JP2950052B2 - 圧電素子用導電性ペースト - Google Patents
圧電素子用導電性ペーストInfo
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- JP2950052B2 JP2950052B2 JP4277153A JP27715392A JP2950052B2 JP 2950052 B2 JP2950052 B2 JP 2950052B2 JP 4277153 A JP4277153 A JP 4277153A JP 27715392 A JP27715392 A JP 27715392A JP 2950052 B2 JP2950052 B2 JP 2950052B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電素子の電極を形成す
るための圧電素子用導電性ペースト、特に変位量の大き
い圧電素子用導電性ペーストに関する。
るための圧電素子用導電性ペースト、特に変位量の大き
い圧電素子用導電性ペーストに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種の機械的駆動素子として、電
磁力を利用したアクチュエータに代わって、チタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）磁器などのセラミックスの圧電効
果を利用した積層型圧電アクチュエータが多用されてい
る。この積層型圧電アクチュエータは発熱が少なく、ま
た小型で高速駆動が可能であり、しかも高精度な電圧−
変位特性を期待できるため、各種の機械的駆動素子とし
て極めて有望である。ただ圧電効果による機械的変位は
本質的に極めて小さいので、大きな変位量を得るために
圧電素子と電極とを交互に多重に積層し絶縁保護層で被
覆された構造の圧電積層体として提供されている。
磁力を利用したアクチュエータに代わって、チタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）磁器などのセラミックスの圧電効
果を利用した積層型圧電アクチュエータが多用されてい
る。この積層型圧電アクチュエータは発熱が少なく、ま
た小型で高速駆動が可能であり、しかも高精度な電圧−
変位特性を期待できるため、各種の機械的駆動素子とし
て極めて有望である。ただ圧電効果による機械的変位は
本質的に極めて小さいので、大きな変位量を得るために
圧電素子と電極とを交互に多重に積層し絶縁保護層で被
覆された構造の圧電積層体として提供されている。
【０００３】例えば、特開昭６２−１６５３８１号公報
には、円板状に構成される複数の圧電素子を積層すると
共に、この複数の圧電素子の相互間にそれぞれ電極を介
在し、この電極によって上記複数の圧電素子を並列接続
するような積層型圧電アクチュエータが開示されてい
る。この積層型圧電アクチュエータは、上記電極への通
電により上記圧電素子が軸方向に伸びてアクチュエータ
として作動する。
には、円板状に構成される複数の圧電素子を積層すると
共に、この複数の圧電素子の相互間にそれぞれ電極を介
在し、この電極によって上記複数の圧電素子を並列接続
するような積層型圧電アクチュエータが開示されてい
る。この積層型圧電アクチュエータは、上記電極への通
電により上記圧電素子が軸方向に伸びてアクチュエータ
として作動する。
【０００４】従来、圧電素子の内部電極を形成するため
の導電性ペーストの導電性材料として、銀、銀−パラジ
ウム、白金、金などの貴金属粉末にガラスフリツト粉末
を加え、展着剤でペースト状にしたものが使われてい
る。ここでガラスフリット粉末は加熱時に焼結し貴金属
粉末を一体的に結合し、圧電素子の表面に強固に結合し
た電極を形成する。
の導電性ペーストの導電性材料として、銀、銀−パラジ
ウム、白金、金などの貴金属粉末にガラスフリツト粉末
を加え、展着剤でペースト状にしたものが使われてい
る。ここでガラスフリット粉末は加熱時に焼結し貴金属
粉末を一体的に結合し、圧電素子の表面に強固に結合し
た電極を形成する。
【０００５】この貴金属材料は圧電素子とのオーミック
コンタクト性が良好なので、圧電素子に優れた電気特性
を発揮させることができる。導電性材料として貴金属粉
