JP2517672Y2 - スピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器 - Google Patents
スピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器Info
- Publication number
- JP2517672Y2 JP2517672Y2 JP2813492U JP2813492U JP2517672Y2 JP 2517672 Y2 JP2517672 Y2 JP 2517672Y2 JP 2813492 U JP2813492 U JP 2813492U JP 2813492 U JP2813492 U JP 2813492U JP 2517672 Y2 JP2517672 Y2 JP 2517672Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- spin dryer
- wafers
- substrate
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、半導体ウェーハやガ
ラス基板などの洗浄後の乾燥に使用する回転式乾燥機に
おけるウェーハ枚数計測器に係り、ウェーハのキャリア
ケースあるいは基板収納部に収納するウェーハ枚数を自
動的に計測して、例えば枚数に応じてカウンターウエイ
トの位置を変えてバランスを取る自動バランス機構を採
用可能にしたスピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器に
関する。
ラス基板などの洗浄後の乾燥に使用する回転式乾燥機に
おけるウェーハ枚数計測器に係り、ウェーハのキャリア
ケースあるいは基板収納部に収納するウェーハ枚数を自
動的に計測して、例えば枚数に応じてカウンターウエイ
トの位置を変えてバランスを取る自動バランス機構を採
用可能にしたスピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェーハ用のスピンドライ
ヤー（例えば、実開昭６１−１７９７４３号）は、被乾
燥物のウェーハをキャリアケースに収納したまま、例え
ば水平に配置したターンテーブル上の対称位置の４か所
に載置してターンテーブルを回転させる構成のため、タ
ーンテーブルの回転軸中心とした重量バランスが失われ
ると振動が生じ、ウェーハがキャリアケースに当たり破
損したり、パーティクルを発生して汚染が起こるなどの
問題があった。従って、キャリアケースの載置位置やキ
ャリアケース内のウェーハ枚数を厳密に管理する必要が
あり、稼働効率が低下する。
ヤー（例えば、実開昭６１−１７９７４３号）は、被乾
燥物のウェーハをキャリアケースに収納したまま、例え
ば水平に配置したターンテーブル上の対称位置の４か所
に載置してターンテーブルを回転させる構成のため、タ
ーンテーブルの回転軸中心とした重量バランスが失われ
ると振動が生じ、ウェーハがキャリアケースに当たり破
損したり、パーティクルを発生して汚染が起こるなどの
問題があった。従って、キャリアケースの載置位置やキ
ャリアケース内のウェーハ枚数を厳密に管理する必要が
あり、稼働効率が低下する。
【０００３】そこで、中空篭型の回転体を上下一対のベ
アリングで軸支して回転を滑らかにし、さらに回転体の
軸中心部から外周側へ清浄空気を吹き出して再汚染を防
止するスピンドライヤーが提案（実公平４−６２０６
号）されている。
アリングで軸支して回転を滑らかにし、さらに回転体の
軸中心部から外周側へ清浄空気を吹き出して再汚染を防
止するスピンドライヤーが提案（実公平４−６２０６
号）されている。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】上記提案のスピンドラ
イヤーは上下一対のベアリングで軸支して回転を滑らか
にしているが、例えば、キャリアケース毎にウェーハ枚
数が異なる場合は、やはり各キャリアケース内のウェー
ハ枚数を厳密に管理する必要がある。
イヤーは上下一対のベアリングで軸支して回転を滑らか
にしているが、例えば、キャリアケース毎にウェーハ枚
数が異なる場合は、やはり各キャリアケース内のウェー
ハ枚数を厳密に管理する必要がある。
【０００５】また、スピンドライヤーにおいて、搭載す
るウェーハ枚数が変化しても回転バランスを失わないよ
うに、カウンターウエイトの位置等を変化させて自動的
にバランスを取り、円滑な回転を実現する自動バランス
機構を付設することが考えられる。しかし、スピンドラ
イヤーに搭載してウェーハ枚数を自動的に計測して、計
測結果を自動バランス機構の制御器へ出力するような構
成からなるウェーハ枚数計測器の具体的な提案がなく、
自動バランス機構を有するスピンドライヤーが実用化さ
れていない。
るウェーハ枚数が変化しても回転バランスを失わないよ
うに、カウンターウエイトの位置等を変化させて自動的
にバランスを取り、円滑な回転を実現する自動バランス
機構を付設することが考えられる。しかし、スピンドラ
イヤーに搭載してウェーハ枚数を自動的に計測して、計
測結果を自動バランス機構の制御器へ出力するような構
成からなるウェーハ枚数計測器の具体的な提案がなく、
自動バランス機構を有するスピンドライヤーが実用化さ
れていない。
【０００６】この考案は、搭載するウェーハ枚数が変化
しても自動的にバランスを取り、円滑な回転を実現する
スピンドライヤーを実現するため、スピンドライヤーに
搭載してウェーハ枚数を自動的に計測可能な構成からな
るスピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器の提供を目的
としている。
しても自動的にバランスを取り、円滑な回転を実現する
スピンドライヤーを実現するため、スピンドライヤーに
搭載してウェーハ枚数を自動的に計測可能な構成からな
るスピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器の提供を目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この考案は、スピンドラ
イヤーに載置されるウェーハキャリアあるいはウェーハ
収納部の配列収納されたウェーハ列に対して走査可能に
配置され、各ウェーハ端面に光またはレーザー光を照射
して得たパルスによりウェーハ枚数を計測する手段を有
することを特徴とするスピンドライヤー用ウェーハ枚数
計測器である。
イヤーに載置されるウェーハキャリアあるいはウェーハ
収納部の配列収納されたウェーハ列に対して走査可能に
配置され、各ウェーハ端面に光またはレーザー光を照射
して得たパルスによりウェーハ枚数を計測する手段を有
することを特徴とするスピンドライヤー用ウェーハ枚数
計測器である。
【０００８】この考案のウェーハ枚数計測器において、
配列収納されたウェーハ列に対して各ウェーハ端面を走
査可能にした構成には、スピンドライヤーに載置される
ウェーハキャリアあるいはウェーハ収納部の構造に応じ
て種々選定されるが、実施例の如く、ウェーハの配列方
向に平行にレールを配置して、発光及び／または受光ユ
ニットを公知の移動機構にて走行自在にし、配列した各
ウェーハ端面を走査可能にする構成等が採用でき、かか
る構成自体を可動にしてキャリアあるいはウェーハの脱
着操作を妨げない構成とすることもできる。
配列収納されたウェーハ列に対して各ウェーハ端面を走
査可能にした構成には、スピンドライヤーに載置される
ウェーハキャリアあるいはウェーハ収納部の構造に応じ
て種々選定されるが、実施例の如く、ウェーハの配列方
向に平行にレールを配置して、発光及び／または受光ユ
ニットを公知の移動機構にて走行自在にし、配列した各
ウェーハ端面を走査可能にする構成等が採用でき、かか
る構成自体を可動にしてキャリアあるいはウェーハの脱
着操作を妨げない構成とすることもできる。
【０００９】また、この考案において、各ウェーハ端面
に光またはレーザー光を照射して得たパルスによりウェ
ーハ枚数を計測する手段には、実施例の如く、ウェーハ
収納部を挟み平行に一対のレールを配置して、発光と受
光ユニットを各レール上を同期走行可能にし、ウェーハ
の有無で発生するパルスを電圧あるいは電流信号として
計測するほか、発光と受光ユニットを隣接させて搭載配
置するなど、公知の光学系計測器を適宜採用できる。
に光またはレーザー光を照射して得たパルスによりウェ
ーハ枚数を計測する手段には、実施例の如く、ウェーハ
収納部を挟み平行に一対のレールを配置して、発光と受
光ユニットを各レール上を同期走行可能にし、ウェーハ
の有無で発生するパルスを電圧あるいは電流信号として
計測するほか、発光と受光ユニットを隣接させて搭載配
置するなど、公知の光学系計測器を適宜採用できる。
【００１０】
【作用】この考案は、ウェーハのキャリアケースあるい
は基板収納部に収納するウェーハ枚数を自動的に計測で
きるため、実施例の如く、スピンドライヤーに枚数に応
じてカウンターウエイトの位置を変えてバランスを取る
自動バランス機構を採用することができ、基板収納部を
大きな偏心量で配置しても回転時の振動がなくなり大き
な遠心力を利用して乾燥能力を向上させることができ
る。また、この考案は、実施例の如き半導体ウェーハ用
の軸水平型のほか、ガラス基板などにも利用でき、さら
に軸鉛直型のスピンドライヤーに適用しても同様の作用
効果を奏する。
は基板収納部に収納するウェーハ枚数を自動的に計測で
きるため、実施例の如く、スピンドライヤーに枚数に応
じてカウンターウエイトの位置を変えてバランスを取る
自動バランス機構を採用することができ、基板収納部を
大きな偏心量で配置しても回転時の振動がなくなり大き
な遠心力を利用して乾燥能力を向上させることができ
る。また、この考案は、実施例の如き半導体ウェーハ用
の軸水平型のほか、ガラス基板などにも利用でき、さら
に軸鉛直型のスピンドライヤーに適用しても同様の作用
効果を奏する。
【００１１】
【実施例】ここでは半導体ウェーハ用のスピンドライヤ
ーに適用し、かつ回転軸が水平配置の場合を例に説明す
る。図１はこの考案を適用したスピンドライヤーの正面
説明図、図２はこの考案を適用したスピンドライヤーを
回転軸方向からみた側面説明図である。水平に軸支した
回転軸１，１にそれぞれ側板２，２を固着して対向さ
せ、側板２，２間に基板収納部１０とバランスウエイト
部２０を配置してあり、回転用モータやカバーならびに
制御装置などは図示を省略している。
ーに適用し、かつ回転軸が水平配置の場合を例に説明す
る。図１はこの考案を適用したスピンドライヤーの正面
説明図、図２はこの考案を適用したスピンドライヤーを
回転軸方向からみた側面説明図である。水平に軸支した
回転軸１，１にそれぞれ側板２，２を固着して対向さ
せ、側板２，２間に基板収納部１０とバランスウエイト
部２０を配置してあり、回転用モータやカバーならびに
制御装置などは図示を省略している。
【００１２】基板収納部１０は、回転軸心側に固定配置
したウェーハ３の収納溝を対向配列したガイド受け１１
とガイド受け１１内を軸に直交方向、すなわち図で上下
方向に図示しないシリンダにて移動可能にした基板受座
１２、収納する基板中心に回動可能に側板２，２に軸支
した蓋状の一対の基板押さえ１３，１４とから構成さ
れ、各部材にはウェーハ３を当接保持するための溝部が
設けられている。
したウェーハ３の収納溝を対向配列したガイド受け１１
とガイド受け１１内を軸に直交方向、すなわち図で上下
方向に図示しないシリンダにて移動可能にした基板受座
１２、収納する基板中心に回動可能に側板２，２に軸支
した蓋状の一対の基板押さえ１３，１４とから構成さ
れ、各部材にはウェーハ３を当接保持するための溝部が
設けられている。
【００１３】一対の基板押さえ１３，１４は、側板２，
２に軸支した軸の外周面が螺刻されて相互に噛合し、一
方の軸にウォームギア１５を設けて、サーボモーター１
６で回転駆動されるウォーム１７に噛合させており、相
互に逆向きに回動する。図示の一対の基板押さえ１３，
１４が閉じた状態では、一方の基板押さえ１４に設けた
ばねで与勢いされたロックラッチェット１８が他方の基
板押さえ１３に設けた係止ピンに掛かりロックされる構
成で、解除は上方に設けたロック解除用シリンダ１９で
ロックラッチェット１８の先端を押すことにより行う。
２に軸支した軸の外周面が螺刻されて相互に噛合し、一
方の軸にウォームギア１５を設けて、サーボモーター１
６で回転駆動されるウォーム１７に噛合させており、相
互に逆向きに回動する。図示の一対の基板押さえ１３，
１４が閉じた状態では、一方の基板押さえ１４に設けた
ばねで与勢いされたロックラッチェット１８が他方の基
板押さえ１３に設けた係止ピンに掛かりロックされる構
成で、解除は上方に設けたロック解除用シリンダ１９で
ロックラッチェット１８の先端を押すことにより行う。
【００１４】バランスウエイト部２０は、一対のバラン
スシャフト２１，２１の両端を側板２，２に軸支した支
持アーム２２，２２で回動可能に支持され、軸支した支
持アーム２２，２２の一端に相互に噛合するギアを接合
し、一方をウォームギア２３として、サーボモーター２
