着装着され、これにより軸受空間Ｖ
は、磁性流体シール部Ａによって、回転多面鏡回転室ｗ
と密閉分離された構造となっている。
説明する。本発明は図１，図２に示すとおりモータ構成
はラジアルギャップ型動圧空気軸受型による密閉型光偏
向器の例で、図１は全体の断面図、図２は磁性流体シー
ル部Ａの説明図である。図１において、この光偏向器の
非回転体Ｆ即ち固定側は、ケース４の底部中央に配設さ
れた外周円に動圧発生溝ｅ，ｆの刻設された透磁性の固
定軸８とこの固定軸８に環装されたスラスト下マグネッ
トリング１２およびケース４の内周壁に配設されたステ
ータヨーク６で構成されている。尚、スラスト下マグネ
ットリング１２はケース４の底部に固着されている。ま
た回転体Ｒは、固定軸８に微小間隙ｓを保って外嵌され
た内壁に複数個の空気溜り溝ｊ，ｊ，ｊを備えた中空回
転軸３とこの中空回転軸３の底部に配設されたスラスト
下マグネットリング１２の受け面となるマグネットリン
グ１３ａを有する磁性流体シール部Ａと、中空回転軸３
の頂部のキャップ１および外周に配設された回転多面鏡
２とステータヨーク６に対向配置された回転駆動用マグ
ネット５で構成されている。更に、中空回転軸３を覆っ
て空気引き出し孔７とレーザ光入出窓１６を設けたカバ
ー９がケース４に密着装着され、これにより軸受空間Ｖ
は、磁性流体シール部Ａによって、回転多面鏡回転室ｗ
と密閉分離された構造となっている。
【０００７】上記磁性流体シール部Ａは、中空回転軸３
の底部にサンドイッチ状に固着された第１の放熱板１４
ａ、第１のポールピース１５ａ、第１のマグネットリン
グ１３ａ、第２のポールピース１５ｂ、第２の放熱板１
４ｂ、第３のポールピース１５ｃ、第２のマグネットリ
ング１３ｂと、第１、第２、第３の各ポールピース１５
ａ，１５ｂ，１５ｃと固定軸８との間に配設された磁性
流体ｘ，ｘ，ｘとにより構成されている。これより、ポ
ールピース１５ａ，透磁性の固定軸８，ポールピース１
５ｂ，マグネットリング１３ｂ，及び、ポールピース１
５ｃ，透磁性の固定軸８，マグネットリング１３ａにま
たがって図２中矢印のような磁気回路が形成され、ポー
ルピース１５ａ，１５ｂ，１５ｃと固定軸８表面の間隙
が一番磁場が強くなるため、磁性流体ｘはこの間隙に強
く吸引されリング状になって間隙を塞いで磁性流体シー
ルが形成される。このような構成になっているため、特
に高速回転時に問題となる磁性流体ｘの発熱を放熱板１
４ａ，１４ｂによって放熱することができる。
の底部にサンドイッチ状に固着された第１の放熱板１４
ａ、第１のポールピース１５ａ、第１のマグネットリン
グ１３ａ、第２のポールピース１５ｂ、第２の放熱板１
４ｂ、第３のポールピース１５ｃ、第２のマグネットリ
ング１３ｂと、第１、第２、第３の各ポールピース１５
ａ，１５ｂ，１５ｃと固定軸８との間に配設された磁性
流体ｘ，ｘ，ｘとにより構成されている。これより、ポ
ールピース１５ａ，透磁性の固定軸８，ポールピース１
５ｂ，マグネットリング１３ｂ，及び、ポールピース１
５ｃ，透磁性の固定軸８，マグネットリング１３ａにま
たがって図２中矢印のような磁気回路が形成され、ポー
ルピース１５ａ，１５ｂ，１５ｃと固定軸８表面の間隙
が一番磁場が強くなるため、磁性流体ｘはこの間隙に強
く吸引されリング状になって間隙を塞いで磁性流体シー
ルが形成される。このような構成になっているため、特
に高速回転時に問題となる磁性流体ｘの発熱を放熱板１
４ａ，１４ｂによって放熱することができる。
【０００８】本発明による密閉型光傾向器では、磁性流
体シールＡによって回転多面鏡回転室ｗ内と軸受空間ｖ
内とを密閉分離しているので、ラジアル動圧軸受に必要
な軸受空間ｖ内の空気を空気溜まり溝ｊに保持したま
ま、空気引き出し孔７に真空ポンプを直結するなどして
回転多面鏡室ｗ内の空気を吸引し低圧にすることができ
る。このとき、ラジアル動圧軸受は固定軸８と中空回転
軸３で構成されるので、中空回転軸３が回転すると固定
軸８に刻設された動圧発生溝ｅ，ｆに空気溜まり溝ｊ，
ｊ，ｊに保持された空気が流れ込んで動圧を発生し、こ
の圧力でラジアル方向を非接触で支持するようになる。
また、スラスト軸受はスラスト下マグネットリング１２
とマグネットリング１３ａで構成されるので、回転多面
鏡回転室ｗ内が低圧においても磁気反発による力でスラ
スト方向に非接触で支持する。さらに、回転多面鏡回転
室ｗ内を低圧にすることにより、回転多面鏡２の回転に
よる風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を図
ることができる。
体シールＡによって回転多面鏡回転室ｗ内と軸受空間ｖ
内とを密閉分離しているので、ラジアル動圧軸受に必要
な軸受空間ｖ内の空気を空気溜まり溝ｊに保持したま
ま、空気引き出し孔７に真空ポンプを直結するなどして
回転多面鏡室ｗ内の空気を吸引し低圧にすることができ
る。このとき、ラジアル動圧軸受は固定軸８と中空回転
軸３で構成されるので、中空回転軸３が回転すると固定
軸８に刻設された動圧発生溝ｅ，ｆに空気溜まり溝ｊ，
ｊ，ｊに保持された空気が流れ込んで動圧を発生し、こ
の圧力でラジアル方向を非接触で支持するようになる。
また、スラスト軸受はスラスト下マグネットリング１２
