JPH0745578A - 基板の乾燥機 - Google Patents
基板の乾燥機Info
- Publication number
- JPH0745578A JPH0745578A JP19150793A JP19150793A JPH0745578A JP H0745578 A JPH0745578 A JP H0745578A JP 19150793 A JP19150793 A JP 19150793A JP 19150793 A JP19150793 A JP 19150793A JP H0745578 A JPH0745578 A JP H0745578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- wafers
- cradle
- carrier
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】液晶基板や半導体基板など洗浄後に乾燥する基
板の乾燥装置であって、グレードル１２とターンテーブ
ル２の位置ずれによるバランスの不均衡を無くしかつウ
ェーハへのパーティルクルの再付着を防止する。 【構成】ターンテーブル２にクレードル１２を固定し、
キャリア３に収納されるウェーハ４の有無を検知するフ
ォトセンサ１と、このフォトセンサ１からの信号を計数
するカウンタ１５と、ターンテーブル２の下部にあって
キャリア３に対応し配置されターンテーブル２の半径方
向にバランスウエイト８を移動させる送りねじ９ａとモ
ータ９の移動機構と、この移動機構を閉鎖するカバー１
０とを備え、キャリア３のそれぞれからのカウンタ１５
の読み込む計数値に応じてキャリア３のそれぞれに対応
するバランスウエイト８を移動させる。
板の乾燥装置であって、グレードル１２とターンテーブ
ル２の位置ずれによるバランスの不均衡を無くしかつウ
ェーハへのパーティルクルの再付着を防止する。 【構成】ターンテーブル２にクレードル１２を固定し、
キャリア３に収納されるウェーハ４の有無を検知するフ
ォトセンサ１と、このフォトセンサ１からの信号を計数
するカウンタ１５と、ターンテーブル２の下部にあって
キャリア３に対応し配置されターンテーブル２の半径方
向にバランスウエイト８を移動させる送りねじ９ａとモ
ータ９の移動機構と、この移動機構を閉鎖するカバー１
０とを備え、キャリア３のそれぞれからのカウンタ１５
の読み込む計数値に応じてキャリア３のそれぞれに対応
するバランスウエイト８を移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハや液晶
基板等の基板を純水等で処理した後乾燥する基板の乾燥
装置に関する。
基板等の基板を純水等で処理した後乾燥する基板の乾燥
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の基板の乾燥装置の一例を説
明するための基板の乾燥装置の構成を示す断面図であ
る。従来、この種の基板の乾燥装置は、例えば図２に示
すように、回転軸１１により回転するターンテーブル２
と、このターンテーブル２に乗せられターンテーブル２
の任意の位置に移動し回転バランスをとるスライドテー
ブル１３と、ウェーハ４を収納するキャリア３ａ，３ｂ
を収納しスライドテーブル１３に載置されるクレード１
２と、ターンテーブル２より上側に取付けられスライド
テーブル１３の位置を変える駆動機構部１４と、これら
スライドテーブル１３、ターンテーブル２及びクレード
１２を収納する室の開口を塞ぎフィルタ６をもつ蓋５を
備えている。
明するための基板の乾燥装置の構成を示す断面図であ
る。従来、この種の基板の乾燥装置は、例えば図２に示
すように、回転軸１１により回転するターンテーブル２
と、このターンテーブル２に乗せられターンテーブル２
の任意の位置に移動し回転バランスをとるスライドテー
ブル１３と、ウェーハ４を収納するキャリア３ａ，３ｂ
を収納しスライドテーブル１３に載置されるクレード１
２と、ターンテーブル２より上側に取付けられスライド
テーブル１３の位置を変える駆動機構部１４と、これら
スライドテーブル１３、ターンテーブル２及びクレード
１２を収納する室の開口を塞ぎフィルタ６をもつ蓋５を
備えている。
【０００３】この基板の乾燥装置の動作は、まず蓋５を
開け、洗浄済みのウェーハ４を収納したキャリア３ａ，
３ｂをクレードル１２に取付ける。このときクレードル
１２は駆動機構部１４によってターンテーブルの回転中
心位置に移動されている。次に、蓋５で室の開口を閉
じ、蓋５のフィルタ６を通し乾燥空気を流す。そして、
ターンテーブル２を回転させ、空気の流れ７によってキ
ャリア３ａ，３ｂ内のウェーハ４を乾燥する。このと
き、キャリア３ａとキャリア３ｂとに重量差があれば、
スライドテーブル１３は半径方向に移動し重量差を解消
する位置でバランスを保つ。
開け、洗浄済みのウェーハ４を収納したキャリア３ａ，
３ｂをクレードル１２に取付ける。このときクレードル
１２は駆動機構部１４によってターンテーブルの回転中
心位置に移動されている。次に、蓋５で室の開口を閉
じ、蓋５のフィルタ６を通し乾燥空気を流す。そして、
ターンテーブル２を回転させ、空気の流れ７によってキ
ャリア３ａ，３ｂ内のウェーハ４を乾燥する。このと
き、キャリア３ａとキャリア３ｂとに重量差があれば、
スライドテーブル１３は半径方向に移動し重量差を解消
する位置でバランスを保つ。
【０００４】このようにこの基板の乾燥装置は、ターン
テーブル２の回転によりウェーハ４面に付着する洗浄液
を移動させ、乾燥空気により気化熱を吸収し洗浄液を気
化させ乾燥することを特徴としていた。
テーブル２の回転によりウェーハ４面に付着する洗浄液
を移動させ、乾燥空気により気化熱を吸収し洗浄液を気
化させ乾燥することを特徴としていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の基板の乾燥
装置においては、スライドテーブルがキャリアの出し入
れ時に毎回グレードルの原点復帰するため、しばしば位
置ずれを起し、バランスがとれなくなり、非常に危険な
問題となる。また、このスライドテーブルを動かす駆動
機構がキャリアを載置する位置であるテーブル上部に一
部あることや、ターンテーブルが回転する雰囲気内にむ
き出しになっているため、しばしば機械的こすれ等によ
り発生したパーティクルがウェーハに付着し汚染させ品
質に著しい欠陥をもたらすという問題があった。
装置においては、スライドテーブルがキャリアの出し入
れ時に毎回グレードルの原点復帰するため、しばしば位
置ずれを起し、バランスがとれなくなり、非常に危険な
問題となる。また、このスライドテーブルを動かす駆動
機構がキャリアを載置する位置であるテーブル上部に一
部あることや、ターンテーブルが回転する雰囲気内にむ
き出しになっているため、しばしば機械的こすれ等によ
り発生したパーティクルがウェーハに付着し汚染させ品
質に著しい欠陥をもたらすという問題があった。
【０００６】従って、本発明の目的は、グレードルのタ
ーンテーブルに対し位置ずれによるバランス不均衡を無
くしパーティクルが洗浄された基板に再付着すること無
く乾燥できる基板の乾燥装置を提供することにある。
ーンテーブルに対し位置ずれによるバランス不均衡を無
くしパーティクルが洗浄された基板に再付着すること無
く乾燥できる基板の乾燥装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、乾燥空
気を送り込む開口にフィルターを設け該乾燥空気を排出
する穴を有する乾燥室と、この乾燥室に収納され回転す
るターンテーブルと、このターンテーブルに取付られる
とともに半導体ウェーハの複数枚を溝状の棚に収納する
キャリアの複数個を互いに開口を向い合せて載置するク
レードルと、前記キャリアの複数の前記棚に収納される
前記半導体ウェーハの有無を検知するセンサと、このセ
ンサからの信号を計数するカウンタと、前記ターンテー
ブルの下部にあって前記キャリアに対応し配置され該タ
ーンテーブルの半径方向にバランスウエイトを移動させ
る移動機構と、この移動機構を閉鎖するカバーとを備
え、前記キャリアのそれぞれからの前記カウンタの読み
込む計数値に応じて前記キャリアのそれぞれに対応する
前記バランスウエイトを移動させる基板の乾燥装置であ
る。
気を送り込む開口にフィルターを設け該乾燥空気を排出
する穴を有する乾燥室と、この乾燥室に収納され回転す
るターンテーブルと、このターンテーブルに取付られる
とともに半導体ウェーハの複数枚を溝状の棚に収納する
キャリアの複数個を互いに開口を向い合せて載置するク
レードルと、前記キャリアの複数の前記棚に収納される
前記半導体ウェーハの有無を検知するセンサと、このセ
ンサからの信号を計数するカウンタと、前記ターンテー
ブルの下部にあって前記キャリアに対応し配置され該タ
ーンテーブルの半径方向にバランスウエイトを移動させ
る移動機構と、この移動機構を閉鎖するカバーとを備
え、前記キャリアのそれぞれからの前記カウンタの読み
込む計数値に応じて前記キャリアのそれぞれに対応する
前記バランスウエイトを移動させる基板の乾燥装置であ
る。
【０００８】
【実施例】この基板の乾燥装置は、図１に示すように、
従来例で述べたスライドテーブルを廃止し、グレードル
１２を直接ターンテーブル２に固定し、キャリア３の複
数の溝状の棚に収納されるウェーハ４の有無を検知する
とともに各棚に対応し上下に並べて配置される複数のフ
ォトセンサ１と、このフォトセンサ１からの信号を計数
するカウンタ１５と、ターンテーブル２の下部にあって
キャリア３に対応し配置されターンテーブルの半径方向
にバランスウエイト８を移動させる送りねじ９ａとバラ
ンスウエイト８のナットで構成される移動機構と、パー
テイクルの飛散を防止する移動機構を閉鎖するカバー１
０と、キャリア３のそれぞれからのカウンタ１５の読み
込む計数値に応じてキャリア３のそれぞれに対応するバ
ランスウエイト８を移動させる移動機構のモータ９の回
転を制御するモータ制御部１６を設けたことである。
従来例で述べたスライドテーブルを廃止し、グレードル
１２を直接ターンテーブル２に固定し、キャリア３の複
数の溝状の棚に収納されるウェーハ４の有無を検知する
とともに各棚に対応し上下に並べて配置される複数のフ
ォトセンサ１と、このフォトセンサ１からの信号を計数
するカウンタ１５と、ターンテーブル２の下部にあって
キャリア３に対応し配置されターンテーブルの半径方向
にバランスウエイト８を移動させる送りねじ９ａとバラ
ンスウエイト８のナットで構成される移動機構と、パー
テイクルの飛散を防止する移動機構を閉鎖するカバー１
０と、キャリア３のそれぞれからのカウンタ１５の読み
込む計数値に応じてキャリア３のそれぞれに対応するバ
ランスウエイト８を移動させる移動機構のモータ９の回
転を制御するモータ制御部１６を設けたことである。
【０００９】次に、この基板の乾燥装置の動作を説明す
る。まず、蓋５を開け、クレードル１２にウェーハ４を
収納したキャリア３を開口を互いに向き合せて取付け
る。次に、フォトセンサ１によりキャリア３の各棚にウ
ェーハ４が入っているか否かを調べる。次に、カウンタ
１５でウェーハ有りの計数を行ない、制御部１６に計数
値を送る。そして、制御部１６はキャリア３のウェーハ
の数からモータ９に送るパルス信号数を演算し、パルス
ジェネレータからモータ９に演算されたパルス電圧の数
を送る。このことによりモータ９が所定角度だけ回転
し、送りねじによりバランスウエイト８を移動させ、タ
ーンテーブル２、キャリア３およびクレードル１２を含
む回転体のバランスをとる。そして、回転軸１１により
ターンテーブルを回転させ、ウェーハに残っている洗浄
液を飛散させ、乾燥空気により気化させて乾燥する。
る。まず、蓋５を開け、クレードル１２にウェーハ４を
収納したキャリア３を開口を互いに向き合せて取付け
る。次に、フォトセンサ１によりキャリア３の各棚にウ
ェーハ４が入っているか否かを調べる。次に、カウンタ
１５でウェーハ有りの計数を行ない、制御部１６に計数
値を送る。そして、制御部１６はキャリア３のウェーハ
の数からモータ９に送るパルス信号数を演算し、パルス
ジェネレータからモータ９に演算されたパルス電圧の数
を送る。このことによりモータ９が所定角度だけ回転
し、送りねじによりバランスウエイト８を移動させ、タ
ーンテーブル２、キャリア３およびクレードル１２を含
む回転体のバランスをとる。そして、回転軸１１により
ターンテーブルを回転させ、ウェーハに残っている洗浄
液を飛散させ、乾燥空気により気化させて乾燥する。
【００１０】こころみに、従来装置と本発明の装置とで
パーティクルの再付着を調べたところ、従来の装置によ
るパーティクル付着数が平均で２４個に対し本発明の装
置では平均で５個以下となった。
パーティクルの再付着を調べたところ、従来の装置によ
るパーティクル付着数が平均で２４個に対し本発明の装
置では平均で５個以下となった。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、グレードルをター
ンテーブルに直接固定しグレードルの位置ずれを無く
し、収納されるウェーハの枚数の異なるキャリアを周縁
側に寄せて搭載するクレードルの回転バランスをとるバ
ランスウエイトの移動機構をターンテーブルの下部に配
置し、さらに、この移動機構を閉鎖するカバーを設ける
ことによって、移動機構のような駆動機構部からパーテ
ィクルが発生しても、カバーによってパーティクルの飛
散を無くなり、グレードルの位置ずれによるバランスの
不均衡を無くなりかつウェーハへのパーティクルの再付
着を防止できるという効果がある。
ンテーブルに直接固定しグレードルの位置ずれを無く
し、収納されるウェーハの枚数の異なるキャリアを周縁
側に寄せて搭載するクレードルの回転バランスをとるバ
ランスウエイトの移動機構をターンテーブルの下部に配
置し、さらに、この移動機構を閉鎖するカバーを設ける
ことによって、移動機構のような駆動機構部からパーテ
ィクルが発生しても、カバーによってパーティクルの飛
散を無くなり、グレードルの位置ずれによるバランスの
不均衡を無くなりかつウェーハへのパーティクルの再付
着を防止できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例における基板の乾燥装置の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図２】従来の基板の乾燥装置の一例における構成を示
す断面図である。
す断面図である。
１ フォトセンサ ２ ターンテーブル ３，３ａ，３ｂ キャリア ４ ウェーハ ５ 蓋 ６ フィルター ７ 空気の流れ ８ バランスウエイト ９ モータ １０ カバー １１ 回転軸 １２ クレードル １３ スライドテーブル １４ 駆動機構 １５ カウンタ １６ モータ制御部
Claims (1)
- 【請求項１】 乾燥空気を送り込む開口にフィルターを
設け該乾燥空気を排出する穴を有する乾燥室と、この乾
燥室に収納され回転するターンテーブルと、このターン
テーブルに取付られるとともに半導体ウェーハの複数枚
を溝状の棚に収納するキャリアの複数個を互いに開口を
向い合せて載置するクレードルと、前記キャリアの複数
の前記棚に収納される前記半導体ウェーハの有無を検知
するセンサと、このセンサからの信号を計数するカウン
タと、前記ターンテーブルの下部にあって前記キャリア
に対応し配置され該ターンテーブルの半径方向にバラン
スウエイトを移動させる移動機構と、この移動機構を閉
鎖するカバーとを備え、前記キャリアのそれぞれからの
前記カウンタの読み込む計数値に応じて前記キャリアの
それぞれに対応する前記バランスウエイトを移動させる
ことを特徴とする基板の乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150793A JPH0745578A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 基板の乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150793A JPH0745578A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 基板の乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745578A true JPH0745578A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16275807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19150793A Pending JPH0745578A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 基板の乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0745578A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107803328A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-03-16 | 韩丹 | 一种扬声器制作用高效烘干装置 |
-
1993
- 1993-08-03 JP JP19150793A patent/JPH0745578A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107803328A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-03-16 | 韩丹 | 一种扬声器制作用高效烘干装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000321 |