４で回転駆動されるウォーム２５に噛合させており、相
互に逆向きに回動する。
スシャフト２１，２１の両端を側板２，２に軸支した支
持アーム２２，２２で回動可能に支持され、軸支した支
持アーム２２，２２の一端に相互に噛合するギアを接合
し、一方をウォームギア２３として、サーボモーター２
４で回転駆動されるウォーム２５に噛合させており、相
互に逆向きに回動する。
【００１５】スピンドライヤーの上方にウェーハキャリ
アがロボット搬送されてきた際に、一対の基板押さえ１
３，１４は図２で想像線の位置にあり、開いた状態で基
板受座１２がシリンダにて上昇しキャリア内のウェーハ
を取りに行き、再び下降してガイド受け１１内にウェー
ハ３を配列する。その後、サーボモーター１６でウォー
ム１７を回転させて一対の基板押さえ１３，１４を上方
に回動させて閉じることによりウェーハ３の頂部を押さ
え、また一方の基板押さえ１４に設けたばねで与勢いさ
れたロックラッチェット１８が他方の基板押さえ１３に
設けた係止ピンに掛かりロックされる。
アがロボット搬送されてきた際に、一対の基板押さえ１
３，１４は図２で想像線の位置にあり、開いた状態で基
板受座１２がシリンダにて上昇しキャリア内のウェーハ
を取りに行き、再び下降してガイド受け１１内にウェー
ハ３を配列する。その後、サーボモーター１６でウォー
ム１７を回転させて一対の基板押さえ１３，１４を上方
に回動させて閉じることによりウェーハ３の頂部を押さ
え、また一方の基板押さえ１４に設けたばねで与勢いさ
れたロックラッチェット１８が他方の基板押さえ１３に
設けた係止ピンに掛かりロックされる。
【００１６】この考案によるウェーハ枚数計測器は、基
板収納部１０内のウェーハ３を挟み所要高さ位置に水平
配置した一対のレール６，６に発光器４と受光器５を配
置して、発光器４と受光器５を同調させて移動させるこ
とにより、基板収納部１０内に配列収納したウェーハ３
の枚数をパルスとしてカウントすることができ、この計
測器で得たウェーハ３の枚数は枚数信号として、図示し
ない制御装置に入力される。制御装置では入力された枚
数信号に応じて、予め定めた一対のバランスシャフト２
１，２１の開き角度となるようにサーボモーター２４を
駆動制御してウォーム２５を回転させて支持アーム２
２，２２を回動させる。
板収納部１０内のウェーハ３を挟み所要高さ位置に水平
配置した一対のレール６，６に発光器４と受光器５を配
置して、発光器４と受光器５を同調させて移動させるこ
とにより、基板収納部１０内に配列収納したウェーハ３
の枚数をパルスとしてカウントすることができ、この計
測器で得たウェーハ３の枚数は枚数信号として、図示し
ない制御装置に入力される。制御装置では入力された枚
数信号に応じて、予め定めた一対のバランスシャフト２
１，２１の開き角度となるようにサーボモーター２４を
駆動制御してウォーム２５を回転させて支持アーム２
２，２２を回動させる。
【００１７】所要枚数のウェーハ３が基板収納部１０に
収納され、ウェーハ枚数計測器によりウェーハ３枚数を
カウントし、制御装置では入力された枚数信号に応じて
バランスシャフト２１，２１の開き角度が設定された
後、回転用モーターで回転軸１，１が回転駆動される
と、回転モーメントのバランスが正確に取られているた
め、振動なく円滑に所要の回転数まで上昇し定常運転に
入り、回転軸１とウェーハ３との軸心間距離を長くした
大きな偏心量で十分な遠心力が発生して乾燥能力が向上
し、振動のない円滑な回転によりパーティクルの発生が
防止される。
収納され、ウェーハ枚数計測器によりウェーハ３枚数を
カウントし、制御装置では入力された枚数信号に応じて
バランスシャフト２１，２１の開き角度が設定された
後、回転用モーターで回転軸１，１が回転駆動される
と、回転モーメントのバランスが正確に取られているた
め、振動なく円滑に所要の回転数まで上昇し定常運転に
入り、回転軸１とウェーハ３との軸心間距離を長くした
大きな偏心量で十分な遠心力が発生して乾燥能力が向上
し、振動のない円滑な回転によりパーティクルの発生が
防止される。
【００１８】
【考案の効果】この考案のウェーハ枚数計測器は、スピ
ンドライヤーに枚数に応じてカウンターウエイトの位置
を変えてバランスを取る自動バランス機構を採用した構
成を可能にした。この考案のウェーハ枚数計測器は簡単
にウェーハ枚数をカウントして枚数信号として制御装置
に入力できるため、このウェーハ枚数計測器を適用した
スピンドライヤーは、搬送側のウェーハキャリアへ基板
を受取りに移動する基板収納部を大きく偏心させて回転
軸に装着し、収納した基板の枚数に応じてカウンターウ
エイトの位置を変えてバランスを取る構成を採用でき、
回転時の振動がなく大きな遠心力を利用した高い乾燥能
力が得られる。
ンドライヤーに枚数に応じてカウンターウエイトの位置
を変えてバランスを取る自動バランス機構を採用した構
成を可能にした。この考案のウェーハ枚数計測器は簡単
にウェーハ枚数をカウントして枚数信号として制御装置
に入力できるため、このウェーハ枚数計測器を適用した
スピンドライヤーは、搬送側のウェーハキャリアへ基板
を受取りに移動する基板収納部を大きく偏心させて回転
軸に装着し、収納した基板の枚数に応じてカウンターウ
エイトの位置を変えてバランスを取る構成を採用でき、
回転時の振動がなく大きな遠心力を利用した高い乾燥能
力が得られる。
【図１】この考案のウェーハ枚数計測器を適用したスピ
ンドライヤーの正面説明図である。
ンドライヤーの正面説明図である。
【図２】この考案のウェーハ枚数計測器を適用したスピ
ンドライヤーを回転軸方向からみた側面説明図である。
ンドライヤーを回転軸方向からみた側面説明図である。
１ 回転軸 ２ 側板 ３ ウェーハ ４ 発光器 ５ 受光器 １０ 基板収納部 １１ ガイド受け １２ 基板受座 １３，１４ 基板押さえ １５，２３ ウォームギア １６，２４ サーボモーター １７，２５ ウォーム １８ ロックラッチェット １９ ロック解除用シリンダ ２０ バランスウエイト部 ２１，２２ バランスシャフト
Claims (1)
- 【請求項１】 スピンドライヤーに載置されるウェーハ
キャリアあるいはウェーハ収納部の配列収納されたウェ
ーハ列に対して走査可能に配置され、各ウェーハ端面に
光またはレーザー光を照射して得たパルスによりウェー
ハ枚数を計測する手段を有することを特徴とするスピン
ドライヤー用ウェーハ枚数計測器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2813492U JP2517672Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | スピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2813492U JP2517672Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | スピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0583870U JPH0583870U (ja) | 1993-11-12 |
| JP2517672Y2 true JP2517672Y2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=12240304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2813492U Expired - Lifetime JP2517672Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | スピンドライヤー用ウェーハ枚数計測器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2517672Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114724981B (zh) * | 2022-03-10 | 2023-02-28 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种晶圆片数片装置及数片方法 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP2813492U patent/JP2517672Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0583870U (ja) | 1993-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |