JP2950530B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JP2950530B2 JP2950530B2 JP5115225A JP11522593A JP2950530B2 JP 2950530 B2 JP2950530 B2 JP 2950530B2 JP 5115225 A JP5115225 A JP 5115225A JP 11522593 A JP11522593 A JP 11522593A JP 2950530 B2 JP2950530 B2 JP 2950530B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- exposure stage
- stage
- work
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】露光装置は半導体ウエハや回路基板に所
定の回路等を焼き付けるために、使用されており、回路
基板などのワークを露光ステージ上に載置して焼き付け
を行うようになっている。該露光ステージは複数に分割
され、各ステージの間には所定の間隙が設けられ、この
間隙にワークを搬送するための搬送ベルトや、ワークの
位置決めを行うための位置決めピン等が設置されてい
る。
定の回路等を焼き付けるために、使用されており、回路
基板などのワークを露光ステージ上に載置して焼き付け
を行うようになっている。該露光ステージは複数に分割
され、各ステージの間には所定の間隙が設けられ、この
間隙にワークを搬送するための搬送ベルトや、ワークの
位置決めを行うための位置決めピン等が設置されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記した従来の
露光ステージでは間隙の上にワークが掛かるため、ワー
クの平坦度が悪くなる問題があった。また、フォトツー
ルを基板に加圧密着させる方式の場合には、その圧力を
基板のみで受けることになり、そのため基板が変形しや
すくなる等の問題があった。近年回路基板などが薄くな
る傾向にあり、これらの問題が大きくなってきている。
本発明は上記した従来技術の問題点を解決することを目
的とする。
露光ステージでは間隙の上にワークが掛かるため、ワー
クの平坦度が悪くなる問題があった。また、フォトツー
ルを基板に加圧密着させる方式の場合には、その圧力を
基板のみで受けることになり、そのため基板が変形しや
すくなる等の問題があった。近年回路基板などが薄くな
る傾向にあり、これらの問題が大きくなってきている。
本発明は上記した従来技術の問題点を解決することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、所定の間隙を設けて配置された複数の露光
ステージと、該所定の間隙内に設けられ、ワークを移動
するための手段と、を備えた露光装置において、前記露
光ステージの１つ以上を移動可能に設置し、露光時に該
露光ステージを移動させて前記間隙を閉鎖することを特
徴とする。
に本発明は、所定の間隙を設けて配置された複数の露光
ステージと、該所定の間隙内に設けられ、ワークを移動
するための手段と、を備えた露光装置において、前記露
光ステージの１つ以上を移動可能に設置し、露光時に該
露光ステージを移動させて前記間隙を閉鎖することを特
徴とする。
【０００５】
【作用】所定の間隙を設けて配置された複数の露光ステ
ージの１つ以上を移動可能に設置し、露光時に該露光ス
テージを移動させて、露光ステージ間の前記間隙を閉鎖
する。
ージの１つ以上を移動可能に設置し、露光時に該露光ス
テージを移動させて、露光ステージ間の前記間隙を閉鎖
する。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１において、この露光装置はそれぞれ分離した７
つの露光ステージを備えている。ほぼ中央部にＸ方向に
横長に設けられた中央露光ステージ１を挟んで、同一の
構造を有する４つの隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄ
が４隅に配置され、また中央露光ステージ１を挟んで中
央部に同一の構造の中間部露光ステージ３ａと中間部露
光ステージ３ｂが配設されている。各露光ステージの間
には所定の間隙が形成されており、該間隙に搬送ベルト
６とＸ方向位置決めピン７及びＹ方向位置決めピン８が
設置されている。
る。図１において、この露光装置はそれぞれ分離した７
つの露光ステージを備えている。ほぼ中央部にＸ方向に
横長に設けられた中央露光ステージ１を挟んで、同一の
構造を有する４つの隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄ
が４隅に配置され、また中央露光ステージ１を挟んで中
央部に同一の構造の中間部露光ステージ３ａと中間部露
光ステージ３ｂが配設されている。各露光ステージの間
には所定の間隙が形成されており、該間隙に搬送ベルト
６とＸ方向位置決めピン７及びＹ方向位置決めピン８が
設置されている。
【０００７】中央露光ステージ１は固定で移動せず、中
間部露光ステージ３ａｂはＹ方向にのみ移動可能になっ
ている。また隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄはＸ方
向及びＹ方向に移動可能に構成され、各露光ステージ間
に形成された隙間を閉鎖できるようになっている。
間部露光ステージ３ａｂはＹ方向にのみ移動可能になっ
ている。また隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄはＸ方
向及びＹ方向に移動可能に構成され、各露光ステージ間
に形成された隙間を閉鎖できるようになっている。
【０００８】中央露光ステージ１の両脇の間隙にはＸ方
向に伸びる一対の搬送ベルト６、６が設けられており、
この搬送ベルト６により回路パターンを露光される回路
基板であるワークＷが搬送されるようになっている。ま
た、該それぞれの搬送ベルト６、６の近傍にはＸ方向に
移動可能な一対のＸ方向位置決めピン７が、合計４個設
けられており、このＸ方向位置決めピン７によりワーク
ＷのＸ方向の位置決めを行うようになっている。更に隅
部露光ステージ２と中間部露光ステージ３の間の間隙に
はＹ方向に移動可能なＹ方向位置決めピン８が合計４個
設けられており、ワークＷのＹ方向の位置決めを行うよ
うになっている。
向に伸びる一対の搬送ベルト６、６が設けられており、
この搬送ベルト６により回路パターンを露光される回路
基板であるワークＷが搬送されるようになっている。ま
た、該それぞれの搬送ベルト６、６の近傍にはＸ方向に
移動可能な一対のＸ方向位置決めピン７が、合計４個設
けられており、このＸ方向位置決めピン７によりワーク
ＷのＸ方向の位置決めを行うようになっている。更に隅
部露光ステージ２と中間部露光ステージ３の間の間隙に
はＹ方向に移動可能なＹ方向位置決めピン８が合計４個
設けられており、ワークＷのＹ方向の位置決めを行うよ
うになっている。
【０００９】隅部露光ステージ２は図２に示すように、
Ｙ方向スライドプレート２０上にＸ方向リニアガイド２
１を介してＸ方向移動可能に載置されている。またＹ方
向スライドプレート２０は基台９上にＹ方向リニアガイ
ド２２を介してＹ方向に移動可能に載置されている。該
Ｙ方向スライドプレート２０がＹ方向に移動し、このＹ
方向スライドプレート２０上をＸ方向に移動することに
より、隅部露光ステージ２はＸ方向及びＹ方向に移動可
能になっている。各隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄ
は同一の構成になっている。Ｙ方向スライドプレート２
０と中間部露光ステージ３の間には所定の間隙が設けら
れており、隅部露光ステージ２がＸ方向に移動して中間
部露光ステージ３に密着しても、該間隙を維持して後述
するようにＹ方向位置決めピン８を該間隙に収納するよ
うになっている。中間部露光ステージ３は基台９上にＹ
方向リニアガイド３０を介してＹ方向にのみ移動可能に
載置されている。２５はＹ方向に移動させるためのアク
チュエータ、２６はＸ方向に移動させるためのアクチュ
エータである。
Ｙ方向スライドプレート２０上にＸ方向リニアガイド２
１を介してＸ方向移動可能に載置されている。またＹ方
向スライドプレート２０は基台９上にＹ方向リニアガイ
ド２２を介してＹ方向に移動可能に載置されている。該
Ｙ方向スライドプレート２０がＹ方向に移動し、このＹ
方向スライドプレート２０上をＸ方向に移動することに
より、隅部露光ステージ２はＸ方向及びＹ方向に移動可
能になっている。各隅部露光ステージ２ａ、ｂ、ｃ、ｄ
は同一の構成になっている。Ｙ方向スライドプレート２
０と中間部露光ステージ３の間には所定の間隙が設けら
れており、隅部露光ステージ２がＸ方向に移動して中間
部露光ステージ３に密着しても、該間隙を維持して後述
するようにＹ方向位置決めピン８を該間隙に収納するよ
うになっている。中間部露光ステージ３は基台９上にＹ
方向リニアガイド３０を介してＹ方向にのみ移動可能に
載置されている。２５はＹ方向に移動させるためのアク
チュエータ、２６はＸ方向に移動させるためのアクチュ
エータである。
【００１０】図２において、隅部露光ステージ２ｃは中
間部露光ステージ３と離れている状態を示しており、隅
部露光ステージ２ｄはＸ方向に移動して中間部露光ステ
ージ３と密着して、その間の間隙を閉鎖した状態を示し
ている。
間部露光ステージ３と離れている状態を示しており、隅
部露光ステージ２ｄはＸ方向に移動して中間部露光ステ
ージ３と密着して、その間の間隙を閉鎖した状態を示し
ている。
【００１１】なお、この実施例では基台９は上下方向に
昇降可能に構成されており、基台９が下がった状態では
Ｙ方向位置決めピン８及びＸ方向位置決めピン７と搬送
ベルト６は各露光ステージの上方に露出し、基台９が上
がった状態では、これらは露光ステージ間の間隙に収納
されるようになっている。図２において隅部露光ステー
ジ２ｄは間隙を閉塞し、その内部にＹ方向位置決めピン
８が格納されている状態が示されている。なお、基台９
を昇降させずに、Ｘ方向位置決めピン７、Ｙ方向位置決
めピン８及び搬送ベルト６を昇降させるようにしても良
い。
