JP2974214B1 - プローブユニット - Google Patents
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- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】絶縁シート上に多数のリードを並列して延在せ
しめたプローブユニットにおいて、各リードの高さを均
一にし、接触圧のバラツキの問題を有効に解消する。同
時に各リード自身の強度と絶縁シートとの貼り合わせ強
度を強化し、加圧接触用のリード先端部の剥離の問題や
弾性不足の問題を有効に解消する。 【解決手段】絶縁シート１の表面に並列して延在した多
数のリード２の先端部端末２ａを、電子部品３の各電極
パッド４に夫々加圧接触させるようにしたプローブユニ
ットにおいて、各リード２の少なくとも先端部間の溝５
内を絶縁材６で埋め、該各リード間絶縁材６及び各リー
ド２の上記絶縁シート１とは反対側の各先端部表面を同
一平面となるように研磨して各先端部の厚み方向の高さ
を該一平面上に揃えた構成にし、更にリード先端部端末
２ａを上記リード間絶縁材６と一緒に傾斜面となるよう
に研磨し、これを接触に供する。
しめたプローブユニットにおいて、各リードの高さを均
一にし、接触圧のバラツキの問題を有効に解消する。同
時に各リード自身の強度と絶縁シートとの貼り合わせ強
度を強化し、加圧接触用のリード先端部の剥離の問題や
弾性不足の問題を有効に解消する。 【解決手段】絶縁シート１の表面に並列して延在した多
数のリード２の先端部端末２ａを、電子部品３の各電極
パッド４に夫々加圧接触させるようにしたプローブユニ
ットにおいて、各リード２の少なくとも先端部間の溝５
内を絶縁材６で埋め、該各リード間絶縁材６及び各リー
ド２の上記絶縁シート１とは反対側の各先端部表面を同
一平面となるように研磨して各先端部の厚み方向の高さ
を該一平面上に揃えた構成にし、更にリード先端部端末
２ａを上記リード間絶縁材６と一緒に傾斜面となるよう
に研磨し、これを接触に供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネル等の電子
部品の検査に際し、該電子部品の電極パッドとの加圧接
触に供されるプローブユニットに関する。
部品の検査に際し、該電子部品の電極パッドとの加圧接
触に供されるプローブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】上記液晶パネル等の電子部品の検査に使
用するプローブユニットは、絶縁シートの表面に多数の
リードを微細ピッチで並列して成り、各リードの先端部
端末を上記電子部品の各電極パッドに弾力的に加圧接触
させ、各リードの基端に接続した検査装置により検査を
行うようにしている。
用するプローブユニットは、絶縁シートの表面に多数の
リードを微細ピッチで並列して成り、各リードの先端部
端末を上記電子部品の各電極パッドに弾力的に加圧接触
させ、各リードの基端に接続した検査装置により検査を
行うようにしている。
【０００３】上記プローブユニットの絶縁シートのリー
ド延在側とは反対側の表面には剛性を有するホルダーを
貼り合わせ、該ホルダーの端末から上記各リード端末を
絶縁シート端末と共に突出させ、この突出部において各
リード端末をフィルム端末と共に反り曲げつつ各電極パ
ッドとの加圧接触を得るようにしている。
ド延在側とは反対側の表面には剛性を有するホルダーを
貼り合わせ、該ホルダーの端末から上記各リード端末を
絶縁シート端末と共に突出させ、この突出部において各
リード端末をフィルム端末と共に反り曲げつつ各電極パ
ッドとの加圧接触を得るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然るに、近年上記リー
ドの微細ピッチ化を可能とするため、上記各リードをア
ディティブ法等の適用により絶縁シート上にメッキ成長
させる方法が採られるようになっているが、メッキ成長
のバラツキにより各リードの厚み方向の高さに均一性を
欠き、各電極パッドとの均圧接触を阻害する問題を有し
ている。
ドの微細ピッチ化を可能とするため、上記各リードをア
ディティブ法等の適用により絶縁シート上にメッキ成長
させる方法が採られるようになっているが、メッキ成長
のバラツキにより各リードの厚み方向の高さに均一性を
欠き、各電極パッドとの均圧接触を阻害する問題を有し
ている。
【０００５】又絶縁シートとの接着面積が非常に少なく
なるため、各リード端末をシート端縁と共に反り曲げつ
つ各電極パッドに加圧接触させる動作を繰り返すことに
より各リード先端部端末とシート端縁間に剥離を生ずる
問題を有している。
なるため、各リード端末をシート端縁と共に反り曲げつ
つ各電極パッドに加圧接触させる動作を繰り返すことに
より各リード先端部端末とシート端縁間に剥離を生ずる
問題を有している。
【０００６】又各リードは非常に細く脆弱であるため、
各リード端末に充分な弾力即ち加圧接触力を得ることが
困難となっている。
各リード端末に充分な弾力即ち加圧接触力を得ることが
困難となっている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記リードの微
小ピッチ化と微細化に伴う上記問題を適正に解決するプ
ロープユニットを提供するものである。
小ピッチ化と微細化に伴う上記問題を適正に解決するプ
ロープユニットを提供するものである。
【０００８】その手段として、上記絶縁シートの表面に
延在せる各リードの少なくとも先端部間の溝内を絶縁材
で埋め、該各リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シ
ートとは反対側の各先端部表面を同一平面となるように
研磨して各先端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃え
た構成にしたものである。
延在せる各リードの少なくとも先端部間の溝内を絶縁材
で埋め、該各リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シ
ートとは反対側の各先端部表面を同一平面となるように
研磨して各先端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃え
た構成にしたものである。
【０００９】他例として、絶縁シートの表面に延在せる
各リードの先端部端末間の溝端末部を除く少なくとも同
先端部間の溝内を絶縁材で埋め、更に前記と同様、該各
リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シートとは反対
側の各先端部表面を同一平面となるように研磨して各先
端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃えた構成とす
る。
各リードの先端部端末間の溝端末部を除く少なくとも同
先端部間の溝内を絶縁材で埋め、更に前記と同様、該各
リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シートとは反対
側の各先端部表面を同一平面となるように研磨して各先
端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃えた構成とす
る。
【００１０】上記各手段により絶縁シート上に延在せる
各リードの高さが均一となり、前記接触圧のバラツキの
問題を解消すると共に、各リードと各リード間絶縁材と
が一体のリード埋込み層を形成し、各リード自身の強度
ばかりか各リードと絶縁シートとの貼り合わせ強度を強
化し、前記剥離の問題や弾性不足の問題を有効に解消す
る。加えて研磨に際してのリードの損傷を防止し、均一
なる研磨が可能である。
各リードの高さが均一となり、前記接触圧のバラツキの
問題を解消すると共に、各リードと各リード間絶縁材と
が一体のリード埋込み層を形成し、各リード自身の強度
ばかりか各リードと絶縁シートとの貼り合わせ強度を強
化し、前記剥離の問題や弾性不足の問題を有効に解消す
る。加えて研磨に際してのリードの損傷を防止し、均一
なる研磨が可能である。
【００１１】好ましくは、前者においては、上記各リー
ド及び各リード間絶縁材の先端部端末を、後者において
は各リードの先端部端末を同一傾斜面となるように研磨
して各端末の厚み方向の高さを該一傾斜面上に揃え、該
各リードの先端部端末の傾斜面を上記各電極パッドとの
加圧接触に供する構成とする。
ド及び各リード間絶縁材の先端部端末を、後者において
は各リードの先端部端末を同一傾斜面となるように研磨
して各端末の厚み方向の高さを該一傾斜面上に揃え、該
各リードの先端部端末の傾斜面を上記各電極パッドとの
加圧接触に供する構成とする。
【００１２】上記リードに対する補強構造により、上記
傾斜面によって各リードの端末を薄肉にしても強度が損
なわれず、接触に適した角度に傾斜して接触の適正化を
図ることが可能となる。
傾斜面によって各リードの端末を薄肉にしても強度が損
なわれず、接触に適した角度に傾斜して接触の適正化を
図ることが可能となる。
【００１３】好ましい例示として、上記傾斜面は弧形面
とし、接触角度を適正にしつつ弧形面の頂部による均一
加圧と集中加圧を図る。
とし、接触角度を適正にしつつ弧形面の頂部による均一
加圧と集中加圧を図る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態例を図１乃
至図４に基づいて説明する。
至図４に基づいて説明する。
【００１５】図１Ｅ１，Ｅ２，図３，図４等に示すよう
に、プローブユニットはフレキシブル性を有する絶縁シ
ート１の表面に並列して延在せる多数のリード２を保有
し、該絶縁シート１の端縁に沿い整列して配置された各
リード２の先端部端末２ａを電子部品３の各電極パッド
４に夫々加圧接触させ、検査装置等との接続媒体として
機能する。
に、プローブユニットはフレキシブル性を有する絶縁シ
ート１の表面に並列して延在せる多数のリード２を保有
し、該絶縁シート１の端縁に沿い整列して配置された各
リード２の先端部端末２ａを電子部品３の各電極パッド
４に夫々加圧接触させ、検査装置等との接続媒体として
機能する。
【００１６】図１Ａに示すように、絶縁シート１の表面
に多数のリード２を微小ピッチで並列して延在せしめた
プローブユニットを準備する。
に多数のリード２を微小ピッチで並列して延在せしめた
プローブユニットを準備する。
【００１７】上記絶縁シート１は例えばポリイミドフィ
ルムであり、既知のアディティブ法により上記各リード
２を絶縁シート１上にメッキにより成長せしめる。
ルムであり、既知のアディティブ法により上記各リード
２を絶縁シート１上にメッキにより成長せしめる。
【００１８】次に図１Ｂに示すように、上記プローブユ
ニットにおける各リード２の全長に亘る同リード２間の
溝５内、若しくは少なくとも各リード２の先端部間の溝
５内を絶縁材６で埋める。
ニットにおける各リード２の全長に亘る同リード２間の
溝５内、若しくは少なくとも各リード２の先端部間の溝
５内を絶縁材６で埋める。
【００１９】上記絶縁材６は例えばエポキシ樹脂、熱可
塑性ポリイミドであり、これを以って各リード２間の溝
５内を埋め、且つ各リード２を覆うように塗布し加熱硬
化させる。
塑性ポリイミドであり、これを以って各リード２間の溝
５内を埋め、且つ各リード２を覆うように塗布し加熱硬
化させる。
【００２０】次に図１Ｃに示すように、各リード間絶縁
材６及び各リード２の上記絶縁シート１とは反対側の全
表面、即ちリード埋込み層７の全表面を同一平面となる
ように研磨し、各リード２及び各リード間絶縁材６が先
端部を含む全長においてその厚み方向の高さＨ１が該一
平面Ｆ１上に揃うようにする。
材６及び各リード２の上記絶縁シート１とは反対側の全
表面、即ちリード埋込み層７の全表面を同一平面となる
ように研磨し、各リード２及び各リード間絶縁材６が先
端部を含む全長においてその厚み方向の高さＨ１が該一
平面Ｆ１上に揃うようにする。
【００２１】又は各リード２の先端部とリード間絶縁材
６の先端部の上記絶縁シート１とは反対側の表面を同一
平面となるように研磨し、各先端部の厚み方向の高さＨ
１を該一平面Ｆ１上に揃える。
６の先端部の上記絶縁シート１とは反対側の表面を同一
平面となるように研磨し、各先端部の厚み方向の高さＨ
１を該一平面Ｆ１上に揃える。
【００２２】即ち各リード２の全長又は先端部の高さＨ
１とリード間絶縁材６の全長又は先端部の高さＨ１を一
平面Ｆ１上に揃え、両者２，６がその全長又は先端部に
おいて一体となった均一厚みの一つのリード埋込み層７
を形成する。
１とリード間絶縁材６の全長又は先端部の高さＨ１を一
平面Ｆ１上に揃え、両者２，６がその全長又は先端部に
おいて一体となった均一厚みの一つのリード埋込み層７
を形成する。
【００２３】次に図１Ｄ，図３に示すように、上記各リ
ード２の先端部間に存する絶縁シート部分にレーザービ
ームによりスロット８を形成する。該スロット８は各リ
ード２の先端部端面並びにシート１端面において開口し
ている。よって各リード２の先端部は該先端部間に形成
したスロット８を介して隔てられ、独立して上下動する
自由度が付与される。
ード２の先端部間に存する絶縁シート部分にレーザービ
ームによりスロット８を形成する。該スロット８は各リ
ード２の先端部端面並びにシート１端面において開口し
ている。よって各リード２の先端部は該先端部間に形成
したスロット８を介して隔てられ、独立して上下動する
自由度が付与される。
【００２４】次に図１Ｅ１に示すように、上記各リード
２の先端部端末２ａと各リード間絶縁材６の先端部端末
６ａを同一傾斜面２ｂ，６ｂとなるように研磨して各端
末２ａ，６ａの厚み方向の高さＨ２を該一傾斜面Ｆ２上
に揃え、該各リード２の先端部端末２ａの傾斜面２ｂを
上記各電極パッド４との加圧接触に供する。
２の先端部端末２ａと各リード間絶縁材６の先端部端末
６ａを同一傾斜面２ｂ，６ｂとなるように研磨して各端
