JP2970611B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
樹脂封止装置Info
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- JP2970611B2 JP2970611B2 JP20307897A JP20307897A JP2970611B2 JP 2970611 B2 JP2970611 B2 JP 2970611B2 JP 20307897 A JP20307897 A JP 20307897A JP 20307897 A JP20307897 A JP 20307897A JP 2970611 B2 JP2970611 B2 JP 2970611B2
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- Japan
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- pressure
- sealing device
- resin sealing
- resin
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
- B29C45/021—Plunger drives; Pressure equalizing means for a plurality of transfer plungers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばリードフレ
ームに搭載された半導体集積回路素子を樹脂封止する場
合に使用して好適な樹脂封止装置に関する。
ームに搭載された半導体集積回路素子を樹脂封止する場
合に使用して好適な樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の樹脂封止装置は、例えば
特開昭６２−１９５１３５号公報に「半導体樹脂封止装
置」として開示され、図２に示すように構成されてい
る。この樹脂封止装置につき、同図を用いて説明する
と、同図において、符号５１で示す樹脂封止装置は、ホ
ルダー駆動機構５２とスプリングホルダー５３とプラン
ジャ５４とスプリング５５とを備えている。
特開昭６２−１９５１３５号公報に「半導体樹脂封止装
置」として開示され、図２に示すように構成されてい
る。この樹脂封止装置につき、同図を用いて説明する
と、同図において、符号５１で示す樹脂封止装置は、ホ
ルダー駆動機構５２とスプリングホルダー５３とプラン
ジャ５４とスプリング５５とを備えている。
【０００３】ホルダー駆動機構５２は、樹脂封止時に駆
動する射出用シリンダからなり、プランジャ５４の軸線
方向に進退するロッド５２ａを有している。これによ
り、スプリングホルダー５３が成形用型板（図示せず）
に接近する方向および成形用型板（図示せず）から離間
する方向に移動する。スプリングホルダー５３は、一方
に開口する四つのスプリング収納室５３ａ〜５３ｄを有
するホルダーからなり、ロッド５２ａの先端部に取り付
けられている。
動する射出用シリンダからなり、プランジャ５４の軸線
方向に進退するロッド５２ａを有している。これによ
り、スプリングホルダー５３が成形用型板（図示せず）
に接近する方向および成形用型板（図示せず）から離間
する方向に移動する。スプリングホルダー５３は、一方
に開口する四つのスプリング収納室５３ａ〜５３ｄを有
するホルダーからなり、ロッド５２ａの先端部に取り付
けられている。
【０００４】プランジャ５４は、成形用金型（図示せ
ず）における四つのポット（図示せず）内に臨む四つの
プランジャ５４ａ〜５４ｄからなり、各スプリング収納
室５３ａ〜５３ｄ内に進退自在に設けられている。スプ
リング５５は、四つの圧縮コイルスプリング５５ａ〜５
５ｄからなり、各スプリング収納室５３ａ〜５３ｄの底
面と各プランジャ５４ａ〜５４ｄのヘッド５４Ａ〜５４
Ｄとの間に弾装されている。
ず）における四つのポット（図示せず）内に臨む四つの
プランジャ５４ａ〜５４ｄからなり、各スプリング収納
室５３ａ〜５３ｄ内に進退自在に設けられている。スプ
リング５５は、四つの圧縮コイルスプリング５５ａ〜５
５ｄからなり、各スプリング収納室５３ａ〜５３ｄの底
面と各プランジャ５４ａ〜５４ｄのヘッド５４Ａ〜５４
Ｄとの間に弾装されている。
【０００５】このように構成された樹脂封止装置におい
て、成形用金型（図示せず）のキャビティ（図示せず）
内に樹脂を注入するには、各ポット（図示せず）内に樹
脂（タブレット）を投入し、次にホルダー駆動機構５２
を駆動してスプリングホルダー５３を成形用金型側に移
動操作することにより行われる。
て、成形用金型（図示せず）のキャビティ（図示せず）
内に樹脂を注入するには、各ポット（図示せず）内に樹
脂（タブレット）を投入し、次にホルダー駆動機構５２
を駆動してスプリングホルダー５３を成形用金型側に移
動操作することにより行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の樹
脂封止装置においては、樹脂注入時にシリンダ駆動機構
５２の駆動によるスプリングホルダー５３の移動によっ
て各プランジャ５４ａ〜５４ｄからの負荷を各圧縮コイ
ルスプリング５５ａ〜５５ｄが受ける構造であるため、
スプリング撓み量のばらつきによってポット毎に樹脂注
入圧力がばらついていた。
脂封止装置においては、樹脂注入時にシリンダ駆動機構
５２の駆動によるスプリングホルダー５３の移動によっ
て各プランジャ５４ａ〜５４ｄからの負荷を各圧縮コイ
ルスプリング５５ａ〜５５ｄが受ける構造であるため、
スプリング撓み量のばらつきによってポット毎に樹脂注
入圧力がばらついていた。
【０００７】この結果、成形用金型（図示せず）内への
樹脂未充填が発生するばかりか、成形品においてボイド
が発生し、樹脂封止上の信頼性が低下するという問題が
あった。なお、成形用金型内に供給される樹脂の重量ば
らつきは、樹脂タブレットの製造能力により８％の重量
ばらつきが限界とされる。
樹脂未充填が発生するばかりか、成形品においてボイド
が発生し、樹脂封止上の信頼性が低下するという問題が
あった。なお、成形用金型内に供給される樹脂の重量ば
らつきは、樹脂タブレットの製造能力により８％の重量
ばらつきが限界とされる。
【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、成形用金型内への樹脂未充填発生を防止するこ
とができるとともに、成形品においてボイド発生を防止
することができ、もって樹脂封止上の信頼性を高めるこ
とができる樹脂封止装置の提供を目的とする。
もので、成形用金型内への樹脂未充填発生を防止するこ
とができるとともに、成形品においてボイド発生を防止
することができ、もって樹脂封止上の信頼性を高めるこ
とができる樹脂封止装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載の樹脂封止装置は、成形用型
板に接近する方向にシリンダを移動操作することにより
移動しこの移動動作による負荷によって成形用型板から
離間する方向に移動するピストンを有しこのピストンの
移動によって変動するシリンダ内のヘッド側圧力を吸収
する圧力回路を備え、この圧力回路のピストンを、成形
用型板の各ポットに対応する複数のピストンによって構
成し、これら各ピストンが臨む複数のシリンダ室をシリ
ンダ内に形成し、これら各シリンダ室のピストンロッド
側を第一通路によって連通させるとともに、ピストンヘ
ッド側を第二通路によって連通させた構成としてある。
したがって、成形用型板内に対する樹脂注入時に各ピス
トンが成形用型板から離間する方向に移動して変動する
各シリンダ室内のヘッド側圧力を圧力回路が吸収し、各
シリンダ室内のヘッド側圧力が等しくなる。
に、本発明の請求項１記載の樹脂封止装置は、成形用型
板に接近する方向にシリンダを移動操作することにより
移動しこの移動動作による負荷によって成形用型板から
離間する方向に移動するピストンを有しこのピストンの
移動によって変動するシリンダ内のヘッド側圧力を吸収
する圧力回路を備え、この圧力回路のピストンを、成形
用型板の各ポットに対応する複数のピストンによって構
成し、これら各ピストンが臨む複数のシリンダ室をシリ
ンダ内に形成し、これら各シリンダ室のピストンロッド
側を第一通路によって連通させるとともに、ピストンヘ
ッド側を第二通路によって連通させた構成としてある。
したがって、成形用型板内に対する樹脂注入時に各ピス
トンが成形用型板から離間する方向に移動して変動する
各シリンダ室内のヘッド側圧力を圧力回路が吸収し、各
シリンダ室内のヘッド側圧力が等しくなる。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の樹
脂封止装置において、圧力回路が油圧回路からなる構成
としてある。したがって、成形用型板内に対する樹脂注
入時に各ピストンが成形用型板から離間する方向に移動
して変動する各シリンダ室内のヘッド側圧力を油圧回路
が吸収し、各シリンダ室内のヘッド側圧力が等しくな
る。
脂封止装置において、圧力回路が油圧回路からなる構成
としてある。したがって、成形用型板内に対する樹脂注
入時に各ピストンが成形用型板から離間する方向に移動
して変動する各シリンダ室内のヘッド側圧力を油圧回路
が吸収し、各シリンダ室内のヘッド側圧力が等しくな
る。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の樹脂封止装置において、シリンダ内のヘッド側圧
力を吸収するシリンダを含ませた構成としてある。した
がって、成形用型板内に対する樹脂注入時に各シリンダ
室内のヘッド側圧力が圧力吸収用のシリンダによって吸
収される。
記載の樹脂封止装置において、シリンダ内のヘッド側圧
力を吸収するシリンダを含ませた構成としてある。した
がって、成形用型板内に対する樹脂注入時に各シリンダ
室内のヘッド側圧力が圧力吸収用のシリンダによって吸
収される。
【００１２】請求項４記載の発明は、請求項１，２また
は３記載の樹脂封止装置において、シリンダ内に圧力を
供給する圧力供給源を含ませた構成としてある。したが
って、成形用型板内に対する樹脂注入時に圧力供給源か
らシリンダ内に圧力が供給される。
は３記載の樹脂封止装置において、シリンダ内に圧力を
供給する圧力供給源を含ませた構成としてある。したが
って、成形用型板内に対する樹脂注入時に圧力供給源か
らシリンダ内に圧力が供給される。
【００１３】請求項５記載の発明は、請求項１〜４のう
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダに
対する圧力を供給・供給遮断する切換バルブを含ませた
構成としてある。したがって、成形用型板内に対する樹
脂注入時に切換バルブを開放してシリンダ内に圧力が供
給され、ピストンが成形用型板に接近する方向に移動し
た後に切換バルブを閉塞してシリンダ内への圧力が供給
遮断される。
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダに
対する圧力を供給・供給遮断する切換バルブを含ませた
構成としてある。したがって、成形用型板内に対する樹
脂注入時に切換バルブを開放してシリンダ内に圧力が供
給され、ピストンが成形用型板に接近する方向に移動し
た後に切換バルブを閉塞してシリンダ内への圧力が供給
遮断される。
【００１４】請求項６記載の発明は、請求項１〜５のう
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダを
移動操作する電動プレスを含ませた構成としてある。し
たがって、成形用型板内に対する樹脂注入時にシリンダ
の移動操作がシリンダ移動用の電動プレスによって行わ
れる。
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダを
移動操作する電動プレスを含ませた構成としてある。し
たがって、成形用型板内に対する樹脂注入時にシリンダ
の移動操作がシリンダ移動用の電動プレスによって行わ
れる。
【００１５】請求項７記載の発明は、請求項１〜５のう
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダを
移動操作するシリンダを含ませた構成としたある。した
がって、成形用型板内に対する樹脂注入時にシリンダの
移動操作がシリンダ移動用のシリンダによって行われ
る。
ちいずれか一記載の樹脂封止装置において、シリンダを
移動操作するシリンダを含ませた構成としたある。した
がって、成形用型板内に対する樹脂注入時にシリンダの
移動操作がシリンダ移動用のシリンダによって行われ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につき、
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る樹脂封止装置を示す油圧回路図である。同図にお
いて、符号１１で示す樹脂封止装置は、成形用金型（図
示せず）と油圧回路１２とを備えている。
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る樹脂封止装置を示す油圧回路図である。同図にお
いて、符号１１で示す樹脂封止装置は、成形用金型（図
示せず）と油圧回路１２とを備えている。
【００１７】成形用金型（図示せず）は、複数のポット
（図示せず）を有し、成形機用ベース（図示せず）に固
定されている。油圧回路１２は、第一油圧シリンダ１３
と電動プレス１４と第二油圧シリンダ１５と切換バルブ
１６と油圧ポンプ１７とを有している。
（図示せず）を有し、成形機用ベース（図示せず）に固
定されている。油圧回路１２は、第一油圧シリンダ１３
と電動プレス１４と第二油圧シリンダ１５と切換バルブ
１６と油圧ポンプ１７とを有している。
【００１８】第一油圧シリンダ１３は、成形用金型（図
示せず）の各ポット（図示せず）に対応する四つのピス
トン１３ａ〜１３ｄおよびこれら各ピストン１３ａ〜１
３ｄが臨む四つのシリンダ室１３Ａ〜１３Ｄを有し、油
圧回路１２内に含まれている。
示せず）の各ポット（図示せず）に対応する四つのピス
トン１３ａ〜１３ｄおよびこれら各ピストン１３ａ〜１
３ｄが臨む四つのシリンダ室１３Ａ〜１３Ｄを有し、油
圧回路１２内に含まれている。
【００１９】ピストン１３ａ〜１３ｄは、成形用金型
（図示せず）に接近する方向に第一油圧シリンダ１３を
移動操作することにより移動し、この移動動作による負
荷によって成形用金型（図示せず）から離間する方向に
移動する。ピストン１３ａ〜１３ｄには、成形用金型
（図示せず）の各ポット（図示せず）内を摺動可能なプ
ランジャ（図示せず）が連設されている。
（図示せず）に接近する方向に第一油圧シリンダ１３を
移動操作することにより移動し、この移動動作による負
荷によって成形用金型（図示せず）から離間する方向に
移動する。ピストン１３ａ〜１３ｄには、成形用金型
（図示せず）の各ポット（図示せず）内を摺動可能なプ
ランジャ（図示せず）が連設されている。
【００２０】シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄは、それぞれが
互いに並列し、第一油圧シリンダ１３内に形成されてい
る。これら各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄは、ピストンロ
ッド側ａ１〜ａ４が第一通路としての空気通路１８によ
って連通されており、ピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４が第
二通路としての油圧通路１９によって連通されている。
互いに並列し、第一油圧シリンダ１３内に形成されてい
る。これら各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄは、ピストンロ
ッド側ａ１〜ａ４が第一通路としての空気通路１８によ
って連通されており、ピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４が第
二通路としての油圧通路１９によって連通されている。
【００２１】電動プレス１４は、上下方向に進退するロ
ッド１４ａを有する射出（シリンダ移動）用の電動プレ
スからなり、第一油圧シリンダ１３の下方端面中央部に
連結されている。これにより、成形用金型（図示せず）
に接近する方向および成形用金型（図示せず）から離間
する方向に第一油圧シリンダ１３が移動する。
ッド１４ａを有する射出（シリンダ移動）用の電動プレ
スからなり、第一油圧シリンダ１３の下方端面中央部に
連結されている。これにより、成形用金型（図示せず）
に接近する方向および成形用金型（図示せず）から離間
する方向に第一油圧シリンダ１３が移動する。
【００２２】第二油圧シリンダ１５は、成形用金型（図
示せず）から離間する方向にピストン１３ａ〜１３ｄが
移動することにより変動する各シリンダ室１３Ａ〜１３
Ｄ内のヘッド側圧力を吸収する油圧シリンダからなり、
油圧回路１２内に含まれている。第二油圧シリンダ１５
は、ピストン１５ａを有し、ピストンロッド側ｃが第一
油圧シリンダ１３および切換バルブ１６の両バルブのう
ち一方のバルブ（後述）に接続され、かつピストンヘッ
ド側ｄが両バルブのうち他方のバルブ（後述）に接続さ
れている。
示せず）から離間する方向にピストン１３ａ〜１３ｄが
移動することにより変動する各シリンダ室１３Ａ〜１３
Ｄ内のヘッド側圧力を吸収する油圧シリンダからなり、
油圧回路１２内に含まれている。第二油圧シリンダ１５
は、ピストン１５ａを有し、ピストンロッド側ｃが第一
油圧シリンダ１３および切換バルブ１６の両バルブのう
ち一方のバルブ（後述）に接続され、かつピストンヘッ
ド側ｄが両バルブのうち他方のバルブ（後述）に接続さ
れている。
【００２３】切換バルブ１６は、第一油圧シリンダ１３
のピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４および第二油圧シリンダ
１５のピストンロッド側ｃに接続される第一バルブ１６
ａと、第二油圧シリンダ１５のピストンヘッド側ｄに接
続される第二バルブ１６ｂとからなり、油圧回路１２内
に含まれている。
のピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４および第二油圧シリンダ
１５のピストンロッド側ｃに接続される第一バルブ１６
ａと、第二油圧シリンダ１５のピストンヘッド側ｄに接
続される第二バルブ１６ｂとからなり、油圧回路１２内
に含まれている。
【００２４】油圧ポンプ１７は、第一バルブ１６ａおよ
び第二バルブ１６ｂに油圧（作動油）を供給するポンプ
からなり、油圧回路１２内に含まれている。なお、本実
施形態においては、油圧ポンプ１７が吐出圧力として高
圧力を必要とせず、１０〜２０ｋｇ／ｃｍ２程度の低圧
力で駆動し、経済的である。
び第二バルブ１６ｂに油圧（作動油）を供給するポンプ
からなり、油圧回路１２内に含まれている。なお、本実
施形態においては、油圧ポンプ１７が吐出圧力として高
圧力を必要とせず、１０〜２０ｋｇ／ｃｍ２程度の低圧
力で駆動し、経済的である。
【００２５】また、図１において、符号ＤＲ１は各シリ
ンダ室１３Ａ〜１３Ｄのピストンロッドａ１〜ａ４に油
圧配管を介して接続される空気孔、ＤＲ２は第二油圧シ
リンダ１５のピストンヘッド側ｄに第二バルブ１６ｂの
ポートおよび油圧配管を介して接続される空気孔であ
る。
ンダ室１３Ａ〜１３Ｄのピストンロッドａ１〜ａ４に油
圧配管を介して接続される空気孔、ＤＲ２は第二油圧シ
リンダ１５のピストンヘッド側ｄに第二バルブ１６ｂの
ポートおよび油圧配管を介して接続される空気孔であ
る。
【００２６】このように構成された樹脂封止装置による
樹脂封止は、次に示すようにして行われる。先ず、図１
で示す状態から切換バルブ１６の両バルブ１６ａ，１６
ｂを切り換えて開放し、油圧ポンプ１７によって第一油
圧シリンダ１３のピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４および第
二油圧シリンダ１５のピストンロッド側ｃ，ピストンヘ
ッド側ｄに油圧を供給する。このとき、ピストン１３ａ
〜１３ｄが各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄのピストンロッ
ド側（図１では上側）上端に移動するとともに、ピスト
ン１５ａが第二油圧シリンダ１５内のピストンロッド側
（図１では左側）に移動する。
樹脂封止は、次に示すようにして行われる。先ず、図１
で示す状態から切換バルブ１６の両バルブ１６ａ，１６
ｂを切り換えて開放し、油圧ポンプ１７によって第一油
圧シリンダ１３のピストンヘッド側ｂ１〜ｂ４および第
二油圧シリンダ１５のピストンロッド側ｃ，ピストンヘ
ッド側ｄに油圧を供給する。このとき、ピストン１３ａ
〜１３ｄが各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄのピストンロッ
ド側（図１では上側）上端に移動するとともに、ピスト
ン１５ａが第二油圧シリンダ１５内のピストンロッド側
（図１では左側）に移動する。
【００２７】次に、切換バルブ１６の両バルブ１６ａ，
１６ｂを第１図に示すように切り替えて閉塞し、成形用
金型（図示せず）の各ポット（図示せず）内に樹脂を供
給して型締めする。
１６ｂを第１図に示すように切り替えて閉塞し、成形用
金型（図示せず）の各ポット（図示せず）内に樹脂を供
給して型締めする。
【００２８】しかる後、電動プレス１４によって第一油
圧シリンダ１３を成形用金型（図示せず）に接近する方
向に移動操作し、成形用金型（図示せず）のキャビティ
（図示せず）内に樹脂を注入する。
圧シリンダ１３を成形用金型（図示せず）に接近する方
向に移動操作し、成形用金型（図示せず）のキャビティ
（図示せず）内に樹脂を注入する。
【００２９】このとき、第一油圧シリンダ１３における
各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストンヘッド側圧力
が第二油圧シリンダ１５のピストンロッド側ｃに流入
し、各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストン１３ａ〜
１３ｄが成形用金型（図示せず）から離間する方向に所
定量だけ下降する。
各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストンヘッド側圧力
が第二油圧シリンダ１５のピストンロッド側ｃに流入
し、各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストン１３ａ〜
１３ｄが成形用金型（図示せず）から離間する方向に所
定量だけ下降する。
【００３０】すなわち、成形用金型（図示せず）内に対
する樹脂注入時に各ピストン１３ａ〜１３ｄが成形用金
型（図示せず）から離間する方向に移動することにより
変動する各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストンヘッ
ド側圧力を第二油圧シリンダ１５が吸収し、各シリンダ
室１３ａ〜１３ｄ内のピストンヘッド側圧力が等しくな
る。
する樹脂注入時に各ピストン１３ａ〜１３ｄが成形用金
型（図示せず）から離間する方向に移動することにより
変動する各シリンダ室１３Ａ〜１３Ｄ内のピストンヘッ
ド側圧力を第二油圧シリンダ１５が吸収し、各シリンダ
室１３ａ〜１３ｄ内のピストンヘッド側圧力が等しくな
る。
【００３１】したがって、本実施形態においては、成形
用金型（図示せず）のキャビティ（図示せず）内に樹脂
が充填される場合、各ポット（図示せず）内の樹脂注入
圧が等しくなる。
用金型（図示せず）のキャビティ（図示せず）内に樹脂
が充填される場合、各ポット（図示せず）内の樹脂注入
圧が等しくなる。
【００３２】なお、本実施形態においては、第一油圧シ
リンダ１３の移動操作が電動プレス１４によって行われ
る場合を示したが、本発明はこれに限定されず、油圧シ
リンダ（第二実施形態）によって行われるものでも第一
実施形態と同様の効果を奏する。この場合、電動プレス
の代わりに用いる油圧シリンダ（図示せず）に対する駆
動力は、第一油圧シリンダ１３および第二油圧シリンダ
１５に対する駆動力と同様に油圧ポンプ１７によって供
給される。
リンダ１３の移動操作が電動プレス１４によって行われ
る場合を示したが、本発明はこれに限定されず、油圧シ
リンダ（第二実施形態）によって行われるものでも第一
実施形態と同様の効果を奏する。この場合、電動プレス
の代わりに用いる油圧シリンダ（図示せず）に対する駆
動力は、第一油圧シリンダ１３および第二油圧シリンダ
１５に対する駆動力と同様に油圧ポンプ１７によって供
給される。
【００３３】また、本実施形態においては、第一油圧シ
リンダ１３のシリンダ室の個数が四つである場合を示し
たが、本発明はこれに限定されず、成形用金型（図示せ
ず）のポット数に応じて適宜変更することが自由であ
る。
リンダ１３のシリンダ室の個数が四つである場合を示し
たが、本発明はこれに限定されず、成形用金型（図示せ
ず）のポット数に応じて適宜変更することが自由であ
る。
【００３４】この他、本発明における油圧回路は、前述
した実施形態に特に限定されるものでないことは勿論で
ある。
した実施形態に特に限定されるものでないことは勿論で
ある。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、成
形用型板に接近する方向にシリンダを移動操作すること
により移動しこの移動動作による負荷によって成形用型
板から離間する方向に移動するピストンを有しこのピス
トンの移動によって変動するシリンダ内のヘッド側圧力
を吸収する圧力回路を備え、この圧力回路のピストン
を、成形用型板の各ポットに対応する複数のピストンに
よって構成し、これら各ピストンが臨む複数のシリンダ
室をシリンダ内に形成し、これら各シリンダ室のピスト
ンロッド側を第一通路によって連通させるとともに、ピ
ストンヘッド側を第二通路によって連通させたので、成
形用型板内に対する樹脂注入時に各ピストンが成形用型
板から離間する方向に移動して変動する各シリンダ室内
のヘッド側圧力を圧力回路が吸収し、各シリンダ室内の
ヘッド側圧力が等しくなる。
形用型板に接近する方向にシリンダを移動操作すること
により移動しこの移動動作による負荷によって成形用型
板から離間する方向に移動するピストンを有しこのピス
トンの移動によって変動するシリンダ内のヘッド側圧力
を吸収する圧力回路を備え、この圧力回路のピストン
を、成形用型板の各ポットに対応する複数のピストンに
よって構成し、これら各ピストンが臨む複数のシリンダ
室をシリンダ内に形成し、これら各シリンダ室のピスト
ンロッド側を第一通路によって連通させるとともに、ピ
ストンヘッド側を第二通路によって連通させたので、成
形用型板内に対する樹脂注入時に各ピストンが成形用型
板から離間する方向に移動して変動する各シリンダ室内
のヘッド側圧力を圧力回路が吸収し、各シリンダ室内の
ヘッド側圧力が等しくなる。
【００３６】したがって、従来のように成形用型板のポ
ット毎に樹脂注入圧力がばらつかないから、成形用型板
内への樹脂未充填発生を防止することができるととも
に、成形品においてボイドの発生を防止することがで
き、樹脂封止上の信頼性を高めることができる。
ット毎に樹脂注入圧力がばらつかないから、成形用型板
内への樹脂未充填発生を防止することができるととも
に、成形品においてボイドの発生を防止することがで
き、樹脂封止上の信頼性を高めることができる。
【図１】本発明の第一実施形態に係る樹脂封止装置を説
明するために示す油圧回路図である。
明するために示す油圧回路図である。
【図２】従来の樹脂封止装置を説明するために示す断面
図である。
図である。
１１ 樹脂封止装置 １２ 圧力回路 １３ 第一油圧シリンダ １３ａ〜１３ｄ ピストン １３Ａ〜１３Ｄ シリンダ室 １４ 電動プレス １５ 第二油圧シリンダ １６ 切換バルブ １７ 油圧ポンプ １８ 空気通路 １９ 油圧通路 ａ１〜ａ４，ｃ ピストンロッド側 ｂ１〜ｂ４，ｃ ピストンヘッド側
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−300411（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−156010（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−50813（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−164549（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−309783（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−99621（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−232195（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−120278（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−106567（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−92055（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−71530（ＪＰ，Ｕ) 登録実用新案3027691（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B29C 45/00 - 45/24 H01L 21/56
Claims (7)
- 【請求項１】 成形用型板に接近する方向にシリンダを
移動操作することにより移動し、この移動動作による負
荷によって前記成形用型板から離間する方向に移動する
ピストンを有し、このピストンの移動によって変動する
前記シリンダ内のヘッド側圧力を吸収する圧力回路を備
え、 この圧力回路のピストンを、前記成形用型板の各ポット
に対応する複数のピストンによって構成し、 これら各ピストンが臨む複数のシリンダ室を前記シリン
ダ内に形成し、 これら各シリンダ室のピストンロッド側を第一通路によ
って連通させるとともに、 ピストンヘッド側を第二通路によって連通させたことを
特徴とする樹脂封止装置。 - 【請求項２】 前記圧力回路が油圧回路からなることを
特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。 - 【請求項３】 前記シリンダ内のヘッド側圧力を吸収す
るシリンダを含ませたことを特徴とする請求項１または
２記載の樹脂封止装置。 - 【請求項４】 前記シリンダ内に圧力を供給する圧力供
給源を含ませたことを特徴とする請求項１，２または３
記載の樹脂封止装置。 - 【請求項５】 前記シリンダに対する圧力を供給・供給
遮断する切換バルブを含ませたことを特徴とする請求項
１〜４のうちいずれか一記載の樹脂封止装置。 - 【請求項６】 前記シリンダを移動操作する電動プレス
を含ませたことを特徴とする請求項１〜５のうちいずれ
か一記載の樹脂封止装置。 - 【請求項７】 前記シリンダを移動操作するシリンダを
含ませたことを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか
一記載の樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20307897A JP2970611B2 (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | 樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20307897A JP2970611B2 (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | 樹脂封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1142668A JPH1142668A (ja) | 1999-02-16 |
| JP2970611B2 true JP2970611B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16468000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20307897A Expired - Fee Related JP2970611B2 (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | 樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970611B2 (ja) |
-
1997
- 1997-07-29 JP JP20307897A patent/JP2970611B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1142668A (ja) | 1999-02-16 |
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