JP2894086B2 - 遠心乾燥装置 - Google Patents
遠心乾燥装置Info
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- JP2894086B2 JP2894086B2 JP13644992A JP13644992A JP2894086B2 JP 2894086 B2 JP2894086 B2 JP 2894086B2 JP 13644992 A JP13644992 A JP 13644992A JP 13644992 A JP13644992 A JP 13644992A JP 2894086 B2 JP2894086 B2 JP 2894086B2
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- Japan
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- main body
- centrifugal
- semiconductor substrate
- centrifugal drying
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は遠心乾燥装置に係わり、
特に半導体基板又はマスク及びレチクル等の乾燥に使用
する遠心乾燥装置に関する。
特に半導体基板又はマスク及びレチクル等の乾燥に使用
する遠心乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の遠心乾燥装置は図３に示す様に、
本体１は遠心乾燥により振り切った純水を排水する排水
口２と本体内部に取り入れた気流を排気する排気口３を
有し、本体１の上部には、気流を本体１の内部に取りこ
む吸気口４及び吸気口４上部にダスト除去を目的とした
フィルター５を設置した開閉式の上蓋６を有し、本体１
の内部にはシャフト７によりモーター８に接続されたク
レードル９と、シャフト７の中心軸を対称としてクレー
ドル９の４箇所に設置したバスケット１０を有してい
る。ここでクレードル９はコントロールユニット１１で
モーター８をコントロールすることによりその回転数・
回転時間を任意に設定できる構造となっている。この遠
心乾燥装置を用いて、半導体基板収納キャリアごと純水
で処理した半導体基板をそのままキャリアごとバスケッ
ト１０に収納し、所望の回転数・回転時間クレードル９
を回転させ、その際に発生する遠心力により半導体基板
に付着している純水を振り切って乾燥していた。
本体１は遠心乾燥により振り切った純水を排水する排水
口２と本体内部に取り入れた気流を排気する排気口３を
有し、本体１の上部には、気流を本体１の内部に取りこ
む吸気口４及び吸気口４上部にダスト除去を目的とした
フィルター５を設置した開閉式の上蓋６を有し、本体１
の内部にはシャフト７によりモーター８に接続されたク
レードル９と、シャフト７の中心軸を対称としてクレー
ドル９の４箇所に設置したバスケット１０を有してい
る。ここでクレードル９はコントロールユニット１１で
モーター８をコントロールすることによりその回転数・
回転時間を任意に設定できる構造となっている。この遠
心乾燥装置を用いて、半導体基板収納キャリアごと純水
で処理した半導体基板をそのままキャリアごとバスケッ
ト１０に収納し、所望の回転数・回転時間クレードル９
を回転させ、その際に発生する遠心力により半導体基板
に付着している純水を振り切って乾燥していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の遠心乾燥装
置では、回転軸を対称にして配置したバスケットに半導
体基板を収納したキャリアを設置する構造となっている
ため、重量バランスを保つために常に偶数単位で対向位
置に設置せねばならず任意数のキャリアを処理すること
が不可能であった。また、最近の基板大口径化により、
基板１枚あたりの重量が増加し、微妙なバランスを保つ
ためにはキャリアに収納する半導体基板の数量をあらか
じめ調整せねばならない等増す増す煩雑なものとなって
いる。
置では、回転軸を対称にして配置したバスケットに半導
体基板を収納したキャリアを設置する構造となっている
ため、重量バランスを保つために常に偶数単位で対向位
置に設置せねばならず任意数のキャリアを処理すること
が不可能であった。また、最近の基板大口径化により、
基板１枚あたりの重量が増加し、微妙なバランスを保つ
ためにはキャリアに収納する半導体基板の数量をあらか
じめ調整せねばならない等増す増す煩雑なものとなって
いる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の遠心乾燥装置
は、遠心乾燥により振り切った純水を排水する排水口及
び内部に取り入れた気流を排気する排気口を備えた本体
部と、気流を本体内部に取りこむ吸気口及びその上部に
ダスト除去用のフィルターを設置した開閉式上蓋と、シ
ャフトによりモーターに接続されクレードルと、クレー
ドルの内部に設置したバスケットと、クレードルの外周
部に沿ってその外側に設置したレールと、レール上を移
動するオートバランサーと、クレードルの回転数・回転
時間を任意に設定できるコントロールユニットとを備え
ている。あるいは本発明の遠心乾燥装置は、遠心乾燥に
より振り切った純水を排水する排水口及び内部に取り入
れた気流を排気する排気口を備えた本体部と、気流を本
体内部に取りこむ吸気口及びその上部にダスト除去用の
フィルターを設置した開閉式上蓋と、シャフトによりモ
ーターに接続されクレードルと、クレードルの内部に設
置したバスケットと、クレードルの外周部に設置したオ
ートバランサーと、回転乾燥中にオートバランサーの位
置を調整する手段と、クレードルの回転数・回転時間を
任意に設定できるコントロールユニットとを備えてい
る。
は、遠心乾燥により振り切った純水を排水する排水口及
び内部に取り入れた気流を排気する排気口を備えた本体
部と、気流を本体内部に取りこむ吸気口及びその上部に
ダスト除去用のフィルターを設置した開閉式上蓋と、シ
ャフトによりモーターに接続されクレードルと、クレー
ドルの内部に設置したバスケットと、クレードルの外周
部に沿ってその外側に設置したレールと、レール上を移
動するオートバランサーと、クレードルの回転数・回転
時間を任意に設定できるコントロールユニットとを備え
ている。あるいは本発明の遠心乾燥装置は、遠心乾燥に
より振り切った純水を排水する排水口及び内部に取り入
れた気流を排気する排気口を備えた本体部と、気流を本
体内部に取りこむ吸気口及びその上部にダスト除去用の
フィルターを設置した開閉式上蓋と、シャフトによりモ
ーターに接続されクレードルと、クレードルの内部に設
置したバスケットと、クレードルの外周部に設置したオ
ートバランサーと、回転乾燥中にオートバランサーの位
置を調整する手段と、クレードルの回転数・回転時間を
任意に設定できるコントロールユニットとを備えてい
る。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明を４キャリア対向型の
遠心乾燥装置に適用した第１の実施例を説明するための
図であり、図１（ｂ）はクレードル部分に注目した平面
図、図１（ａ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ線における断面
図、図１（ｃ）は本体内部に配置されたバーコードの
図、図１（ｄ）は回転乾燥している際のオートバランサ
ーの位置を示した図である。
る図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明を４キャリア対向型の
遠心乾燥装置に適用した第１の実施例を説明するための
図であり、図１（ｂ）はクレードル部分に注目した平面
図、図１（ａ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ線における断面
図、図１（ｃ）は本体内部に配置されたバーコードの
図、図１（ｄ）は回転乾燥している際のオートバランサ
ーの位置を示した図である。
【０００６】図１（ａ）において、本体１は遠心乾燥に
より振り切った純水を排水する排水口２と本体内部に取
り入れた気流を排気する排気口３を有し、本体１の上部
には、気流を本体１の内部に取りこむ吸気口４及び吸気
口４上部にダスト除去を目的としたフィルター５を設置
した開閉式の上蓋６を有し、本体１の内部には、シャフ
ト７によりモーター８に接続されたクレードル９と、シ
ャフト７の中心軸を対称としてクレードル９の内壁部の
４箇所に設置したバスケット１０ａ，１０ｃを有してい
る。ここに、クレードル９は、図１（ｂ）に示す様に、
その内周部には回転軸を対称として４箇所にバスケット
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄが設置してあり、外周
部には、バスケット１０ａ，１０ｃの中心及びシャフト
７の中心軸を通る中心線Ｂ−Ｂ上に本体１の内壁部に設
置されたバーコード１４を読みとるためのフォトセンサ
ー１３がバスケット１０ｃ側に設置されている。また、
その外周部の外側に設置したレール１５には、２個のオ
ートバランサー１２ａ，１２ｂがバスケット１０ａ側に
設置されている。ここでオートバランサー１２ａ，１２
ｂは、フォトセンサー１３の読み取り値により、クレー
ドル９の外周部の外側に設置されたルール１５上を中心
線Ｂ−Ｂを対称軸として反対方向つまり、クレードル９
の回転軸を基準として相反する方向へ同一角度だけ自動
的に移動する機構となっており、それぞれの重量は、半
導体基板収納キャリアに最大数収納した際の重量の２分
の１の重量となっている。また、バーコード１４は、図
１（ｃ）に示した様に下側から順に１・２・３・４・５
本とそれぞれ等間隔に５ｍｍ幅の黒いラインが配置され
ており、クレードル９が回転することにより、フォトレ
ンサ１３に読みこまれその数量によりクレードル９の傾
斜具合が算出できる機構となっており、バランスよく回
転している時は常に３本と読みとる様に本体１の内壁に
配置してある。
より振り切った純水を排水する排水口２と本体内部に取
り入れた気流を排気する排気口３を有し、本体１の上部
には、気流を本体１の内部に取りこむ吸気口４及び吸気
口４上部にダスト除去を目的としたフィルター５を設置
した開閉式の上蓋６を有し、本体１の内部には、シャフ
ト７によりモーター８に接続されたクレードル９と、シ
ャフト７の中心軸を対称としてクレードル９の内壁部の
４箇所に設置したバスケット１０ａ，１０ｃを有してい
る。ここに、クレードル９は、図１（ｂ）に示す様に、
その内周部には回転軸を対称として４箇所にバスケット
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄが設置してあり、外周
部には、バスケット１０ａ，１０ｃの中心及びシャフト
７の中心軸を通る中心線Ｂ−Ｂ上に本体１の内壁部に設
置されたバーコード１４を読みとるためのフォトセンサ
ー１３がバスケット１０ｃ側に設置されている。また、
その外周部の外側に設置したレール１５には、２個のオ
ートバランサー１２ａ，１２ｂがバスケット１０ａ側に
設置されている。ここでオートバランサー１２ａ，１２
ｂは、フォトセンサー１３の読み取り値により、クレー
ドル９の外周部の外側に設置されたルール１５上を中心
線Ｂ−Ｂを対称軸として反対方向つまり、クレードル９
の回転軸を基準として相反する方向へ同一角度だけ自動
的に移動する機構となっており、それぞれの重量は、半
導体基板収納キャリアに最大数収納した際の重量の２分
の１の重量となっている。また、バーコード１４は、図
１（ｃ）に示した様に下側から順に１・２・３・４・５
本とそれぞれ等間隔に５ｍｍ幅の黒いラインが配置され
ており、クレードル９が回転することにより、フォトレ
ンサ１３に読みこまれその数量によりクレードル９の傾
斜具合が算出できる機構となっており、バランスよく回
転している時は常に３本と読みとる様に本体１の内壁に
配置してある。
【０００７】この遠心乾燥装置を用いて半導体基板を乾
燥させるためには、先ず、純水で処理済みの半導体基板
収納キャリアごと、バスケット１０に収納し上蓋６を閉
じる。ここに乾燥させる半導体基板の枚数により半導体
基板収納キャリアの数量が決定されるが、１キャリアの
場合はバスケット１０ｃへ、２キャリアの場合はバスケ
ット１０ｃ，１０ａへ、３キャリアの場合はバスケット
１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ、４キャリアの場合は全バスケ
ットへ収納するものとし、本実施例では１キャリアの場
合について説明する。この後、コントロールユニット１
１を用いてモーター８に直結したクレードル９を所望回
転数で所望時間回転させ、その際に発生する遠心力によ
り半導体基板に付着した純水を振り飛ばして乾燥する。
この時クレードル９は、バスケット１０ｃ側が重いため
傾斜しながら回転し始めるが、図１（ｄ）に示した様
に、オートバランサー１２ａ，１２ｂが中心軸Ｂ−Ｂの
フォトセンサー１３のバーコード１４の読みとり値が常
に３となる様に初期位置より角度θだけそれぞれ移動す
るため、クレードル９は傾斜することなくバランスよく
回転する。つまり、フォトレンサ１３の読み取り値が
“１”又は“２”の時はフォトセンサ１３側が重いので
角度θは小さい方向へ、また“４”又は“５”の時はフ
ォトセンサ１３側が軽いので角度θは大きい方向へ移動
する。
燥させるためには、先ず、純水で処理済みの半導体基板
収納キャリアごと、バスケット１０に収納し上蓋６を閉
じる。ここに乾燥させる半導体基板の枚数により半導体