末を使用する圧電素子用導電性ペーストとしては、例え
ば、特開昭４９−３８１９０号公報に開示されているも
のが知られている。
コンタクト性が良好なので、圧電素子に優れた電気特性
を発揮させることができる。導電性材料として貴金属粉
末を使用する圧電素子用導電性ペーストとしては、例え
ば、特開昭４９−３８１９０号公報に開示されているも
のが知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧電素子用導電
性ペーストのガラス成分にはガラスフリット粉末が使用
されている。このため導電性材料との分散性が十分とは
いえなかった。その結果従来の圧電素子用導電性ペース
トを使用しても圧電素子本来の電気的特性を十分に生か
すことができないという問題がある。
性ペーストのガラス成分にはガラスフリット粉末が使用
されている。このため導電性材料との分散性が十分とは
いえなかった。その結果従来の圧電素子用導電性ペース
トを使用しても圧電素子本来の電気的特性を十分に生か
すことができないという問題がある。
【０００７】また、貴金属有機化合物は焼き付け時の熱
処理で微細な貴金属単体となるが、その過程で貴金属粒
子が粒成長（０．０５μｍ程度に）する。このため貴金
属粒子を微細粒子とするができず、貴金属粒子とガラス
フリットとの分散性が不十分となり、圧電素子用導電性
ペーストは圧電素子とのホーミックコンタクト性を高め
るという効果を十分いかしていないという問題がある。
処理で微細な貴金属単体となるが、その過程で貴金属粒
子が粒成長（０．０５μｍ程度に）する。このため貴金
属粒子を微細粒子とするができず、貴金属粒子とガラス
フリットとの分散性が不十分となり、圧電素子用導電性
ペーストは圧電素子とのホーミックコンタクト性を高め
るという効果を十分いかしていないという問題がある。
【０００８】また、産業界では従来の貴金属を導電性材
料として使用している圧電素子用導電性ペーストよりさ
らに高い変位量が得られる圧電素子用導電性ペースト
が、要望されている。本発明は、上記実情に鑑みてなさ
れたものであり、圧電素子本来の電気特性を十分に発揮
させることのできる圧電素子用電極が形成でき、しかも
高い変位量が得られる圧電素子用導電性ペーストを提供
することを目的とする。
料として使用している圧電素子用導電性ペーストよりさ
らに高い変位量が得られる圧電素子用導電性ペースト
が、要望されている。本発明は、上記実情に鑑みてなさ
れたものであり、圧電素子本来の電気特性を十分に発揮
させることのできる圧電素子用電極が形成でき、しかも
高い変位量が得られる圧電素子用導電性ペーストを提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の圧電素子用導電性ペーストは、導電性材料とガラス
成分と展着剤とよりなる圧電素子用導電性ペーストであ
って、前記導電性材料は加熱により分解反応して導電材
料となる貴金属有機化合物と、卑金属有機化合物とから
構成され、前記ガラス成分は加熱により分解反応してガ
ラスとなるガラス先駆有機物で構成されていることを特
徴とする。
明の圧電素子用導電性ペーストは、導電性材料とガラス
成分と展着剤とよりなる圧電素子用導電性ペーストであ
って、前記導電性材料は加熱により分解反応して導電材
料となる貴金属有機化合物と、卑金属有機化合物とから
構成され、前記ガラス成分は加熱により分解反応してガ
ラスとなるガラス先駆有機物で構成されていることを特
徴とする。
【００１０】
【作用】本発明の圧電素子用導電性ペーストは、スクリ
ーン印刷等により圧電素子上に塗布され成膜される。そ
の後、焼き付けのため熱処理される。この過程で展着剤
は揮散し、ガラス先駆有機物は分解し金属を生じるとと
もに大気中の酸素と反応しかつ互いに溶け合って極めて
微細なガラスとなる。そして生成した微細なガラスは互
いに焼結し導電性材料を構成する金属粒子と一体化す
る。ここで熱分解および反応により生じたガラスは極め
て微細であるため、金属粒子の界面および圧電素子の界
面に介在し、ガラス成分の量が少なくとも、金属粒子を
強固に結合するとともに圧電素子の表面に強固に接合す
る。
ーン印刷等により圧電素子上に塗布され成膜される。そ
の後、焼き付けのため熱処理される。この過程で展着剤
は揮散し、ガラス先駆有機物は分解し金属を生じるとと
もに大気中の酸素と反応しかつ互いに溶け合って極めて
微細なガラスとなる。そして生成した微細なガラスは互
いに焼結し導電性材料を構成する金属粒子と一体化す
る。ここで熱分解および反応により生じたガラスは極め
て微細であるため、金属粒子の界面および圧電素子の界
面に介在し、ガラス成分の量が少なくとも、金属粒子を
強固に結合するとともに圧電素子の表面に強固に接合す
る。
【００１１】そして導電性材料の貴金属有機化合物、卑
金属有機化合物は焼き付け時の熱処理により金属単体と
なる。導電性材料に卑金属が存在しない場合は、生成し
た貴金属は粒成長して粒子径が約０．０５μｍとなる。
しかし、導電性材料に卑金属が存在すると、卑金属は貴
金属粒子の粒界に存在して、貴金属の粒成長を抑制する
働きをする。このため貴金属粒子の粒径は０．０２μｍ
以下となる。なお、卑金属は、焼き付け時に表面に酸化
膜が形成されるため粒成長は殆ど起こらず粒径は０，０
０５μｍ以下である。
金属有機化合物は焼き付け時の熱処理により金属単体と
なる。導電性材料に卑金属が存在しない場合は、生成し
た貴金属は粒成長して粒子径が約０．０５μｍとなる。
しかし、導電性材料に卑金属が存在すると、卑金属は貴
金属粒子の粒界に存在して、貴金属の粒成長を抑制する
働きをする。このため貴金属粒子の粒径は０．０２μｍ
以下となる。なお、卑金属は、焼き付け時に表面に酸化
膜が形成されるため粒成長は殆ど起こらず粒径は０，０
０５μｍ以下である。
【００１２】また導電性材料の貴金属成分および卑金属
成分は、有機化合物の形態から生成するため、ガラス先
駆有機物は極めて均一な混合状態となり、その混合状態
は焼き付け過程においても保持される。この結果、導電
性材料と圧電素子とのオーミツクコンタクト性が高くな
り、貴金属有機化合物のみのものと比べて圧電素子の電
気的特性が向上し、圧電素子の変位量が著しく増大す
る。
成分は、有機化合物の形態から生成するため、ガラス先
駆有機物は極めて均一な混合状態となり、その混合状態
は焼き付け過程においても保持される。この結果、導電
性材料と圧電素子とのオーミツクコンタクト性が高くな
り、貴金属有機化合物のみのものと比べて圧電素子の電
気的特性が向上し、圧電素子の変位量が著しく増大す
る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を具体的に説明する。
導電性材料としては、表１に示すように貴金属有機化合
物であるトリメチル金〔Ａｕ2 （ＣＨ3 ）6 〕および卑
金属有機化合物のトリフェニルアルミ〔（Ｃ6Ｈ5 ）3
Ａｌ〕を、ガラス成分としては、ガラスを構成する金属
成分である硼素（Ｂ）、珪素（Ｓｉ）及び鉛（Ｐｂ）の
先駆有機物であるトリフェニルボラン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）3
Ｂ〕、テトラフェニルシラン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）4 Ｓｉ〕、
テトラフェニルプランバン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）4 Ｐｂ〕を用
いた。
導電性材料としては、表１に示すように貴金属有機化合
物であるトリメチル金〔Ａｕ2 （ＣＨ3 ）6 〕および卑
金属有機化合物のトリフェニルアルミ〔（Ｃ6Ｈ5 ）3
Ａｌ〕を、ガラス成分としては、ガラスを構成する金属
成分である硼素（Ｂ）、珪素（Ｓｉ）及び鉛（Ｐｂ）の
先駆有機物であるトリフェニルボラン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）3
Ｂ〕、テトラフェニルシラン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）4 Ｓｉ〕、
テトラフェニルプランバン〔（Ｃ6 Ｈ5 ）4 Ｐｂ〕を用
いた。
【００１４】
【表１】 前記したトリメチル金、トリフェニルアルミを表２に示
すグラム（ｇ）数とトリフェニルボラン２ｇ，テトラフ
ェニルシラン１ｇおよびテトラフェニルプランバン２ｇ
秤量して各々１００ｇとし、それらにそれぞれエチルセ
ルロース１．７ｇ、ターピネオール１２ｇを配合し、ら
いかい機で十分に混練して合計１１３．７ｇの圧電素子
用導電性ペースト５種類を調製した。
すグラム（ｇ）数とトリフェニルボラン２ｇ，テトラフ
ェニルシラン１ｇおよびテトラフェニルプランバン２ｇ
秤量して各々１００ｇとし、それらにそれぞれエチルセ
ルロース１．７ｇ、ターピネオール１２ｇを配合し、ら
いかい機で十分に混練して合計１１３．７ｇの圧電素子
用導電性ペースト５種類を調製した。
【００１５】なお、試料Ｎｏ．４は参考例として調製し
たもので、卑金属のトリフェニルアルミを１０ｇと多量
に使用している。また、Ｎｏ．５は従来例の代表として
調製したもので、トリフェニルアルミを使用せず、金属
成分としては貴金属のみとしている。これらのペースト
をそれぞれ図１に示すＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉ
ｏ3）系セラミックスよりなる円板状の圧電素子（φ１
５ｍｍ×ｔ０．５ｍｍ）１の両面に３００メッシュのス
クリーン印刷機で印刷した。この後乾燥（８０℃１０分
間）し、大気雰囲気下５００〜８００℃の温度で１０〜
３０分間熱処理して焼き付けた。この焼き付け工程でエ
チルセルロースとターピネオールは揮散して除去され、
トリメチル金は分解して超微細な金粉末となり、トリフ
ェニルボラン、テトラフェニルシラン、テトラフェニル
プランバンはそれぞれ分解して硼素、珪素及び鉛になる
とともに大気中の酸素と反応しかつ互いに反応して硼珪
酸鉛ガラスになる。
たもので、卑金属のトリフェニルアルミを１０ｇと多量
に使用している。また、Ｎｏ．５は従来例の代表として
調製したもので、トリフェニルアルミを使用せず、金属
成分としては貴金属のみとしている。これらのペースト
をそれぞれ図１に示すＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉ
ｏ3）系セラミックスよりなる円板状の圧電素子（φ１
５ｍｍ×ｔ０．５ｍｍ）１の両面に３００メッシュのス
クリーン印刷機で印刷した。この後乾燥（８０℃１０分
間）し、大気雰囲気下５００〜８００℃の温度で１０〜
３０分間熱処理して焼き付けた。この焼き付け工程でエ
チルセルロースとターピネオールは揮散して除去され、
トリメチル金は分解して超微細な金粉末となり、トリフ
ェニルボラン、テトラフェニルシラン、テトラフェニル
プランバンはそれぞれ分解して硼素、珪素及び鉛になる
とともに大気中の酸素と反応しかつ互いに反応して硼珪
酸鉛ガラスになる。
【００１６】
【表２】 得られた５種類の電極２を焼き付けされた圧電素子１の
中のＮｏ．２とＮｏ．５の２種類の電極２と圧電素子１
との界面をＴＥＭ観察で観察した結果を図２および図３
の模式図に示す。図２に示す本発明の実施例の圧電素子
用導電性ペーストを使用したものは、金の粒子３が平均
粒径で約０．０２μｍと極めて小さい。しかもこの超微
細な金粒子３の境界にガラス４が介在し、金粒子３を一
体的に結合している。一方従来例の代表として調製した
Ｎｏ．５の卑金属有機化合物を配合しない圧電素子用導
電性ペーストを用いたものは、図３に示すように、金粒
子３’の粒径が約０．０５μｍと図２の金粒子３に比較
して極めて大きい。
中のＮｏ．２とＮｏ．５の２種類の電極２と圧電素子１
との界面をＴＥＭ観察で観察した結果を図２および図３
の模式図に示す。図２に示す本発明の実施例の圧電素子
用導電性ペーストを使用したものは、金の粒子３が平均
粒径で約０．０２μｍと極めて小さい。しかもこの超微
細な金粒子３の境界にガラス４が介在し、金粒子３を一
体的に結合している。一方従来例の代表として調製した
Ｎｏ．５の卑金属有機化合物を配合しない圧電素子用導
電性ペーストを用いたものは、図３に示すように、金粒
子３’の粒径が約０．０５μｍと図２の金粒子３に比較
して極めて大きい。
【００１７】また、ＥＰＭＡ分析の結果、アルミ粒子は
粒径が約０．００５μｍで金粒子の粒界に存在している
ことが確認された。以上のようにして電極２を形成した
５種類の圧電素子をシリコーンオイル中で電極２の両面
に直流１．５ｋＶの電圧を印加して分極処理をおこなっ
た。次にこれら５種類の圧電素子をそれぞれ−２００〜
