JP2932415B2 - 微粒子検出器のノズル製造方法 - Google Patents
微粒子検出器のノズル製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、微粒子検出器に使用
される噴射ノズルおよび排出ノズルの製造方法に関す
る。
される噴射ノズルおよび排出ノズルの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームなどに浮遊する塵埃など
の微粒子は微粒子検出器により検出され、その清浄度が
管理されている。図２は微粒子検出器の検出セルの断面
を示し、検出セル１は筐体ブロック11と、噴射ノズル12
および排出ノズル13、レーザ発振器14などにより構成さ
れる。筐体ブロック11には、図示のように中心部に球形
の空間111 が、上下および左右方向に円形の貫通孔112,
113 がそれぞれ形成されている。上側の貫通孔112 に噴
射ノズル12が、下側の貫通孔112 に排出ノズル13がそれ
ぞれ嵌入され、フランジ12a,13a により筐体ブロック11
に固定され、両ノズルの先端はギャップＧをなして対向
している。一方、左右方向の貫通孔113 には、右端のレ
ーザ管141 と左端の外部ミラー142 よりなるレーザ発振
器14が設けられ、これが発振するレーザビームＬがギャ
ップＧを通過して検出領域Ｋが構成される。噴射ノズル
12にサンプルエアＳA を供給し、検出領域Ｋに噴射して
レーザビームＬに直交させると、これに含まれている微
粒子がレーザビームＬを散乱させ、この散乱光を図示し
ない受光器に受光して微粒子が検出される。噴射された
サンプルエアＳA は排出ノズル13により外部に排出され
る。
の微粒子は微粒子検出器により検出され、その清浄度が
管理されている。図２は微粒子検出器の検出セルの断面
を示し、検出セル１は筐体ブロック11と、噴射ノズル12
および排出ノズル13、レーザ発振器14などにより構成さ
れる。筐体ブロック11には、図示のように中心部に球形
の空間111 が、上下および左右方向に円形の貫通孔112,
113 がそれぞれ形成されている。上側の貫通孔112 に噴
射ノズル12が、下側の貫通孔112 に排出ノズル13がそれ
ぞれ嵌入され、フランジ12a,13a により筐体ブロック11
に固定され、両ノズルの先端はギャップＧをなして対向
している。一方、左右方向の貫通孔113 には、右端のレ
ーザ管141 と左端の外部ミラー142 よりなるレーザ発振
器14が設けられ、これが発振するレーザビームＬがギャ
ップＧを通過して検出領域Ｋが構成される。噴射ノズル
12にサンプルエアＳA を供給し、検出領域Ｋに噴射して
レーザビームＬに直交させると、これに含まれている微
粒子がレーザビームＬを散乱させ、この散乱光を図示し
ない受光器に受光して微粒子が検出される。噴射された
サンプルエアＳA は排出ノズル13により外部に排出され
る。
【０００３】図３(a) は噴射ノズル12（排出ノズル13も
同じ) の外観を示し、円筒部121 と傾斜部122 よりな
り、傾斜部123 の上部の円筒部122 に接続される部分は
円形であるが、先端122aは漸次絞り込まれてほぼ矩形の
噴射孔122bが形成されている。図３(b) は噴射孔122bと
レーザビームＬの位置関係を示し、噴射孔122bの断面は
両端が半円形の矩形をなし、その縦方向をレーザビーム
Ｌの方向に一致させてあり、これより噴射されるサンプ
ルエアＳA はレーザビームＬに直交し、同じ形状の排出
ノズル13により外部へ排出される。レーザビームＬの直
径φは約１ｍｍ、傾斜部123 の長さｈは１２ｍｍとされ
ており、噴射孔122bの寸法は、(c) に示すように、縦寸
法ｗが１２ｍｍ、横寸法ｔが０．４ｍｍである。なお、
噴射孔122bを矩形とする理由は、検出領域Ｋを大きくと
ってサンプルエアＳA の流量を増すためである。
同じ) の外観を示し、円筒部121 と傾斜部122 よりな
り、傾斜部123 の上部の円筒部122 に接続される部分は
円形であるが、先端122aは漸次絞り込まれてほぼ矩形の
噴射孔122bが形成されている。図３(b) は噴射孔122bと
レーザビームＬの位置関係を示し、噴射孔122bの断面は