基板収納キャリアの数量が決定されるが、１キャリアの
場合はバスケット１０ｃへ、２キャリアの場合はバスケ
ット１０ｃ，１０ａへ、３キャリアの場合はバスケット
１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ、４キャリアの場合は全バスケ
ットへ収納するものとし、本実施例では１キャリアの場
合について説明する。この後、コントロールユニット１
１を用いてモーター８に直結したクレードル９を所望回
転数で所望時間回転させ、その際に発生する遠心力によ
り半導体基板に付着した純水を振り飛ばして乾燥する。
この時クレードル９は、バスケット１０ｃ側が重いため
傾斜しながら回転し始めるが、図１（ｄ）に示した様
に、オートバランサー１２ａ，１２ｂが中心軸Ｂ−Ｂの
フォトセンサー１３のバーコード１４の読みとり値が常
に３となる様に初期位置より角度θだけそれぞれ移動す
るため、クレードル９は傾斜することなくバランスよく
回転する。つまり、フォトレンサ１３の読み取り値が
“１”又は“２”の時はフォトセンサ１３側が重いので
角度θは小さい方向へ、また“４”又は“５”の時はフ
ォトセンサ１３側が軽いので角度θは大きい方向へ移動
する。
【０００８】従って、本発明の遠心乾燥装置と用いれ
ば、乾燥する際に半導体基板収納キャリアの数量に２キ
ャリア又は４キャリアと制限する必要がなく、さらに、
半導体基板収納キャリア内の半導体基板の数量も任意に
収納できるので、それらの数量をあらかじめ調整せねば
ならない等の煩雑な制約が解消させる。またここで、バ
スケットの数量を４個，オートバランサーの数量を２個
としたが、バスケットの数量は１個以上，オートバラン
サーはバスケットの個数の２倍でよく、また、半導体基
板の代わりにレチクル又はマスク等にも応用可能であ
る。
ば、乾燥する際に半導体基板収納キャリアの数量に２キ
ャリア又は４キャリアと制限する必要がなく、さらに、
半導体基板収納キャリア内の半導体基板の数量も任意に
収納できるので、それらの数量をあらかじめ調整せねば
ならない等の煩雑な制約が解消させる。またここで、バ
スケットの数量を４個，オートバランサーの数量を２個
としたが、バスケットの数量は１個以上，オートバラン
サーはバスケットの個数の２倍でよく、また、半導体基
板の代わりにレチクル又はマスク等にも応用可能であ
る。
【０００９】図２（ａ）〜（ｄ）は本発明を２キャリア
対向型の遠心乾燥装置に適用した第２の実施例を説明す
るための図であり、図２（ｂ）はクレードル部分に注目
した平面図、図２（ａ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ線におけ
る断面図、図２（ｃ）はクレードル内部に配置されたバ
スケットとロードセルの断面図及び図２（ｄ）はバスケ
ット１０ｃに半導体基板収納キャリアを収納した際のオ
ートバランサーの位置を示した図である。
対向型の遠心乾燥装置に適用した第２の実施例を説明す
るための図であり、図２（ｂ）はクレードル部分に注目
した平面図、図２（ａ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ線におけ
る断面図、図２（ｃ）はクレードル内部に配置されたバ
スケットとロードセルの断面図及び図２（ｄ）はバスケ
ット１０ｃに半導体基板収納キャリアを収納した際のオ
ートバランサーの位置を示した図である。
【００１０】図２（ａ）において、第１の実施例と同様
に、本体１は排水口２と排気口３を有し、本体１の上部
には、吸気口４及びフィルター５を備えた開閉式の上蓋
６を有し、本体１の内部には、シャフト７によりモータ
ー８に接続されたクレードル９を備えている。ここに、
クレードル９は、図２（ｂ）に示す様にその内周部に
は、回転軸のシャフト７を対称として２箇所にバスケッ
ト１０ａ，１０ｃが設置してあり、その外周部の外側に
設置したレール１５には、２個のオートバランサー１２
ａ，１２ｂが設置されている。ここでオートバランサー
１２ａ，１２ｂは、それぞれのバスケット１０ａ，１０
ｃ内に設置したロードセル１７で計量した半導体基板収
納キャリアの重量によりクレードル９の外周部の外側に
設置されたレール１５上を自動的に移動する機構となっ
ている。
に、本体１は排水口２と排気口３を有し、本体１の上部
には、吸気口４及びフィルター５を備えた開閉式の上蓋
６を有し、本体１の内部には、シャフト７によりモータ
ー８に接続されたクレードル９を備えている。ここに、
クレードル９は、図２（ｂ）に示す様にその内周部に
は、回転軸のシャフト７を対称として２箇所にバスケッ
ト１０ａ，１０ｃが設置してあり、その外周部の外側に
設置したレール１５には、２個のオートバランサー１２
ａ，１２ｂが設置されている。ここでオートバランサー
１２ａ，１２ｂは、それぞれのバスケット１０ａ，１０
ｃ内に設置したロードセル１７で計量した半導体基板収
納キャリアの重量によりクレードル９の外周部の外側に
設置されたレール１５上を自動的に移動する機構となっ
ている。
【００１１】この遠心乾燥装置を用いて半導体基板を収
納した半導体基板収納キャリアを１キャリアだけ乾燥さ
せる場合について説明する。先ず、純水で処理済みの半
導体基板収納キャリアごとバスケット１０ｃに収納し、
上蓋６を閉じる。この際図２（ｃ）に示した様に、半導
体基板収納キャリア１６の重量は、ロードセル１７によ
って自動的に計測され、その計測値をもとに図２（ｄ）
に示した様にオートバランサー１２ａ，１２ｂが移動す
る。ここで、半導体基板収納キャリア１６の重量をＭ
［ｋｇ］，回転中心からその重心までの距離をＲ
［ｍ］，オートバランサー１２ａ，１２ｂの重量をＡ
［ｋｇ］，回転中心からその重心までの距離をｒ
［ｍ］，とすると、オートバランサー１２ａ，１２ｂと
半導体基板収納キャリアの中心と回転軸中心を結ぶ中心
線Ｂ−Ｂとのなす角度θ［ｒａｄ］は、θ＝ｓｉｎ
-1（Ｍ・Ｒ／２・Ａ・ｒ）で表わされる。
納した半導体基板収納キャリアを１キャリアだけ乾燥さ
せる場合について説明する。先ず、純水で処理済みの半
導体基板収納キャリアごとバスケット１０ｃに収納し、
上蓋６を閉じる。この際図２（ｃ）に示した様に、半導
体基板収納キャリア１６の重量は、ロードセル１７によ
って自動的に計測され、その計測値をもとに図２（ｄ）
に示した様にオートバランサー１２ａ，１２ｂが移動す
る。ここで、半導体基板収納キャリア１６の重量をＭ
［ｋｇ］，回転中心からその重心までの距離をＲ
［ｍ］，オートバランサー１２ａ，１２ｂの重量をＡ
［ｋｇ］，回転中心からその重心までの距離をｒ
［ｍ］，とすると、オートバランサー１２ａ，１２ｂと
半導体基板収納キャリアの中心と回転軸中心を結ぶ中心
線Ｂ−Ｂとのなす角度θ［ｒａｄ］は、θ＝ｓｉｎ
-1（Ｍ・Ｒ／２・Ａ・ｒ）で表わされる。
【００１２】この後、コントロールユニット１１を用い
てモーター８に直結したクレードル９を所望回転数で所
望時間回転させ、その際に発生す遠心力により半導体基
板に付着した純水を振りとばして乾燥する。この時、半
導体基板収納キャリアは１キャリアであるが、オートバ
ランサー１２ａ，１２ｂによってそれぞれの遠心力のバ
ランスが保たれているのでクレードル９は傾斜すること
なくバランスよく回転する。従って、本発明の遠心乾燥
装置を用いれば、半導体基板収納キャリアの数量制限を
する必要がなく、さらに半導体基板の枚数も任意に選択
できるので、数量調整等の煩雑な制約が解消される。
てモーター８に直結したクレードル９を所望回転数で所
望時間回転させ、その際に発生す遠心力により半導体基
板に付着した純水を振りとばして乾燥する。この時、半
導体基板収納キャリアは１キャリアであるが、オートバ
ランサー１２ａ，１２ｂによってそれぞれの遠心力のバ
ランスが保たれているのでクレードル９は傾斜すること
なくバランスよく回転する。従って、本発明の遠心乾燥
装置を用いれば、半導体基板収納キャリアの数量制限を
する必要がなく、さらに半導体基板の枚数も任意に選択
できるので、数量調整等の煩雑な制約が解消される。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、回転する
クレードル部にオートバランサーを搭載しているため、
乾燥しようのする半導体基板又はレチクル等の重量バラ
ンスを考慮する必要がなく、任意のキャリア数で任意の
半導体基板のを選択することが可能となる。
クレードル部にオートバランサーを搭載しているため、
乾燥しようのする半導体基板又はレチクル等の重量バラ
ンスを考慮する必要がなく、任意のキャリア数で任意の
半導体基板のを選択することが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図であり、（ａ）
は断面図、（ｂ）はクレードル部に注目した平面図であ
り同図のＡ−Ａ線部の断面が（ａ）、（ｃ）はバーコー
ドの図、（ｄ）はオートバランサーの位置を示した図で
ある。
は断面図、（ｂ）はクレードル部に注目した平面図であ
り同図のＡ−Ａ線部の断面が（ａ）、（ｃ）はバーコー
ドの図、（ｄ）はオートバランサーの位置を示した図で
ある。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図であり、（ａ）
は断面図、（ｂ）はクレードル部に注目した平面図であ
り同図Ａ−Ａ線部の断面が（ａ）、（ｃ）はロードセル
部の図、（ｄ）はオートバランサーの位置を示した図で
ある。
は断面図、（ｂ）はクレードル部に注目した平面図であ
り同図Ａ−Ａ線部の断面が（ａ）、（ｃ）はロードセル
部の図、（ｄ）はオートバランサーの位置を示した図で
ある。
【図３】従来技術を示す断面図である。
【符号の説明】 １ 本体 ２ 排水口 ３ 排気口 ４ 吸気口 ５ フィルター ６ 上蓋 ７ シャフト ８ モーター ９ クレードル １０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ バスケット １１ コントロールユニット １２，１２ａ，１２ｂ コントロールユニット １３ フォトセンサー １４ バーコード １５ レール １６ 半導体基板収納キャリア １７ ロードセル
Claims (3)
- 【請求項１】 遠心乾燥により振り切った純水を排水す
る排水口及び内部に取り入れた気流を排気する排気口を
備えた本体部と、気流を本体内部に取りこむ吸気口及び
その上部にダスト除去用のフィルターを設置した開閉式
上蓋と、シャフトによりモーターに接続されクレードル
と、クレードルの内部に設置したバスケットと、クレー
ドルの外周部に沿ってその外側に設置したレールと、レ
ール上を移動するオートバランサーと、クレードルの回
転数・回転時間を任意に設定できるコントロールユニッ
トとを備えることを特徴とする遠心乾燥装置。 - 【請求項２】 遠心乾燥により振り切った純水を排水す
る排水口及び内部に取り入れた気流を排気する排気口を
備えた本体部と、気流を本体内部に取りこむ吸気口及び
その上部にダスト除去用のフィルターを設置した開閉式
上蓋と、シャフトによりモーターに接続されクレードル
と、クレードルの内部に設置したバスケットと、クレー
ドルの外周部に設置したオートバランサーと、回転乾燥
中にオートバランサーの位置を調整する手段と、クレー
ドルの回転数・回転時間を任意に設定できるコントロー
ルユニットとを備えることを特徴とする遠心乾燥装置。 - 【請求項３】 前記乾燥中にオートバランサーの位置を
調整する手段には本体内壁に取り付けられたバーコード
とクレードルの外周に取り付けられたフォトセンサとを
有して構成され、回転するクレードルのフォトセンサに
より固定している本体のバーコードを読みとることによ
りクレードルの傾きを検知することを特徴とする請求項
２記載の遠心乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13644992A JP2894086B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 遠心乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13644992A JP2894086B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 遠心乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669181A JPH0669181A (ja) | 1994-03-11 |
| JP2894086B2 true JP2894086B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=15175374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13644992A Expired - Lifetime JP2894086B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 遠心乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894086B2 (ja) |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP13644992A patent/JP2894086B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0669181A (ja) | 1994-03-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990202 |