JP2968779B1 - 板状体の洗浄装置 - Google Patents
板状体の洗浄装置Info
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Abstract
【要約】
【課題】ウェハやガラス板のような板状体の洗浄装置に
おいて、ウェハ８の複数枚を収納するキャリア７を設置
した状態で、短期間で効率よくゴミを除去して洗浄す
る。 【解決手段】給液配管３と排液配管４との間に管状処理
槽１を形成し、複数のウェハ８を並べ収納するウェハキ
ャリア７を管状処理槽１内に設置し、それぞれのウェハ
８に対し同じ位置に水平に並べかつウェハ８を挟むよう
に上流および下流に配置される複数対の速度制御板２を
設け、洗浄液をウェハ８の表面に接触し流れる多層の層
流に分岐させ、洗浄液の流れのエネルギ−によってウェ
ハ８の表面に付着したゴミを剥離させる。
おいて、ウェハ８の複数枚を収納するキャリア７を設置
した状態で、短期間で効率よくゴミを除去して洗浄す
る。 【解決手段】給液配管３と排液配管４との間に管状処理
槽１を形成し、複数のウェハ８を並べ収納するウェハキ
ャリア７を管状処理槽１内に設置し、それぞれのウェハ
８に対し同じ位置に水平に並べかつウェハ８を挟むよう
に上流および下流に配置される複数対の速度制御板２を
設け、洗浄液をウェハ８の表面に接触し流れる多層の層
流に分岐させ、洗浄液の流れのエネルギ−によってウェ
ハ８の表面に付着したゴミを剥離させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、純水などの洗浄液
によって半導体ウェハ（以下単にウェハと記す）や液晶
パネルのガラス板などの板状体を洗浄する板状体の洗浄
装置に関する。
によって半導体ウェハ（以下単にウェハと記す）や液晶
パネルのガラス板などの板状体を洗浄する板状体の洗浄
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、この種の板状体の洗浄装置、例え
ば、ウェハの洗浄装置は、洗浄槽の下方から純水などを
槽内に噴き出させ、槽内に配置されたウェハキャリアに
収納された複数枚のウェハの間に洗浄液を流し、槽の開
口から洗浄液をオ−バ−フロ−させ洗浄を行っていた。
しかしながら、槽内における洗浄液は槽壁に沿って流れ
オ−バ−フロ−されるので、槽の中央部の洗浄液が淀み
易く、ウェハに一度遊離したゴミが再付着する問題があ
った。この問題を解消するのに種々の提案がなされた。
ば、ウェハの洗浄装置は、洗浄槽の下方から純水などを
槽内に噴き出させ、槽内に配置されたウェハキャリアに
収納された複数枚のウェハの間に洗浄液を流し、槽の開
口から洗浄液をオ−バ−フロ−させ洗浄を行っていた。
しかしながら、槽内における洗浄液は槽壁に沿って流れ
オ−バ−フロ−されるので、槽の中央部の洗浄液が淀み
易く、ウェハに一度遊離したゴミが再付着する問題があ
った。この問題を解消するのに種々の提案がなされた。
【０００３】例えば、特開平５−２９９４０６号公報に
開示された基板洗浄槽は、槽の外側壁にある洗浄液供給
口側に垂直に立てられた流入液整流板と、基板をおいて
対向するように垂直に立てられた流出液整流板とを設け
洗浄液の流れを層流にし、基板の面に沿って洗浄液を水
平方向に流しゴミを離脱させ、一方向に洗浄液を流すこ
とで再付着を防止することを特徴としている。
開示された基板洗浄槽は、槽の外側壁にある洗浄液供給
口側に垂直に立てられた流入液整流板と、基板をおいて
対向するように垂直に立てられた流出液整流板とを設け
洗浄液の流れを層流にし、基板の面に沿って洗浄液を水
平方向に流しゴミを離脱させ、一方向に洗浄液を流すこ
とで再付着を防止することを特徴としている。
【０００４】また、特開平６−１０４２３３号公報に開
示されているウェハの洗浄装置は、洗浄槽を設けるこな
く、超純水が供給され一方向に流れる配管内に直接ウェ
ハキャリアごとウェハを設置し、上流に整流板である流
量制御器を配置し、超純水を層流状態にし流しウェハ面
のゴミを離脱させゴミを下流に流し再付着を防止するこ
とを特徴としている。
示されているウェハの洗浄装置は、洗浄槽を設けるこな
く、超純水が供給され一方向に流れる配管内に直接ウェ
ハキャリアごとウェハを設置し、上流に整流板である流
量制御器を配置し、超純水を層流状態にし流しウェハ面
のゴミを離脱させゴミを下流に流し再付着を防止するこ
とを特徴としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したいずれの従来
の洗浄装置では、洗浄液の流れ層流にするために、多数
の孔が面に一様に形成された整流板を設けているが、整
流板が流れの方向に垂直であることと孔の通過経路が短
いため、レイノズル数が大きく乱流になり易い。従っ
て、乱流にならないように孔を通過する洗浄液の速度を
あまり大きくできない。この結果、ウェハ面に付着した
ゴミが剥離させるエネルギ−が不足しゴミを離脱させる
のに時間がかかるという問題があった。
の洗浄装置では、洗浄液の流れ層流にするために、多数
の孔が面に一様に形成された整流板を設けているが、整
流板が流れの方向に垂直であることと孔の通過経路が短
いため、レイノズル数が大きく乱流になり易い。従っ
て、乱流にならないように孔を通過する洗浄液の速度を
あまり大きくできない。この結果、ウェハ面に付着した
ゴミが剥離させるエネルギ−が不足しゴミを離脱させる
のに時間がかかるという問題があった。
【０００６】また、特開平６−１０４２３３号公報の洗
浄装置では、ウェハが保持されたウェハキャリアを配管
内に出し入れする際、配管を上下に分割する必要がある
ため、その時は配管内の洗浄液を一端抜く必要があり、
洗浄開始までの時間が数分必要取り扱い煩雑になるとい
う欠点がある。さらに、配管内では管壁から管中央まで
は流速に勾配が生じ、必ずしも洗浄液の流速が一様にな
らずウェハの中央部はゴミを剥離できても周辺部のゴミ
が離脱できないという懸念がある。また、配管上部の内
壁には浮上したゴミが淀み易く再付着する恐れがある。
浄装置では、ウェハが保持されたウェハキャリアを配管
内に出し入れする際、配管を上下に分割する必要がある
ため、その時は配管内の洗浄液を一端抜く必要があり、
洗浄開始までの時間が数分必要取り扱い煩雑になるとい
う欠点がある。さらに、配管内では管壁から管中央まで
は流速に勾配が生じ、必ずしも洗浄液の流速が一様にな
らずウェハの中央部はゴミを剥離できても周辺部のゴミ
が離脱できないという懸念がある。また、配管上部の内
壁には浮上したゴミが淀み易く再付着する恐れがある。
【０００７】一方、特開平５−２９９４０６号公報の洗
浄槽では、洗浄液供給口が槽の上部に配置され下方に向
け洗浄液が供給されるが、流入液整流板の上側の流速と
下側の流速とに違いが生じる恐れがある。しかも前者で
ある配管で槽を兼用する洗浄装置に比べ洗浄液の流速が
遅くなる。また、複数枚の基板を収納するキャリアを設
置すると、流量抵抗となり下方での洗浄液が滞流し、部
分的に層流であってもその流速が遅くウェハの洗浄効果
は望めない。
浄槽では、洗浄液供給口が槽の上部に配置され下方に向
け洗浄液が供給されるが、流入液整流板の上側の流速と
下側の流速とに違いが生じる恐れがある。しかも前者で
ある配管で槽を兼用する洗浄装置に比べ洗浄液の流速が
遅くなる。また、複数枚の基板を収納するキャリアを設
置すると、流量抵抗となり下方での洗浄液が滞流し、部
分的に層流であってもその流速が遅くウェハの洗浄効果
は望めない。
【０００８】従って、本発明の目的は、ウェハの複数枚
を収納するキャリアを設置した状態で、それぞれのウェ
ハの各両面を流れる液流を層流にしかつ洗浄液の速度向
上を図り、短期間で効率よくゴミを除去して洗浄できる
板状体の洗浄装置を提供することにある。
を収納するキャリアを設置した状態で、それぞれのウェ
ハの各両面を流れる液流を層流にしかつ洗浄液の速度向
上を図り、短期間で効率よくゴミを除去して洗浄できる
板状体の洗浄装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、洗浄液
を供給する給液配管部と前記洗浄液を排出する排液配管
部との間に有ってテーパ状連結部を介して取り付けられ
るとともに前記給液配管部および前記排液配管部より大
きな断面積をもつ管状処理槽と、洗浄すべき板状体の複
数枚を上下に並べそれぞれを水平に維持し収納する箱体
状のキャリアを前記管状処理槽の底部に載置する台座
と、載置された前記キャリアのそれぞれの前記板状体の
同一の位置に水平に並べ配し、かつ前記洗浄液の流れる
方向において前記キャリアの前後に前記板状体を挟むよ
うに配置される複数対の板状の速度制御板とを備える板
状体の洗浄装置である。
を供給する給液配管部と前記洗浄液を排出する排液配管
部との間に有ってテーパ状連結部を介して取り付けられ
るとともに前記給液配管部および前記排液配管部より大
きな断面積をもつ管状処理槽と、洗浄すべき板状体の複
数枚を上下に並べそれぞれを水平に維持し収納する箱体
状のキャリアを前記管状処理槽の底部に載置する台座
と、載置された前記キャリアのそれぞれの前記板状体の
同一の位置に水平に並べ配し、かつ前記洗浄液の流れる
方向において前記キャリアの前後に前記板状体を挟むよ
うに配置される複数対の板状の速度制御板とを備える板
状体の洗浄装置である。
【００１０】また、前記管状処理槽の上部に前記キャリ
アを出し入れする開口を有することが望ましい。さら
に、前記洗浄液の流量を調節し前記開口より前記洗浄液
をオ−バフロ−させる調節弁を備えることが望ましい。
そして、前記速度制御板の長さが前記管状処理槽に流れ
る該洗浄液の中心から上下の速度分布に応じて大小に決
められることである。さらに、望ましいことは、前記排
液配管部と接続するフィルタと該フィルタで濾過した前
記洗浄液をタンクを介して前記給液配管部に送液するポ
ンプを具備する洗浄液循環系統と、前記給液配管部に新
しい洗浄液を供給する洗浄液供給源とを備えることであ
る。
アを出し入れする開口を有することが望ましい。さら
に、前記洗浄液の流量を調節し前記開口より前記洗浄液
をオ−バフロ−させる調節弁を備えることが望ましい。
そして、前記速度制御板の長さが前記管状処理槽に流れ
る該洗浄液の中心から上下の速度分布に応じて大小に決
められることである。さらに、望ましいことは、前記排
液配管部と接続するフィルタと該フィルタで濾過した前
記洗浄液をタンクを介して前記給液配管部に送液するポ
ンプを具備する洗浄液循環系統と、前記給液配管部に新
しい洗浄液を供給する洗浄液供給源とを備えることであ
る。
【００１１】一方、前記管状処理槽が円筒体であること
が望ましい。また、前記管状処理槽と前記速度制御板は
石英製であることが望ましい。
が望ましい。また、前記管状処理槽と前記速度制御板は
石英製であることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１３】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態における板状体の洗浄装置を説明するための側部
断面図および上部断面図である。この板状体の洗浄装置
は、図１に示すように、純水など洗浄液が供給される給
液配管部３からテ−パ状に膨らみテ−パ状に絞られ排液
配管部４との間に連なる管状処理槽１と、この管状処理
槽１内部に浸され台座１ｂに載置されるウェハキャリア
７に収納されるウェハ８のそれぞれが並ぶ位置に一致し
て水平に並べかつウェハ８を挟むように上流側と下流側
とに配置される複数対の速度制御板２とを備えている。
の形態における板状体の洗浄装置を説明するための側部
断面図および上部断面図である。この板状体の洗浄装置
は、図１に示すように、純水など洗浄液が供給される給
液配管部３からテ−パ状に膨らみテ−パ状に絞られ排液
配管部４との間に連なる管状処理槽１と、この管状処理
槽１内部に浸され台座１ｂに載置されるウェハキャリア
７に収納されるウェハ８のそれぞれが並ぶ位置に一致し
て水平に並べかつウェハ８を挟むように上流側と下流側
とに配置される複数対の速度制御板２とを備えている。
【００１４】この速度制御板２は、上流である給液配管
部３側と下流である排液配管１１側とに分割して配置さ
れ互いに対をなしている。また、この速度制御板２はウ
ェハ８と同間隔でかつウェハ８の水平方向の位置が同一
になるように配置されている。そして、その枚数はウェ
ハキャリア７に収納されるウェハ８の枚数を同じかそれ
以上の枚数である。さらに、この速度制御板２はウェハ
８の厚みとほぼ同じ厚みをもつ板部材である。
部３側と下流である排液配管１１側とに分割して配置さ
れ互いに対をなしている。また、この速度制御板２はウ
ェハ８と同間隔でかつウェハ８の水平方向の位置が同一
になるように配置されている。そして、その枚数はウェ
ハキャリア７に収納されるウェハ８の枚数を同じかそれ
以上の枚数である。さらに、この速度制御板２はウェハ
８の厚みとほぼ同じ厚みをもつ板部材である。
【００１５】一方、ウェハ８が収納されたウェハキャリ
ア７が水平に管状処理槽１に浸され台座１ｂに載置され
るように、管状処理槽１の上部には開口１ａが設けられ
ている。また、ウェハキャリア７の出し入れに速度制御
板２が干渉しないように、速度制御板２が互いに向き合
う部分は湾曲状に抉られている。さらに、ウェハキャリ
ア７のウェハ８の出し入れするための空間部も、洗浄液
が流れ易いように流量抵抗を小さくするために切り抜い
てあるのは言うまでもない。
ア７が水平に管状処理槽１に浸され台座１ｂに載置され
るように、管状処理槽１の上部には開口１ａが設けられ
ている。また、ウェハキャリア７の出し入れに速度制御
板２が干渉しないように、速度制御板２が互いに向き合
う部分は湾曲状に抉られている。さらに、ウェハキャリ
ア７のウェハ８の出し入れするための空間部も、洗浄液
が流れ易いように流量抵抗を小さくするために切り抜い
てあるのは言うまでもない。
【００１６】また、滑らかな円管に流れる層流は中央部
の流速が最も早く中心から管壁に向かうに従い放物線状
に流速が遅くなることは周知のことである。そこで、ウ
ェハキャリア７に収納されたウェハ８のそれぞれの面に
おける洗浄液の流速が同じになるように、速度制御板２
の長さが管状処理槽１の内壁に近くなる程短くしてい
る。すなわち、速度制御板２の前段部と後段部が放物線
状をなしている。
の流速が最も早く中心から管壁に向かうに従い放物線状
に流速が遅くなることは周知のことである。そこで、ウ
ェハキャリア７に収納されたウェハ８のそれぞれの面に
おける洗浄液の流速が同じになるように、速度制御板２
の長さが管状処理槽１の内壁に近くなる程短くしてい
る。すなわち、速度制御板２の前段部と後段部が放物線
状をなしている。
【００１７】このように速度制御板２をそれぞれのウェ
ハ８に対して配置すれば、給液配管部３から流れ込む洗
浄液は、矢印に示すように、速度制御板２で分岐されば
層流状態でウェハ８面を流れ排液配管部４側に抜ける。
このことは、擬似的にそれぞれ一枚の板が積層した状態
で、上下２枚の速度制御板２の間を抜けることになる。
このことを考慮すれば、洗浄液が出入りする速度制御板
２の端部はシャ−プにし、上下２枚の速度制御板がなす
洗浄液出入り口がテ−パ状となり、レイノズル数より小
さくなり、層流状態を保った洗浄液の流速をより早くす
ることができる。
ハ８に対して配置すれば、給液配管部３から流れ込む洗
浄液は、矢印に示すように、速度制御板２で分岐されば
層流状態でウェハ８面を流れ排液配管部４側に抜ける。
このことは、擬似的にそれぞれ一枚の板が積層した状態
で、上下２枚の速度制御板２の間を抜けることになる。
このことを考慮すれば、洗浄液が出入りする速度制御板
２の端部はシャ−プにし、上下２枚の速度制御板がなす
洗浄液出入り口がテ−パ状となり、レイノズル数より小
さくなり、層流状態を保った洗浄液の流速をより早くす
ることができる。
【００１８】この板状体洗浄装置には、図示していない
が、給液配管部３の上流側には開閉バルブが、排液配管
４の出口側には短時間で多量に排液するために急速排液
できる調節弁５と図示していないが排液ポンプとが設け
られている。また、洗浄後に管状処理槽１の洗浄液を抜
き取るドレーンバルブ６が設けられている。
が、給液配管部３の上流側には開閉バルブが、排液配管
４の出口側には短時間で多量に排液するために急速排液
できる調節弁５と図示していないが排液ポンプとが設け
られている。また、洗浄後に管状処理槽１の洗浄液を抜
き取るドレーンバルブ６が設けられている。
【００１９】これらのバルブ操作等を行いウェハ８の洗
浄を行う。これには、まず、ウェハキャリア７が管状処
理槽１に入るまでは、調節弁５を徐徐に開き、少流量の
洗浄液を流し、しかる後、調節弁５を適宜の開度に開
き、洗浄液を臨界速度に近い流速の定常流にし、それぞ
れのウェハ８の両面に洗浄液を面接触させ洗浄液がもつ
流速エネルギ−でウェハ８面のゴミを剥離する。なお、
剥離したゴミのほとんどは下流に押し流されるが、一部
のゴミが浮上し開口１ａの液面に漂うので、洗浄液の少
量・多量にかかわらず開口１ａから洗浄液がオーバーフ
ローするように流量を調節しゴミを排出することが望ま
しい。
浄を行う。これには、まず、ウェハキャリア７が管状処
理槽１に入るまでは、調節弁５を徐徐に開き、少流量の
洗浄液を流し、しかる後、調節弁５を適宜の開度に開
き、洗浄液を臨界速度に近い流速の定常流にし、それぞ
れのウェハ８の両面に洗浄液を面接触させ洗浄液がもつ
流速エネルギ−でウェハ８面のゴミを剥離する。なお、
剥離したゴミのほとんどは下流に押し流されるが、一部
のゴミが浮上し開口１ａの液面に漂うので、洗浄液の少
量・多量にかかわらず開口１ａから洗浄液がオーバーフ
ローするように流量を調節しゴミを排出することが望ま
しい。
【００２０】図２は本発明の他の実施の形態における板
状体の洗浄装置を示す図である。この洗浄装置は洗浄液
として純水を用いている。そして、図２の管状処理槽１
および内部にある速度制御板は図１の管状処理槽１およ
び速度制御板２と同じである。なお、この管状処理槽１
および速度制御板は、洗浄液の流速が均一得られるよう
に円筒状の石英管および石英板から作りだすことが望ま
しい。しかし、ガラス板のような大きい基板を洗浄する
場合は、ステンレス鋼管やステンレス鋼鈑で外郭体を作
り、内部表面にポリテトラフルオルエチレンなど摩擦係
数の小さいコ−ティング材を施したものが望ましい。
状体の洗浄装置を示す図である。この洗浄装置は洗浄液
として純水を用いている。そして、図２の管状処理槽１
および内部にある速度制御板は図１の管状処理槽１およ
び速度制御板２と同じである。なお、この管状処理槽１
および速度制御板は、洗浄液の流速が均一得られるよう
に円筒状の石英管および石英板から作りだすことが望ま
しい。しかし、ガラス板のような大きい基板を洗浄する
場合は、ステンレス鋼管やステンレス鋼鈑で外郭体を作
り、内部表面にポリテトラフルオルエチレンなど摩擦係
数の小さいコ−ティング材を施したものが望ましい。
【００２１】また、この洗浄装置は、図２に示すよう
に、調節弁５の排液配管部４から排出される純水を濾過
するフィルタ１５と、純水をタンク１３に送液するポン
プ１４と、タンク１３からの純水をバルブ１２を介して
給液配管部３に送り込むバイパス配管とで構成される純
水循環系統を備えている。さらに、給液配管部３にバル
ブ１０を介して純水供給源１１が接続されている。
に、調節弁５の排液配管部４から排出される純水を濾過
するフィルタ１５と、純水をタンク１３に送液するポン
プ１４と、タンク１３からの純水をバルブ１２を介して
給液配管部３に送り込むバイパス配管とで構成される純
水循環系統を備えている。さらに、給液配管部３にバル
ブ１０を介して純水供給源１１が接続されている。
【００２２】次に、この洗浄装置の動作について説明す
る。まず、図１に示したウェハ８を収納したウェハキャ
リア７を開口１ａを介して管状処理槽１内に入れ設置す
る。次に、バルブ９およびバルブ１２を開き循環用の純
水を管状処理槽１に供給する。純水が開口１ａからオ−
バフロ−したら、排水量制御部１６により調節弁５を開
き始め純水を給液配管部３から排液配管部４に流す。こ
のとき開口１ａより純水がオ−バフロ−しなくなった
ら、ポンプ１４の回転数を上げ流量を増大させる次に、
純水の流速が臨界速度以下の定常流（時間が経過しても
流速に変化しない）に到達したら、調節弁５の開度およ
びポンプ１４の回転数を一定にし、純水を数回循環させ
る。ウェハの間に流れる純水は、定常流の速度エネルギ
−によりウェハ表面に付着したゴミを剥離させ、剥離し
たゴミは排液配管部４の下流に流れフィルタ１５に捕捉
される。
る。まず、図１に示したウェハ８を収納したウェハキャ
リア７を開口１ａを介して管状処理槽１内に入れ設置す
る。次に、バルブ９およびバルブ１２を開き循環用の純
水を管状処理槽１に供給する。純水が開口１ａからオ−
バフロ−したら、排水量制御部１６により調節弁５を開
き始め純水を給液配管部３から排液配管部４に流す。こ
のとき開口１ａより純水がオ−バフロ−しなくなった
ら、ポンプ１４の回転数を上げ流量を増大させる次に、
純水の流速が臨界速度以下の定常流（時間が経過しても
流速に変化しない）に到達したら、調節弁５の開度およ
びポンプ１４の回転数を一定にし、純水を数回循環させ
る。ウェハの間に流れる純水は、定常流の速度エネルギ
−によりウェハ表面に付着したゴミを剥離させ、剥離し
たゴミは排液配管部４の下流に流れフィルタ１５に捕捉
される。
【００２３】次に、バルブ１２を閉じ、循環用の純水で
の洗浄を停止し、バルブ１０を開き新しい純水を純水供
給源１１から管状処理槽１に供給する。排液配管部４か
ら排出する純水は、フィルタ１５を通してタンク１３に
蓄えられる。この仕上げ洗浄は数１０秒で終わる。次
に、洗浄が終了したら、バルブ１０およびバルブ９を閉
じ、さらに、調節弁５を閉じドレ−ンバルブ６ａを開き
管状処理槽１の純水を排出する。
の洗浄を停止し、バルブ１０を開き新しい純水を純水供
給源１１から管状処理槽１に供給する。排液配管部４か
ら排出する純水は、フィルタ１５を通してタンク１３に
蓄えられる。この仕上げ洗浄は数１０秒で終わる。次
に、洗浄が終了したら、バルブ１０およびバルブ９を閉
じ、さらに、調節弁５を閉じドレ−ンバルブ６ａを開き
管状処理槽１の純水を排出する。
【００２４】このように初期の洗浄を循環用の純水を使
用し、仕上げの洗浄を新しい純水で洗浄すれば、純水の
使用量を大幅に節減できる。なお、管状処理槽１の外槽
１ｃに蓄えられた純水は、図示していないレベルセンサ
の液面を検知し、純水を排液配管部４に流し込む。な
お、この実施の形態では、洗浄液を純水を使用して説明
したが、他の洗浄液でも適用できることは言うまでもな
い。
用し、仕上げの洗浄を新しい純水で洗浄すれば、純水の
使用量を大幅に節減できる。なお、管状処理槽１の外槽
１ｃに蓄えられた純水は、図示していないレベルセンサ
の液面を検知し、純水を排液配管部４に流し込む。な
お、この実施の形態では、洗浄液を純水を使用して説明
したが、他の洗浄液でも適用できることは言うまでもな
い。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、洗浄液が
一方向に流れる給液配管と排液配管との間にテ−パ状の
連結部を介して膨らむような管状処理槽を形成し、洗浄
すべき複数の板状体を並べ収納する箱体を管状処理槽内
に設置するよにし、設置された箱体のそれぞれの板状体
に対し同じ位置に水平に並べかつ板状体を挟むように上
流および下流に配置される複数対の速度制御板を設け、
給液配管側から供給される洗浄液を板状体の表面に接触
して流れる多層の層流に分岐させかつ乱流となる臨界速
度に近い流速まで上げ層流状態を維持し、洗浄液の流れ
のエネルギ−によって板状体の表面に付着したゴミを剥
離させ下流に流し込むので、ゴミの再付着がなく清浄に
洗浄でき板状体の洗浄不良率を低下できるという効果が
ある。
一方向に流れる給液配管と排液配管との間にテ−パ状の
連結部を介して膨らむような管状処理槽を形成し、洗浄
すべき複数の板状体を並べ収納する箱体を管状処理槽内
に設置するよにし、設置された箱体のそれぞれの板状体
に対し同じ位置に水平に並べかつ板状体を挟むように上
流および下流に配置される複数対の速度制御板を設け、
給液配管側から供給される洗浄液を板状体の表面に接触
して流れる多層の層流に分岐させかつ乱流となる臨界速
度に近い流速まで上げ層流状態を維持し、洗浄液の流れ
のエネルギ−によって板状体の表面に付着したゴミを剥
離させ下流に流し込むので、ゴミの再付着がなく清浄に
洗浄でき板状体の洗浄不良率を低下できるという効果が
ある。
【００２６】また、管状処理槽を円筒状にし、管状処理
槽内を流れる洗浄液の速度分布に応じて速度制御板の長
さを決め、各層に流れる洗浄液への抵抗を適宜調整する
ことによって、並べ配置された板状体に流れる洗浄液の
流速を均一になり、ゴミの除去ムラが無くなる。
槽内を流れる洗浄液の速度分布に応じて速度制御板の長
さを決め、各層に流れる洗浄液への抵抗を適宜調整する
ことによって、並べ配置された板状体に流れる洗浄液の
流速を均一になり、ゴミの除去ムラが無くなる。
【図１】本発明の一実施の形態における板状体の洗浄装
置を説明するための側部断面図および上部断面図であ
る。
置を説明するための側部断面図および上部断面図であ
る。
【図２】本発明の他の実施の形態における板状体の洗浄
装置を示す図である。
装置を示す図である。
１ 管状処理槽 １ａ 開口 １ｂ 台座 １ｃ 外槽 ２ 速度制御板 ３ 給液配管部 ４ 排液配管部 ５ 調節弁 ６，６ａ ドレーンバルブ ７ ウェハキャリア ８ ウェハ ９，１０，１２ バルブ １３ タンク １４ ポンプ １５ フィルタ
Claims (7)
- 【請求項１】 洗浄液を供給する給液配管部と前記洗浄
液を排出する排液配管部との間に有ってテーパ状連結部
を介して取り付けられるとともに前記給液配管部および
前記排液配管部より大きな断面積をもつ管状処理槽と、
洗浄すべき板状体の複数枚を上下に並べそれぞれを水平
に維持し収納する箱体状のキャリアを前記管状処理槽の
底部に載置する台座と、載置された前記キャリアのそれ
ぞれの前記板状体の同一の位置に水平に並べ配し、かつ
前記洗浄液の流れる方向において前記キャリアの前後に
前記板状体を挟むように配置される複数対の板状の速度
制御板とを備えることを特徴とする板状体の洗浄装置。 - 【請求項２】 前記管状処理槽の上部に前記キャリアを
出し入れする開口を有することを特徴とする請求項１記
載の板状体の洗浄装置。 - 【請求項３】 前記洗浄液の流量を調節し前記開口より
前記洗浄液をオ−バフロ−させる調節弁を備えることを
特徴とする請求項２記載の板状体の洗浄装置。 - 【請求項４】 前記速度制御板の長さが前記管状処理槽
に流れる該洗浄液の中心から上下の速度分布に応じて大
小に決められることを特徴とする請求項１または請求項
２あるいは請求項３記載の板状体の洗浄装置。 - 【請求項５】 前記排液配管部と接続するフィルタと該
フィルタで濾過した前記洗浄液をタンクを介して前記給
液配管部に送液するポンプを具備する洗浄液循環系統
と、前記給液配管部に新しい洗浄液を供給する洗浄液供
給源とを備えることを特徴とする請求項１、請求項２、
請求項３および請求項４のいずれか記載の板状体の洗浄
装置。 - 【請求項６】 前記管状処理槽が円筒体であることを特
徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４およ
び請求項５のいずれか記載の板状体の洗浄装置。 - 【請求項７】 前記管状処理槽と前記速度制御板は石英
製であることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項
３、請求項４、請求項５および請求項６のいずれか記載
の板状体の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13804998A JP2968779B1 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 板状体の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13804998A JP2968779B1 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 板状体の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2968779B1 true JP2968779B1 (ja) | 1999-11-02 |
| JPH11319737A JPH11319737A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15212808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13804998A Expired - Fee Related JP2968779B1 (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 板状体の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2968779B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111906077A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-11-10 | 广州国显科技有限公司 | 清洗装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002224627A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-13 | Tokyo Electron Ltd | 基板の洗浄方法および装置 |
| JP4112343B2 (ja) * | 2002-11-21 | 2008-07-02 | 三菱電機株式会社 | 薬液処理装置および薬液処理方法ならびにそれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
| JP4855877B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2012-01-18 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 洗浄装置および洗浄方法 |
| JP2010131524A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Showa Denko Kk | 流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置 |
| JP5304455B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2013-10-02 | 株式会社デンソー | 基板洗浄用治具 |
-
1998
- 1998-05-20 JP JP13804998A patent/JP2968779B1/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN111906077A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-11-10 | 广州国显科技有限公司 | 清洗装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11319737A (ja) | 1999-11-24 |
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