両端が半円形の矩形をなし、その縦方向をレーザビーム
Ｌの方向に一致させてあり、これより噴射されるサンプ
ルエアＳA はレーザビームＬに直交し、同じ形状の排出
ノズル13により外部へ排出される。レーザビームＬの直
径φは約１ｍｍ、傾斜部123 の長さｈは１２ｍｍとされ
ており、噴射孔122bの寸法は、(c) に示すように、縦寸
法ｗが１２ｍｍ、横寸法ｔが０．４ｍｍである。なお、
噴射孔122bを矩形とする理由は、検出領域Ｋを大きくと
ってサンプルエアＳA の流量を増すためである。
【０００４】上記の各ノズルは小型であり、特に傾斜部
123aの内面は形状が単純でなく寸法が微小なため、切削
加工により形成することが困難であり、従来は放電加工
にワイヤカット加工を併用して形成されている。しかし
寸法精度が不正確で、平滑度が良好に仕上げられない。
これらが不良のときは、サンプルエアＳA の流量が規定
値と異なり、かつ乱流が発生して測定精度に悪影響を及
ぼす。また放電とワイヤカット加工費用及び平滑にラッ
プ加工するにはかなり高額であるなど欠点が多い。この
ような欠点のないノズル形成手段が望まれている。
123aの内面は形状が単純でなく寸法が微小なため、切削
加工により形成することが困難であり、従来は放電加工
にワイヤカット加工を併用して形成されている。しかし
寸法精度が不正確で、平滑度が良好に仕上げられない。
これらが不良のときは、サンプルエアＳA の流量が規定
値と異なり、かつ乱流が発生して測定精度に悪影響を及
ぼす。また放電とワイヤカット加工費用及び平滑にラッ
プ加工するにはかなり高額であるなど欠点が多い。この
ような欠点のないノズル形成手段が望まれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、小型で複雑な形
状の物体、例えば歯科医の歯型の形成手段として電鋳法
が行われており、これによれば上記の欠点が解消され、
ノズルの製造方法として適切ではないかと考えられ、こ
れを試行したところノズルが高精度で形成できるととも
に、製造費用を大幅に節減できることが判明した。な
お、電鋳法は電気メッキ法と類似のものであるが、メッ
キ法は金属を被メッキ物に固着させるものであるに対し
て、電鋳法は鋳型コアに鋳造された鋳造物を剥離または
分離できることが相違点である。ただし、微粒子検出器
のノズルの場合は、同一ノズルが多数必要であるので、
鋳型コアは繰り返して再使用できる材質とすることが条
件である。この発明は上記の条件を満たす電鋳法によ
り、微粒子検出器のノズルを高精度に製造する方法を提
供することを目的とする。
状の物体、例えば歯科医の歯型の形成手段として電鋳法
が行われており、これによれば上記の欠点が解消され、
ノズルの製造方法として適切ではないかと考えられ、こ
れを試行したところノズルが高精度で形成できるととも
に、製造費用を大幅に節減できることが判明した。な
お、電鋳法は電気メッキ法と類似のものであるが、メッ
キ法は金属を被メッキ物に固着させるものであるに対し
て、電鋳法は鋳型コアに鋳造された鋳造物を剥離または
分離できることが相違点である。ただし、微粒子検出器
のノズルの場合は、同一ノズルが多数必要であるので、
鋳型コアは繰り返して再使用できる材質とすることが条
件である。この発明は上記の条件を満たす電鋳法によ
り、微粒子検出器のノズルを高精度に製造する方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は微粒子検出器
のノズルの製造方法であって、ステンレス鋼を素材と
し、その切削加工と研磨，ラップ加工により、噴射ノズ
ルまたは排出ノズルの内面と同一の形状寸法を有し、表
面が鏡面をなす鋳型コアを形成する。この鋳型コアを電
鋳槽の電解液に浸漬し、鋳型コアを陰極、ニッケルを陽
極として所定の電圧を印加する電鋳法により、鋳型コア
の表面にニッケルを所定の厚さに成長させて上記ノズル
のベース殻を鋳造する。鋳型コアとともにベース殻を電
鋳槽より引き上げて適当な温度に加熱する。加熱により
熱膨張したベース殻を鋳型コアより抜き取って、その外
面を切削加工し、さらに黒化処理加工するものである。
上記において、鋳型コアの素材のステンレス鋼は、マル
テンサイト系のＳＵＳ４２０Ｊ−２とし、電解液はスル
ファミン酸ニッケル水溶液とする。上記において、ベー
ス殻が抜き取られた鋳型コアは再使用する。
のノズルの製造方法であって、ステンレス鋼を素材と
し、その切削加工と研磨，ラップ加工により、噴射ノズ
ルまたは排出ノズルの内面と同一の形状寸法を有し、表
面が鏡面をなす鋳型コアを形成する。この鋳型コアを電
鋳槽の電解液に浸漬し、鋳型コアを陰極、ニッケルを陽
極として所定の電圧を印加する電鋳法により、鋳型コア
の表面にニッケルを所定の厚さに成長させて上記ノズル
のベース殻を鋳造する。鋳型コアとともにベース殻を電
鋳槽より引き上げて適当な温度に加熱する。加熱により
熱膨張したベース殻を鋳型コアより抜き取って、その外
面を切削加工し、さらに黒化処理加工するものである。
上記において、鋳型コアの素材のステンレス鋼は、マル
テンサイト系のＳＵＳ４２０Ｊ−２とし、電解液はスル
ファミン酸ニッケル水溶液とする。上記において、ベー
ス殻が抜き取られた鋳型コアは再使用する。
【０００７】
【作用】上記のノズル製造方法においては、素材のステ
ンレス鋼が切削・研磨，ラップ加工されて、各ノズルの
内面と同一の形状寸法を有し、表面が鏡面をなす鋳型コ
アが形成される。鋳型コアを電鋳槽の電解液に浸漬し、
これを陰極、ニッケルを陽極として所定の電圧を印加す
ると、鋳型コアの表面にニッケルが漸次付着し、これが
所定の厚さとなるとノズルのベース殻が鋳造される。こ
れらを電鋳槽より引き上げて水洗した後、適当な温度に
加熱すると、ベース殻が熱膨張して鋳型コアより抜き取
ることができる。抜き取ったベース殻の内面には、鋳型
コアの形状寸法と鏡面をなす表面がそのまま転写され
る。このベース殻の外面を切削加工と黒化処理して噴射
ノズルまたは排出ノズルができあがる。上記のＳＵＳ４
２０Ｊ−２のステンレス鋼は、切削性ラップ性が良好で
ピンホールが少ないため鋳型コアの形成に適し、また鋳
造された殻のニッケルがこれに固着せず、しかもニッケ
ルのほうが熱膨張率が大きいので、加熱によりベース殻
を抜き取ることができる。また、スルファミン酸ニッケ
ル水溶液の電解液は、ステンレス鋼とニッケルを腐食せ
ず、適切なイオン電離度を有するので、この場合のベー
ス殻の鋳造に適するものである。また、ベース殻が抜き
取られた鋳型コアは再使用されるので、多数のノズルの
製造には有利である。
ンレス鋼が切削・研磨，ラップ加工されて、各ノズルの
内面と同一の形状寸法を有し、表面が鏡面をなす鋳型コ
アが形成される。鋳型コアを電鋳槽の電解液に浸漬し、
これを陰極、ニッケルを陽極として所定の電圧を印加す
ると、鋳型コアの表面にニッケルが漸次付着し、これが
所定の厚さとなるとノズルのベース殻が鋳造される。こ
れらを電鋳槽より引き上げて水洗した後、適当な温度に
加熱すると、ベース殻が熱膨張して鋳型コアより抜き取
ることができる。抜き取ったベース殻の内面には、鋳型
コアの形状寸法と鏡面をなす表面がそのまま転写され
る。このベース殻の外面を切削加工と黒化処理して噴射
ノズルまたは排出ノズルができあがる。上記のＳＵＳ４
２０Ｊ−２のステンレス鋼は、切削性ラップ性が良好で
ピンホールが少ないため鋳型コアの形成に適し、また鋳
造された殻のニッケルがこれに固着せず、しかもニッケ
ルのほうが熱膨張率が大きいので、加熱によりベース殻
を抜き取ることができる。また、スルファミン酸ニッケ
ル水溶液の電解液は、ステンレス鋼とニッケルを腐食せ
ず、適切なイオン電離度を有するので、この場合のベー
ス殻の鋳造に適するものである。また、ベース殻が抜き
取られた鋳型コアは再使用されるので、多数のノズルの
製造には有利である。
【０００８】
【実施例】図１(a) 〜(d) は、この発明による微粒子検
出器のノズル製造方法の手順を示す。(a) は噴射ノズル
12または排出ノズル13に対する鋳型コア２を示し、鋳型
コア２は、ＳＵＳ４２０Ｊ−２のステンレス鋼を素材と
し、切削加工等により各ノズルの内面とほぼ同一形状寸
法に形成し、その表面を研磨ラップして鏡面に仕上げ
る。ただし、鋳型コア２の円筒部21（前記した図３(a)
の円筒部121 に相当する) には僅かな角度δθの抜テー
パーを付け、該ベース殻を抜きやすくしてある。またそ
の上部に適当な直径のフランジ22を設ける。なお素材の
ＳＵＳ４２０Ｊ−２には、熱処理などにより切削性が改
良されたものがあり、これを使用することが好ましい。
図１(b) は電鋳槽３の概略の構成を示し、容器31の内部
にはスルファミン酸ニッケル水溶液の電解液32が適当な
高さに満たしてあり、この中に純ニッケルのペレットの
電極33が陽極として配置されている。電鋳作業において
は、鋳型コア２を電解液32に浸漬し、これを陰極として
電極33との間に所定の電圧Ｅを印加すると、電極33の純
ニッケルが鋳型コア２の表面に漸次付着する。一定時間
経過するとニッケル層が所定の厚さまで成長し、(c)に
示すベース殻４が鋳造され、これらを引き上げて例えば
４０Ｃ°に加熱すると、ベース殻４は熱膨張して鋳型コ
ア２より抜き取ることができる。抜き取られたベース殻
４を水洗した後、その外面を切削しこれに筐体ブロック
11に固定するために(d) に示すように上端にフランジ12
a ，13a が焼嵌めされた後黒化処理をすると噴射ノズル
12と排出ノズル13ができあがる。残った鋳型コア２は再
使用される。ここで付言すると、電鋳法には各種の方式
があり、鋳型コアの素材としてアルミニュームなどを使
用し、鋳造後、硫酸などの処理液でこれを溶解してベー
ス殻を分離するものがあるが、この方式では鋳型コアを
再使用することができない。単品の製造には差し支えな
いが、微粒子検出器を多数生産する場合は、同一のノズ
ルが多数必要であるため、この発明においては、上記の
ように熱膨張によりベース殻を引き抜く方式とし、鋳型
コアの再使用を可能とするものである。上記により鋳造
された各ノズルの内面は、鋳型コア２と形状寸法が正確
に同一で、平滑度が良好な鏡面であり、サンプルエアＳ
A の流量が規定値となるとともに乱流が発生せず、微粒
子検出作用が良好になされることが確認されており、ま
た製造費用は従来の方式に比較してほぼ１／３に節減さ
れている。
出器のノズル製造方法の手順を示す。(a) は噴射ノズル
12または排出ノズル13に対する鋳型コア２を示し、鋳型
コア２は、ＳＵＳ４２０Ｊ−２のステンレス鋼を素材と
し、切削加工等により各ノズルの内面とほぼ同一形状寸
法に形成し、その表面を研磨ラップして鏡面に仕上げ
る。ただし、鋳型コア２の円筒部21（前記した図３(a)
の円筒部121 に相当する) には僅かな角度δθの抜テー
パーを付け、該ベース殻を抜きやすくしてある。またそ
の上部に適当な直径のフランジ22を設ける。なお素材の
ＳＵＳ４２０Ｊ−２には、熱処理などにより切削性が改
良されたものがあり、これを使用することが好ましい。
図１(b) は電鋳槽３の概略の構成を示し、容器31の内部
にはスルファミン酸ニッケル水溶液の電解液32が適当な
高さに満たしてあり、この中に純ニッケルのペレットの
電極33が陽極として配置されている。電鋳作業において
は、鋳型コア２を電解液32に浸漬し、これを陰極として
電極33との間に所定の電圧Ｅを印加すると、電極33の純
ニッケルが鋳型コア２の表面に漸次付着する。一定時間
経過するとニッケル層が所定の厚さまで成長し、(c)に
示すベース殻４が鋳造され、これらを引き上げて例えば
４０Ｃ°に加熱すると、ベース殻４は熱膨張して鋳型コ
ア２より抜き取ることができる。抜き取られたベース殻
４を水洗した後、その外面を切削しこれに筐体ブロック
11に固定するために(d) に示すように上端にフランジ12
a ，13a が焼嵌めされた後黒化処理をすると噴射ノズル
12と排出ノズル13ができあがる。残った鋳型コア２は再
使用される。ここで付言すると、電鋳法には各種の方式
があり、鋳型コアの素材としてアルミニュームなどを使
用し、鋳造後、硫酸などの処理液でこれを溶解してベー
ス殻を分離するものがあるが、この方式では鋳型コアを
再使用することができない。単品の製造には差し支えな
いが、微粒子検出器を多数生産する場合は、同一のノズ
ルが多数必要であるため、この発明においては、上記の
ように熱膨張によりベース殻を引き抜く方式とし、鋳型
コアの再使用を可能とするものである。上記により鋳造
された各ノズルの内面は、鋳型コア２と形状寸法が正確
に同一で、平滑度が良好な鏡面であり、サンプルエアＳ
A の流量が規定値となるとともに乱流が発生せず、微粒
子検出作用が良好になされることが確認されており、ま
た製造費用は従来の方式に比較してほぼ１／３に節減さ
れている。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のノズル
製造方法においては、微粒子検出器に使用する噴射ノズ
ルと排出ノズルが、鋳型コアを介して電鋳法により高精
度で製造され、さらに鋳型コアはそのまま再使用できる
など、微粒子検出器のノズルの製造に寄与するところに
は大きいものがある。
製造方法においては、微粒子検出器に使用する噴射ノズ
ルと排出ノズルが、鋳型コアを介して電鋳法により高精
度で製造され、さらに鋳型コアはそのまま再使用できる
など、微粒子検出器のノズルの製造に寄与するところに
は大きいものがある。
【図１】 この発明による微粒子検出器のノズル製造方
法の手順を示し、(a) は鋳型コア２の外観図、(b) は電
鋳槽３の概略構成図、(c) はノズルに対するベース殻４
の外観図、(d) は完成した噴射ノズル12または排出ノズ
ル13の外観図である。
法の手順を示し、(a) は鋳型コア２の外観図、(b) は電
鋳槽３の概略構成図、(c) はノズルに対するベース殻４
の外観図、(d) は完成した噴射ノズル12または排出ノズ
ル13の外観図である。
【図２】 微粒子検出器の検出セル１の断面図である。
【図３】 (a) は噴射ノズル12の外観図、(b) は各ノズ
ルの先端部とレーザビームＬの位置関係図、(c) は噴射
孔123bの寸法図である。
ルの先端部とレーザビームＬの位置関係図、(c) は噴射
孔123bの寸法図である。
１…微粒子検出器の検出セル、11…筐体ブロック、111
…球形の空間、112 …上下方向の貫通孔、113 …左右方
向の貫通孔、12…噴射ノズル、121 …円筒部、122 …傾
斜部、122a…先端、122b…噴射孔、13…排出ノズル、12
a,13a …フランジ、２…鋳型コア、21…円筒部、22…フ
ランジ、３…電鋳槽、31…容器、32…電解液、33…ニッ
ケル電極、４…ベース殻、Ｇ…ギャップ、Ｌ…レーザビ
ーム、Ｋ…検出領域、ｈ…傾斜部の長さ、ｗ…噴射孔の
縦寸法、ｔ…噴射孔の横寸法、Ｅ…電圧。
…球形の空間、112 …上下方向の貫通孔、113 …左右方
向の貫通孔、12…噴射ノズル、121 …円筒部、122 …傾
斜部、122a…先端、122b…噴射孔、13…排出ノズル、12
a,13a …フランジ、２…鋳型コア、21…円筒部、22…フ
ランジ、３…電鋳槽、31…容器、32…電解液、33…ニッ
ケル電極、４…ベース殻、Ｇ…ギャップ、Ｌ…レーザビ
ーム、Ｋ…検出領域、ｈ…傾斜部の長さ、ｗ…噴射孔の
縦寸法、ｔ…噴射孔の横寸法、Ｅ…電圧。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−259093（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−268893（ＪＰ，Ａ) 特許41435（ＪＰ，Ｃ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C25D 1/02 C25D 1/20 G01N 15/14
Claims (3)
- 【請求項１】 微粒子検出器の検出セルに設けられ、該
検出セル内にサンプルエアを噴射する噴射ノズル、およ
び該噴射されたサンプルエアを排出する排出ノズルにお
いて、ステンレス鋼を素材とし、その切削加工と研磨，
ラップ加工により、該噴射ノズルまたは排出ノズルの内
面と同一の形状寸法を有し、表面が鏡面をなす鋳型コア
を形成し、該鋳型コアを電鋳槽の電解液に浸漬し、該鋳
型コアを陰極、ニッケルを陽極として所定の電圧を印加
する電鋳法により、該鋳型コアの表面にニッケルを所定
の厚さに成長させて前記ノズルのベース殻を鋳造し、該
鋳型コアとともに該ベース殻を上該電鋳槽より引き上げ
て適当な温度に加熱し、該加熱により熱膨張した該ベー
ス殻を前記鋳型コアより抜き取って、その外面を切削加
工し、かつ黒化処理加工することを特徴とする、微粒子
検出器のノズル製造方法。 - 【請求項２】 前記鋳型コアの素材のステンレス鋼は、
マルテンサイト系のＳＵＳ４２０Ｊ−２とし、前記電解
液はスルファミン酸ニッケル水溶液とすることを特徴と
する、請求項１記載の微粒子検出器のノズル製造方法。 - 【請求項３】 前記ベース殻が抜き取られた前記鋳型コ