とマグネットリング１３ａで構成されるので、回転多面
鏡回転室ｗ内が低圧においても磁気反発による力でスラ
スト方向に非接触で支持する。さらに、回転多面鏡回転
室ｗ内を低圧にすることにより、回転多面鏡２の回転に
よる風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を図
ることができる。
【０００９】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の密閉型
光偏向器においては、軸受部と回転多面鏡室内を磁性流
体シールにより分雛した構造となっているので、回転多
面鏡室内を磁性流体シールにより分離した構造となって
いるので、回転多面鏡回転室内のみ低圧にしているの
で、軸受部の機能を阻害することなく回転多面鏡の回転
による風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を
図ることができる。
光偏向器においては、軸受部と回転多面鏡室内を磁性流
体シールにより分雛した構造となっているので、回転多
面鏡室内を磁性流体シールにより分離した構造となって
いるので、回転多面鏡回転室内のみ低圧にしているの
で、軸受部の機能を阻害することなく回転多面鏡の回転
による風損を著しく低減し、省電力化及び高速回転化を
図ることができる。
【図１】本発明による密閉型光偏向器の一実施例の断面
図。
図。
【図２】本発明による密閉型光偏向器の磁性流体シール
の説明図。
の説明図。
【図３】従来の動圧空気軸受型光偏向器の一実施例の断
面図。
面図。
【図４】従来の動圧空気軸受型光偏向器の一実施例のラ
ジアル軸受部の説明図。
ジアル軸受部の説明図。
【図５】従来の動圧空気軸受型光偏向器の一実施例のス
ラスト軸受部の説明図。
ラスト軸受部の説明図。
１，２１ キャップ ２，２２ 回転単
面鏡 ３，２３ 中空回転軸 ４，２４ ケース ５，２５ 回転駆動用マグネット ６，２８ ステー
タヨーク ７ 空気引き出し孔 ８，２７ 固定軸 ９，２０ カバー １２ スラスト下
マグネットリング １３ａ，１３ｂ マグネットリング １４ａ，１４ｂ
放熱板 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ ポールピース １６，２７ レーザ光入出窓 Ａ 磁性流体シー
ル部 ｅ，ｆ，ｋ 動圧発生溝 ｘ 磁性流体 ｊ 空気溜まり溝 ｗ，ｕ 回転多面
鏡回転室 ｖ 動圧発生室 ｈ ラジアル軸受
部 ｍ スラスト軸受部 ｎ スラスト受け
面 ｐ 微小穴 ｓ 微小間隙 Ｆ 非回転体 Ｒ 回転体
面鏡 ３，２３ 中空回転軸 ４，２４ ケース ５，２５ 回転駆動用マグネット ６，２８ ステー
タヨーク ７ 空気引き出し孔 ８，２７ 固定軸 ９，２０ カバー １２ スラスト下
マグネットリング １３ａ，１３ｂ マグネットリング １４ａ，１４ｂ
放熱板 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ ポールピース １６，２７ レーザ光入出窓 Ａ 磁性流体シー
ル部 ｅ，ｆ，ｋ 動圧発生溝 ｘ 磁性流体 ｊ 空気溜まり溝 ｗ，ｕ 回転多面
鏡回転室 ｖ 動圧発生室 ｈ ラジアル軸受
部 ｍ スラスト軸受部 ｎ スラスト受け
面 ｐ 微小穴 ｓ 微小間隙 Ｆ 非回転体 Ｒ 回転体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−121012（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−105815（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−43119（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 26/10
Claims (2)
- 【請求項１】 ケース（４）の底部中央にスラスト下マ
グネットリング（１２）を環装した複数個の動圧発生溝
（ｅ），（ｆ）が刻設された透磁性の固定軸（８）が配
設され、上記ケース（４）の内壁周囲にステータヨーク
（６）が配設され、上記固定軸（８）には、内壁に複数
個の空気溜り溝（ｊ），（ｊ），・・・を備えた中空回
転軸（３）が微小間隙（ｓ）を保って外嵌され、上記中
空回転軸（３）の底部には磁性流体シール部（Ａ）が備
えられ、かつこの磁性流体シール部（Ａ）の底部のマグ
ネットリング（１３ｂ）が上記スラスト下マグネットリ
ング（１２）の受け面となされることにより動圧発生室
（ｖ）が構成され、上記中空回転軸（３）の外周には上
部より回転多面鏡（２）が配設され、上記ステータヨー
ク（６）に対向して回転駆動用マグネット（５）が配設
され、空気引き出し孔（７）とレーザ光入出窓（１６）
とを設けたカバー（９）が、上記中空回転軸（３）を覆
うように上記ケース（４）に密着装着されることにより
回転多面鏡回転室（ｗ）が構成され、上記動圧発生室
（ｖ）と上記回転多面鏡回転室（ｗ）とを密閉分離する
とともに、所望の軸受剛性を発生させるため、上記動圧
発生溝（ｅ），（ｆ）に供給する空気を上記空気溜まり
溝（ｊ），（ｊ），・・・に保持させたことを特徴とす
る密閉型光偏向器。 - 【請求項２】 上記磁性流体シール部（Ａ）は、上記中
空回転軸（３）の底部にサンドイッチ状に固着された第
１の放熱板（１４ａ）、第１のポールピース（１５
ａ）、第１のマグネットリング（１３ａ）、第２のポー
ルピース（１５ｂ）、第２の放熱板（１４ｂ）、第３の
ポールピース（１５ｃ）、第２のマグネットリング（１
３ｂ）と、上記第１、第２、第３の各ポールピース（１
５ａ），（１５ｂ），（１５ｃ）と上記透磁性の固定軸
（８）との間に配設された磁性流体（ｘ），（ｘ），
（ｘ）とにより構成されたことを特徴とする請求項１記
載の密閉型光偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11787792A JP3092028B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | 密閉型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11787792A JP3092028B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | 密閉型光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05273490A JPH05273490A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3092028B2 true JP3092028B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=14722466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11787792A Expired - Fee Related JP3092028B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | 密閉型光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3092028B2 (ja) |
-
1992
- 1992-03-27 JP JP11787792A patent/JP3092028B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05273490A (ja) | 1993-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2774444B2 (ja) | 密閉型ポリゴンスキャナ | |
| US5157295A (en) | Under-the-hub disk drive spin motor | |
| US5796548A (en) | Disk storage device having spindle assembly with ring enclosure | |
| JPH01501577A (ja) | 回転装置 | |
| JP3092028B2 (ja) | 密閉型光偏向器 | |
| JP3305278B2 (ja) | 液体動圧軸受及びスピンドルモータ | |
| JP2000283156A (ja) | 液体動圧軸受及びスピンドルモータ | |
| JP3260719B2 (ja) | 液体動圧軸受及びスピンドルモータ | |
| JP2001136706A (ja) | モータ | |
| JP2569244Y2 (ja) | ポリゴンミラー回転駆動装置 | |
| JP3148394B2 (ja) | スピンドルモータ | |
| JP2632305B2 (ja) | モータスピンドル | |
| JPH04244756A (ja) | スピンドルモータ | |
| JP3351545B2 (ja) | ハードディスク装置 | |
| JPH02126216A (ja) | スキャナユニット | |
| JPH0560135A (ja) | 密閉式流体軸受モータ | |
| US6302586B1 (en) | Fluid sealing device for use with a motor for rotating a disc drive | |
| JP3192279B2 (ja) | 偏向走査装置 | |
| JPH0828946B2 (ja) | モータ | |
| JPH08160332A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JPH0527087B2 (ja) | ||
| JPH0527194A (ja) | 動圧空気軸受型光偏向器 | |
| JP2001065555A (ja) | 気体動圧軸受及びスピンドルモータ | |
| JPS6314218U (ja) | ||
| JPH07111029A (ja) | モータの軸受流体シール構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070728 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |