JPH05188313A - 動圧空気軸受型光偏向器 - Google Patents
動圧空気軸受型光偏向器Info
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- JPH05188313A JPH05188313A JP3886692A JP3886692A JPH05188313A JP H05188313 A JPH05188313 A JP H05188313A JP 3886692 A JP3886692 A JP 3886692A JP 3886692 A JP3886692 A JP 3886692A JP H05188313 A JPH05188313 A JP H05188313A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 動圧軸受型光偏向器において、回転中心軸水
平での使用に適用するためのスラスト軸受構造の簡素
化、低コスト化を目的とする。 【構成】 ハブ１０を介して回転多面鏡１２が固着され
たスリーブ２に動圧軸１が遊挿され、前記スリーブ２の
両端面に固着されたワッシャ２０及び２１にそれぞれ対
向してスラスト動圧軸受８及び９がモータケース３及び
カバー部材４に固着されて構成された動圧空気軸受型光
偏向器において、スラスト動圧軸受８とワッシャ２０ま
たはスラスト動圧軸受９とワッシャ２１のいづれかを除
去し、互いに反発するスラストマグネット１６，１７ま
たは互いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９
を配設し、上下双方向に対するスラスト軸受剛性を得
る。
平での使用に適用するためのスラスト軸受構造の簡素
化、低コスト化を目的とする。 【構成】 ハブ１０を介して回転多面鏡１２が固着され
たスリーブ２に動圧軸１が遊挿され、前記スリーブ２の
両端面に固着されたワッシャ２０及び２１にそれぞれ対
向してスラスト動圧軸受８及び９がモータケース３及び
カバー部材４に固着されて構成された動圧空気軸受型光
偏向器において、スラスト動圧軸受８とワッシャ２０ま
たはスラスト動圧軸受９とワッシャ２１のいづれかを除
去し、互いに反発するスラストマグネット１６，１７ま
たは互いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９
を配設し、上下双方向に対するスラスト軸受剛性を得
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報機器、画像機器、
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
計測機器に用いられる動圧空気軸受型光偏向器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回転中心軸に平行である双方向に
対するスラスト軸受剛性が得られる動圧空気軸受型光偏
向器のとして、図４に示される構造のものが提案されて
いる。図４において、１はスリーブ２にに遊挿された動
圧軸で、その下端部はモータケース３に焼きばめ等で、
また上端部はモータケース３とネジで結合されたカバー
部材４にＯリング５を介して、それぞれ固着されてい
る。カバー部材４内のスリーブ２の外周には、ハブ１０
が固着され、このハブ１０に水平に回転多面鏡１２が固
着されている。またハブ１０の下部のスリーブ２の外周
にはマグネット１５が、モータケース３の内周に固着さ
れたヨーク１４に相対して固着されている。 スリーブ
２の下端面とモータケース３の内周面との間に、モータ
ケース３側より下部スラスト動圧軸受８，ワッシャ２０
がそれらの順に動圧軸１に、またスリーブ２の上端面と
カバー部材４の内周面との間には、カバー部材４側より
上部スラスト動圧軸受９，ワッシャ２１がそれらの順に
動圧軸１にそれぞれ遊挿されている。尚、下部スラスト
動圧軸受８はモータケース３に、ワッシャ２０はスリー
ブ２の下端面にそれぞれ固着され、また上部スラスト動
圧軸受９はカバー部材４に、ワッシャ２１はスリーブ２
０，ハブ１０の端面にそれぞれ固着されている。これら
の下部スラスト動圧軸受８と上部スラスト動圧軸受９と
は、［図３］（Ａ）の平面図、［図３］（Ｂ）の断面図
に示すように、同一形状のワッシャ２０，２１とほぼ等
しい厚みと中心に動圧軸１が遊挿する穴８ａ（９ａ）を
有する円板で、その表面８ｂ，（９ｂ）にのみ内周から
外周に向う複数個のヘリングボーン溝Ｈが刻設されてい
る。尚、スラスト動圧軸受８，９において、ヘリングボ
ーン溝Ｈが内周円から外周円へ向かう方向は、スリーブ
２、ハブ１０、回転多面鏡１２、マグネット１５、ワッ
シャ２０，２１、スペーサ２２によって構成されるモー
タ回転部の回転方向によって決まり、このスラスト動圧
軸受８は、そのヘリングボーン溝Ｈのある表面８ｂがワ
ッシャ２０の面と、スラスト動圧軸受９は、そのヘリン
グボーン溝Ｈのある表面９ｂがワッシャ２１の面とそれ
ぞれ対向するように配設されている。即ち、スラスト動
圧軸受８のヘリングボーン溝Ｈとスラスト動圧軸受９の
ヘリングボーン溝Ｈとは互に向き合うようになってい
る。またスラスト動圧軸受８のヘリングボーン溝Ｈの方
向とスラスト動圧軸受９のヘリングボーン溝Ｈの方向は
互いに逆方向に刻設されているが［図３］（Ａ）では同
一方向で示してある。更に、７はモータケース３の開口
部に架設された支持板６に取付けられたホール素子、１
３はヨーク１４に巻回されたコイル、２２はマグネット
１５とワッシャ２０との間に設けられ、マグネット１５
とワットャ２０に固着されたスペーサである。
対するスラスト軸受剛性が得られる動圧空気軸受型光偏
向器のとして、図４に示される構造のものが提案されて
いる。図４において、１はスリーブ２にに遊挿された動
圧軸で、その下端部はモータケース３に焼きばめ等で、
また上端部はモータケース３とネジで結合されたカバー
部材４にＯリング５を介して、それぞれ固着されてい
る。カバー部材４内のスリーブ２の外周には、ハブ１０
が固着され、このハブ１０に水平に回転多面鏡１２が固
着されている。またハブ１０の下部のスリーブ２の外周
にはマグネット１５が、モータケース３の内周に固着さ
れたヨーク１４に相対して固着されている。 スリーブ
２の下端面とモータケース３の内周面との間に、モータ
ケース３側より下部スラスト動圧軸受８，ワッシャ２０
がそれらの順に動圧軸１に、またスリーブ２の上端面と
カバー部材４の内周面との間には、カバー部材４側より
上部スラスト動圧軸受９，ワッシャ２１がそれらの順に
動圧軸１にそれぞれ遊挿されている。尚、下部スラスト
動圧軸受８はモータケース３に、ワッシャ２０はスリー
ブ２の下端面にそれぞれ固着され、また上部スラスト動
圧軸受９はカバー部材４に、ワッシャ２１はスリーブ２
０，ハブ１０の端面にそれぞれ固着されている。これら
の下部スラスト動圧軸受８と上部スラスト動圧軸受９と
は、［図３］（Ａ）の平面図、［図３］（Ｂ）の断面図
に示すように、同一形状のワッシャ２０，２１とほぼ等
しい厚みと中心に動圧軸１が遊挿する穴８ａ（９ａ）を
有する円板で、その表面８ｂ，（９ｂ）にのみ内周から
外周に向う複数個のヘリングボーン溝Ｈが刻設されてい
る。尚、スラスト動圧軸受８，９において、ヘリングボ
ーン溝Ｈが内周円から外周円へ向かう方向は、スリーブ
２、ハブ１０、回転多面鏡１２、マグネット１５、ワッ
シャ２０，２１、スペーサ２２によって構成されるモー
タ回転部の回転方向によって決まり、このスラスト動圧
軸受８は、そのヘリングボーン溝Ｈのある表面８ｂがワ
ッシャ２０の面と、スラスト動圧軸受９は、そのヘリン
グボーン溝Ｈのある表面９ｂがワッシャ２１の面とそれ
ぞれ対向するように配設されている。即ち、スラスト動
圧軸受８のヘリングボーン溝Ｈとスラスト動圧軸受９の
ヘリングボーン溝Ｈとは互に向き合うようになってい
る。またスラスト動圧軸受８のヘリングボーン溝Ｈの方
向とスラスト動圧軸受９のヘリングボーン溝Ｈの方向は
互いに逆方向に刻設されているが［図３］（Ａ）では同
一方向で示してある。更に、７はモータケース３の開口
部に架設された支持板６に取付けられたホール素子、１
３はヨーク１４に巻回されたコイル、２２はマグネット
１５とワッシャ２０との間に設けられ、マグネット１５
とワットャ２０に固着されたスペーサである。
【０００３】このように構成された動圧空気軸受型光偏
向器を動作させるには、コイル１３に通電すると、ヨー
ク１４、マグネット１５ホール素子よりなるモータ駆動
部が作動して、スリーブ２がスラスト動圧軸受８，９に