＋６００Ｖのパルス電圧を印加してパルス駆動させ、各
圧電素子の変位量を測定した。これら測定された変位量
を表１に合わせて示す。
粒径が約０．００５μｍで金粒子の粒界に存在している
ことが確認された。以上のようにして電極２を形成した
５種類の圧電素子をシリコーンオイル中で電極２の両面
に直流１．５ｋＶの電圧を印加して分極処理をおこなっ
た。次にこれら５種類の圧電素子をそれぞれ−２００〜
＋６００Ｖのパルス電圧を印加してパルス駆動させ、各
圧電素子の変位量を測定した。これら測定された変位量
を表１に合わせて示す。
【００１８】なお、Ｎｏ．４の圧電素子用導電性ペース
トを使用したものは電極剥離が生じ、変位量の測定がで
きなかった。表２より、Ｎｏ．１からＮｏ３の本発明に
かかる圧電素子用導電性ペーストを使用した圧電素子の
変位量は１．１０〜１．０５μｍと、卑金属有機化合物
を使用しない従来の圧電素子用導電性ペーストを使用し
た圧電素子の変位量１．０２μｍより高い変位量をも
つ。これは、電極２の金粒子３が卑金属粒子の存在によ
り粒成長が抑制されので、圧電素子１と電極２との接触
面積が高くなることを示している。なお、Ｎｏ．４の圧
電素子用導電性ペーストに見られるように、卑金属成分
が多くなりすぎると圧電素子１と電極２との接着性が低
下して剥離がおきる。したがって卑金属成分の配合量は
その変位量から推測して２重量％程度が最適と思われ
る。
トを使用したものは電極剥離が生じ、変位量の測定がで
きなかった。表２より、Ｎｏ．１からＮｏ３の本発明に
かかる圧電素子用導電性ペーストを使用した圧電素子の
変位量は１．１０〜１．０５μｍと、卑金属有機化合物
を使用しない従来の圧電素子用導電性ペーストを使用し
た圧電素子の変位量１．０２μｍより高い変位量をも
つ。これは、電極２の金粒子３が卑金属粒子の存在によ
り粒成長が抑制されので、圧電素子１と電極２との接触
面積が高くなることを示している。なお、Ｎｏ．４の圧
電素子用導電性ペーストに見られるように、卑金属成分
が多くなりすぎると圧電素子１と電極２との接着性が低
下して剥離がおきる。したがって卑金属成分の配合量は
その変位量から推測して２重量％程度が最適と思われ
る。
【００１９】導電性材料の金属とガラス先駆有機物の分
解生成物である金属全てを１００重量％とした金属換算
で、好ましいガラス先駆有機物の配合割合は、０．５〜
９．５重量％程度となる。上記実施例では、卑金属有機
化合物として、有機アルミ化合物を用いたが、他に熱処
理により微細な粒子となり、貴金属の粒成長を抑制でき
るものであれば使用できる。したがって、アルミニウム
（Ａｌ）の有機化合物以外に、ニツケル（Ｎｉ）、コバ
ルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、鉄（Ｆｅ）
等の卑金属の有機化合物でも同様の効果が得られる。な
お、導電性ペ−スト中の卑金属成分の量は０．１〜５重
量％の範囲が好ましい。
解生成物である金属全てを１００重量％とした金属換算
で、好ましいガラス先駆有機物の配合割合は、０．５〜
９．５重量％程度となる。上記実施例では、卑金属有機
化合物として、有機アルミ化合物を用いたが、他に熱処
理により微細な粒子となり、貴金属の粒成長を抑制でき
るものであれば使用できる。したがって、アルミニウム
（Ａｌ）の有機化合物以外に、ニツケル（Ｎｉ）、コバ
ルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、鉄（Ｆｅ）
等の卑金属の有機化合物でも同様の効果が得られる。な
お、導電性ペ−スト中の卑金属成分の量は０．１〜５重
量％の範囲が好ましい。
【００２０】導電性材料の貴金属有機化合物として金の
先駆体であるトリメチル金を使用したが、他の金を含む
有機化合物であってもよい。また、従来から知られてい
るように、貴金属としては金以外に銀、銀−パラジウ
ム、白金、ロジウムなどが知られている。従って銀、銀
−パラジウム、白金、ロジウムなどの貴金属の有機化合
物が使用できる。たとえば、実施例に示した以外に貴金
属化合物としては、酢酸パラジウム、クロロ金、ジクロ
ロパラジウム〔ＰｄＣｌ（Ｃ8 Ｈ12）〕、ビスパラジウ
ム〔Ｐｄ（η−Ｃ3 Ｈ5 ）〕等を挙げることができる。
先駆体であるトリメチル金を使用したが、他の金を含む
有機化合物であってもよい。また、従来から知られてい
るように、貴金属としては金以外に銀、銀−パラジウ
ム、白金、ロジウムなどが知られている。従って銀、銀
−パラジウム、白金、ロジウムなどの貴金属の有機化合
物が使用できる。たとえば、実施例に示した以外に貴金
属化合物としては、酢酸パラジウム、クロロ金、ジクロ
ロパラジウム〔ＰｄＣｌ（Ｃ8 Ｈ12）〕、ビスパラジウ
ム〔Ｐｄ（η−Ｃ3 Ｈ5 ）〕等を挙げることができる。
【００２１】加熱により分解し反応してガラスとなるガ
ラス先駆有機物は、生成するものが従来と同じガラス成
分となる有機物の組合せであればよい。たとえば、ほう
酸鉛ガラスとなるほう素（Ｂ）、珪素（Ｓｉ）、鉛（Ｐ
ｂ）の有機化合物の組合せが挙げられる。本発明の圧電
素子用導電性ペーストを構成する展着剤は、従来と同じ
ものを使用できる。ペースト全体を１００重量％とした
とき、展着剤は１０〜２３％程度が好ましい。
ラス先駆有機物は、生成するものが従来と同じガラス成
分となる有機物の組合せであればよい。たとえば、ほう
酸鉛ガラスとなるほう素（Ｂ）、珪素（Ｓｉ）、鉛（Ｐ
ｂ）の有機化合物の組合せが挙げられる。本発明の圧電
素子用導電性ペーストを構成する展着剤は、従来と同じ
ものを使用できる。ペースト全体を１００重量％とした
とき、展着剤は１０〜２３％程度が好ましい。
【００２２】また、圧電素子としては、ＰＺＴ素子以外
に、ＰＴ素子、ＢＬＳＦ素子等にも適用可能である。
に、ＰＴ素子、ＢＬＳＦ素子等にも適用可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、導
電性材料を貴金属有機化合と卑金属有機化合物を、ガラ
ス成分をガラス先駆有機物を使用することで構成成分を
均一に分散させたものとすることができる。導電性材料
は、加熱処理時にそれぞれ金属単体粒子となるが、貴金
属の粒界には卑金属が分散されて存在しているので、貴
金属粒子の粒成長が抑制できる。その結果、微細な貴金
属の電極が形成できる。
電性材料を貴金属有機化合と卑金属有機化合物を、ガラ
ス成分をガラス先駆有機物を使用することで構成成分を
均一に分散させたものとすることができる。導電性材料
は、加熱処理時にそれぞれ金属単体粒子となるが、貴金
属の粒界には卑金属が分散されて存在しているので、貴
金属粒子の粒成長が抑制できる。その結果、微細な貴金
属の電極が形成できる。
【００２４】また、ガラス成分は、加熱により分解し反
応してガラスとなるガラス先駆有機物を使用すること
で、加熱処理時に分解して反応して極めて微細なガラス
を生ずる。このため本発明の圧電素子用導電性ペースト
は少量のガラス成分で良いため導電性材料と圧電素子と
の接触面積が大きくオーミツクコンタクト性が優れ、圧
電素子の変位量が増大する。
応してガラスとなるガラス先駆有機物を使用すること
で、加熱処理時に分解して反応して極めて微細なガラス
を生ずる。このため本発明の圧電素子用導電性ペースト
は少量のガラス成分で良いため導電性材料と圧電素子と
の接触面積が大きくオーミツクコンタクト性が優れ、圧
電素子の変位量が増大する。
【００２５】また、本願の導電性材料を使用すること
で、微細な金属粒子とすることができるので、電極の厚
さをより薄くできる。例えは、本実施例の圧電素子用導
電性ペーストでは、従来５μｍ程度の電極厚さを必要と
していたものが、０．２μｍ程度と薄くできる。電極全
体の体積では１／２５程度となり、圧電素子用導電性ペ
ーストの使用量がそれだけ少なくなり、コストダウンと
なる。
で、微細な金属粒子とすることができるので、電極の厚
さをより薄くできる。例えは、本実施例の圧電素子用導
電性ペーストでは、従来５μｍ程度の電極厚さを必要と
していたものが、０．２μｍ程度と薄くできる。電極全
体の体積では１／２５程度となり、圧電素子用導電性ペ
ーストの使用量がそれだけ少なくなり、コストダウンと
なる。
【００２６】さらに変位量が増大するため同じ大きさの
変位を得るのに必要とする駆動電圧を低くできる。
変位を得るのに必要とする駆動電圧を低くできる。
【図１】圧電素子の両面に圧電素子用電極を形成した状
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図２】本実施例に係る圧電素子用導電性ペーストを使
