JP2921310B2 - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2921310B2 JP2921310B2 JP4335030A JP33503092A JP2921310B2 JP 2921310 B2 JP2921310 B2 JP 2921310B2 JP 4335030 A JP4335030 A JP 4335030A JP 33503092 A JP33503092 A JP 33503092A JP 2921310 B2 JP2921310 B2 JP 2921310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- layer
- adhesive
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電アクチュエータ
に関し、詳しくは、圧電体層の両面に電極（内部電極）
を配設してなる圧電アクチュエータ素子を接着剤で接着
することにより、複数枚の圧電アクチュエータ素子を積
層してなる積層型圧電アクチュエータに関する。
に関し、詳しくは、圧電体層の両面に電極（内部電極）
を配設してなる圧電アクチュエータ素子を接着剤で接着
することにより、複数枚の圧電アクチュエータ素子を積
層してなる積層型圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】図１
は、積層型圧電アクチュエータの一例を示す図であり、
（ａ）は平面断面図、（ｂ）は側面図である。また、図
２は、その要部拡大断面図である。
は、積層型圧電アクチュエータの一例を示す図であり、
（ａ）は平面断面図、（ｂ）は側面図である。また、図
２は、その要部拡大断面図である。
【０００３】この積層型圧電アクチュエータは、図１，
図２に示すように、圧電セラミックスからなる圧電体層
１の両主面に電極（内部電極）２を配設してなる圧電ア
クチュエータ素子３（図２）を接着剤４で接着して複数
枚の圧電アクチュエータ素子３を積層することにより形
成されている。なお、各圧電アクチュエータ素子３にお
いて、圧電体層１の両主面に配設された内部電極２は互
に異なる側の端部に引き出されている。
図２に示すように、圧電セラミックスからなる圧電体層
１の両主面に電極（内部電極）２を配設してなる圧電ア
クチュエータ素子３（図２）を接着剤４で接着して複数
枚の圧電アクチュエータ素子３を積層することにより形
成されている。なお、各圧電アクチュエータ素子３にお
いて、圧電体層１の両主面に配設された内部電極２は互
に異なる側の端部に引き出されている。
【０００４】また、圧電アクチュエータ素子３を積層し
た積層体５の相対向する側面（内部電極２が引き出され
た方の側面）には外部薄膜電極６が形成されている。さ
らに、外部薄膜電極６の上には金属薄板７が配設されて
おり、この金属薄板７にはリード線８が接続されてい
る。また、このようにして形成された積層体５は、その
側面全体が外装用のコーティング剤９によりコーティン
グされている。
た積層体５の相対向する側面（内部電極２が引き出され
た方の側面）には外部薄膜電極６が形成されている。さ
らに、外部薄膜電極６の上には金属薄板７が配設されて
おり、この金属薄板７にはリード線８が接続されてい
る。また、このようにして形成された積層体５は、その
側面全体が外装用のコーティング剤９によりコーティン
グされている。
【０００５】そして、上記のように構成された積層型圧
電アクチュエータにおいては、各圧電アクチュエータ素
子３の内部電極２が互に異なる側の端部に引き出されて
おり、圧電体層１の中央部で内部電極２が対向している
ため、内部電極２に電圧を印加すると、主として、積層
体５の両側の端部１０を除いた中央部１１が伸縮（変
位）する。
電アクチュエータにおいては、各圧電アクチュエータ素
子３の内部電極２が互に異なる側の端部に引き出されて
おり、圧電体層１の中央部で内部電極２が対向している
ため、内部電極２に電圧を印加すると、主として、積層
体５の両側の端部１０を除いた中央部１１が伸縮（変
位）する。
【０００６】そのため、伸縮（変位）する中央部１１と
伸縮（変位）しない端部１０との境界部に応力が加わ
り、圧電体層１にクラック１ａが発生して絶縁不良を引
き起こすという問題点がある。
伸縮（変位）しない端部１０との境界部に応力が加わ
り、圧電体層１にクラック１ａが発生して絶縁不良を引
き起こすという問題点がある。
【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、圧電体層にクラックが発生することを防止して、
絶縁不良による故障の発生しない積層型圧電アクチュエ
ータを提供することを目的とする。
あり、圧電体層にクラックが発生することを防止して、
絶縁不良による故障の発生しない積層型圧電アクチュエ
ータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電アクチュエータは、圧電セラ
ミックスからなる圧電体層の両面に、主としてその中央
部において、圧電体層を介して互いに対向するように電
極を配設してなる圧電アクチュエータ素子を接着剤で接
着することにより、複数枚の圧電アクチュエータ素子を
積層してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、 （ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４×１０-11・ＴC ……（ａ） 但し、ＴA：接着剤層一層の厚み（ｍ） ＹA：接着剤層のヤング率（Ｎ／ｍ2） ＴC：圧電体層一層の厚み（ｍ） ＹC：圧電体層のヤング率（Ｎ／ｍ2） の関係を満たすことを特徴とする。
に、この発明の積層型圧電アクチュエータは、圧電セラ
ミックスからなる圧電体層の両面に、主としてその中央
部において、圧電体層を介して互いに対向するように電
極を配設してなる圧電アクチュエータ素子を接着剤で接
着することにより、複数枚の圧電アクチュエータ素子を
積層してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、 （ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４×１０-11・ＴC ……（ａ） 但し、ＴA：接着剤層一層の厚み（ｍ） ＹA：接着剤層のヤング率（Ｎ／ｍ2） ＴC：圧電体層一層の厚み（ｍ） ＹC：圧電体層のヤング率（Ｎ／ｍ2） の関係を満たすことを特徴とする。
【０００９】すなわち、この発明は、以下に説明するよ
うなモデルを想定して、種々検討を行うことにより完成
されたものである。
うなモデルを想定して、種々検討を行うことにより完成
されたものである。
【００１０】例えば、圧電セラミックスからなる圧電体
層と接着剤層がそれぞれ一層のモデルを考えた場合、図
３に示すようなモデルとして扱うことができる。なお、
理解を容易にするため、図４に要部拡大断面図を示すよ
うな積層型圧電アクチュエータの各部を参照しつつ説明
を行う。
層と接着剤層がそれぞれ一層のモデルを考えた場合、図
３に示すようなモデルとして扱うことができる。なお、
理解を容易にするため、図４に要部拡大断面図を示すよ
うな積層型圧電アクチュエータの各部を参照しつつ説明
を行う。
【００１１】すなわち、図３に示すモデルにおいては、
圧電体層と接着剤層の両層を合わせた変位δ（ｍ）は次
の式により表される。 δ＝ｄ33・Ｖ …… 但し、 ｄ33：圧電定数（ｍ／Ｖ） Ｖ：印加電圧（Ｖ）
圧電体層と接着剤層の両層を合わせた変位δ（ｍ）は次
の式により表される。 δ＝ｄ33・Ｖ …… 但し、 ｄ33：圧電定数（ｍ／Ｖ） Ｖ：印加電圧（Ｖ）
【００１２】そして、上記モデルのギャップ面積、すな
わち、図４の積層型圧電アクチュエータにおける、一つ
の圧電アクチュエータ素子３の端部１０，１０の面積を
Ｓ（ｍ2）、圧電体層１及び接着剤層４のばね定数をそ
れぞれＫC，ＫA（Ｎ／ｍ）とすると、 ＫC＝（ＹC・Ｓ）／ＴC …… ＫA＝（ＹA・Ｓ）／ＴA …… となる。
わち、図４の積層型圧電アクチュエータにおける、一つ
の圧電アクチュエータ素子３の端部１０，１０の面積を
Ｓ（ｍ2）、圧電体層１及び接着剤層４のばね定数をそ
れぞれＫC，ＫA（Ｎ／ｍ）とすると、 ＫC＝（ＹC・Ｓ）／ＴC …… ＫA＝（ＹA・Ｓ）／ＴA …… となる。
【００１３】また、引張力をＦ（Ｎ）とすると、 δ ＝δC＋δA …… δC＝Ｆ／ＫC …… δA＝Ｆ／ＫA …… となる。
【００１４】そこで、，，，をに代入する
と、 δ＝｛（ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）｝・（Ｆ／Ｓ） …… となる。
と、 δ＝｛（ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）｝・（Ｆ／Ｓ） …… となる。
【００１５】また、応力Ｔは、Ｔ＝Ｆ／Ｓ（Ｎ／ｍ2）
及び式より、 Ｔ＝δ／｛（ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）｝ …… となる。
及び式より、 Ｔ＝δ／｛（ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）｝ …… となる。
【００１６】δはひずみであるため、ＴCに比例する。
したがって、式を変形すると、 （ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）＝δ／Ｔ＝ＫＴC …… となる。
したがって、式を変形すると、 （ＴC／ＹC）＋（ＴA／ＹA）＝δ／Ｔ＝ＫＴC …… となる。
【００１７】そこで、この式から接着剤として好まし
い条件を種々検討することにより上記の式（ａ）で表さ
れる条件を見出した。
い条件を種々検討することにより上記の式（ａ）で表さ
れる条件を見出した。
【００１８】すなわち、上記の式（ａ）： （ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４×１０-11・ＴC の条件を満たす接着剤を用いて圧電アクチュエータ素子
を接着、積層することにより、内部電極２，２（図４）
間に電圧を印加した場合に、積層体５の両端部１０を除
いた中央部１１が伸縮（変位）するように構成された積
層型圧電アクチュエータにおいても、伸縮（変位）する
中央部１１と伸縮（変位）しない両端部１０との境界部
におけるクラックの発生を防止して、絶縁不良による故
障の発生を抑制することができる。
を接着、積層することにより、内部電極２，２（図４）
間に電圧を印加した場合に、積層体５の両端部１０を除
いた中央部１１が伸縮（変位）するように構成された積
層型圧電アクチュエータにおいても、伸縮（変位）する
中央部１１と伸縮（変位）しない両端部１０との境界部
におけるクラックの発生を防止して、絶縁不良による故
障の発生を抑制することができる。
【００１９】
【実施例】以下、この発明の実施例を示してその特徴を
さらに詳しく説明する。
さらに詳しく説明する。
【００２０】実施例１ 厚み１５０μm、ヤング率５．３×１０10Ｎ／ｍ2の圧電
体層（例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ1-X
ＴｉX）Ｏ3）系圧電セラミックス層）の両面に電極（内
部電極）を形成してなる圧電アクチュエータ素子を、ヤ
ング率が２．９５×１０9Ｎ／ｍ2のエポキシ系の接着剤
を用いて接着することにより、積層数６３層の積層型圧
電アクチュエータをサンプルとして作成した。なお、接
着剤層の厚みは表１に示す範囲で変化させた。
体層（例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ1-X
ＴｉX）Ｏ3）系圧電セラミックス層）の両面に電極（内
部電極）を形成してなる圧電アクチュエータ素子を、ヤ
ング率が２．９５×１０9Ｎ／ｍ2のエポキシ系の接着剤
を用いて接着することにより、積層数６３層の積層型圧
電アクチュエータをサンプルとして作成した。なお、接
着剤層の厚みは表１に示す範囲で変化させた。
【００２１】そして、上記サンプルを用い、直流２００
Ｖの電圧を印加して耐久試験を行った。なお、耐久性試
験においては、絶縁抵抗が１／１００に低下したときを
故障発生時点と判定した。
Ｖの電圧を印加して耐久試験を行った。なお、耐久性試
験においては、絶縁抵抗が１／１００に低下したときを
故障発生時点と判定した。
【００２２】上記耐久試験の結果を図５のグラフに示す
とともに、表１に、前記式、すなわち、（ＴC／ＹC）
＋（ＴA／ＹA）＝δ／Ｔ＝ＫＴC におけるＫの値を示
す。また、上記条件下で電圧を印加した場合に、圧電体
層（圧電セラミックス層）に加わる内部応力の理論値を
表１にあわせて示す。なお、内部応力の値を求めるにあ
たっては、δの値として、圧電体のｄ33定数（６０３×
１０-12ｍ／Ｖ）に印加電圧２００Ｖを乗じた値（１．
２１×１０-7ｍ）を用いた。
とともに、表１に、前記式、すなわち、（ＴC／ＹC）
＋（ＴA／ＹA）＝δ／Ｔ＝ＫＴC におけるＫの値を示
す。また、上記条件下で電圧を印加した場合に、圧電体
層（圧電セラミックス層）に加わる内部応力の理論値を
表１にあわせて示す。なお、内部応力の値を求めるにあ
たっては、δの値として、圧電体のｄ33定数（６０３×
１０-12ｍ／Ｖ）に印加電圧２００Ｖを乗じた値（１．
２１×１０-7ｍ）を用いた。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１及び図５より、接着剤層の厚みが７μ
m以上、すなわち、上記式におけるＫの値が３．４７
×１０-11以上になると、内部応力が低下するとともに
故障発生時間（ＭＴＴＦ）の値が顕著に大きくなること
がわかる。
m以上、すなわち、上記式におけるＫの値が３．４７
×１０-11以上になると、内部応力が低下するとともに
故障発生時間（ＭＴＴＦ）の値が顕著に大きくなること
がわかる。
【００２５】実施例２ 実施例１と同様の圧電体層（圧電セラミックス層）を用
い、接着剤層の厚みを６μm一定とし、接着剤（エポキ
シ系接着剤）のヤング率を表２の範囲で変化させて上記
実施例１と同様の積層型圧電アクチュエータ（サンプ
ル）を作成し、上記実施例１と同様の条件で耐久試験を
行った。その結果を図６のグラフに示すとともに、上記
式におけるＫの値を表２に示す。また、上記条件下で
電圧を印加した場合に、圧電体層（圧電セラミックス
層）に加わる内部応力の理論値を表２にあわせて示す。
い、接着剤層の厚みを６μm一定とし、接着剤（エポキ
シ系接着剤）のヤング率を表２の範囲で変化させて上記
実施例１と同様の積層型圧電アクチュエータ（サンプ
ル）を作成し、上記実施例１と同様の条件で耐久試験を
行った。その結果を図６のグラフに示すとともに、上記
式におけるＫの値を表２に示す。また、上記条件下で
電圧を印加した場合に、圧電体層（圧電セラミックス
層）に加わる内部応力の理論値を表２にあわせて示す。
【００２６】
【表２】
【００２７】表２及び図６より、ヤング率が２．５５×
１０9Ｎ／ｍ2以上、すなわち、式におけるＫの値が
３．４６×１０-11以上になると、内部応力が低下する
とともに故障発生時間（ＭＴＴＦ）の値が顕著に大きく
なることがわかる。
１０9Ｎ／ｍ2以上、すなわち、式におけるＫの値が
３．４６×１０-11以上になると、内部応力が低下する
とともに故障発生時間（ＭＴＴＦ）の値が顕著に大きく
なることがわかる。
【００２８】なお、上記実施例１及び２より、接着剤層
の厚み、ヤング率、Ｋの値、及び故障発生時間（ＭＴＴ
Ｆ）の関係から、Ｋ＝３．４×１０-11以上で故障発生
時間の値が顕著に増大することが認められるため、Ｋ＝
３．４×１０-11以上の条件を請求の範囲とした。
の厚み、ヤング率、Ｋの値、及び故障発生時間（ＭＴＴ
Ｆ）の関係から、Ｋ＝３．４×１０-11以上で故障発生
時間の値が顕著に増大することが認められるため、Ｋ＝
３．４×１０-11以上の条件を請求の範囲とした。
【００２９】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、圧電体層の厚みや積層数、圧電体層を
構成する材料の組成、接着剤の種類、などに関して、こ
の発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を加え
ることが可能である。
るものではなく、圧電体層の厚みや積層数、圧電体層を
構成する材料の組成、接着剤の種類、などに関して、こ
の発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を加え
ることが可能である。
【００３０】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電ア
クチュエータは、（ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４
×１０-11・ＴC （式（ａ））の関係を満たすように、
所定の接着剤を用いて所定の圧電体（圧電アクチュエー
タ素子）を接着、積層するようにしているので、圧電セ
ラミックスからなる圧電体層の中央部で内部電極が対向
し、内部電極間に電圧を印加した場合に、積層体の両端
部を除いた中央部が伸縮（変位）するように構成された
積層型圧電アクチュエータにおいて、伸縮（変位）する
中央部と伸縮（変位）しない両端部との境界部において
クラックが発生することを防止して絶縁不良による故障
の発生を抑制することが可能になる。
クチュエータは、（ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４
×１０-11・ＴC （式（ａ））の関係を満たすように、
所定の接着剤を用いて所定の圧電体（圧電アクチュエー
タ素子）を接着、積層するようにしているので、圧電セ
ラミックスからなる圧電体層の中央部で内部電極が対向
し、内部電極間に電圧を印加した場合に、積層体の両端
部を除いた中央部が伸縮（変位）するように構成された
積層型圧電アクチュエータにおいて、伸縮（変位）する
中央部と伸縮（変位）しない両端部との境界部において
クラックが発生することを防止して絶縁不良による故障
の発生を抑制することが可能になる。
【図１】積層型圧電アクチュエータを示す図であり、
（ａ）は平面断面図、（ｂ）は側面図である。
（ａ）は平面断面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】積層型圧電アクチュエータを示す要部拡大断面
図である。
図である。
【図３】この発明を説明するためのモデルを示す図であ
る。
る。
【図４】この発明にかかる積層型圧電アクチュエータを
示す要部拡大断面図である。
示す要部拡大断面図である。
【図５】この発明の実施例における接着剤層の厚みと故
障発生時間（ＭＴＴＦ）との関係を示すグラフである。
障発生時間（ＭＴＴＦ）との関係を示すグラフである。
【図６】この発明の実施例における接着剤層のヤング率
と故障発生時間（ＭＴＴＦ）との関係を示すグラフであ
る。
と故障発生時間（ＭＴＴＦ）との関係を示すグラフであ
る。
１ 圧電体層（圧電セラミックス層） ２ 電極（内部電極） ３ 圧電アクチュエータ素子 ４ 接着剤（層） ５ 積層体 ６ 外部薄膜電極 ７ 金属薄板 ８ リード線 ９ コーティング剤 １０ 積層体の端部 １１ 積層体の中央部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 41/00 - 41/26
Claims (1)
- 【請求項１】圧電セラミックスからなる圧電体層の両面
に、主としてその中央部において、圧電体層を介して互
いに対向するように電極を配設してなる圧電アクチュエ
ータ素子を接着剤で接着することにより、複数枚の圧電
アクチュエータ素子を積層してなる積層型圧電アクチュ
エータにおいて、 （ＴA／ＹA）＋（ＴC／ＹC）＞３．４×１０-11・ＴC 但し、ＴA：接着剤層一層の厚み（ｍ） ＹA：接着剤層のヤング率（Ｎ／ｍ2） ＴC：圧電体層一層の厚み（ｍ） ＹC：圧電体層のヤング率（Ｎ／ｍ2） の関係を満たすことを特徴とする積層型圧電アクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335030A JP2921310B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335030A JP2921310B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06164009A JPH06164009A (ja) | 1994-06-10 |
| JP2921310B2 true JP2921310B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=18283957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4335030A Expired - Lifetime JP2921310B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2921310B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4035988B2 (ja) * | 2001-12-06 | 2008-01-23 | 株式会社デンソー | セラミック積層体及びその製造方法 |
| US7443080B2 (en) | 2006-01-23 | 2008-10-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Laminated piezoelectric/electrostrictive device |
| JP2018081036A (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 複合センサ装置 |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP4335030A patent/JP2921310B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06164009A (ja) | 1994-06-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5153477A (en) | Laminate displacement device | |
| US5196757A (en) | Multilayer piezoelectric ceramic actuator | |
| JP2842448B2 (ja) | 圧電／電歪膜型アクチュエータ | |
| JPH05267742A (ja) | 圧電／電歪膜型素子 | |
| JP2986706B2 (ja) | 圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ | |
| JP2921310B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH055387B2 (ja) | ||
| JPH0658978B2 (ja) | 圧電変位素子 | |
| JPH0257353B2 (ja) | ||
| JP3894680B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2003309298A (ja) | 圧電／電歪素子およびその製造方法 | |
| JP2892672B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP2893765B2 (ja) | マルチモルフ素子の製造方法 | |
| JPH0555659A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP3358669B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| JP2706083B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH01261879A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP2855709B2 (ja) | 積層圧電セラミックス素子の製造方法 | |
| JPS61191085A (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子 | |
| JPH0744030Y2 (ja) | モノモルフ型アクチュエ−タ− | |
| JPH046884A (ja) | 積層ユニモルフ型圧電素子 | |
| JP3017784B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| CN114695640A (zh) | 压电元件 | |
| JPH0736462U (ja) | 積層型電歪素子 | |
| JPS5961976A (ja) | 圧電バイモルフ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990330 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090430 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090430 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100430 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110430 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110430 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120430 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 14 |