JP2967822B2 - 浮上式搬送装置 - Google Patents

浮上式搬送装置

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JP2967822B2
JP2967822B2 JP59222702A JP22270284A JP2967822B2 JP 2967822 B2 JP2967822 B2 JP 2967822B2 JP 59222702 A JP59222702 A JP 59222702A JP 22270284 A JP22270284 A JP 22270284A JP 2967822 B2 JP2967822 B2 JP 2967822B2
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    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/04Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/06Means to sense or control vehicle position or attitude with respect to railway
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、小物類を搬送する浮上式搬送装置に係わ
り、特に、省エネルギ、省スペース化を図れるようにし
た浮上式搬送装置に関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 近年、オフィスオートメーション、ファクトリーオー
トメーションの一環として、建屋内の複数の地点間にお
いて、伝票、書類、現金、資料等を搬送装置を用いて移
動させることが広く行われている。 このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速
やかに、かつ静かに移動させ得るものであることが要求
される。このため、この種の搬送装置においてはガイド
レール上で搬送車を非接触に支持することが行われてい
る。搬送車を非接触で支持するには、空気や磁気を用い
るのが一般的である。中でも搬送車を磁気的に支持する
方式は、ガイドレールに対する追従性や、騒音低減効果
に優れており、最も有望な支持手段であると言える。 ところで、従来の磁気的な浮上式搬送装置は、搬送車
を電磁石で支持し、この電磁石への励磁電流を制御する
ことによって搬送車を安定に支持するものであった。し
たがって、電磁石のコイルを常時付勢しなければなら
ず、消費電力が大きいという欠点を回避することができ
なかった。そこで、電磁石に要求される磁気力の大部分
を永久磁石で付与し、消費電力の低減化を図るようにし
た装置も考えられている。しかし、この場合でも、例え
ば搬送すべき物を搬送車に搭載するなどして、搬送車に
外力が印加された場合は、定常位置へ搬送車を押し戻そ
うとする力を常時電磁石で与える必要があるため、これ
による消費電力の増大が問題となった。また、このよう
に搬送車への外力の印加によって電磁石に付与する電力
が大きくなるという問題があると、電磁石を付勢するた
めの電源として大容量の電源を使用しなくてはならず、
結局、装置全体の大型化を招くという問題があった。 〔発明の目的〕 本発明は、係る問題に鑑みなされたものであり、その
目的とするところは、消費電力の低減化を図ることによ
り、省エネルギ、省スペース化の図れる浮上式搬送装置
を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明を説明するに当り、まず本装置における制御方
式がいかなる根拠に基づくものかを説明する。 第4図は、本装置における磁気支持部の代表的な構成
を示す図である。すなわち、図中1はガイドレールであ
り、このガイドレールの下面に対向する部分には空隙P
を介して2つの電磁石2,3が対向配置されている。これ
ら2つの電磁石2,3は、継鉄4,5にそれぞれコイル6,7を
巻装して構成されたものである。そして、両継鉄4,5の
一端側は、永久磁石8によって磁気的に結合されてい
る。コイル6,7は、励磁電流が流れた時に互いに加算さ
れる向きの磁束を発生するように直列に接続され、さら
に電源9に接続されたものとなっている。これら電磁石
2,3、永久磁石8および電源9は、ガイドレール1上を