支持され、動圧軸１を芯として回転すると共に、ハブ１
０に結合された回転多面鏡１２を回転する。この場合、
動圧軸１とスリーブ２との間に動圧が発生し、この動圧
によりラジアル軸受剛性が生ずる。またスリーブ２の回
転によりスラスト動圧軸受８，９のヘリングボーン溝Ｈ
に外周から空気が吸い込まれ、スラスト動圧軸受８とワ
ッシャ２０及びスラスト動圧軸受９とワッシャ２１との
間に動圧が発生し、図中上下双方向に対するスラスト軸
受剛性が生ずる。尚更に、［図４］においては、スラス
ト動圧軸受８はモータケース３に、ワッシャ２０はスリ
ーブ２の端面に、またスラスト動圧軸受９はカバー部材
４に、ワッシャ２１はスリーブ２、ハブ１０の端面にそ
れぞれ固着されているが、スラスト動圧軸受８をスリー
ブ２の端面に、ワッシャ２０をモータケース３に、また
スラスト動圧軸受９をスリーブ２、ハブ１０の端面に、
ワッシャ２１をカバー部材４にそれぞれ固着しても、同
様に図中上下双方向に対するスラスト軸受剛性が生ず
る。
向器を動作させるには、コイル１３に通電すると、ヨー
ク１４、マグネット１５ホール素子よりなるモータ駆動
部が作動して、スリーブ２がスラスト動圧軸受８，９に
支持され、動圧軸１を芯として回転すると共に、ハブ１
０に結合された回転多面鏡１２を回転する。この場合、
動圧軸１とスリーブ２との間に動圧が発生し、この動圧
によりラジアル軸受剛性が生ずる。またスリーブ２の回
転によりスラスト動圧軸受８，９のヘリングボーン溝Ｈ
に外周から空気が吸い込まれ、スラスト動圧軸受８とワ
ッシャ２０及びスラスト動圧軸受９とワッシャ２１との
間に動圧が発生し、図中上下双方向に対するスラスト軸
受剛性が生ずる。尚更に、［図４］においては、スラス
ト動圧軸受８はモータケース３に、ワッシャ２０はスリ
ーブ２の端面に、またスラスト動圧軸受９はカバー部材
４に、ワッシャ２１はスリーブ２、ハブ１０の端面にそ
れぞれ固着されているが、スラスト動圧軸受８をスリー
ブ２の端面に、ワッシャ２０をモータケース３に、また
スラスト動圧軸受９をスリーブ２、ハブ１０の端面に、
ワッシャ２１をカバー部材４にそれぞれ固着しても、同
様に図中上下双方向に対するスラスト軸受剛性が生ず
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記、従来の動圧空気
軸受型光偏向器において、所望のスラスト軸受剛性を得
るには、２つのスラスト動圧軸受８，９とその間に位置
するスリーブ２に対する加工精度が大きく影響する。こ
のため加工には高精度加工が必要となってコストがかさ
み、さらに２つのスラスト動圧軸受８，９に生じる粘性
摩擦による損失が大きいという問題点があった。
軸受型光偏向器において、所望のスラスト軸受剛性を得
るには、２つのスラスト動圧軸受８，９とその間に位置
するスリーブ２に対する加工精度が大きく影響する。こ
のため加工には高精度加工が必要となってコストがかさ
み、さらに２つのスラスト動圧軸受８，９に生じる粘性
摩擦による損失が大きいという問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するためになされたもので、実施例に対応する図１、
図２で説明すると、スリーブ２に遊挿された動圧軸１の
下端部はモータケース３に、また上端部はモータケース
３と結合されたカバー部材４に、それぞれ固着され、上
記カバー部材４内のスリーブ２の外周には、水平に回転
多面鏡１２が配設されたハブ１０及びマグネット１５
が、上記モータケース３の内周に固着されたヨーク１４
に相対してそれぞれ固着され、上記スリーブ２の下端面
と上記モータケース３の内周面との間に、上記モータケ
ース３側より下部スラスト動圧軸受８，ワッシャ２０が
それらの順に動圧軸１に、またスリーブ２の上端面とカ
バー部材４の内周面との間には、カバー部材４側より上
部スラスト動圧軸受９、ワッシャ２１がそれらの順に動
圧軸１にそれぞれ遊挿されて構成された動圧空気軸受型
光偏向器において、第１の発明は、上部スラスト動圧軸
受９とワッシャ２０に替えて、互いに反発する対のスラ
ストマグネット１６，１７を配設したものである。第２
の発明は、下部スラスト動圧軸受８とワッシャ２０に替
えて互いに反発する対のスラストマグネット１６，１７
を配設したものである。第３の発明は、上部スラスト動
圧軸受９及びワッシャ２１を除去し、かつ下部スラスト
動圧軸受８の外周とワッシャ２０の外周に互いに吸引す
る対のスラストマグネット１８，１９を配設したもので
ある。第４の発明は、下部スラスト動圧軸受８及びワッ
シャ２０を除去し、上部スラスト動圧軸受９の外周と、
ワッシャ２１の外周に互いに吸引する対のスラストマグ
ネット１８，１９を配設したものである。
決するためになされたもので、実施例に対応する図１、
図２で説明すると、スリーブ２に遊挿された動圧軸１の
下端部はモータケース３に、また上端部はモータケース
３と結合されたカバー部材４に、それぞれ固着され、上
記カバー部材４内のスリーブ２の外周には、水平に回転
多面鏡１２が配設されたハブ１０及びマグネット１５
が、上記モータケース３の内周に固着されたヨーク１４
に相対してそれぞれ固着され、上記スリーブ２の下端面
と上記モータケース３の内周面との間に、上記モータケ
ース３側より下部スラスト動圧軸受８，ワッシャ２０が
それらの順に動圧軸１に、またスリーブ２の上端面とカ
バー部材４の内周面との間には、カバー部材４側より上
部スラスト動圧軸受９、ワッシャ２１がそれらの順に動
圧軸１にそれぞれ遊挿されて構成された動圧空気軸受型
光偏向器において、第１の発明は、上部スラスト動圧軸
受９とワッシャ２０に替えて、互いに反発する対のスラ
ストマグネット１６，１７を配設したものである。第２
の発明は、下部スラスト動圧軸受８とワッシャ２０に替
えて互いに反発する対のスラストマグネット１６，１７
を配設したものである。第３の発明は、上部スラスト動
圧軸受９及びワッシャ２１を除去し、かつ下部スラスト
動圧軸受８の外周とワッシャ２０の外周に互いに吸引す
る対のスラストマグネット１８，１９を配設したもので
ある。第４の発明は、下部スラスト動圧軸受８及びワッ
シャ２０を除去し、上部スラスト動圧軸受９の外周と、
ワッシャ２１の外周に互いに吸引する対のスラストマグ
ネット１８，１９を配設したものである。
【０００６】
【作用】本発明による動圧空気軸受型光偏向器では、モ
ータ回転部の回転時にスラスト動圧軸受８，９とこれに
対面するワッシャ２０，２１との間に発生する動圧によ
り、モータ回転部に対して回転中心軸に平行する一方向
への力が働くが、同時に、モータ回転部に対してこれと
相反する方向への力が磁気反発または磁気吸引する対の
スラストマグネット１６，１７及び１８，１９により働
くため、回転中心軸に平行である双方向に対するスラス
ト軸受剛性が生じる。
ータ回転部の回転時にスラスト動圧軸受８，９とこれに
対面するワッシャ２０，２１との間に発生する動圧によ
り、モータ回転部に対して回転中心軸に平行する一方向
への力が働くが、同時に、モータ回転部に対してこれと
相反する方向への力が磁気反発または磁気吸引する対の
スラストマグネット１６，１７及び１８，１９により働
くため、回転中心軸に平行である双方向に対するスラス
ト軸受剛性が生じる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図１、図２により説明する。
図１は本発明による第１の実施例を、図２は同第２の実
施例をそれぞれ示し、従来例の２個の上部スラスト軸受
８、下部スラスト軸受９のうち、１個のスラスト軸受に
替えて反発または吸引する一対のスラストマグネットを
設けたことを除いては、図４で示した従来例と同一の構
造を有するので、従来例との同一部分については同一名
称を付して詳細な説明を省略する。尚、本実施例におい
ては、回転鏡として回転多面鏡を装着した動圧空気軸受
型光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着し
てもよい。
図１は本発明による第１の実施例を、図２は同第２の実
施例をそれぞれ示し、従来例の２個の上部スラスト軸受
８、下部スラスト軸受９のうち、１個のスラスト軸受に
替えて反発または吸引する一対のスラストマグネットを
設けたことを除いては、図４で示した従来例と同一の構
造を有するので、従来例との同一部分については同一名
称を付して詳細な説明を省略する。尚、本実施例におい
ては、回転鏡として回転多面鏡を装着した動圧空気軸受
型光偏向器について述べているが、回転単面鏡を装着し
てもよい。
【０００８】図１の第１の実施例においては、図４の従
来例の構造と同様であるも、上部スラスト動圧軸受９に
替えてスラストマグネット１６をカバー部材４の内周面
に固着し、同様にワッシャ２１に替えてスラストマグネ
ット１７をスリーブ２とハブ１０の端面に固着する。こ
の場合スラストマグネット１６とスラストマグネット１
７とは軸方向極性の異なる、即ち互いに反発する対のマ
グネットとして作用するものである。このように構成さ
れた動圧空気軸受型光偏向器を作動させるには、コイル
１３に通電することにより、図４の従来例と同様にスリ
ーブ２が下部スラスト動圧軸受８に支持され、動圧軸１
を芯として回転する。それと同時にスリーブ２の外周に
設けたハブ１０と共に回転多面鏡１２が回転する。この
際、下部スラスト動圧軸受８とワッシャ２０の間に発生
する動圧によってモータ回転部に対して図中上方向に力
が働くが、同時に、スラストマグネット１６，１７の間
に発生する反発力がモータ回転部に対して図中下方向に
働き、図中上下方向に対するスラスト軸受剛性が得られ
る。
来例の構造と同様であるも、上部スラスト動圧軸受９に
替えてスラストマグネット１６をカバー部材４の内周面
に固着し、同様にワッシャ２１に替えてスラストマグネ
ット１７をスリーブ２とハブ１０の端面に固着する。こ
の場合スラストマグネット１６とスラストマグネット１
７とは軸方向極性の異なる、即ち互いに反発する対のマ
グネットとして作用するものである。このように構成さ
れた動圧空気軸受型光偏向器を作動させるには、コイル
１３に通電することにより、図４の従来例と同様にスリ
ーブ２が下部スラスト動圧軸受８に支持され、動圧軸１
を芯として回転する。それと同時にスリーブ２の外周に
設けたハブ１０と共に回転多面鏡１２が回転する。この
際、下部スラスト動圧軸受８とワッシャ２０の間に発生
する動圧によってモータ回転部に対して図中上方向に力
が働くが、同時に、スラストマグネット１６，１７の間
に発生する反発力がモータ回転部に対して図中下方向に
働き、図中上下方向に対するスラスト軸受剛性が得られ
る。
【０００９】尚、図示しないが、下部スラスト動圧軸受
８、ワッシャ２０と、スラストマグネット１６，１７と
を互いに入れ替えて構成してもよい。この場合スラスト
動圧軸受８とワッシャ２０の間に発生する動圧はスリー
ブ２に対して図中下方向に力が働くが、同時にスラスト
マグネット１６，１７間に発生する反発力がスリーブ２
に対して図中下方向に働き、上述と同様に図中上下方向
に対するスラスト軸受剛性が得られる。
８、ワッシャ２０と、スラストマグネット１６，１７と
を互いに入れ替えて構成してもよい。この場合スラスト
動圧軸受８とワッシャ２０の間に発生する動圧はスリー
ブ２に対して図中下方向に力が働くが、同時にスラスト
マグネット１６，１７間に発生する反発力がスリーブ２
に対して図中下方向に働き、上述と同様に図中上下方向
に対するスラスト軸受剛性が得られる。
【００１０】次に、図２の第２の実施例について説明す
る。第２の実施例では図４の従来例の構成と同様である
も、上部スラスト軸受９、及びワッシャ２０を除去し、
かつ下部スラスト動圧軸受８の外周とこれに対面するワ
ッシャ２０の外周にそれぞれ軸方向極性の同じ、即ち互
いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９を固着
する。このように構成された動圧空気軸受型光偏向器を
作動させるには、コイル１３に通電することにより、図
４の従来例と同様にスリーブ２が下部スラスト動圧軸受
８に支持され、動圧軸１を芯として回転する。それと同
時にスリーブ２の外周に設けたハブ１０と共に回転多面
鏡１２が回転する。この際、下部スラスト動圧軸受８と
ワッシャ２０の間に発生する動圧によってモータ回転部
に対して図中上方向に力が働くが、同時に、スラストマ
グネット１８，１９の間に発生する吸引力がモータ回転
部に対して図中下方向に働き、図中上下方向に対するス
ラスト軸受剛性が得られる。
る。第２の実施例では図４の従来例の構成と同様である
も、上部スラスト軸受９、及びワッシャ２０を除去し、
かつ下部スラスト動圧軸受８の外周とこれに対面するワ
ッシャ２０の外周にそれぞれ軸方向極性の同じ、即ち互
いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９を固着
する。このように構成された動圧空気軸受型光偏向器を
作動させるには、コイル１３に通電することにより、図
４の従来例と同様にスリーブ２が下部スラスト動圧軸受
８に支持され、動圧軸１を芯として回転する。それと同
時にスリーブ２の外周に設けたハブ１０と共に回転多面
鏡１２が回転する。この際、下部スラスト動圧軸受８と
ワッシャ２０の間に発生する動圧によってモータ回転部
に対して図中上方向に力が働くが、同時に、スラストマ
グネット１８，１９の間に発生する吸引力がモータ回転
部に対して図中下方向に働き、図中上下方向に対するス
ラスト軸受剛性が得られる。
【００１１】尚、図示しないが、下部スラスト動圧軸受
８、ワッシャ２０を除去し、上部スラスト動圧軸受９の
外周とこれに対面するワッシャ２１の外周にそれぞれ互
いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９を固着
した構成としてもよい。この場合スラスト動圧軸受８と
ワッシャ２０の間に発生する動圧はスリーブ２に対して
図中下方向に力が働くが、同時にスラストマグネット１
８，１９間に発生する吸引力がスリーブ２に対して図中
下方向に働き、上述と同様に図中上下方向に対するスラ
スト軸受剛性が得られる。
８、ワッシャ２０を除去し、上部スラスト動圧軸受９の
外周とこれに対面するワッシャ２１の外周にそれぞれ互
いに吸引する対のスラストマグネット１８，１９を固着
した構成としてもよい。この場合スラスト動圧軸受８と
ワッシャ２０の間に発生する動圧はスリーブ２に対して
図中下方向に力が働くが、同時にスラストマグネット１
８，１９間に発生する吸引力がスリーブ２に対して図中
下方向に働き、上述と同様に図中上下方向に対するスラ
スト軸受剛性が得られる。
【００１２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、従来の上部及び下部２個のスラスト動圧軸受を１
個とし、磁気反発あるいは磁気吸引する対のスラストマ
グネットを用いて高精度加工を施さねばならない箇所を
減らしつつ回転中心軸に平行である双方向に対するスラ
スト軸受剛性が得られる。従って、光偏向器として回転
中心軸が水平、垂直の両方の姿勢または加速度環境での
使用に対して有効であり、また精度による剛性の劣化を
低減する上に低コスト化を実現できる。さらにスラスト
動圧軸受に生じる粘性摩擦損失を減らすことができるの
でモータの省力化を行うことが可能となる。
れば、従来の上部及び下部２個のスラスト動圧軸受を１
個とし、磁気反発あるいは磁気吸引する対のスラストマ
グネットを用いて高精度加工を施さねばならない箇所を
減らしつつ回転中心軸に平行である双方向に対するスラ
スト軸受剛性が得られる。従って、光偏向器として回転
中心軸が水平、垂直の両方の姿勢または加速度環境での
使用に対して有効であり、また精度による剛性の劣化を
低減する上に低コスト化を実現できる。さらにスラスト
動圧軸受に生じる粘性摩擦損失を減らすことができるの
でモータの省力化を行うことが可能となる。
【図１】 本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の第１
の実施例の断面図。
の実施例の断面図。
【図２】 本発明に係る動圧空気軸受型光偏向器の第２
の実施例の断面図。
の実施例の断面図。
【図３】（Ａ），（Ｂ） スラスト動圧軸受の拡大平面
図。及びＢ−Ｂ線断面図。
図。及びＢ−Ｂ線断面図。
【図４】 従来例の動圧空気軸受型光偏向器の断面図。
１ 動圧軸 ２ スリーブ ３ モータケース ４ カバー部材 ５ Ｏリング ６ 支持板 ７ ホール素子 ８，９ スラスト動圧軸受 １０ ハブ １２ 回転多面鏡 １３ コイル １４ ヨーク １５ マグネット １６，１７，１８，１９
スラストマグネット ２０，２１ ワッシャ ２２ スペーサ Ｈ 溝パターン
スラストマグネット ２０，２１ ワッシャ ２２ スペーサ Ｈ 溝パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 壮之 埼玉県入間市新久下新田110−１コパル電 子株式会社入間事業所内 (72)発明者 中吉 宏 埼玉県入間市新久下新田110−１コパル電 子株式会社入間事業所内
Claims (4)
- 【請求項１】 スリーブ（２）に遊挿された動圧軸
（１）の下端部はモータケース（３）に、また上端部は
モータケース（３）と結合されたカバー部材（４）に、
それぞれ固着され、上記カバー部材（４）内のスリーブ
（２）の外周には、水平に回転多面鏡（１２）が配設さ
れたハブ（１０）及びマグネット（１５）が、上記モー
タケース（３）の内周に固着されたヨーク（１４）に相
対してそれぞれ固着され、上記スリーブ（２）の下端面
と上記モータケース（３）の内周面との間に、上記モー
タケース（３）側より下部スラスト動圧軸受（８），ワ
ッシャ（２０）がそれらの順に動圧軸（１）に、またス
リーブ（２）の上端面とカバー部材（４）の内周面との
間には、カバー部材（４）側より上部スラスト動圧軸受
（９）、ワッシャ（２１）がそれらの順に動圧軸（１）
にそれぞれ遊挿されて構成された動圧空気軸受型光偏向
器において、 上記上部スラスト動圧軸受（９）とワッシャ（２１）に
替えて、互いに反発する対のスラストマグネット（１
６），（１７）を配設したことを特徴とする動圧空気軸
受型光偏向器。 - 【請求項２】 上記下部スラスト動圧軸受（８）とワッ
シャ（２０）に替えて互いに反発する対のスラストマグ
ネット（１６），（１７）を配設したことを特徴とする
請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器。 - 【請求項３】 上記上部スラスト動圧軸受（９）及びワ
ッシャ（２１）を除去し、かつ下部スラスト動圧軸受
（８）の外周とワッシャ（２０）の外周に互いに吸引す
る対のスラストマグネット（１８），（１９）を配設し
たことを特徴とする請求項１記載の動圧空気軸受光偏向
器。 - 【請求項４】 上記下部スラスト動圧軸受（８）及びワ
ッシャ（２０）を除去し、上部スラスト動圧軸受（９）
の外周と、ワッシャ（２１）の外周に互いに吸引する対
のスラストマグネット（１８），（１９）を配設したこ
とを特徴とする請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3886692A JP3092026B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3886692A JP3092026B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05188313A true JPH05188313A (ja) | 1993-07-30 |
| JP3092026B2 JP3092026B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=12537133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3886692A Expired - Fee Related JP3092026B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3092026B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486698B1 (ko) * | 1998-07-28 | 2005-08-31 | 삼성전자주식회사 | 베어링시스템및이를적용한스핀들모터조립체 |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP3886692A patent/JP3092026B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486698B1 (ko) * | 1998-07-28 | 2005-08-31 | 삼성전자주식회사 | 베어링시스템및이를적용한스핀들모터조립체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3092026B2 (ja) | 2000-09-25 |
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