用して形成した電極と圧電素子との界面部分を拡大した
模式図である。
用して形成した電極と圧電素子との界面部分を拡大した
模式図である。
【図３】従来の圧電素子用導電性ペーストを使用して形
成した電極と圧電素子との界面部分を拡大した模式図で
ある。
成した電極と圧電素子との界面部分を拡大した模式図で
ある。
１は圧電素子、２は電極、３は金粒子、４はガラスであ
る。
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01B 1/16 C03C 4/14 H01L 41/04 H05K 1/09
Claims (1)
- 【請求項１】 導電性材料とガラス成分と展着剤とより
なる圧電素子用導電性ペーストであって、 前記導電性材料は加熱により分解反応して導電材料とな
る貴金属有機化合物と、卑金属有機化合物とから構成さ
れ、前記ガラス成分は加熱により分解反応してガラスと
なるガラス先駆有機物で構成されていることを特徴とす
る圧電素子用導電性ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4277153A JP2950052B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 圧電素子用導電性ペースト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4277153A JP2950052B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 圧電素子用導電性ペースト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06131912A JPH06131912A (ja) | 1994-05-13 |
| JP2950052B2 true JP2950052B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=17579542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4277153A Expired - Lifetime JP2950052B2 (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 圧電素子用導電性ペースト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2950052B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5370332B2 (ja) * | 1995-09-19 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッド |
| JP2010535992A (ja) * | 2007-08-08 | 2010-11-25 | ピスィー ジェスィオン エス．ア．エス． | 空気力学的効果の境界層の低減 |
| JP5724490B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2015-05-27 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータおよびその作製方法、液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
| JP2014170795A (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Ngk Insulators Ltd | 積層体及び圧電／電歪素子 |
-
1992
- 1992-10-15 JP JP4277153A patent/JP2950052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06131912A (ja) | 1994-05-13 |
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