走行する図示しない搬送車に取付けられている。 このように構成された磁気支持部において、いまガイ
ドレール1、空隙P、継鉄4、5、永久磁石8からなる
磁気回路について考察する。なお、簡単のために、この
磁回路における漏れ磁束は無視することにする。この磁
気回路の磁気抵抗Rmは、 で表わすことができる。ここにμは真空の透磁率、S
は磁気回路の断面積、zは空隙長、μは空隙部分以外
の非透磁率、は空隙部分以外の磁気回路長である。 また、コイル6,7に励磁電流が流れていない時に空隙
Pに生じる磁界の強さをHm、永久磁石8の長さをm、
コイル6,7の総巻数をN、コイル6,7への励磁電流をIと
すると、この磁気回路に発生する全磁束Φは、 Φ=(NI+Hmm)/Rm ……(2) となる。したがって、ガイドレール1と各継鉄4,5との
間に働く全吸引力Fは、 で表わせる。ここでzで示す向きを重力方向として搬送
車の運動方程式を導くと、 となる。なお、ここにmは前記磁気支持部に加わる負荷
および当該磁気支持部の全質量、gは重力加速度であ
り、Umは搬送車に印加される外力の大きさである。 一方、直列に接続されたコイル6,7が鎖交する磁束数
Φは、 Φ=(NI+Hmm)N/Rm ……(5) であるから、コイル6,7の電圧方程式は、コイル6,7の全
抵抗をRとして、 となる。 ここでRmは、(1)式から明らかなように、空隙長z
の関数である。そこで、いま、I=0の時に吸引力Fと
重力mgとが釣合う際のギャップ長をz0、全磁気抵抗をRm
0として、上記(5),(6)式を空隙長z=z0、速度 電流I=0の近傍で線形化する。この場合、z,dz/dt,I
は、それぞれの微小量をΔz, Δiとして、 で表わせる。 そこで、上記(3)式の吸引力Fを定常点 の近傍で線形化すると、 となり、 とおくと、 となる。したがって、前記(4)式は次のようにまとめ
ることができる。 同様に、前記(6)式を定常点の近傍で線形化すると、 となる。上記(7),(8)式は、次のような状態方程
式にまとめることができる。 ただし、a21,a23,a32,a33,b31,d21は、それぞれ、 である。ここで簡単のため上記(9)式を、 =Ax+BE+DUm ……(10) と表わす。この(9)式で表わす線形システムは、一般
には不安定な系であるが、上記(9)式の状態ベクトル および加速度 より、印加電圧Eを種々の方法で求め、系にフィードバ
ック制御を施すことによって安定化を図ることができ
る。例えばCを出力行列(この場合単位行列)とし、印
加電圧を、 E=−〔F1,F2,F3〕×C×x =−FCx ……(11) (但し、F1,F2,F3はフィードバック定数) とすれば、(10)式は、 =Ax−BFCx+DUm ……(12) となり、さらに、この(10)式をラプラス変換してxを
求めると、 x=L-1{〔s|−A+BFC〕-1(x0+DUm(s))} ……(13) となる。なお、ここに|は単位行列、x0はxの初期値で
ある。 上記(13)式において、Umをステップ上の外力とすれ
ば、xの安定性は、状態推移行列Φ(s)すなわち、 Φ(s)=(s|−A+BFC)-1 ……(14) の行列式det|Φ(s)|の特性根がsの複素平面上で全
て左半面上に保存すれば保障される。(9)式の場合、
Φ(s)の特性方程式det|Φ(s)|=0は、 s3+(b31F3−a33)s2+{−a21+a23(b31F2−a32)}s +a23b31F1−a21(b31F3−a33)=0 ……(15) となる。したがって、F1,F2,F3の値を適宜決定すること
により、det|Φ(s)|=0の特性根の複素平面上での
配置を任意に決定することができ、磁気浮上系の安定化
を達成することができる。磁気支持部にこの様なフィー
ドバック制御を施した場合の磁気浮上系のブロック図を
第5図に示す。すなわち、制御対象11には、フィードバ
ックゲイン補償器12が付加されている。なお、同図中y
はCxを表わす。 このような磁気浮上系においては、ステップ状の外力
Umおよび印加電圧Eのバイアス電圧e0の変化に伴い、系
の安定状態時の空隙長偏差Δzおよび電流偏差Δiに以
下に示すような定常偏差ΔzSおよびΔiSが生じる。 本発明は、上記(16),(17)式で表わされる定常偏
差のうち、電流定常偏差ΔiSを、ステップ状の外力Umの
有無に拘らず零にするように、磁気支持部にフィードバ
ック制御を施すようにしたことを特徴としている。 すなわち、本発明に係る浮上式搬送装置は、少なくと
も一部が磁性体で形成されたガイドレールと、このガイ
ドレールに沿って走行自在に配置された搬送車と、前記
ガイドレールの下面と空隙を介して対向するように前記
搬送車に取付けられた複数の電磁石と、これら各電磁
石、前記ガイドレールおよび前記空隙で構成される各磁
気回路中に配置されるとともに前記搬送車に取付けら
れ、発生する磁束に係る磁気回路の空隙が前記電磁石に
係る磁気回路の空隙と一致するように、前記搬送車の浮
上に必要な起磁力を供給する永久磁石と、前記搬送車に
取付けられて前記磁気回路中の空隙の大きさの変化を検
出するセンサ部およびこのセンサ部の出力に基づいて前
記搬送車に作用する外力の有無に拘らず前記電磁石に流
れる励磁電流の定常値を零にするように前記電磁石に流
す励磁電流を制御する制御部を有した制御装置とを具備
している。 本発明は、このように電流定常偏差ΔiSを零に制御す
るため、例えば次のような制御方法を採用したものとな
っている。 外力Umを状態観測器によって観測し、この観測値Umに
適当なゲインを持たせて磁気浮上系にフィードバックす
る方法。 ギャップ長偏差Δz、速度偏差 および電流偏差Δiに全てが同時に零でない適当なゲイ
ンを持たせ、それぞれの値をsの一次系を構成するフィ
ルタを介して磁気浮上系にフィードバックする方法。 電流偏差Δiを積分補償器を用いて積分し、その出力
値に適当なゲインを持たせて磁気浮上系にフィードバッ
クする方法。 上記、あるいはの方法を併用する方法。 等である。 ここでは、一例としての方法について説明する。 上記の方法を用いた磁気浮上系のブロック図は第6
図に示される。すなわち、上記の方法は、前述したフィ
ードバックゲイン補償器12に加え、さらに積分補償器13
を付加したものとなっている。この積分補償器13のゲイ
ンKは、K=〔0,0,K3〕で表わされる行列であり、K3
電流偏差Δiの積分ゲインである。したがって、この磁
気浮上系における印加電圧Eは、 で表わせる。前述と同様にして状態推移行列Φ(s)を
求めると、 Φ(s)=(s2|−sA+sBFC+BKC)-1 ……(19) となる。外力Umを入力とし、y=Cxで表わされるyを出
力とした時の伝達関数G(s)は、 G(s)=sΦ(s)Dすなわち、 但し、 Δ(s)=s+(b31F-a33)s+{b31K-a21+a23(b31F -a32)}s+{a23b31F-a21(b31F-a33)}s -a21b31K ……(21) と表わすことができる。伝達関数G(s)の特性根は、
上記(21)式で表わされるΔ(s)を、Δ(s)=0と
して求めることができ、F1,F2,F3,K3を適宜決定するこ
とにより、第6図の磁気浮上系の安定化を実現できる。 ここで、もし同図の磁気浮上系が安定であるとすれ
ば、外力Umに対する偏差電流Δiの応答は、ラプラス変
換を用いて、 と求めることができる。 この(22)式において前記外力Umがステップ状外力で
あることから、F0を外力の大きさとすれば、Um(s)=
F0/sとなり、(22)式は、 となる。この(23)式は、を保障するものであるから、結局、外力Umの有無に拘ら
ず、電流定常偏差ΔiSを零に近付ける手段は、現実に存
在することは明らかである。 なお、状態ベクトルxの各要素を検出するには、例え
ば、 全ての要素を適当なセンサを用いて直接測定する方
法。 適当なギャップセンサ、速度センサあるいは加速度セ
ンサ等のいずれか一つの出力信号を、必要に応じて積分
器あるいは微分器を用いて積分または微分して、Δz, などを検出する方法。 状態ベクトルのうちの2要素をまたはの方法で検
出し、残りの一つを必要であれば前記外力Umと合わせて
状態観測器で観測する方法などが挙げられる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、電磁石に要求される磁気力に相当す
る部分を永久磁石で補償するようにし、さらに上記電磁
石に流れる励磁電流の定常値を、搬送車に印加された外
力の有無に拘らず零にするようにしているので、上記電
磁石のコイルには、搬送車に外力が印加された際に過渡
的に電流が流れるのみである。したがって、本発明によ
ればコイルで消費される電力を従来に較べて大幅に少な
くすることができ、電源の負担を軽減させることができ
る。つまり、省エネルギ化に大きく寄与できる。 また、このように電源の負担を軽減できれば、搬送車