末２ａ，６ａの厚み方向の高さＨ２を該一傾斜面Ｆ２上
に揃え、該各リード２の先端部端末２ａの傾斜面２ｂを
上記各電極パッド４との加圧接触に供する。
【００２５】他例として、図１Ｅ２に示すように、絶縁
シート１の表面に多数のリード２を並列して延在し、該
シート１の端縁に沿い整列して配置された各リード２の
先端部端末２ａを電子部品３の各電極パッド４に夫々加
圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各
リード２の先端部端末２ａ間の溝端末部を除く少なくと
も同先端部間の溝５内、又は各リード２の先端部端末２
ａ間の溝端末部を除く溝５内を全長に亘り絶縁材６で埋
め、該各リード間絶縁材６及び各リード２の上記絶縁シ
ート１とは反対側の各先端部表面又は全長に亘る全表面
を同一平面Ｆ１となるように研磨して各先端部の厚み方
向の高さＨ１を該一平面上に揃える。
シート１の表面に多数のリード２を並列して延在し、該
シート１の端縁に沿い整列して配置された各リード２の
先端部端末２ａを電子部品３の各電極パッド４に夫々加
圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各
リード２の先端部端末２ａ間の溝端末部を除く少なくと
も同先端部間の溝５内、又は各リード２の先端部端末２
ａ間の溝端末部を除く溝５内を全長に亘り絶縁材６で埋
め、該各リード間絶縁材６及び各リード２の上記絶縁シ
ート１とは反対側の各先端部表面又は全長に亘る全表面
を同一平面Ｆ１となるように研磨して各先端部の厚み方
向の高さＨ１を該一平面上に揃える。
【００２６】前記と同様、上記各リード２の先端部端末
２ａを同一傾斜面２ｂとなるように研磨して各端末２
ａ，６ａの厚み方向の高さＨ２を該一傾斜面Ｆ２上に揃
え、該各リード２の先端部端末２ａの傾斜面２ｂを上記
各電極パッド４との加圧接触に供する構成とする。
２ａを同一傾斜面２ｂとなるように研磨して各端末２
ａ，６ａの厚み方向の高さＨ２を該一傾斜面Ｆ２上に揃
え、該各リード２の先端部端末２ａの傾斜面２ｂを上記
各電極パッド４との加圧接触に供する構成とする。
【００２７】図２は各リード２間の溝５をリード２の全
長に亘り絶縁材６で埋めると共に、該絶縁材６で各リー
ド２の表面を覆い、更にリード２の先端部と基端部にお
いてリード２の先端部と基端部並びに絶縁材６の先端部
と基端部を同一平面に研磨し高さを揃え、各リード２の
先端部を各電極パッド４との接触に供し、リード２の基
端部を検査装置との接続に供するようにした具体例を示
している。
長に亘り絶縁材６で埋めると共に、該絶縁材６で各リー
ド２の表面を覆い、更にリード２の先端部と基端部にお
いてリード２の先端部と基端部並びに絶縁材６の先端部
と基端部を同一平面に研磨し高さを揃え、各リード２の
先端部を各電極パッド４との接触に供し、リード２の基
端部を検査装置との接続に供するようにした具体例を示
している。
【００２８】従ってこのプローブユニットは延在長の中
間部が絶縁材６で覆われ、先端部と基端部のみが一定の
幅に亘って研磨され、同幅に亘ってリード２が露出され
る。
間部が絶縁材６で覆われ、先端部と基端部のみが一定の
幅に亘って研磨され、同幅に亘ってリード２が露出され
る。
【００２９】図４に示すように、上記プローブユニット
には絶縁シート６の各リード２の延在側とは反対側の表
面にウレタンゴム等の弾性板９を貼付し、上記リード２
の先端部を絶縁シート６端縁と共に突出させ、更に上記
弾性板９の絶縁シート貼付側とは反対側の表面に剛性を
有するホルダー１０を貼付し全組立体を前斜にして上記
突出されたリード２先端部の端末２ａの傾斜面２ｂを液
晶パネル等の電子部品３の各電極パッド４との加圧接触
に供する。
には絶縁シート６の各リード２の延在側とは反対側の表
面にウレタンゴム等の弾性板９を貼付し、上記リード２
の先端部を絶縁シート６端縁と共に突出させ、更に上記
弾性板９の絶縁シート貼付側とは反対側の表面に剛性を
有するホルダー１０を貼付し全組立体を前斜にして上記
突出されたリード２先端部の端末２ａの傾斜面２ｂを液
晶パネル等の電子部品３の各電極パッド４との加圧接触
に供する。
【００３０】以上の説明においては、スロット８を形成
する場合について説明したが、本発明は該スロット８を
設けない場合を含む。
する場合について説明したが、本発明は該スロット８を
設けない場合を含む。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、絶縁シート上に延在せ
る各リードの高さが均一となり、前記接触圧のバラツキ
の問題を有効に解消できる。
る各リードの高さが均一となり、前記接触圧のバラツキ
の問題を有効に解消できる。
【００３２】又各リードと各リード間絶縁材とが一体の
リード埋込み層を形成し、各リード自身の強度ばかりか
各リードと絶縁シートとの貼り合わせ強度を強化し、加
圧接触に供される前記リード先端部の剥離の問題や弾性
不足の問題を有効に解消できる。加えて一つのリード埋
込み層の表面を研磨するので、研磨に際してのリードの
損傷を防止し、均一なる研磨が可能である。
リード埋込み層を形成し、各リード自身の強度ばかりか
各リードと絶縁シートとの貼り合わせ強度を強化し、加
圧接触に供される前記リード先端部の剥離の問題や弾性
不足の問題を有効に解消できる。加えて一つのリード埋
込み層の表面を研磨するので、研磨に際してのリードの
損傷を防止し、均一なる研磨が可能である。
【００３３】又上記リードに対する補強構造により、リ
ード先端部端末を傾斜面にして薄肉にしても強度が損な
われず、接触に適した角度に傾斜して接触の適正化を図
ることが可能となる。
ード先端部端末を傾斜面にして薄肉にしても強度が損な
われず、接触に適した角度に傾斜して接触の適正化を図
ることが可能となる。
【００３４】又上記傾斜面は弧形面とすることにより、
接触角度を適正にしつつ弧形面の頂部による均一加圧と
集中加圧を図ることができる。
接触角度を適正にしつつ弧形面の頂部による均一加圧と
集中加圧を図ることができる。
【図１】Ａ乃至Ｅ２は本発明の実施の形態を示すプロー
ブユニットの製造工程を示し、プロープユニットの構造
を説明する図である。
ブユニットの製造工程を示し、プロープユニットの構造
を説明する図である。
【図２】上記プローブユニットの他の実施形態例を示す
プローブユニットの平面図。
プローブユニットの平面図。
【図３】プローブユニットの接触端を接触側から視た状
態を示す平面図。
態を示す平面図。
【図４】上記プローブユニットによって構成された接触
器の組立体を電子部品との接触状態を以って示す側面
図。
器の組立体を電子部品との接触状態を以って示す側面
図。
１ 絶縁シート ２ リード ２ａ リード端末 ２ｂ 傾斜面 ３ 電子部品 ４ 電極パッド ５ 溝 ６ 絶縁材 ６ａ 絶縁材端末 ６ｂ 傾斜面 ７ リード埋込み層 ８ スロット ９ 弾性板 １０ ホルダー
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/28 H01L 21/66
Claims (5)
- 【請求項１】絶縁シートの表面に多数のリードを並列し
て延在し、該シートの端縁に沿い整列して配置された各
リードの先端部端末を電子部品の各電極パッドに夫々加
圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各
リードの少なくとも先端部間の溝内を絶縁材で埋め、該
各リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シートとは反
対側の各先端部表面を同一平面となるように研磨して各
先端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃えた構成を有
することを特徴とするプローブユニット。 - 【請求項２】上記各リード及び各リード間絶縁材の先端
部端末を同一傾斜面となるように研磨して各端末の厚み
方向の高さを該一傾斜面上に揃え、該各リードの先端部
端末の傾斜面を上記各電極パッドとの加圧接触に供する
構成としたことを特徴とする請求項１記載のプローブユ
ニット。 - 【請求項３】絶縁シートの表面に多数のリードを並列し
て延在し、該シートの端縁に沿い整列して配置された各
リードの先端部端末を電子部品の各電極パッドに夫々加
圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各
リードの先端部端末間の溝端末部を除く少なくとも同先
端部間の溝内を絶縁材で埋め、該各リード間絶縁材及び
各リードの上記絶縁シートとは反対側の各先端部表面を
同一平面となるように研磨して各先端部の厚み方向の高
さを該一平面上に揃えた構成を有することを特徴とする
プローブユニット。 - 【請求項４】上記各リードの先端部端末を同一傾斜面と
なるように研磨して各端末の厚み方向の高さを該一傾斜
面上に揃え、該各リードの先端部端末の傾斜面を上記各
電極パッドとの加圧接触に供する構成としたことを特徴
とする請求項３記載のプローブユニット。 - 【請求項５】上記傾斜面を弧形面としたことを特徴とす
る請求項２又は４記載のプローブユニット。
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