JP2971538B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2971538B2 JP2971538B2 JP2202172A JP20217290A JP2971538B2 JP 2971538 B2 JP2971538 B2 JP 2971538B2 JP 2202172 A JP2202172 A JP 2202172A JP 20217290 A JP20217290 A JP 20217290A JP 2971538 B2 JP2971538 B2 JP 2971538B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic core
- magnetic
- upper magnetic
- magnetic head
- protective layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気ディスクなどの磁気記録媒体に対し記
録再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関する。
録再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関する。
従来の技術 第４図（ａ），（ｂ）に従来の薄膜磁気ヘッドの磁気
回路部の上面図と側断面図を示す。11は磁気基板となる
もので、この場合Mn−Znフェライトなどの磁性材料から
なり、この上にスパッタや真空蒸着により成膜した絶縁
膜や導電膜をフォトリソグラフィ技術により所定の形状
に加工し、コイル12と上部磁気コア13や保護層14が形成
されている。この場合、上部磁気コア13に対して上記磁
性基板11が下部磁気コアとなる。第５図は第４図におけ
るＡ部の拡大図である。図中の下端にあたる、薄膜磁気
ヘッドの磁気記録媒体面側の前面は平面に研削されてお
り、上部磁気コア13はｌで示されるような前端面におけ
る厚みを有する。
回路部の上面図と側断面図を示す。11は磁気基板となる
もので、この場合Mn−Znフェライトなどの磁性材料から
なり、この上にスパッタや真空蒸着により成膜した絶縁
膜や導電膜をフォトリソグラフィ技術により所定の形状
に加工し、コイル12と上部磁気コア13や保護層14が形成
されている。この場合、上部磁気コア13に対して上記磁
性基板11が下部磁気コアとなる。第５図は第４図におけ
るＡ部の拡大図である。図中の下端にあたる、薄膜磁気
ヘッドの磁気記録媒体面側の前面は平面に研削されてお
り、上部磁気コア13はｌで示されるような前端面におけ
る厚みを有する。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、第５図に示されるように磁気記録媒体
面側の上部磁気コア前面が平面である場合、図中のｌで
示されるように前端面の長さが有限長のため、磁気ギャ
ップから離れた上部磁気コアの端面から、近傍の磁束が
磁性基板中に流れ込み、そのため所定の出力と反する出
力を再生してしまう。同図において15は絶縁膜からなる
ギャップ層である。
面側の上部磁気コア前面が平面である場合、図中のｌで
示されるように前端面の長さが有限長のため、磁気ギャ
ップから離れた上部磁気コアの端面から、近傍の磁束が
磁性基板中に流れ込み、そのため所定の出力と反する出
力を再生してしまう。同図において15は絶縁膜からなる
ギャップ層である。
第６図は従来の薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波形を
示したもので、この孤立再生波形には図中Ｃで示される
ような、反出力が発生している。これは第５図でも示し
たように上部磁気コア13の前端面がｌで示されるように
有限長であり、磁気記録媒体に対する面が平面であるた
めに発生した反出力であり、この発生位置は第５図のｌ
の幅によって決まる。またこのような従来の薄膜磁気ヘ
ッドでは周波数特性が第７図に破線で示すように、図中
に示すＤやＥのような周波数特性のうねりを生じ、この
周波数のうねりはまた第５図で示された上部磁気コアの
前端面の幅ｌに依存した周波数に発生する。従来はこの
うねりによる影響を最小にするために、第５図の上部磁
気コア13の前端面の幅ｌを全体の幅より狭くしており、
第５図にＢで示される位置で磁束密度が急激に増加する
ことにより磁気コアの磁気飽和が課題になっていた。
示したもので、この孤立再生波形には図中Ｃで示される
ような、反出力が発生している。これは第５図でも示し
たように上部磁気コア13の前端面がｌで示されるように
有限長であり、磁気記録媒体に対する面が平面であるた
めに発生した反出力であり、この発生位置は第５図のｌ
の幅によって決まる。またこのような従来の薄膜磁気ヘ
ッドでは周波数特性が第７図に破線で示すように、図中
に示すＤやＥのような周波数特性のうねりを生じ、この
周波数のうねりはまた第５図で示された上部磁気コアの
前端面の幅ｌに依存した周波数に発生する。従来はこの
うねりによる影響を最小にするために、第５図の上部磁
気コア13の前端面の幅ｌを全体の幅より狭くしており、
第５図にＢで示される位置で磁束密度が急激に増加する
ことにより磁気コアの磁気飽和が課題になっていた。
本発明はこのような従来の課題を解決するもので、再
生出力の周波数特性にうねりのない薄膜磁気ヘッドの提
供を目的とする。
生出力の周波数特性にうねりのない薄膜磁気ヘッドの提
供を目的とする。
課題を解決するための手段 本発明は上記の目的を達成するために、上部磁気コア
のギャップ層とは反対側の前面と保護層の前面を、磁性
基板およびギャップ層の前面を直線的に摺動する磁気記
録媒体の平面位置より後退させたものである。
のギャップ層とは反対側の前面と保護層の前面を、磁性
基板およびギャップ層の前面を直線的に摺動する磁気記
録媒体の平面位置より後退させたものである。
作 用 本発明は上記した構成により、上部磁気コアの端部か
ら磁性基板への磁束の流入が少なくなり、不要な出力の
発生を減少させる。
ら磁性基板への磁束の流入が少なくなり、不要な出力の
発生を減少させる。
実施例 以下、本発明の一実施例について第１図，第２図，第
３図および第７図を参照しながら説明する。第１図は本
発明による薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体面側の拡大断
面図であり、磁性基板（下部磁気コア）１上にギャップ
層５やコイル２、上部磁気コア３、保護層４が形成され
ている。ここで保護層４は上部磁気コア３を保護するも
ので、上部磁気コア３が外気にさらされて酸化し、磁路
をなすコアとしての磁気特性が劣化することを防止する
働きを有している。磁気記録媒体６に面する前端面は図
中にｇに示される量だけギャップ層５から離れた位置の
上部磁気コア３および保護層４が磁気記録媒体面から遠
ざかるように加工されている。すなわち、上部磁気コア
３のギャップ層５とは反対側の前面と保護層４の前面
が、磁性基板１およびギャップ層５の前面を直線的に摺
動する磁気記録媒体６の平面位置より後退するように加
工されている。ここでは特に図に示すように上部磁気コ
ア３と保護層４のそれぞれの媒体対向面を上部磁気コア
３のギャップ層５側の端部から保護層４に向けて媒体対
向面から離れるように後退させる。このような形状とす
ることにより、上部磁気コア３の媒体対向面における端
部のうち、保護層４側の端部を磁気記録媒体から遠ざけ
ることができるので、保護層４に対向する側の端部に磁
束が集中することをより効果的に防止でき、従って反再
生出力の発生をより効率よく抑制することができる。第
２図はこのような構造を有する薄膜磁気ヘッドの再生波
形を示したもので、従来の薄膜磁気ヘッドに見られるよ
うな反再生出力の発生はなく、この実施例における周波
数特性は第７図の実線で示すようになり、非常にうねり
の少ない周波数特性となり、再生回路におけるフィルタ
ーなどの適合が容易となる。また、この薄膜磁気ヘッド
における磁気記録媒体面からの後退距離ｇと反再生出力
の規格化した出力の落ち込みの関係を第３図に示す。同
図よりｇは0.04μｍ以上あれば反再生出力をなくすこと
ができることを示している。
３図および第７図を参照しながら説明する。第１図は本
発明による薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体面側の拡大断
面図であり、磁性基板（下部磁気コア）１上にギャップ
層５やコイル２、上部磁気コア３、保護層４が形成され
ている。ここで保護層４は上部磁気コア３を保護するも
ので、上部磁気コア３が外気にさらされて酸化し、磁路
をなすコアとしての磁気特性が劣化することを防止する
働きを有している。磁気記録媒体６に面する前端面は図
中にｇに示される量だけギャップ層５から離れた位置の
上部磁気コア３および保護層４が磁気記録媒体面から遠
ざかるように加工されている。すなわち、上部磁気コア
３のギャップ層５とは反対側の前面と保護層４の前面
が、磁性基板１およびギャップ層５の前面を直線的に摺
動する磁気記録媒体６の平面位置より後退するように加
工されている。ここでは特に図に示すように上部磁気コ
ア３と保護層４のそれぞれの媒体対向面を上部磁気コア
３のギャップ層５側の端部から保護層４に向けて媒体対
向面から離れるように後退させる。このような形状とす
ることにより、上部磁気コア３の媒体対向面における端
部のうち、保護層４側の端部を磁気記録媒体から遠ざけ
ることができるので、保護層４に対向する側の端部に磁
束が集中することをより効果的に防止でき、従って反再
生出力の発生をより効率よく抑制することができる。第
２図はこのような構造を有する薄膜磁気ヘッドの再生波
形を示したもので、従来の薄膜磁気ヘッドに見られるよ
うな反再生出力の発生はなく、この実施例における周波
数特性は第７図の実線で示すようになり、非常にうねり
の少ない周波数特性となり、再生回路におけるフィルタ
ーなどの適合が容易となる。また、この薄膜磁気ヘッド
における磁気記録媒体面からの後退距離ｇと反再生出力
の規格化した出力の落ち込みの関係を第３図に示す。同
図よりｇは0.04μｍ以上あれば反再生出力をなくすこと
ができることを示している。
発明の効果 以上の実施例から明らかなように本発明によれば、上
部磁気コアのギャップ層とは反対側の前面と保護層の前
面を、磁性基板およびギャップ層の前面を直線的に摺動
する磁気記録媒体の平面位置より後退させていることに
より、従来の薄膜磁気ヘッドにおいてみられるような反
出力の発生は見られず、左右対称性の非常に良い再生出
力が得られ、また周波数特性のうねりも見られない。加
えて、従来の薄膜磁気ヘッドで問題であった磁気飽和現
象も解消し、安定した出力が得られ、再生効率の良い薄
膜磁気ヘッドを提供できる。
部磁気コアのギャップ層とは反対側の前面と保護層の前
面を、磁性基板およびギャップ層の前面を直線的に摺動
する磁気記録媒体の平面位置より後退させていることに
より、従来の薄膜磁気ヘッドにおいてみられるような反
出力の発生は見られず、左右対称性の非常に良い再生出
力が得られ、また周波数特性のうねりも見られない。加
えて、従来の薄膜磁気ヘッドで問題であった磁気飽和現
象も解消し、安定した出力が得られ、再生効率の良い薄
膜磁気ヘッドを提供できる。
第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの磁
気記録媒体面側の拡大断面図、第２図は同磁気ヘッドに
よる孤立再生波形特性図、第３図は磁気記録媒体面から
の後退距離に対する反再生出力特性図、第４図（ａ），
（ｂ）は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気回路部の上面図と
側断面図、第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒
体面側の拡大断面図、第６図は従来の薄膜磁気ヘッドの
孤立再生波形特性図、第７図は従来と本発明の薄膜磁気
ヘッドの出力の周波数特性図である。 １……磁性基板、２……コイル、３……上部磁気コア、
４……保護層、５……ギャップ層、６……磁気記録媒
体。
気記録媒体面側の拡大断面図、第２図は同磁気ヘッドに
よる孤立再生波形特性図、第３図は磁気記録媒体面から
の後退距離に対する反再生出力特性図、第４図（ａ），
（ｂ）は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気回路部の上面図と
側断面図、第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒
体面側の拡大断面図、第６図は従来の薄膜磁気ヘッドの
孤立再生波形特性図、第７図は従来と本発明の薄膜磁気
ヘッドの出力の周波数特性図である。 １……磁性基板、２……コイル、３……上部磁気コア、
４……保護層、５……ギャップ層、６……磁気記録媒
体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−54621（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−241510（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−26308（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−106311（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−3123（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−179923（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−29311（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−142519（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−115907（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−118333（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−147111（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/31,5/127
Claims (1)
- 【請求項１】磁路の一部をなす下部磁気コアと、前記下
部磁気コアの上部に設けられ、磁路の一部をなす上部磁
気コアと、前記上部磁気コアと前記下部磁気コアとの間
に配置され、磁場を発生するコイルと、前記上部磁気コ
アの前記下部磁気コアと反対側の端面に形成された保護
層と、前記上部磁気コアと前記下部磁気コアとの間の媒
体対向面側に設けられたギャップ層とを備えた薄膜磁気
ヘッドであって、前記上部磁気コアおよび前記保護層の
それぞれの媒体対向面を前記上部磁気コアの前記ギャッ
プ層側の端部から前記保護層に向けて、媒体対向面から
離れるように後退させ、前記上部磁気コアの前記ギャッ
プ層側の端部と前記保護層側の端部において、媒体対向
面に垂直な方向の高さの差を0.04μｍ以上としたことを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202172A JP2971538B2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 薄膜磁気ヘッド |
| US08/085,140 US5331497A (en) | 1990-07-30 | 1993-07-02 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202172A JP2971538B2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0487009A JPH0487009A (ja) | 1992-03-19 |
| JP2971538B2 true JP2971538B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=16453161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2202172A Expired - Lifetime JP2971538B2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5331497A (ja) |
| JP (1) | JP2971538B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6282061B1 (en) * | 1994-03-17 | 2001-08-28 | Fujitsu Limited | Magnetic head with improved floating surface |
| JPH09106508A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Yamaha Corp | 誘導型薄膜磁気ヘッド |
| US5872684A (en) * | 1997-05-15 | 1999-02-16 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having a relieved trailing edge |
| FR2781917B1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation collective de tetes magnetiques integrees a surface portante de hauteur determinee |
| US6421205B1 (en) | 1999-02-23 | 2002-07-16 | International Business Machines Corporation | Recessed slider trailing edge for reducing stiction |
| US7037421B2 (en) * | 2000-05-19 | 2006-05-02 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film magnetic head having magnetic gap formed of NiP |
| US6676878B2 (en) | 2001-01-31 | 2004-01-13 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser segmented cutting |
| US7212380B2 (en) * | 2004-04-26 | 2007-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic write head with recessed overcoat |
| US20050264949A1 (en) | 2004-05-28 | 2005-12-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Recessed SiO2 or Si3N4 overcoat for GMR head in magnetic disk drive |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5329091B2 (ja) * | 1973-02-09 | 1978-08-18 | ||
| JPS5654621A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-14 | Nec Corp | Thin-film magnetic head |
| JPH0450562Y2 (ja) * | 1985-04-03 | 1992-11-30 | ||
| JPS61237216A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-22 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
| JPH03241510A (ja) * | 1990-02-19 | 1991-10-28 | Tokico Ltd | 磁気ヘッド |
| US5130877A (en) * | 1990-04-26 | 1992-07-14 | Seagate Technology, Inc. | Thin film head on ferrite substrate with inclined top pole |
| JP3115907U (ja) * | 2004-03-04 | 2005-11-17 | 英夫 埴岡 | 防犯棚 |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP2202172A patent/JP2971538B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-07-02 US US08/085,140 patent/US5331497A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0487009A (ja) | 1992-03-19 |
| US5331497A (en) | 1994-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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