JP2937142B2 - Ｉｃハンドリング装置 - Google Patents
Ｉｃハンドリング装置Info
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- JP2937142B2 JP2937142B2 JP8272146A JP27214696A JP2937142B2 JP 2937142 B2 JP2937142 B2 JP 2937142B2 JP 8272146 A JP8272146 A JP 8272146A JP 27214696 A JP27214696 A JP 27214696A JP 2937142 B2 JP2937142 B2 JP 2937142B2
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- chute
- chutes
- ics
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- sensor
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣを検査するテ
スタの測定部にＩＣを送り込むＩＣハンドリング装置に
関する。
スタの測定部にＩＣを送り込むＩＣハンドリング装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、ＩＣを測定選別するテスタには、
未選別のＩＣを供給するＩＣハンドリング装置が付設さ
れている。そして、この種のテスタには、高速に処理す
るために並列に配置された複数のＩＣ測定部が設けられ
ていた。
未選別のＩＣを供給するＩＣハンドリング装置が付設さ
れている。そして、この種のテスタには、高速に処理す
るために並列に配置された複数のＩＣ測定部が設けられ
ていた。
【０００３】図３（ａ）および（ｂ）は従来の一例にお
けるＩＣハンドリング装置を示す正面図および断面図で
ある。従来、このＩＣハンドリング装置は、例えば、図
３に示すように、ＩＣ１７の複数個が詰み重ねて収納さ
れるマガジン１５を具備するローダ部と、２系統のＩＣ
の測定部１６ａ，１６ｂとマガジン１５との間に１系統
のシュート１４と２系統のプールシュート１３ａ，１３
ｂとが配置され、シュート１４内を滑走してきたＩＣ１
７をいずれかのプールシュート１３ａ，１３ｂに振り分
けるための分配器１２を備えていた。
けるＩＣハンドリング装置を示す正面図および断面図で
ある。従来、このＩＣハンドリング装置は、例えば、図
３に示すように、ＩＣ１７の複数個が詰み重ねて収納さ
れるマガジン１５を具備するローダ部と、２系統のＩＣ
の測定部１６ａ，１６ｂとマガジン１５との間に１系統
のシュート１４と２系統のプールシュート１３ａ，１３
ｂとが配置され、シュート１４内を滑走してきたＩＣ１
７をいずれかのプールシュート１３ａ，１３ｂに振り分
けるための分配器１２を備えていた。
【０００４】ローダ部ではマガジン１５がＩＣ出口を下
に向けた状態で装填され、ＩＣ１７はマガジン１５内を
滑走しながらＩＣマガジン出口へ向かう。ＩＣマガジン
１５の出口はストッパ機構の動作でＩＣの連続供給が可
能な状態で、シュート１４と結合されているためＩＣ１
７はマガジン１５からシュート１４に乗り移り、続いて
シュート１４内を滑走し、シュート１４の最下端にてＩ
Ｃストッパ１１により一端滑走を停止させられる。
に向けた状態で装填され、ＩＣ１７はマガジン１５内を
滑走しながらＩＣマガジン出口へ向かう。ＩＣマガジン
１５の出口はストッパ機構の動作でＩＣの連続供給が可
能な状態で、シュート１４と結合されているためＩＣ１
７はマガジン１５からシュート１４に乗り移り、続いて
シュート１４内を滑走し、シュート１４の最下端にてＩ
Ｃストッパ１１により一端滑走を停止させられる。
【０００５】このＩＣストッパ１１の動作タイミングは
分配器の動作と同期しており、分配器１２のＩＣ受取部
がシュート１４位置まで移動し、分配器１２のＩＣ受取
準備が整うまでストッパ１１は作動し続け、シュート１
４内にＩＣ１７を保持している。分配器１２のＩＣ受取
部がシュート１４の位置まで移動し、センサ７がＩＣ１
７があることを検知しＩＣ１７がシュート１４内から滑
走できる体制が整うとストッパ１１は解除され、ＩＣ１
７はシュート１４から分配器１２に落ち込み、ストッパ
１０が作動しＩＣ１７は分配器１２内に停留する。
分配器の動作と同期しており、分配器１２のＩＣ受取部
がシュート１４位置まで移動し、分配器１２のＩＣ受取
準備が整うまでストッパ１１は作動し続け、シュート１
４内にＩＣ１７を保持している。分配器１２のＩＣ受取
部がシュート１４の位置まで移動し、センサ７がＩＣ１
７があることを検知しＩＣ１７がシュート１４内から滑
走できる体制が整うとストッパ１１は解除され、ＩＣ１
７はシュート１４から分配器１２に落ち込み、ストッパ
１０が作動しＩＣ１７は分配器１２内に停留する。
【０００６】そして、分配器１２はＩＣ１７を保持した
ままの状態で各々のプールシュート１３ａ，１３ｂの位
置まで移動し、ＩＣ１７がプールシュート１３ａ，１３
ｂに乗り移れる状態になったところでストッパ１０を解
除してプールシュート１３ａ，１３ｂにＩＣ１７を落し
込みＩＣ１７を測定部１６ａ，１６ｂを供給する。この
ように、マガジン１５よりシュート１４およびプールシ
ュート１３ａ，１３ｂを介してＩＣの複数の測定部１６
ａ，１６ｂに順次ＩＣを１個づつ供給し高速に選別処理
を行なうことを特徴としていた。
ままの状態で各々のプールシュート１３ａ，１３ｂの位
置まで移動し、ＩＣ１７がプールシュート１３ａ，１３
ｂに乗り移れる状態になったところでストッパ１０を解
除してプールシュート１３ａ，１３ｂにＩＣ１７を落し
込みＩＣ１７を測定部１６ａ，１６ｂを供給する。この
ように、マガジン１５よりシュート１４およびプールシ
ュート１３ａ，１３ｂを介してＩＣの複数の測定部１６
ａ，１６ｂに順次ＩＣを１個づつ供給し高速に選別処理
を行なうことを特徴としていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＩＣハ
ンドリング装置では、ＩＣの測定部へのＩＣの供給をシ
ュートによる自然落下を利用したＩＣの滑走による方法
を採用しているので、ＩＣ外形寸法に対するシュート内
径との間隙調整狂いやＩＣ自身の樹脂バリなどに起因す
るＩＣがシュート内に引掛ったりＩＣ同志が重なったり
してシュート内でＩＣが円滑に滑走せず、ＩＣの詰まり
を生じることがある。一般的にこの現象をジャミングと
読んでいるが、このような自重落下方式のＩＣハンドリ
ング装置ではその構造上、このジャミング現象を完全に
回避することは難しい。
ンドリング装置では、ＩＣの測定部へのＩＣの供給をシ
ュートによる自然落下を利用したＩＣの滑走による方法
を採用しているので、ＩＣ外形寸法に対するシュート内
径との間隙調整狂いやＩＣ自身の樹脂バリなどに起因す
るＩＣがシュート内に引掛ったりＩＣ同志が重なったり
してシュート内でＩＣが円滑に滑走せず、ＩＣの詰まり
を生じることがある。一般的にこの現象をジャミングと
読んでいるが、このような自重落下方式のＩＣハンドリ
ング装置ではその構造上、このジャミング現象を完全に
回避することは難しい。
【０００８】また、ローダ部とＩＣ測定部の間にシュー
トとＩＣ分配器をそれぞれ１基づつしか有していないた
め、ひとたびシュート部でジャミングが発生するとプー
ルシュートさらにＩＣ測定部へのＩＣ供給経路が絶た
れ、装置は異状を検出して完全に停止する。装置を再び
稼働状態に復帰させるには、操作者が詰まったＩＣを取
り除いて再起動をかける必要があるが、この作業が完了
するまでの間、高価なテスト装置は全く稼働できず、装
置の稼働損をもたらすという問題があった。
トとＩＣ分配器をそれぞれ１基づつしか有していないた
め、ひとたびシュート部でジャミングが発生するとプー
ルシュートさらにＩＣ測定部へのＩＣ供給経路が絶た
れ、装置は異状を検出して完全に停止する。装置を再び
稼働状態に復帰させるには、操作者が詰まったＩＣを取
り除いて再起動をかける必要があるが、この作業が完了
するまでの間、高価なテスト装置は全く稼働できず、装
置の稼働損をもたらすという問題があった。
【０００９】従って、本発明の目的は、シュートにＩＣ
のジャミングが発生しても、ＩＣ測定部に常に安定して
ＩＣを供給できるＩＣハンドリング装置を提供すること
にある。
のジャミングが発生しても、ＩＣ測定部に常に安定して
ＩＣを供給できるＩＣハンドリング装置を提供すること
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ＩＣの
複数個を積載するマガジンから落し込れる前記ＩＣを自
然落下により滑走させ該ＩＣを搬送する複数のシュート
と、これらシュートに滑走通過する前記ＩＣを検知する
センサと、該センサの前記ＩＣの通過の有無信号により
移動し前記ＩＣの通過有りの該シュートから前記ＩＣを
受け取るとともにＩＣ測定部に該ＩＣを供給する分配器
とを備えるＩＣハンドリング装置である。また、前記シ
ュートの滑走経路の長さに応じて複数の前記センサが等
間隔に配置されていることが望ましい。
複数個を積載するマガジンから落し込れる前記ＩＣを自
然落下により滑走させ該ＩＣを搬送する複数のシュート
と、これらシュートに滑走通過する前記ＩＣを検知する
センサと、該センサの前記ＩＣの通過の有無信号により
移動し前記ＩＣの通過有りの該シュートから前記ＩＣを
受け取るとともにＩＣ測定部に該ＩＣを供給する分配器
とを備えるＩＣハンドリング装置である。また、前記シ
ュートの滑走経路の長さに応じて複数の前記センサが等
間隔に配置されていることが望ましい。
【００１１】前記シュートが複数の短かい短尺シュート
に分割されている場合は、分割された該短尺シュートに
前記センサを配設しかつ前記短尺シュートの間に前記分
配器を備えることが望ましい。
に分割されている場合は、分割された該短尺シュートに
前記センサを配設しかつ前記短尺シュートの間に前記分
配器を備えることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施例１について図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１３】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態におけるＩＣハンドリング装置の構成を示す正面
図および断面図である。このＩＣハンドリング装置は、
図１に示すように、マガジン１５ａと１５ｂをそれぞれ
もつローダ部とＩＣ測定部１６ａ及び１６ｂとの間に２
系統の搬送機構であるシュート１ａ及び１ｂを設けたこ
とである。また、受取り部２を２個所もつとともに受取
り部２をシュート１ａ，１ｂの下端のいずれにも位置決
めできる１基のＩＣ分配器３が２系統のプールシュート
１３ａ，１３ｂとシュート１ａ，１ｂとの間に配設され
ている。
の形態におけるＩＣハンドリング装置の構成を示す正面
図および断面図である。このＩＣハンドリング装置は、
図１に示すように、マガジン１５ａと１５ｂをそれぞれ
もつローダ部とＩＣ測定部１６ａ及び１６ｂとの間に２
系統の搬送機構であるシュート１ａ及び１ｂを設けたこ
とである。また、受取り部２を２個所もつとともに受取
り部２をシュート１ａ，１ｂの下端のいずれにも位置決
めできる１基のＩＣ分配器３が２系統のプールシュート
１３ａ，１３ｂとシュート１ａ，１ｂとの間に配設され
ている。
【００１４】ローダ部を構成する２本のＩＣマガジン１
５ａ及び１５ｂがＩＣ出口を下に向けた状態でＩＣの１
個を順送りするストッパ機構の係止部に装填され、それ
ぞれのマガジン１５ａ，１５ｂよりＩＣの１個は同時に
シュート１ａ及び１ｂに落し込まれる。それぞれのシュ
ート１ａ及び１ｂに落し込まれるＩＣ１７は、シュート
１ａ及び１ｂ内を滑走中にセンサ４ａ，４ｂに検知さ
れ、円滑にシュート１ａ，１ｂ内を滑走しているか否か
が確認される。
５ａ及び１５ｂがＩＣ出口を下に向けた状態でＩＣの１
個を順送りするストッパ機構の係止部に装填され、それ
ぞれのマガジン１５ａ，１５ｂよりＩＣの１個は同時に
シュート１ａ及び１ｂに落し込まれる。それぞれのシュ
ート１ａ及び１ｂに落し込まれるＩＣ１７は、シュート
１ａ及び１ｂ内を滑走中にセンサ４ａ，４ｂに検知さ
れ、円滑にシュート１ａ，１ｂ内を滑走しているか否か
が確認される。
【００１５】なお、センサ４ａ，４ｂの個数は、シュー
ト１ａ，１ｂの長さに応じて設けることが望ましい。こ
こでは、仮に２個をシュート１ａ，１ｂの滑走経路途中
に等間隔に配置されている。シュート１ａ，１ｂの滑走
経路途中でジャミングを起さずＩＣ１７がシュート１
ａ、１ｂの下端に到達するには、これらセンサ４ａ，４
ｂが通過したことを共に検知しなければならない。例え
ば、センサ４ａがＩＣ１７の通過を検知しても、センサ
４ｂが検知しなければ、ＩＣ１７はセンサ４ａとセンサ
４ｂとの間の滑走経路に引掛かっていることになる。ま
た、これらセンサ４ａ，４ｂは、応答速度の早い例えば
フォトセンサが適している。
ト１ａ，１ｂの長さに応じて設けることが望ましい。こ
こでは、仮に２個をシュート１ａ，１ｂの滑走経路途中
に等間隔に配置されている。シュート１ａ，１ｂの滑走
経路途中でジャミングを起さずＩＣ１７がシュート１
ａ、１ｂの下端に到達するには、これらセンサ４ａ，４