昇降可能に構成されており、基台９が下がった状態では
Ｙ方向位置決めピン８及びＸ方向位置決めピン７と搬送
ベルト６は各露光ステージの上方に露出し、基台９が上
がった状態では、これらは露光ステージ間の間隙に収納
されるようになっている。図２において隅部露光ステー
ジ２ｄは間隙を閉塞し、その内部にＹ方向位置決めピン
８が格納されている状態が示されている。なお、基台９
を昇降させずに、Ｘ方向位置決めピン７、Ｙ方向位置決
めピン８及び搬送ベルト６を昇降させるようにしても良
い。
【００１２】図３に示すように、中央露光ステージ１は
基台９に直接固定されており、移動しないようになって
いる。該中央露光ステージ１、隅部露光ステージ２及び
中間部露光ステージ３の表面全体には吸着用孔５が開口
しており、ワークＷをここに吸着するようになってい
る。
基台９に直接固定されており、移動しないようになって
いる。該中央露光ステージ１、隅部露光ステージ２及び
中間部露光ステージ３の表面全体には吸着用孔５が開口
しており、ワークＷをここに吸着するようになってい
る。
【００１３】図３において、隅部露光ステージ２ｄはＹ
方向に移動して中央露光ステージ１に密着し、中央露光
ステージ１との間隙を閉鎖した状態を示しており、隅部
露光ステージ２ｂは移動せずに、間隙を維持した状態を
示している。Ｙ方向スライドプレート２０と中央露光ス
テージ１との間にも所定の間隙が設けられており、隅部
露光ステージ２がＹ方向に移動して中央露光ステージ１
に密着しても、該間隙を維持し、搬送ベルト６とＸ方向
位置決めピン７を該間隙に収納するようになっている。
図３において、中央露光ステージ１に密着した隅部露光
ステージ２ｄの下側には間隙が維持され、ここに搬送ベ
ルト６とＸ方向位置決めピン７が収納された状態が示さ
れている。
方向に移動して中央露光ステージ１に密着し、中央露光
ステージ１との間隙を閉鎖した状態を示しており、隅部
露光ステージ２ｂは移動せずに、間隙を維持した状態を
示している。Ｙ方向スライドプレート２０と中央露光ス
テージ１との間にも所定の間隙が設けられており、隅部
露光ステージ２がＹ方向に移動して中央露光ステージ１
に密着しても、該間隙を維持し、搬送ベルト６とＸ方向
位置決めピン７を該間隙に収納するようになっている。
図３において、中央露光ステージ１に密着した隅部露光
ステージ２ｄの下側には間隙が維持され、ここに搬送ベ
ルト６とＸ方向位置決めピン７が収納された状態が示さ
れている。
【００１４】次に動作を説明する。当初基台９を下降さ
せておき、搬送ベルト６及びＸ方向位置決めピン７とＹ
方向位置決めピン８をステージ上に露出させ、搬送ベル
ト６によりワークＷを搬送し、中央露光ステージ１のほ
ぼ中央部まで移送する。そして、Ｘ方向位置決めピン７
とＹ方向位置決めピン８によりワークＷを位置決めし、
中央露光ステージ１の表面に開口している吸着用孔５に
よりワークＷの中央部を吸着させて位置を固定する。そ
して位置決めピン７、８を退避させてから、基台９を上
昇させて、搬送ベルト６とＸ方向位置決めピン７および
Ｙ方向位置決めピン８を各ステージの間隙内に格納す
る。この状態でワークＷは中央露光ステージ１と隅部露
光ステージ２および中間部露光ステージ３上に載置さ
れ、各ステージ間の間隙に掛かっている。基台９を上昇
させたら、隅部露光ステージ２をＸ方向及びＹ方向に移
動させ、中央露光ステージ１と中間部露光ステージ３に
密着させる。同時に中間部露光ステージ３をＹ方向に移
動させ、中央露光ステージ１に密着させ、吸着用孔５に
よりワークＷ全体を吸着させて固定する。図４は隅部露
光ステージ２と中間部露光ステージ３を移動させて、各
露光ステージを密着させた状態を示す。この移動により
各ステージ間の間隙は完全に閉鎖され、ワークＷは間隙
のない一枚の平坦なステージ上に載置された状態にな
る。この状態で所定の露光動作を実行する。この時、ワ
ークＷは完全に一枚のステージ上に載っているため、平
坦度が良く、変形などが生じない。そのため、精度の良
い露光が実現できる。
せておき、搬送ベルト６及びＸ方向位置決めピン７とＹ
方向位置決めピン８をステージ上に露出させ、搬送ベル
ト６によりワークＷを搬送し、中央露光ステージ１のほ
ぼ中央部まで移送する。そして、Ｘ方向位置決めピン７
とＹ方向位置決めピン８によりワークＷを位置決めし、
中央露光ステージ１の表面に開口している吸着用孔５に
よりワークＷの中央部を吸着させて位置を固定する。そ
して位置決めピン７、８を退避させてから、基台９を上
昇させて、搬送ベルト６とＸ方向位置決めピン７および
Ｙ方向位置決めピン８を各ステージの間隙内に格納す
る。この状態でワークＷは中央露光ステージ１と隅部露
光ステージ２および中間部露光ステージ３上に載置さ
れ、各ステージ間の間隙に掛かっている。基台９を上昇
させたら、隅部露光ステージ２をＸ方向及びＹ方向に移
動させ、中央露光ステージ１と中間部露光ステージ３に
密着させる。同時に中間部露光ステージ３をＹ方向に移
動させ、中央露光ステージ１に密着させ、吸着用孔５に
よりワークＷ全体を吸着させて固定する。図４は隅部露
光ステージ２と中間部露光ステージ３を移動させて、各
露光ステージを密着させた状態を示す。この移動により
各ステージ間の間隙は完全に閉鎖され、ワークＷは間隙
のない一枚の平坦なステージ上に載置された状態にな
る。この状態で所定の露光動作を実行する。この時、ワ
ークＷは完全に一枚のステージ上に載っているため、平
坦度が良く、変形などが生じない。そのため、精度の良
い露光が実現できる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、所定の間
隙を設けて配置された複数の露光ステージと、該所定の
間隙内に設けられ、ワークＷを移動するための手段と、
を備えた露光装置において、前記露光ステージの１つ以
上を移動可能に設置し、露光時に該露光ステージを移動
させて前記間隙を閉鎖するようにしているため、ワーク
Ｗに変形等が生じることなく、精度の高い露光を行える
効果がある。
隙を設けて配置された複数の露光ステージと、該所定の
間隙内に設けられ、ワークＷを移動するための手段と、
を備えた露光装置において、前記露光ステージの１つ以
上を移動可能に設置し、露光時に該露光ステージを移動
させて前記間隙を閉鎖するようにしているため、ワーク
Ｗに変形等が生じることなく、精度の高い露光を行える
効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図。
【図２】本発明の一実施例を示す正面図。
【図３】本発明の一実施例を示す右側面図。
【図４】本発明の一実施例の動作を示す平面図。
１：中央露光ステージ、２：隅部露光ステージ、３：中
間部露光ステージ、５：吸着用孔、６：搬送ベルト、
７：Ｘ方向位置決めピン、８：Ｙ方向位置決めピン、
９：基台、２０：Ｙ方向スライドプレート、２１：Ｘ方
向リニアガイド、２２：Ｙ方向リニアガイド、２５と２
６：アクチュエータ、３０：Ｙ方向リニアガイド。
間部露光ステージ、５：吸着用孔、６：搬送ベルト、
７：Ｘ方向位置決めピン、８：Ｙ方向位置決めピン、
９：基台、２０：Ｙ方向スライドプレート、２１：Ｘ方
向リニアガイド、２２：Ｙ方向リニアガイド、２５と２
６：アクチュエータ、３０：Ｙ方向リニアガイド。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/027 G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02
Claims (5)
- 【請求項１】 所定の間隙を設けて配置された複数の露
光ステージと、 該所定の間隙内に設けられ、ワークを移動するための手
段と、 を備えた露光装置において、 前記露光ステージの１つ以上を移動可能に設置し、露光
時に該露光ステージを移動させて前記間隙を閉鎖する、 ことを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】 移動可能な露光ステージがＸ方向とＹ方
向に移動可能である、 請求項１に記載の露光装置。 - 【請求項３】 ワークを移動するための手段が、ワーク
を移動するベルトコンベアを含む、請求項１に記載の露
光装置。 - 【請求項４】 ワークを移動するための手段と、露光ス
テージとが相対的に昇降可能である、 請求項１に記載の露光装置。 - 【請求項５】 中央部に配設された固定の中央露光ステ
ージと、 該中央露光ステージの周囲に所定の間隙を設けて配置さ
れ、中央露光ステージに密接するように移動可能な複数
の露光ステージと、 前記固定の中央露光ステージと移動可能な複数の露光ス
テージに設けられ、ワークを吸着固定するための手段
と、 前記所定の間隙内に設けられ、ワークを移動するための
手段と、 を備えたことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5115225A JP2950530B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5115225A JP2950530B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310393A JPH06310393A (ja) | 1994-11-04 |
| JP2950530B2 true JP2950530B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=14657457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5115225A Expired - Fee Related JP2950530B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2950530B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP5115225A patent/JP2950530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06310393A (ja) | 1994-11-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |