JP2912715B2

JP2912715B2 - クリーンベンチ

Info

Publication number: JP2912715B2
Application number: JP2121191A
Authority: JP
Inventors: 貴司沖津
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-02-14
Filing date: 1991-02-14
Publication date: 1999-06-28
Anticipated expiration: 2014-06-28
Also published as: JPH04260741A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、送風ファンによりクリ
ーンエアを供給するクリーンベンチに関する。

【０００２】近年、クリーンベンチは、クリーンルーム
内で種々の装置に組み込まれており、そのために軽量、
薄型、低騒音のものが要求される。また、これらのこと
が満足される場合であってもクリーンベンチ本来の役割
である高クリーン度を満足しなければならない。従っ
て、クリーンエアの供給においてその送風圧を均一にす
る必要がある。

【０００３】

【従来の技術】図５に、従来のクリーンベンチの構成図
を示す。図５（Ａ）はクリーンベンチの正面構成図を示
しており、図５（Ｂ），（Ｃ）は、クリーンベンチに使
用される送風ファンの構成図を示したものである。

【０００４】図５（Ａ）において、クリーンベンチ５０
は、所定高さの作業台５１に所定の空間を設けて、チャ
ンバ５２及びチャンバ５２の下部にエアフィルタ５３が
設けられる。チャンバ５２内には、通称シロッコファン
と呼ばれる多翼送風機５４が取付けられている。

【０００５】多翼送風機５４は、図５（Ｂ），（Ｃ）に
示すように、前向きの多数の羽根を有する円筒形の羽根
車５４ａと、羽根車５４ａの周囲にホーン形状のケーシ
ング５４ｂとにより構成される。この多翼送風機５４
は、羽根車５４ａが回転すると、軸方向の一端よりエア
を引き、遠心方向に排出するもので、ケーシング５４ｂ
により送風口より一方向に送風するものである。

【０００６】従って、図５（Ａ）に示すように、チャン
バ５２の形状に沿って、多翼送風機５４からのエアをエ
アフィルタ５３に吹き付け、該エアフィルタ５３により
ろ過して作業台にクリーンエアをダウンフローするもの
である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記クリー
ンベンチ５０の薄型化を図るためには、多翼送風機５４
とエアフィルタ５３との間隔を狭めなくてはならない。
しかし、この間隔が狭いと多翼送風機５４からエアフィ
ルタ５３への送風圧が低下し易く、該エアフィルタ５３
からの風速を低下させる。しかも、多翼送風機５４の送
風口は一方向であり、排出されるエアはチャンバ５２内
の周辺壁に沿って流れ、下面全体に行き渡りにくくな
る。従って、エアフィルタ５３の下面からは不均一な風
速でエアがダウンフローされ、これにより作業台５１上
で乱流を生じて塵埃を巻き上げるという問題がある。

【０００８】また、チャンバ５２の薄型を図るために送
風ファンに、いわゆるターボ型送風機を使用することも
考えられるが、騒音が大きくなるという問題がある。

【０００９】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、エアフィルタ全面から均一な風速でクリーンエ
アを供給するクリーンベンチを提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題は、チャンバ内
に設けられた羽根車及びケージングからなる送風ファン
からのエアを、エアフィルタを介してクリーンエアとし
て作業台に送風するクリーンベンチにおいて、前記ケー
ジングの下部に、前記羽根車からのエアを前記ケージン
グの周辺下部に均一に案内する案内枠と、前記案内枠に
案内されるエアの一部を、前記エアの流れに沿った経路
で前記ケージングの下部中央近傍に均一に導く所定数の
案内板とを設けることにより解決される。また、前記案
内枠は、前記ケージングと同心のリング状に設けられ、
前記案内板は、前記エアの流れに沿った円弧状に均等に
設けられる。

【００１１】

【作用】上述のように、ケーシングの下部に案内板を設
けている。この案内板は、例えば該ケーシング下部で均
等に設けられる。すなわち、案内板により、ケーシング
より遠心方向に送風されるエアの一部を、ケーシングの
下部中央近傍に導き、エアを下方に均一に送風する。こ
れにより、エアフィルタを介して作業台に送風されるク
リーンエアは、その風圧が均一となり塵埃の巻き上げ等
を防止することが可能となる。

【００１２】ここで、上記送風ファンをエアフィルタに
近接させれば、送風圧を低下させずにクリーンベンチを
薄型とすることが可能となる。

【００１３】

【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１（Ａ）はクリーンベンチの構成図を示しており、図
１（Ｂ）はその斜視図を示している。図１（Ａ），
（Ｂ）において、クリーンベンチ１は、枠体２上にチャ
ンバ３が設けられており、該チャンバ３の下部にエアフ
ィルタ４が設けられる。このエアフィルタ４は、例えば
ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air-filter）
やＵＬＰＡ（Ultra Low Renetration Air-filter）が使
用される。また、エアフィルタ４の下方には作業台５が
設けられる。なお、図示しないが、両側面及び背面は、
ビニール等のシートにより覆われる。

【００１４】チャンバ３には送風ファン６が内設されて
おり、送風ファン６は多翼の羽根車７及び該羽根車の周
囲にケーシング８が覆設される。ケーシング８は、羽根
車７の側面方向で鋭角にテーパ状に形成され、下板８ａ
周囲との間で水平方向に送風口８ｂが形成されたもので
ある。また、この送風口８ｂ全域には、樋形状の案内枠
９が該送風口８ｂの一部分にかけて下板８ａを挟装する
ように設けられる。そして、下板８ａの下面には二つの
案内板１０ａ，１０ｂが設けられる（後述する）。な
お、図１（Ａ）中、１１はスイッチ、フューズ等の電装
部である。

【００１５】ここで、図２に、送風ファンの案内枠を説
明するための図を示す。図２（Ａ）は正面構成図であ
り、図２（Ｂ）は平面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）
は、送風ファン６にケージング８と同心のリング状の案
内枠９を設け、案内板１０ａ、１０ｂを設けない場合を
示している。いま、羽根車７は通称シロッコファンと呼
ばれるもので、円筒周辺に軸方向に多数の羽根（翼）が
形成され、回転により上部よりエアを引き込み、側部よ
り遠心方向に送風する。羽根車７から送風されるエア
は、ケーシング８のテーパ部分で反射して、送風口８ｂ
に向う。送風口８ｂでは、該エアの一部が案内枠９の上
部からケーシング８の略接線方向に送風されると共に、
案内枠９によりその湾曲方向に沿って送風される。これ
により、ケーシング８の周辺に、均一な風量で送風する
ことができる。この場合、案内枠９からの送風は、湾曲
部分に生じる圧力により、ケーシング８の下板８ａの周
辺部分に送風される。

【００１６】次に、図３に、送風ファンの案内板による
送風方向を説明するための図を示す。図３（Ａ）は正面
構成図であり、図３（Ｂ）は底面図であり、図３（Ｃ）
は案内板の斜視図である。図３（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）
において、案内板１０ａ，１０ｂは、図３（Ｃ）に示す
ように、断面Ｌ字状で円弧状に形成されたもので、一端
を案内枠９からの送風方向に向け、湾曲された他端を下
板の中央近傍に向くように対称的に均等に設けたもので
ある。すなわち、案内枠９から均一に送風されたエアの
一部が案内板１０ａ，１０ｂにより下部中央近傍に強制
的に導かれる。従って、下板８ａの下面で均一な送風と
なり、送風ファン６の真下における送風圧の低下やばら
つきが軽減される。

【００１７】そこで、図４に、エアフィルタからの送風
を説明するための図を示す。図４において、送風ファン
６をエアフィルタ４に近接させており、その分のチャン
バ３を薄型としている。すなわち、図３からも明らかな
ように、送風ファン６の下方周辺及び真下では送風圧が
均一であることから、該送風ファン６をエアフィルタ４
にある程度近接させても、該エアフィルタ４から送風さ
れるクリーンエアの送風圧は均一となる。これにより、
エアフィルタ４を効率よく使用することができると共
に、風速ムラによる乱流で作業台（図１）５上でエアが
巻き上がることを防止することができ、常にクリーンな
状態を保つことができる。

【００１８】ここで、表１及び表２に、従来及び本発明
における作業台上の風速の実例値を示す。

【００１９】

【表１】

【００２０】

【表２】

【００２１】表１は従来のクリーンベンチ５０（図５）
の場合であり、表２は本発明のクリーンベンチ１（図
１）の場合であった、これらの作業台５，５１を９つに
分割して、各部分の風速を測定した値である。表１では
平均風速0.4 m/s であり、最高風速で＋９％，最小風速
で−２５％の風速差を生じるのに対し、表２では平均風
速0.4 m/s であり、最高風速で＋９％，最小風速で−５
％の風速差を生じる。このように、作業台５上で明らか
に風速の均一化が図られるものである。

【００２２】なお、上記実施例では、案内板を２つ設け
た場合を示したが、これに限らず３つ以上の案内板を適
宜均等に配置して設けても同様の効果を有するものであ
る。

【００２３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、送風ファ
ンのケーシングの下部に案内枠及び所定数の案内板を均
等に配置して設けることにより、送風ファンの下方から
均一にエアを送風し、エアフィルタ全面から均一な風速
でクリーンエアを供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成図である。

【図２】送風ファンの案内枠を説明するための図であ
る。

【図３】送風ファンの案内板を説明するための図であ
る。

【図４】エアフィルタからの送風を説明するための図で
ある。

【図５】従来のクリーンベンチの構成図である。

【符号の説明】

１クリーンベンチ３チャンバ４エアフィルタ５作業台６送風ファン７羽根車８ケーシング９案内枠１０ａ，１０ｂ案内板

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】チャンバ内に設けられた羽根車及びケー
ジングからなる送風ファンからのエアを、エアフィルタ
を介してクリーンエアとして作業台に送風するクリーン
ベンチにおいて、前記ケージングの下部に、前記羽根車からのエアを前記
ケージングの周辺下部に均一に案内する案内枠と、前記案内枠に案内されるエアの一部を、前記エアの流れ
に沿った経路で前記ケージングの下部中央近傍に均一に
導く所定数の案内板とを設けることを特徴とするクリー
ンベンチ。
【請求項２】請求項１記載のクリーンベンチにおい
て、前記案内枠は、前記ケージングと同心のリング状に設け
られ、前記案内板は、前記エアの流れに沿った円弧状に均等に
設けられることを特徴とするクリーンベンチ。