ｂが通過したことを共に検知しなければならない。例え
ば、センサ４ａがＩＣ１７の通過を検知しても、センサ
４ｂが検知しなければ、ＩＣ１７はセンサ４ａとセンサ
４ｂとの間の滑走経路に引掛かっていることになる。ま
た、これらセンサ４ａ，４ｂは、応答速度の早い例えば
フォトセンサが適している。
【００１６】ジャミングを起さずシュート１ａ，１ｂ内
を滑走するＩＣ１７は、シュート１ａ，１ｂの再下端に
到達すると、ストッパ１１により一端滑走を停止させら
れる。次に、ＩＣ１７は分配器１０に落し込まれる状態
であるが、２系統のシュート１ａ及び１ｂの双方におけ
るセンサ４ａ，４ｂの論理回路信号積が１すなわちジャ
ミングの発生がないこととＩＣ１７がシュート１ａ，１
ｂの下端にあるというセンサ７の信号により、分配器３
は停止したままで、シュート１ａ，１ｂの下端にあるス
トッパ１１が開きＩＣ１７が分配器３の受取り部２に落
し込まれ収納される。
を滑走するＩＣ１７は、シュート１ａ，１ｂの再下端に
到達すると、ストッパ１１により一端滑走を停止させら
れる。次に、ＩＣ１７は分配器１０に落し込まれる状態
であるが、２系統のシュート１ａ及び１ｂの双方におけ
るセンサ４ａ，４ｂの論理回路信号積が１すなわちジャ
ミングの発生がないこととＩＣ１７がシュート１ａ，１
ｂの下端にあるというセンサ７の信号により、分配器３
は停止したままで、シュート１ａ，１ｂの下端にあるス
トッパ１１が開きＩＣ１７が分配器３の受取り部２に落
し込まれ収納される。
【００１７】そして、測定部１６ａ，１６ｂのＩＣ１７
の測定が終了しアンロードされると、ストッパ１０が開
き、膨分配器３の受取り部２に停留するＩＣ１７は、そ
れぞれに対応するプールシュート１３ａ及び１３ｂへ落
し込まれ測定部１６ａ，１６ｂに送り込まれる。
の測定が終了しアンロードされると、ストッパ１０が開
き、膨分配器３の受取り部２に停留するＩＣ１７は、そ
れぞれに対応するプールシュート１３ａ及び１３ｂへ落
し込まれ測定部１６ａ，１６ｂに送り込まれる。
【００１８】しかしどちらか片方のシュート１ａ，１ｂ
において、センサ４ａ，４ｂがＩＣ１７の通過を検知し
ないかあるいはセンサ４ｂが検知しないと、センサ論理
回路積が０となり、シュート１ａ，１ｂ内でＩＣのジャ
ミングの発生を確認すると、ジャミングの発生したシュ
ートＩＣの流れを停止させ、ジャミングの発生したシュ
ート１ａもしくは１ｂの下端に取り付けられたセンサ７
が１Ｃ１７が無いと判定し、ＩＣの分配器３の動きを制
御する。
において、センサ４ａ，４ｂがＩＣ１７の通過を検知し
ないかあるいはセンサ４ｂが検知しないと、センサ論理
回路積が０となり、シュート１ａ，１ｂ内でＩＣのジャ
ミングの発生を確認すると、ジャミングの発生したシュ
ートＩＣの流れを停止させ、ジャミングの発生したシュ
ート１ａもしくは１ｂの下端に取り付けられたセンサ７
が１Ｃ１７が無いと判定し、ＩＣの分配器３の動きを制
御する。
【００１９】例えば、シュート１ａでジャミングが発生
したことを検出した場合は、まずＩＣ分配器３はシュー
ト１ｂから右側の受取り部２でＩＣ１７を受け取り、ジ
ャミングが発生しない通常の運転状態のときと同様にそ
の位置を変化させないままストッパ１０を解除してＩＣ
１７をプールシュート１６ｂに受け渡す。
したことを検出した場合は、まずＩＣ分配器３はシュー
ト１ｂから右側の受取り部２でＩＣ１７を受け取り、ジ
ャミングが発生しない通常の運転状態のときと同様にそ
の位置を変化させないままストッパ１０を解除してＩＣ
１７をプールシュート１６ｂに受け渡す。
【００２０】次のＩＣがシュート１ｂからＩＣの分配器
３に供給されると、分配器３は右側の受取部でＩＣ１７
を受け取った後、右側の受取部２がプールシュート１３
ａの位置に来るまで左側に位置を移動させた後に、スト
ッパ１０を解除してＩＣ１７をプールシュート１３ａに
供給する。このように分配器３がこれらの動作を繰り返
すことにより、片方のシュートがジャミングを起しても
他のシュートから２系統のプールシュート１３ａ及び１
３ｂを介して測定部１６ａ及び１６ｂにＩＣを供給する
ことができ、テスト装置の可動を維持することが可能と
なる。
３に供給されると、分配器３は右側の受取部でＩＣ１７
を受け取った後、右側の受取部２がプールシュート１３
ａの位置に来るまで左側に位置を移動させた後に、スト
ッパ１０を解除してＩＣ１７をプールシュート１３ａに
供給する。このように分配器３がこれらの動作を繰り返
すことにより、片方のシュートがジャミングを起しても
他のシュートから２系統のプールシュート１３ａ及び１
３ｂを介して測定部１６ａ及び１６ｂにＩＣを供給する
ことができ、テスト装置の可動を維持することが可能と
なる。
【００２１】図２（ａ）および（ｂ）は図１のＩＣハン
ドリング装置の変形例における構成を示す正面図および
断面図である。プールシュート１３ａ，１３ｂはシュー
ト１ａ，１ｂと比べ短く滑走経路内でのジャミング発生
が起り難いものの、同じ滑走断面を有し断面形状の違い
があり、ジャミングの発生は必ず起きる。そこで、この
ＩＣハンドリング装置では、図２に示すように、図１の
２つのシュート１ａおよび１ｂとプールシュート１３
ａ，１３ｂとの間に設けられた分配器３とは別に、プー
ルシュート１３ａ，１３ｂと測定部１６ａ，１６ｂとの
間にＩＣの分配器３ａを設けたことである。
ドリング装置の変形例における構成を示す正面図および
断面図である。プールシュート１３ａ，１３ｂはシュー
ト１ａ，１ｂと比べ短く滑走経路内でのジャミング発生
が起り難いものの、同じ滑走断面を有し断面形状の違い
があり、ジャミングの発生は必ず起きる。そこで、この
ＩＣハンドリング装置では、図２に示すように、図１の
２つのシュート１ａおよび１ｂとプールシュート１３
ａ，１３ｂとの間に設けられた分配器３とは別に、プー
ルシュート１３ａ，１３ｂと測定部１６ａ，１６ｂとの
間にＩＣの分配器３ａを設けたことである。
【００２２】また、プールシュート１３ａ，１３ｂの滑
走経路は短いので、ジャミング現象を検知するセンサ４
ｃはプールシュート１３ａ，１３ｂの滑走経路途中に１
個取り付けてある。そして、このセンサ４ｃがＩＣ１７
の通過をカウントしなければ、ジャミング現象が発生し
たと検知し、このプーシュート１３ａ及び１３ｂの下部
にある分配器３ａは、ジャミングが発生していないプー
ルシュート１３ａ，１３ｂの下端に受取り部を位置決め
させ、ストッパ１１ａの解除によりＩＣ１７を分配器３
ａが受け取り、ストッパ１０ａが開きＩＣ１７は測定部
１６ａ，１６ｂに供給される。
走経路は短いので、ジャミング現象を検知するセンサ４
ｃはプールシュート１３ａ，１３ｂの滑走経路途中に１
個取り付けてある。そして、このセンサ４ｃがＩＣ１７
の通過をカウントしなければ、ジャミング現象が発生し
たと検知し、このプーシュート１３ａ及び１３ｂの下部
にある分配器３ａは、ジャミングが発生していないプー
ルシュート１３ａ，１３ｂの下端に受取り部を位置決め
させ、ストッパ１１ａの解除によりＩＣ１７を分配器３
ａが受け取り、ストッパ１０ａが開きＩＣ１７は測定部
１６ａ，１６ｂに供給される。
【００２３】このように下段シュートであるプールシュ
ート１３ａ，１３ｂ側にも、バッファ供給部である分配
器３ａを設ければ、この２系統のシュートもつＩＣ供給
機構は、ジャミングを起しも円滑にＩＣを測定部に供給
できる。勿論、このＩＣ供給機構は、シュートが３でも
４でも複数のシュート系統に適用できることは言うまで
もない。
ート１３ａ，１３ｂ側にも、バッファ供給部である分配
器３ａを設ければ、この２系統のシュートもつＩＣ供給
機構は、ジャミングを起しも円滑にＩＣを測定部に供給
できる。勿論、このＩＣ供給機構は、シュートが３でも
４でも複数のシュート系統に適用できることは言うまで
もない。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ＩＣの複
数個を積載する複数のマガジンからＩＣを受け取りＩＣ
を自然落下により滑走させるシュートと、シュート内を
滑走するＩＣの通過を検知する手段と、通過したＩＣを
受け取るようにＩＣが通過したシュートの位置に移動し
ＩＣの受取りを行なう分配器とを設けることによって、
シュートのいずれかにジャミングが発生しても正常な別
のシュートからＩＣ測定部にＩＣを供給できるので、装
置を停止することなく装置の稼働を維持でき、その結
果、高価なテスタの稼働損が無くなるという効果があ
る。
数個を積載する複数のマガジンからＩＣを受け取りＩＣ
を自然落下により滑走させるシュートと、シュート内を
滑走するＩＣの通過を検知する手段と、通過したＩＣを
受け取るようにＩＣが通過したシュートの位置に移動し
ＩＣの受取りを行なう分配器とを設けることによって、
シュートのいずれかにジャミングが発生しても正常な別
のシュートからＩＣ測定部にＩＣを供給できるので、装
置を停止することなく装置の稼働を維持でき、その結
果、高価なテスタの稼働損が無くなるという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施の形態におけるＩＣハンドリン
グ装置の構成を示す正面図および断面図である。
グ装置の構成を示す正面図および断面図である。
【図２】図１のＩＣハンドリング装置の変形例における
構成を示す正面図および断面図である。
構成を示す正面図および断面図である。
【図３】従来の一例におけるＩＣハンドリング装置を示
す正面図および断面図である。
す正面図および断面図である。
１ａ，１ｂ，１４ シュート ２ 受取り部 ３，３ａ，１２ 分配器 ４ａ，４ｂ，４ｃ，７ センサ ８，９，１０，１０ａ，１１，１１ａ ストッパ １３ａ，１３ｂ プールシュート １５，１５ａ，１５ｂ マガジン １６ａ，１６ｂ 測定部 １７ ＩＣ
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣの複数個を積載するマガジンから落
し込れる前記ＩＣを自然落下により滑走させ該ＩＣを搬
送する複数のシュートと、これらシュートに滑走通過す
る前記ＩＣを検知するセンサと、該センサの前記ＩＣの
通過の有無信号により移動し前記ＩＣの通過有りの該シ
ュートから前記ＩＣを受け取るとともにＩＣ測定部に該
ＩＣを供給する分配器とを備えることを特徴とするＩＣ
ハンドリング装置。 - 【請求項２】 前記シュートの滑走経路の長さに応じて
複数の前記センサが等間隔に配置されていることを特徴
とする請求項１記載のＩＣハンドリング装置。 - 【請求項３】 前記シュートが複数の短かい短尺シュー
トに分割されているとともに分割された該短尺シュート
に前記センサが配設されかつ前記短尺シュートの間に前
記分配器が備えられていることを特徴とする請求項１お
よび請求項２記載のＩＣハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272146A JP2937142B2 (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | Ｉｃハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272146A JP2937142B2 (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | Ｉｃハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10115660A JPH10115660A (ja) | 1998-05-06 |
| JP2937142B2 true JP2937142B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=17509733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8272146A Expired - Lifetime JP2937142B2 (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | Ｉｃハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2937142B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100579693B1 (ko) | 2000-01-31 | 2006-05-15 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 부품 포장용 스틱 공급장치 |
| KR100390850B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2003-07-10 | 한국 고덴시 주식회사 | 핸들러의 디바이스 감지 제어 장치 |
-
1996
- 1996-10-15 JP JP8272146A patent/JP2937142B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10115660A (ja) | 1998-05-06 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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