JP2971666B2 - 半導体回路 - Google Patents

半導体回路

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JP2971666B2
JP2971666B2 JP4130878A JP13087892A JP2971666B2 JP 2971666 B2 JP2971666 B2 JP 2971666B2 JP 4130878 A JP4130878 A JP 4130878A JP 13087892 A JP13087892 A JP 13087892A JP 2971666 B2 JP2971666 B2 JP 2971666B2
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体回路に係り、特に
電源電圧に依存しないで定電流を出力し得る半導体回路
に関する。
【0002】近年、電池駆動などにより低電圧駆動の集
積回路(IC)の開発が盛んに行なわれている。また、
上記ICの一つとして、同一基板上にアナログ部とディ
ジタル部とが形成されたアナログ・ディジタル混載IC
が近年盛んに開発されている。
【0003】このアナログ・ディジタル混載ICでは、
ディジタル部からアナログ部への干渉ノイズがICの性
能を劣化させるため、支持基板上に絶縁膜(酸化膜)を
介して素子基板を形成したSOI(シリコン・オン・イ
ンシュレータ)構成とし、かつ、この素子基板上に上記
のアナログ部とディジタル部とを形成すると共に、互い
の領域を絶縁膜に達するウェルで電気的に分離するよう
にしている。
【0004】このようなSOI構造のICにおいて、前
記した低電圧駆動とするには、電源電圧が低下してもト
ランジスタを所望動作させるように、電源電圧に依存し
ないで定電流を出力する半導体回路を、アンプ等のバイ
アス回路として用いることが必要とされる。
【0005】
【従来の技術】図6は従来の半導体回路の一例の回路図
を示す。同図中、NPNトランジスタQ1 はベースが端
子1に接続される一方、抵抗Rb を介してエミッタに接
続され、更にエミッタが抵抗Ra を介して接地されてい
る。また、トランジスタQ1 のコレクタは電源電圧VDD
ラインに接続されている。
【0006】かかる構成の従来回路において、端子1に
定電圧を印加することにより、トランジスタQ1 のベー
ス電流を一定とする。これにより、コレクタ・エミッタ
間電流ICEに関係なくベース・エミッタ間電圧VBEが一
定になるというトランジスタQ1 の性質を利用し、電源
電圧VDDが変化しても抵抗Rb に定電流Iを流すことが
できる。この半導体回路はカレントミラー回路などを用
いてアンプ等のバイアス回路として用いられる。
【0007】この従来の半導体回路におけるトランジス
タQ1 はバイポーラトランジスタであるが、MOSトラ
ンジスタよりなるICにおいても図7(A),(B)の
ようにレイアウトすることにより、BI−CMOSなど
の高価なプロセスを用いなくとも作成されることができ
る。
【0008】図7(A)は平面図、同図(B)は同図
(A)中破線で切断した縦断面図である。同図(A),
(B)に示すように、n型基板2上に平面がロ字形状の
pウェル3が形成され、更にマスク等を用いてp型の不
純物を高濃度で、pウェル3内の周縁部に沿ってイオン
注入してp+ 拡散領域4が形成されている。そして、p
+ 拡散領域4の中央部にn型の不純物を高濃度でイオン
注入してn+ 拡散領域5が形成される。
【0009】上記のn型基板2はコレクタ電極に接続さ
れ、p+ 拡散領域4はベース電極に接続され、更にn+
拡散領域5がエミッタ電極に接続されることにより、N
PNトランジスタQ1 を形成することができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前述したS
OI構造のMOS IC、すなわち図8に断面図を示す
ようなn型の支持基板6上に絶縁膜7を介してn型の素
子基板8を形成し、素子基板8上にMOSトランジスタ
で各回路を形成するICにおいては、上記のNPNトラ
ンジスタQ1 を形成しようとしても、pウェルが3’で
示す如く絶縁膜7に到達してしまうため、p+ 拡散領域
4及びn+ 拡散領域5が夫々形成されたとしても、NP
NトランジスタQ1 を形成することはできない。
【0011】ここで、素子基板8の厚さを大にすること
によりpウェルが絶縁膜7に到達しないようにすること
も考えられるが、その場合は素子を分離するためのpウ
ェルを絶縁膜まで到達するように深く打つ必要があり素
子基板8の深さ方向に比例して、深さ方向と直交する方
向にも拡がって形成されてしまうためにチップ面積も大
としなければならず、近年のチップ面積の小型化、高集
積化の要求を満たすことができない。また、チップの薄
型化の要求もあり、素子基板8の厚さをあまり大にする
ことができない。
【0012】従って、図8に示したように、SOI構造
のICにおいてバイポーラトランジスタ(NPNトラン
ジスタQ1 )を形成することが困難であるため、前記し
た図6の従来の半導体回路をSOI構造のICで構成す
ることができない。
【0013】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
PN接合構造を利用することにより、上記の課題を解決
した半導体回路を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理構成
図を示す。同図中、定電圧発生源11は電源端子に接続
され、一定の電圧降下を示す。抵抗12は一端が電源端
子に接続されている。制御部13は定電圧発生源11か
らの電流が入力され、その入力電流と略同じ電流を抵抗
12に流して、抵抗12に定電圧発生源11の出力電圧
と同じ電圧を発生させる。
【0015】
【作用】本発明では定電圧発生源11により電源電圧の
変化に関係なく定電圧が発生され、またこの定電圧発生
源11により発生された定電圧を制御部13により抵抗
12に生じさせることができるため、抵抗12には電源
電圧の変化に関係なく定電圧を発生させることができ
る。
【0016】
【実施例】図2は本発明の第1実施例の回路図を示す。
同図中、図1と同一構成部分には同一符号を付してあ
る。図2において、ダイオードD1 は定電圧発生源11
を構成しており、そのアノードは高電位側電源端子に接
続され、そのカソードがpチャンネルMOSトランジス
タT1 のソースに接続されている。
【0017】抵抗R1 は前記抵抗12に相当し、その一
端が高電位側電源端子に接続され、その他端がpチャン
ネルMOSトランジスタT2 のソースに接続されてい
る。トランジスタT1 及びT2 は互いにゲートが接続さ
れ、かつ、トランジスタT2 のゲート・ドレイン間が接
続されて第1のカレントミラー回路を構成している。
【0018】NチャンネルMOSトランジスタT3 ,T
4 及びT5 は夫々ゲートがトランジスタT1 のドレイン
に共通接続され、またトランジスタT3 のゲート・ドレ
イン間が接続されて第2のカレントミラー回路を構成し
ている。トランジスタT4 のドレインはトランジスタT
2 のゲート及びドレインに接続されている。またトラン
ジスタT5 のドレインは端子15に接続されている。更
にトランジスタT3 〜T5 の各ソースは低電位側電源端
子であるGND端子に接続されている。
【0019】上記のトランジスタT1 〜T5 及び抵抗R
1 は従来より公知のSOIプロセスで素子基板上に形成
されており、またダイオードD1 も同じ素子基板上に形
成されている。
【0020】すなわち、図3の断面図に示す如く、n型
のシリコン製支持基板21上に酸化膜(SiO2 膜)2
2を介してn型のシリコン製素子基板23が形成されて
いるSOI構造のICにおいて、素子基板23にpウェ
ル24がSiO2 膜22に到達するような深さで形成さ
れたとしても、そのpウェル24内にn型の不純物を高
濃度でイオン注入してn+ 拡散領域25を形成すること
により、pウェル24とn+ 拡散領域25とのPN接合
部分に、ダイオードD1 が形成される。
【0021】上記のダイオードD1 はpウェル24に接
続された端子26をアノードとし、n+ 拡散領域25に
接続された端子27をカソードとするPN接合ダイオー
ドである。
【0022】次に図2の実施例の動作について説明す
る。電源電圧VDDは従来のICの電源電圧4.5V〜
5.5Vよりは低電圧の2V〜3V程度ではあるが、ダ
イオードD1 のしきい値電圧VTH(例えば0.7V程
度)より高電圧であるため、ダイオードD1 には順方向
電流ID が流れる。この電流ID は次式 ID =α・{exp(VD /VTH)−1} (1) で表わされる。上式中、αは定数、VD はダイオードの
印加電圧、VTHはダイオードのしきい値電圧である。上
式からわかるように、順方向電流ID はダイオードD1
への印加電圧VD がしきい値電圧VTHより大なるときに
流れるが、順方向電流ID が流れれば電圧VD は変化が
受けにくい。
【0023】このダイオードD1 の順方向電流ID はト
ランジスタT1 のソースに供給される。トランジスタT
1 とT2 とはカレントミラー回路を構成しており、トラ
ンジスタT1 のドレインよりトランジスタT3 のドレイ
ンに供給される電流I1 と、トランジスタT2 のドレイ
ンよりトランジスタT4 のドレインに供給される電流I
2 とは互いに等しくなろうとする。
【0024】また、pチャンネルMOSトランジスタの
ソース・ドレイン間に流れる電流Iは I=β/2×(VGS−VTH2 (2) で表わされる。ただし、上式中、βは定数、VGSはトラ
ンジスタのゲート・ドレイン間電圧、VTHはトランジス
タのしきい値電圧である。ここでI1 =I2 であるか
ら、pチャンネルMOSトランジスタT1 及びT2 に流
れる電流も夫々等しくなり、よってトランジスタT1
びT2 の両ゲート・ソース間電圧VGSは同じになる。
【0025】トランジスタT1 及びT2 の各ゲートは共
通接続されているからゲート電圧V G は夫々等しく、そ
のため結果としてトランジスタT1 のソース側のN1
電位とトランジスタT2 のソース側のN2 の電位とは同
じになる。従って、抵抗R1による電圧降下はダイオー
ドD1 による一定の電圧降下と同じになる。すなわち、
抵抗R1 にはダイオードD1 の電圧降下がコピーされ
る。
【0026】ここで、前記したように、ダイオードD1
の電圧降下は電源電圧VDDの変化に拘らず略一定である
から、抵抗R1 には常に一定の電圧がコピーされ、その
結果定電流I2 が流れる。トランジスタT1 及びT2
カレントミラー回路を構成しており、トランジスタT2
に流れる電流I2 と同じ電流がトランジスタT1 に流れ
る。
【0027】更にトランジスタT3 ,T4 及びT5 は前
記したように第2のカレントミラー回路を構成してお
り、トランジスタT1 及びT3 に流れる電流I1 と同じ
電流I2 がトランジスタT4 及びT5 に流れようとする
から、電源電圧VDDの変化に関係なく、端子15からは
定電流が得られる。従って、本実施例によれば、低電圧
動作が可能なSOI構造の定電流出力回路を得ることが
できる。そして、本実施例の回路をアンプ等のバイアス
回路として使用することにより、低電圧動作が可能なS
OI構造のアナログ・デジタル混載ICを実現すること
ができる。
【0028】次に本発明の第2実施例について説明す
る。図4は本発明の第2実施例の回路図を示す。同図
中、図1と同一構成部分には同一符号を付し、その説明
を省略する。図2に示した実施例ではトランジスタT1
及びT2 のドレイン・ソース間抵抗RDSのばらつきによ
って、必ずしもI1 =I2 とならない。そこで、本実施
例では、定電圧発生源11を図4に示す如くダイオード
2 及びD4 の2個で構成し、更に制御部13内に抵抗
2 に流れる電流をモニタする手段(T10)を有するこ
とにより、より高精度に抵抗R2 に定電圧をコピーする
ようにしたものである。
【0029】図4において、ダイオードD2 及びD3
夫々図3に示したと同様にしてSOIプロセスで素子基
板に形成されており、各アノードは高電位側電源端子に
共通接続され、各カソードはpチャンネルMOSトラン
ジスタT6 ,T7 のソースに接続されている。トランジ
スタT6 及びT7 はpチャンネルMOSトランジスタT
8 と共に第1のカレントミラー回路を構成している。ト
ランジスタT8 のソースは抵抗12に相当する抵抗R2
を介して高電位側電源端子に接続されている。また、N
チャンネルMOSトランジスタT9 〜T14のうち、トラ
ンジスタT9,T11及びT13は夫々ゲートが共通接続さ
れ、かつ、T9 のドレインにT11及びT13の各ゲートが
接続されて第2のカレントミラー回路を構成している。
トランジスタT9 のドレインはトランジスタT6 のドレ
インに接続され、またトランジスタT11のドレインはト
ランジスタT8 のドレインに接続されている。
【0030】トランジスタT10は抵抗R2 に流れる電流
のモニタ用トランジスタで、そのゲートはトランジスタ
8 及びT11のドレイン共通接続点N6 に接続され、ま
たそのドレインはトランジスタT6 ,T7 及びT8 の各
ゲートとT7 のドレインの共通接続点N7 に接続され、
そのソースは低電位側電源端子であるGND端子に接続
されている。
【0031】トランジスタT12は、ドレインがトランジ
スタT8 のドレイン,ソースに接続されている。トラン
ジスタT14はドレインがトランジスタT13のドレインと
共に端子15に接続され、またトランジスタT12〜T14
の各ソースは夫々GND端子に接続されている。
【0032】次に本実施例の動作について説明する。ダ
イオードD2 及びD3 のしきい値電圧より高い電源電圧
DDが印加されることにより、ダイオードD2 及びD3
に夫々順方向電流が流れてトランジスタT6 ,T7 に夫
々供給される。これにより、トランジスタT6 のソー
ス,ドレイン、トランジスタT9 のドレイン,ソースを
通して電流I3 が流れ、またトランジスタT7 のソー
ス,ドレイン、トランジスタT10のドレイン,ソースを
通して電流I4 が流れる。
【0033】また、トランジスタT6 及びT7 はトラン
ジスタT8 と共に第1のカレントミラー回路を構成して
おり、トランジスタT9 はトランジスタT11及びT13
共に第2のカレントミラー回路を構成しているから、ト
ランジスタT8 のソース,ドレイン及びトランジスタT
11のドレイン,ソースを通して流れる電流I5 は前記電
流I3 及びI4 と等しくなる。
【0034】これにより、トランジスタT6 、T7 及び
8 のゲート・ソース間電圧は等しくなり、またそれら
のゲート電位は等しいから、トランジスタT8 のソース
と抵抗R2 との接続点N5 の電位は接続点N3 及びN4
の電位と等しくなる。すなわち、抵抗R2 にはダイオー
ドD2 に発生した電圧がコピーされることとなる。
【0035】ここで、抵抗R2 に流れる電流は電流I5
及びI6 として分岐して流れるが、電流I5 が低下しよ
うとすると、接続点N6 の電位が上昇し、トランジスタ
10に流れる電流が上昇し、トランジスタT8 に流れる
電流I5 を増加させるように動作する。電流I5 が増加
しようとすると、上記と逆の動作によりトランジスタT
10を含むフィードバック回路により電流I5 の増加が抑
えられる。
【0036】また、接続点N6 の電圧が低下すると、ト
ランジスタT12に流れる電流I6 が減少し、これにより
接続点N5 の電圧が上昇する。接続点N6 の電圧が上昇
した場合は上記とは逆にN5 の電圧が下降する。このよ
うにして、トランジスタT12により接続点N5 の電圧が
一定となるように制御される。
【0037】このようにして、トランジスタT9 ,T11
及びT13とトランジスタT10,T12及びT14の各ゲート
・ソース間電圧VGSは同一となる。端子15に流れる電
流I 9 はトランジスタT13に流れる電流I7 とトランジ
スタT14に流れる電流I8 との和であり、次式で表わさ
れる。
【0038】 I9 =I7 +I8 (3) ここで、トランジスタT13はトランジスタT9 及びT11
とカレントミラー回路を構成しているから、 I7 =I3 =I5 (4) である。また、トランジスタT14はトランジスタT10
びT12の夫々のVGSと同じVGSであるから、 I8 =I4 =I6 (5) である。従って、(4)式及び(5)式を(3)式に代
入することにより、端子15には I9 =I5 +I6 (6) なる値の電流I9 が流れる。
【0039】この電流I9 は電源電圧VDDの変化に関係
なくダイオードD2 ,D3 の順方向降下電圧が略一定で
あるから、抵抗R2 に生じる電圧もVDDに関係なく略一
定となり、よって電源電圧VDDの変化に関係なく定電流
である。
【0040】図5は本発明回路が適用されるアンプの一
例の回路図を示す。同図中、30は図2又は図4に示し
た実施例回路であり、その端子15はpチャンネルMO
SトランジスタT21のゲート及びドレインに接続されて
いる。
【0041】アンプ31はpチャンネルMOSトランジ
スタT22〜T25、nチャンネルMOSトランジスタT26
〜T28よりなり、トランジスタT22及びT23は前記トラ
ンジスタT21と共にカレントミラー回路を構成してい
る。また、トランジスタT24及びT25のドレイン側に設
