JP2003510520A - ファンユニットにおける騒音最小化装置 - Google Patents
ファンユニットにおける騒音最小化装置Info
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Abstract
Description
最小化するための装置に関する。特に、この発明は、フィルターとともに用いら
れるファンユニットに関する。
大気中の多数の粒子を制御することが普通である。ウエハ用ダイ、コンパクトデ
ィスクまたはメモリーディスク用ドライブであれ、それらのために有効なファン
フィルターユニットは、クリーンルーム内における粒子含有量を受け入れ可能な
水準に保つためのみならず、クリーンルーム内の作業員のために、空気を循環さ
せて快適な作業環境を維持するためにも、必要とされる。
出す。騒音を低下するためにファンフィルターユニットまたはその内部への導管
に沿うラインに遮音材を使用することが知られる。しかしながら、時間の経過に
したがって、粒子やファイバーが遮音材料の表面から脱落してクリーンルームを
汚染する。
れるプラント(multi-story water fabrication plant)のような閉鎖空間または
室内においては、悪化する。閉鎖空間によって、この発明は、天井の高さが3メ
ートルよりも低い点について考察する。低い天井は、ファンフィルターからの騒
音が特に顕在化する原因となる。
てWO99/11984号において示唆されている。しかしながら、この以前の
設計になるS字状のバッフルは、この設計を、予め決められた方向、すなわち、
時計方向か、反時計方向か、いずれか一方で回転するファンと一緒に用いること
が可能なだけである。
関連する騒音を減少するという上記の問題に取り組むことを試みる。この発明は
また、ファンが時計方向、反時計方向のいずれの方向に回転するかには関係なく
使用することができる。
数の方向に吹き出す形態をなすファンブロワーと、前記空気流の平面内において
空気流を2つの案内部材の間に案内する前記ファンの反対両側に配置される一対
の案内部材とからなるファンユニットを提供し、各案内部材は、前記ファンを収
容するために前記ファンと対向するインデントを備え、各案内部材は、空気流の
面に垂直な対称面を中心に対称であり、ファンとインデントを通過するように形
成される。
無関係に用いることを可能にする。
好ましく、これらの突出部は、反対側にある案内部材に向かって延出する。した
がって、各案内部材は実質的に、「W」型の形状を呈する。好ましくは、前記案
内部材は、インデント部において滑らかに遷移する輪郭を備え、突出部において
前記の輪郭を具備することが更に好ましい。しかしながら、騒音減少特性は、直
線的なセクションを備える案内部材を使用しても、部分的には達成することがで
きる。
、同時にまた、ユニット内を循環する空気の速度を増大する。したがって、同じ
循環空気速度を達成するために、ファンを駆動するために小さな動力を使用する
ことができるより効率的なファンユニットがもたらされる。
フルは、空気をファンからファンユニットの外に指向させるために設けられる。
に互いに上下に設けられる上部バッフルと下部バッフルが存在する。垂直方向は
、ファンから吹き出される空気の平面に直角な方向を意味する。これらのバッフ
ルは、バッフル間の距離が、ファンから遠ざかる方向に向かって減少するように
、互いに対し傾斜することが好ましい。好ましくは、上部バッフルが、空気面の
方向に対して少なくとも40度、最大60度の角度で配置されることが好ましい
。両上部バッフルが空気流の平面に対して約45度をなして設けられることがよ
り好ましい。
好ましくは約10度の角度をなして設けられる。
バッフルに至るように配置され、下部バッフルは、空気を導出口から外に向ける
ように配置される。
スプレートの上方に設けられる上部ハウジングを有し、ファンと案内部材は、上
部ハウジングと下部ベースプレートの間に位置し、前記ユニットは、上部ハウジ
ングと一体化することができる側部セクションを有する。この側部セクションは
、バッフルが側部セクションと案内部材の両端部の間に存在するように、案内部
材の反対側両端部に配置される。
スプレートと上部ハウジングの上部面との間の分離が、側部セクションがハウジ
ングの上面から突出する距離よりも小さいように配置される。側部セクションと
ベースプレートの間には、ファンユニットの導出口を形成するための間隙が存在
する。ハウジングの側部セクションとベースプレートの間の間隙は、理想的には
、この間隙内に下部バッフルの少なくとも一部を充分に収容できる大きさである
。
意図する。したがって、ユニットはフィルターを備えることが好ましい。一般に
このフィルターは、ユニットの下部プレートの下側に設けられる。
より好ましくは金属から製造される。この案内部材および/またはバッフルは穿
孔を施しても差し支えない。
フィルターは図示されない。回転可能なファンブロワー12は、ベースプレート
14に配置される。ファンブロワー12の装着プレート20は、ファンブロワー
12に対しベースプレート14の反対側に配置される。
セクション22から形成されるハウジング内に配置される。上部ハウジング16
は、中心に位置する導入口18を有する。したがって、使用時には導入口がブロ
ワー12の上方にある。ファンブロワー12は、従来型のブロワーである。それ
は、ファンブロワー12に対して、ベースプレート14の反対側に配置される(
図示しない)モーターによって回転される構造である。ファンブロワーが回転す
るにつれて、空気が導入口18を通して吸引され、ファンブロワー12の回転接
線方向に吹き出される。
ワー12からの吹き出し空気流の範囲内に配置された案内部材24A、24Bを
備える。各案内部材は、インデント25A、25Bを備え、これらは、案内部材
が定位置にあるときファンブロワー12の外形を収容する。インデントの両側に
は、突出部27A、27Bが存在する。各突出部は反対側にある案内部材24に
向かって延出する。
内部材24Aおよび24B、および、端部セクション22の間に配置される。
つれて減少するように互いに対して傾斜する。案内部材は大体V状構造を形成し
、この場合Vの頂点は、端部セクション22に向かう。
したように、空気は、ファンブロワー12の回転によって、導入口18を通して
吸引される。ファンブロワーは、ベースプレート14の面に配置される。ファン
ブロワーの回転は、空気をファンブロワーからバッフル26A、26Bおよび2
8A、28Bへと強制移動させる。バッフルの方向は、ベースプレートの面に配
置されたブロワーから移送した空気を反転して、ベースプレート14の真下に配
置された導出口19から移動する。空気は次いで、開口19の直下に配置された
フィルター32を通過して移動する。
ある。ファンブロワー12が、案内部材24A、24Bの間に配置され、案内部
材24A、24Bのインデント25A、25Bの内部に収容される。反対側の案
内部材における補助突出部に向かって延出する突出部27Aおよび27Bの外形
にも注目すべきである。
た空気を収容して、空気流を最小の乱流とともにバッフル26、28に向かって
案内するような構造をなす。これは頂面図であるので下部のバッフル28は明確
には示されていない。
45度の角度をなして配置されており、案内部材24からの空気を拡散させる。
下部のバッフル28は、空気流の面に対し約10度の角度で配置され、空気流を
ベースプレート14の下方へと再度方向を変換する。
、ファンの中心とバッフル26、28の中心を通過する1つの軸との両軸を中心
に対称である。この対称な配置は、いずれの方向にも回転することができるファ
ンを収容することを可能にする。
の15の異なるポイントにピて測定された平均空気速度をプロットしたものを示
す。ファンユニット内の15の位置は図4に示される。
ることがわかる。このように、この発明は、ファンに対する同じ大きさの駆動力
で、空気の増大された循環作用をもたらす大きな空気の速度を提供することが可
能になる。したがって、この発明は、先行技術のそれに較べて相当なエネルギー
上の利点を提供する。
フルを備えたファンフィルターと、これらを備えていないファンフィルターにつ
いて、デシベルで測定された騒音の水準をも示す。空気案内部材とバッフルとが
存在する場合には、騒音が大いに減少することがわかる。
示す。
圧範囲に亘るこの発明を備える場合と備えない場合のファンフィルターユニット
の騒音水準とを比較した表。
関連する騒音を減少するという上記の問題に取り組むことを試みる。この発明は
また、そのようなファンユニットの動力効率の増大を試みる。この発明はまたフ
ァンが時計方向、反時計方向のいずれの方向に回転するかには関係なく使用する
ことができる。
態をなすファンブロワーと、前記空気流の平面内において空気流を2つの案内部
材の間に案内する前記ファンの反対両側に配置される一対の案内部材とからなる
ファンユニットを提供し、各案内部材は、前記ファンを収容するために前記ファ
ンと対向するインデントを備え、各案内部材は、空気流の面に垂直な対称面を中
心に対称であり、ファンとインデントを通過するように形成され、上部および下
部のバッフルは、案内部材の各端部において、空気をユニットの外に方向付け、
両バッフルは、上部バッフルの真下の下部バッフルと一緒に空気流の平面の方向
に垂直に配列され、両バッフルは、バッフル同士の間の距離がファンから遠ざか
る方向に減少するように、互いに傾斜する。
とが存在し、下部バッフルは上部バッフルの真下にある。垂直方向は、ファンか
ら吹き出される空気の平面に直角な方向を意味する。これらのバッフルは、バッ
フル間の距離が、ファンから遠ざかる方向に向かって減少するように、互いに対
し傾斜することが好ましい。好ましくは、上部バッフルが、空気面の方向に対し
て少なくとも40度、最大60度の角度で配置されることが好ましい。両上部バ
ッフルが空気流の平面に対して約45度をなして設けられることがより好ましい
。
したがって突出部27A、27Bまでは減少し、その後は増加するように互いに
対して傾斜する。案内部材は大体V状構造を形成し、この場合Vの頂点は、端部
セクション22に向かう。
Claims (17)
- 【請求項1】 空気流の平面内における複数の方向に空気を吹き出す構造の
ファンブロワーと、前記空気流の平面内において前記ファンの反対方向両側に配
置され、空気流を2つの案内部材の間に案内する1対の案内部材とからなるファ
ンユニットであって、 各案内部材は、前記ファンと対向するインデントを備え、前記ファンを収容し
、 各案内部材は、ファンと1つのインデントの中心を通って形成される空気流の
面に垂直な1つの対称平面を中心として対称であるファンユニット。 - 【請求項2】 各案内部材は、各案内部材におけるインデントの両側に突出
部が存在し、各突出部は対向する案内部材に向かって延出するように形成される
請求項1記載のファンユニット。 - 【請求項3】 案内部材は、その突出部に滑らかに遷移する輪郭を備える請
求項2記載のファンユニット。 - 【請求項4】 案内部材は、インデントに滑らかに遷移する輪郭を備える請
求項1〜3のいずれか1記載のファンユニット。 - 【請求項5】 案内部材は、ファンの両側において互いに対し対称に配置さ
れる請求項1〜4のいずれか1記載のファンユニット。 - 【請求項6】 前記案内部材は、硬質の材料、好ましくは金属を備える請求
項1〜5のいずれか1記載のファンユニット。 - 【請求項7】 ユニットは更に、1対の案内部材の各端部に設けられたバッ
フルを有し、空気流をユニット外に指向させる請求項1〜6のいずれか1記載の
ファンユニット。 - 【請求項8】 案内部材の各端部には上部バッフルと下部バッフルが存在し
、バッフルは、空気面の方向に垂直に上下に配置されており、バッフルは、バッ
フル同士の間の距離がファンから離れる方向に減少するように互いに傾斜される
請求項7記載のファンユニット。 - 【請求項9】 前記バッフルは、硬質の材料、好ましくは金属を備える請求
項7または8記載のファンユニット。 - 【請求項10】 バッフルは、穿孔を施した材料を有する請求項9記載のフ
ァンユニット。 - 【請求項11】 前記上部バッフルは、空気流の平面に対して40度から6
0度、好ましくは45度の角度をなして配置される請求項8〜10のいずれか1
記載のファンユニット。 - 【請求項12】 前記下部バッフルは、空気流の平面に対して5度から15
度、好ましくは10度の角度をなして配置される請求項8〜11のいずれか1記
載のファンユニット。 - 【請求項13】 ファンと案内部材は、ベースプレート面に配置される請求
項1〜12のいずれか1記載のファンユニット。 - 【請求項14】 ユニットは更に、空気をファン内に吸引する導入口を備え
る前記ベースプレートに接合された上部ハウジングと、ファンを閉鎖するための
側部セクションとを有し、 空気導出口は、ベースプレートと側部セクションの間の間隙によって形成され
る請求項13記載のファンユニット。 - 【請求項15】 下部バッフルは、少なくと部分的に、側部セクションとベ
ースプレートの間の間隙内に配置される請求項8に従う請求項14記載のファン
ユニット。 - 【請求項16】 フィルターを有する請求項1〜15のいずれか1記載のフ
ァンユニット。 - 【請求項17】 添付図面のいずれかを参照して実質的に説明されたファン
ユニット。
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