に設置される電源は小容量のもので足ることになる。こ
のため、小形軽量の電源を使用することができるので、
装置の省スペース化にも寄与することができる。 また、磁気回路に永久磁石を含む複数の電磁石を搬送
車に搭載して搬送車を浮上させ、かつ各電磁石に対し
て、いわゆるゼロパワー制御を行っているので、搬送車
に搭載される積み荷の重量バランスが悪い場合であって
も、搭載されている積み荷を安定させるように各電磁石
とガイドレールとの間のギャップ長を自動設定でき、搬
送装置としての信頼性を向上させることができる。 〔発明の実施例〕 以下、第1図および第2図を参照し、本発明の一実施
例に係る浮上式搬送装置について説明する。 第1図において21は、少なくとも下面部分が強磁性材
で形成されたガイドレールである。このガイドレール21
上には、搬送車22がガイドレール21に沿って走行自在に
配置されている。搬送車22には、磁気支持装置23が搭載
されており、この磁気支持装置23とガイドレール21との
間に生じる磁気的吸引力によって、搬送車22はガイドレ
ール21上に完全に浮上した状態に支持されている。 搬送車22の下面には、支持板24を介してリニア誘導電
動機25の可動要素である導体板26が固定されており、ガ
イドレール21に沿ったベース部分27には、上記リニア誘
導電動機25の固定子28が固定されている。また、搬送車
22の下面には、前記磁気支持装置23に制御信号を与える
制御装置29と、この制御装置29や前記磁気支持装置23に
電力を供給する電源30が搭載されている。 前記ガイドレール21は、アングル状部材21a,21bを平
行に敷設して構成されている。 搬送車22は、非搬送物の搬送を容易化するため、偏平
な容器22aで構成されている。そして、その下面には、
非常時等において搬送車22をガイドレール21上で支持す
る車輪31が取付けられている。 前記磁気支持装置23は、前記搬送車22の四隅位置と対
向する位置に配置された4つの磁気支持部33と、これら
磁気支持部33を前記搬送車にそれぞれ固定するための4
つのL字状の取付け部材32とで構成されている。さらに
各磁気支持部33は、一端面が前記ガイドレール21の下面
に僅かの空隙を介して対向した2つの継鉄34,35および
これら継鉄34,35に巻装されたコイル36,37からなる2つ
の電磁石38,39と、前記継鉄34,35間に介装された永久磁
石40とで構成されている。 また、制御装置29は第2図に示すように構成されてい
る。なお、この図において矢印は信号経路をまた棒線は
電力経路を示したものである。この制御装置29は、第6
図に示した方法例による制御を実現するものであり、具
体的には搬送車22に取付けられて磁気支持部33によって
形成される磁気回路の変化を検出するセンサ部46と、こ
のセンサ部46からの信号に基づいてコイル36,37へ供給
すべき電力を演算する演算回路47と、この演算回路47か
らの信号に基づいて前記コイル36,37に電力を供給する
パワーアンプ48とで構成されている。センサ部46は、前
記継鉄34または35に固定されて各磁気支持部33とガイド
レール21との間の空隙長を検出するギャップセンサ51
と、このギャップセンサ51からの信号を前処理する変調
回路52と、前記コイル36,37の電流値を検出する電流検
出器53とで構成されている。演算回路47は、一方におい
ては、ギャップセンサ51からの信号を変調回路52を介し
て導入し、減算器54によってz0を演算するとともに、こ
の減算器54の出力を直接、また微分器55を介してそれぞ
れフィードバックゲイン補償器56,57に導き、他方にお
いては電流検出器53からの信号をフィードバックゲイン
補償器58に導くものであり、さらに電流検出器53から導
入され減算器59でO信号と比較された後、積分補償器60
で補償された信号と、前記3つのフィードバックゲイン
補償器56〜58の加算器61による加算出力とを減算器62に
よって比較して、その偏差を前記パワーアンプ48に出力
するものとなっている。 なお、電源30は、比較的大電力を必要とするパワーア
ンプ系統と、小電力の演算回路系統とにそれぞれ別個に
電力を供給するため、2つの電源部30a,30bを備えたも
のとなっている。これら電源部30a,30bは、それぞれ他
の磁気支持部33へも電力を供給している。 このように構成された本実施例に係る浮上式搬送装置
は、次のように動作する。 すなわち、磁気支持部33において永久磁石40が作る磁
束は、継鉄34,35、空隙、ガイドレール21の強磁性体部
分を通過して磁気回路を形成する。また、永久磁石40が
発生する磁束に係る磁気回路の空隙は、ちょうど電磁石
38,39が形成する磁気回路の空隙と一致している。そし
て、搬送車22に外力が印加されていない定常状態で、電
磁石38,39による磁束を全く必要としないような磁気吸
引力を持たせるように所定の空隙長z0を保っている。 この状態で外力Umが印加されると、ギャップセンサ51
はこれを検知して変調回路52を介して演算回路47に検出
信号を送出する。演算回路47は、減算器54によって上記
信号から空隙長設定値z0を減算し、空隙長偏差信号Δz
を算出する。この空隙長偏差信号Δzは、フィードバッ
クゲイン補償器56に入力されるとともに、微分器55によ
って速度偏差信号 に変換された後フィードバックゲイン補償器57に入力さ
れる。一方、電流偏差信号Δiは、電流検出器53の計測
信号によって得られ、フィードバックゲイン補償器58に
入力される。また、電流偏差信号Δiは、減算器59によ
って零レベルと比較され、その差信号が積分補償器60に
入力される。そして、加算器61によって加算された3つ
のフィードバックゲイン補償器56〜58の出力信号と、前
記積分補償器60の信号とは、それぞれ所定のゲインを付
与されてパワーアンプ48にフィードバックされる。これ
により、(18)式のフィードバックが実現され、磁気浮
上制御系の安定化制御がなされることになる。安定化制
御がなされると、電流偏差Δiが積分器60に導入されて
いるため、その入力値が零になるように磁気浮上制御系
が推移するとともに、磁気支持部33の吸引力がステップ
状外力Umの印加分と釣り合うようにギャップ長偏差Δz
が定常状態に移行する。ギャップ長偏差Δz、その変化
速度および電流偏差Δiの過渡状態は(20)式に基づい
てその変化しており、これら諸量の安定性は(22)式の
特性根配置で保証されている。つまり、積分補償器60に
入力される電流偏差Δiが零に収束するため、結果とし
て外力の印加分に見合った吸引力が発生するように浮上
ギャップ長に定常偏差が生じることになる。かくして系
は、上記電流偏差Δiが零になった状態で安定化するこ
とになる。 このように本実施例によれば、コイル36,37には、搬
送車22に外力が印加されて磁気回路に変動が生じた際の
過渡的状態のみ電流が流れ、定常状態では外力の有無に
拘らずその電流が零であるので、電源の負担を大幅に軽
減でき、省エネルギ、省スペース化を図ることができ
る。 なお、本発明は、上述した実施例に限定されるもので
はない。たとえば上記実施例では電流偏差Δiを積分補
償器を用いて積分し、これに適当なゲインを持たせてフ
ィードバックする方法を採用しているが、前述した他の
方法によって制御するようにしてもよい。また、前述し
たようにギャップセンサ51および電流検出器53の代わり
に速度センサや加速度センサを用いるようにしても良
い。第3図は、ギャップセンサ51の代わりに加速度セン
サ65および2つの積分器を用いた実施例を示す図であ
る。このように、加速度センサを2回積分して磁気支持
部33とがガイドレール21との間の空隙長を検出するよう
にしてもよく、この場合には、特にセンサの設定位置を
それぞれの磁気支持部33の加速度が検出できる範囲で任
意に決定できるという利点がある。 さらには、本発明は、アナログ式の制御を行なうもの
に限定されず、デジタル式の制御要素を備えた装置を構
成することもできる。 このように、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例に係る浮上式搬送装置の概略
構成を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)
は正面図、同図(c)は一部切欠した側面図、第2図は
同装置の制御装置およびその周辺の電気的構成を示すブ
ロック図、第3図は本発明の他の実施例に係る浮上式搬
送装置の制御装置を示すブロック図、第4図は本発明の
主要部分をなす磁気支持部を示す図、第5図は同磁気支
持部の安定化のための従来の制御方法を示すブロック
図、第6図は同磁気支持部の本発明における制御方法を
示すブロック図である。 1,21……ガイドレール、2,3,38,39……電磁石、4,5,34,
35……継鉄、6,7,36,37……コイル、8,40……永久磁
石、9,30……電源、11……制御対象、12,56〜58……フ
ィードバックゲイン補償器、13,60……積分補償器、22
……搬送車、23……磁気支持装置、25……リニア誘導電
動機、33……車輪、46……センサ部、47……演算回路、
55……微分器、66,67……積分器。
フロントページの続き (56)参考文献 特公 昭52−1531(JP,B2) IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS,VOL. MAG−16,NO1,JANUARY (1980)(米)P146−148 「航空宇宙技術研究所資料、TM− 388]航空宇宙技術研究所発行(1979. 8)P.9〜12 NASA TECHNICAL ME MORANDUM,9TH AEROS PACE MECHANISMS SY MPOSIUM(1974)(米)P.211 −233

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 1.少なくとも一部が磁性体で形成されたガイドレール
    と、 このガイドレールに沿って走行自在に配置された搬送車
    と、 前記ガイドレールの下面と空隙を介して対向するように
    前記搬送車に取付けられた複数の電磁石と、 これら各電磁石、前記ガイドレールおよび前記空隙で構
    成される各磁気回路中に配置されるとともに前記搬送車
    に取付けられ、発生する磁束に係る磁気回路の空隙が前
    記電磁石に係る磁気回路の空隙と一致するように、前記
    搬送車の浮上に必要な起磁力を供給する永久磁石と、 前記搬送車に取付けられて前記磁気回路中の空隙の大き
    さの変化を検出するセンサ部およびこのセンサ部の出力
    に基づいて前記搬送車に作用する外力の有無に拘らず前
    記電磁石に流れる励磁電流の定常値を零にするように前
    記電磁石に流す励磁電流を制御する制御部を有した制御
    装置と を具備してなることを特徴とする浮上式搬送装置。 2.前記制御装置は、前記センサ部の出力値から前記外
    力の大きさを観測する状態観測器と、この状態観測器で
    観測された前記外力の大きさに所定のゲインを持たせて
    前記励磁電流にフィードバックする手段とを備えてなる
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の浮上式搬
    送装置。 3.前記制御装置は、前記電磁石と前記ガイドレールと
    の間の空隙長、前記搬送車の前記空隙長方向の速度およ
    び前記電磁石の励磁電流の各偏差に全てが同時に零でな
    い所定のゲインを持たせ、これらを一次伝達関数を有す
    るフィルタを介して前記励磁電流にフィードバックする
    手段を備えてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の浮上式搬送装置。 4.前記制御装置は、前記励磁電流の偏差を所定のゲイ
    ンを持たせて積分する積分補償器と、この積分補償器の
    出力値を前記励磁電流にフィードバックする手段とを備
    えてなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    浮上式搬送装置。 5.前記制御装置は、前記センサ部の出力に基づいて前
    記電磁石と前記ガイドレールとの空隙長を調整してなる
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の浮上式搬
    送装置。 6.前記センサ部は、前記電磁石と前記ガイドレールと
    の空隙長、この空隙長の変化速度、前記空隙長の変化加
    速度および前記電磁石の励磁電流のうち少なくとも1つ
    の検出値を得るものであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の浮上式搬送装置。 7.前記制御装置は、外力の変動分と前記永久磁石に係
    る吸引力の変動分を釣り合わせるべく、前記空隙を変化
    させることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の浮
    上式搬送装置。
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