けられたトランジスタT26及びT27はカレントミラー回
路を構成している。トランジスタT23及びT28は各ドレ
インが出力端子34に共通接続されている。
【0042】実施例回路30からは電源電圧VDDが2〜
3V程度の低電圧であり、またその変化に拘らず定電流
が出力されるから、トランジスタT21及びT22を介して
トランジスタT24及びT25の両ソースに定電流がバイア
ス電流として供給される。これにより、端子32,33
を介してトランジスタT24,T25のゲートに印加される
入力信号IM,IPの差信号がトランジスタT28のゲー
ト、ドレインを介して出力端子34へ出力される。
【0043】なお、本発明は以上の実施例に限定される
ものではなく、例えばSOI構造でない集積回路にも適
用することができる。
【0044】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、電流電圧
の変化に関係なく抵抗に定電圧を発生させることができ
るため、上記抵抗を介して常に定電流を出力することが
でき、また定電圧発生源としてダイオードを用いるよう
にしたため、SOIプロセスでも低電圧動作可能な定電
流回路を得ることができ、よって本発明回路をアンプバ
イアス回路などに使用した広電源電圧動作可能な集積回
路を作成することができる等の特長を有するものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理構成図である。
【図2】本発明の第1実施例の回路図である。
【図3】本発明の要部の一実施例の断面図である。
【図4】本発明の第2実施例の回路図である。
【図5】本発明回路が適用されるアンプの一例の回路図
である。
【図6】従来の一例の回路図である。
【図7】従来回路の要部の一例の構造図である。
【図8】従来の課題を説明するための断面図である。
【符号の説明】
11 定電圧発生源 12,R1 ,R2 抵抗 13 制御部 15 端子 21 支持基板 22 絶縁膜(酸化膜) 23 素子基板 D1 ,D2 ,D3 ダイオード T1 ,T2 ,T6 〜T8 pチャンネルMOSトランジ
スタ T3 ,T4 ,T9 〜3T14 nチャンネルMOSトラン
ジスタ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 21/8234 - 21/8238 H01L 21/8249 H01L 27/06 H01L 27/088 - 27/092 H03K 19/094

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 PN接合ダイオードを有し、一端が電源
    端子に接続された一定の電圧降下を示す定電圧発生
    前記 電源端子に一端が接続された抵抗とMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路を
    有し、前記抵抗による電圧降下を前記定電圧発生源によ
    る電圧降下と同一にして、前記抵抗から定電流を出力さ
    せる制御部とを有し、 前記定電圧発生源と前記抵抗と前記制御部は、同一の素
    子基板上に形成されており、 前記素子基板は、絶縁膜を介して支持基板上に形成され
    ている ことを特徴とする半導体回路。
  2. 【請求項2】 一端が電源端子に接続され、それぞれが
    一定の電圧降下を示す第1及び第2のPN接合ダイオー
    ドで構成された定電圧発生源と、 前記電源端子に一端が接続された抵抗と、 前記第1及び第2のPN接合ダイオード及び前記抵抗の
    他端に接続されて前記第1のPN接合ダイオードによる
    電圧降下と同等の電圧降下を前記抵抗に発生させるカレ
    ントミラー回路と、前記抵抗に流れる電流をモニタして
    前記第2のPN接合ダイオードに流れる電流と同じ電流
    を前記抵抗に流れさせるトランジスタとを備える制御部
    を有することを特徴とする半導体回路。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の半導体回路であって、 前記カレントミラー回路は、MOSトランジスタで構成
    されていることを特徴とする半導体回路。
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