アを、再使用することを特徴とする、請求項１または２
記載の微粒子検出器のノズル製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005993A JP2932415B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 微粒子検出器のノズル製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005993A JP2932415B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 微粒子検出器のノズル製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06240488A JPH06240488A (ja) | 1994-08-30 |
| JP2932415B2 true JP2932415B2 (ja) | 1999-08-09 |
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ID=12848434
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5005993A Expired - Fee Related JP2932415B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 微粒子検出器のノズル製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2932415B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10363061B2 (en) | 2002-10-25 | 2019-07-30 | Hydrocision, Inc. | Nozzle assemblies for liquid jet surgical instruments and surgical instruments for employing the nozzle assemblies |
| US8162966B2 (en) * | 2002-10-25 | 2012-04-24 | Hydrocision, Inc. | Surgical devices incorporating liquid jet assisted tissue manipulation and methods for their use |
| JP4833682B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2011-12-07 | 東京特殊電線株式会社 | 横照射型レーザーチップの製造方法および横照射型レーザーチップ |
| CN102878970B (zh) * | 2012-09-17 | 2015-08-05 | 晟扬精密模具（昆山）有限公司 | 模仁电极检测治具 |
| KR101748314B1 (ko) * | 2013-03-14 | 2017-06-16 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 물질을 검출하기 위한 디바이스 및 이러한 디바이스를 제조하는 방법 |
| US10520441B2 (en) | 2013-03-14 | 2019-12-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Devices to detect a substance and methods of producing such a device |
-
1993
- 1993-02-16 JP JP5005993A patent/JP2932415B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06240488A (ja) | 1994-08-30 |
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