JP3182761B2 - 遠心脱水乾燥装置 - Google Patents
遠心脱水乾燥装置Info
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- JP3182761B2 JP3182761B2 JP29118090A JP29118090A JP3182761B2 JP 3182761 B2 JP3182761 B2 JP 3182761B2 JP 29118090 A JP29118090 A JP 29118090A JP 29118090 A JP29118090 A JP 29118090A JP 3182761 B2 JP3182761 B2 JP 3182761B2
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- Japan
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- carrier case
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- wafer
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- Centrifugal Separators (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は遠心脱水乾燥装置に関し、特に回転駆動系に
関する。
関する。
従来の遠心脱水乾燥装置は次のような構造になってい
た。即ち第３図に示すように、外槽10の内部に置かれた
回転槽９にはキャリアケース収納部３が取り付けられて
いる。１は回転槽９の上蓋である。また回転槽９の底部
は、駆動装置８の動力を伝える回転軸７と連結されてい
る。
た。即ち第３図に示すように、外槽10の内部に置かれた
回転槽９にはキャリアケース収納部３が取り付けられて
いる。１は回転槽９の上蓋である。また回転槽９の底部
は、駆動装置８の動力を伝える回転軸７と連結されてい
る。
次に動作について説明すると、回転軸７と連結してい
る回転槽９は、駆動装置８の力によって回転し始める。
すると、ウェハーの入ったキャリアケース収納部３は、
回転槽９に取り付けられているため、回転槽９の回転に
よりウェハーに遠心力が加わり、ウェハーに付着した水
がはじき飛ばされるようになっている。
る回転槽９は、駆動装置８の力によって回転し始める。
すると、ウェハーの入ったキャリアケース収納部３は、
回転槽９に取り付けられているため、回転槽９の回転に
よりウェハーに遠心力が加わり、ウェハーに付着した水
がはじき飛ばされるようになっている。
従来の遠心脱水乾燥装置の構造では、回転中心から対
称となる２つのキャリアケース収納部の片方にキャリア
ケースを収納し、回転させた際に発生する遠心力に釣り
合いが取れず、回転中心軸がぶれてしまい、振動が発生
し、キャリアケース内のウェハーが破損するという問題
点があった。また双方のキャリアケース収納部にキャリ
アケースを収納しても、キャリアケース内のウェハーの
枚数が同等でないと、前記の現象が発生し問題となって
いた。
称となる２つのキャリアケース収納部の片方にキャリア
ケースを収納し、回転させた際に発生する遠心力に釣り
合いが取れず、回転中心軸がぶれてしまい、振動が発生
し、キャリアケース内のウェハーが破損するという問題
点があった。また双方のキャリアケース収納部にキャリ
アケースを収納しても、キャリアケース内のウェハーの
枚数が同等でないと、前記の現象が発生し問題となって
いた。
本発明の目的は、回転中心軸のぶれに伴なう振動でキ
ャリアケース内のウェハーが破損することを防止した遠
心脱水乾燥装置を提供することにある。
ャリアケース内のウェハーが破損することを防止した遠
心脱水乾燥装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る遠心脱水乾燥
装置は、回転軸より対象な位置にあるキャリアケース収
納部に被乾燥物をセットし、回転による遠心力を作用さ
せて被乾燥物の乾燥を行う遠心脱水乾燥装置において、 キャリアケース収納部のキャリアケースの有無及びウ
ェハーの枚数を感知するセンサーと、 回転軸にかかるトルクに釣り合いがとれる位置に移動
可能な重りと、 前記センサーからの信号を読み取りウエハキャリアケ
ースの収納部の質量差を演算して、前記ウエハキャリア
ケースの収納部の質量差により前記トルク調整重りを移
動させてバランスをとる機構とを有するものである。
装置は、回転軸より対象な位置にあるキャリアケース収
納部に被乾燥物をセットし、回転による遠心力を作用さ
せて被乾燥物の乾燥を行う遠心脱水乾燥装置において、 キャリアケース収納部のキャリアケースの有無及びウ
ェハーの枚数を感知するセンサーと、 回転軸にかかるトルクに釣り合いがとれる位置に移動
可能な重りと、 前記センサーからの信号を読み取りウエハキャリアケ
ースの収納部の質量差を演算して、前記ウエハキャリア
ケースの収納部の質量差により前記トルク調整重りを移
動させてバランスをとる機構とを有するものである。
回転中心から対称となる２つのキャリアケース収納部
内のキャリアケースの有無、及びウェハーの枚数をセン
サーによって感知し、回転軸に加わるモーメントが等し
くなるように、トルク調整重りの位置調整を行い、回転
中心軸のぶれを防止する。
内のキャリアケースの有無、及びウェハーの枚数をセン
サーによって感知し、回転軸に加わるモーメントが等し
くなるように、トルク調整重りの位置調整を行い、回転
中心軸のぶれを防止する。
次に本発明について図面を参照して説明する。
（実施例１） 第１図は、本発明の実施例１を示す構成図である。
図において、外槽10の内部に設置された回転槽９に
は、キャリアケース収納部３が回転中心から対称的な位
置に取付けられ、外槽10の上蓋１の内部にはキャリアケ
ースの有無、及びウェハーの枚数を感知する光センサー
２が取り付けられている。また回転槽９の底部は、駆動
装置８の動力を伝える回転軸７と連結されている。さら
に回転槽９の下部には、ねじ山が切られた重り移動軸４
及びトルク調整重り５が取り付けられてあり、その重り
移動軸４の延長上にモータ６が設置されており、モータ
６は制御部6aにより駆動制御される。
は、キャリアケース収納部３が回転中心から対称的な位
置に取付けられ、外槽10の上蓋１の内部にはキャリアケ
ースの有無、及びウェハーの枚数を感知する光センサー
２が取り付けられている。また回転槽９の底部は、駆動
装置８の動力を伝える回転軸７と連結されている。さら
に回転槽９の下部には、ねじ山が切られた重り移動軸４
及びトルク調整重り５が取り付けられてあり、その重り
移動軸４の延長上にモータ６が設置されており、モータ
６は制御部6aにより駆動制御される。
次に本発明の遠心脱水乾燥装置の動作過程について説
明すると、ウェハーが入ったキャリアケースを回転中心
から対称的な位置に取り付けられたキャリアケース収納
部３にそれぞれ収納する。この際、片方のキャリアケー
スには、20枚のウェハーを、他方のキャリアケースに
は、10枚のウェハーを入れることにする。ウェハーの直
径を６インチとすると、１枚当りの質量は約25gである
ので、双方のキャリアケース収納部３の質量差は250gと
なる。回転中心からウェハーキャリアケース収納部３ま
での距離を30cmとし、回転数を800r.p.m.、回転軸７か
らキャリアケース収納部３までの高さを50cmとする。両
ウェハーキャリアケース収納部３の質量差が250gなの
で、回転軸７には26.7π2N・ｍの釣り合いの取れないト
ルクがかかることになる。そこで、制御部6aは光センサ
ー２からの信号より自動的に質量差，回転軸７にかかる
トルク、及びそのトルクに釣り合いが取れるトルク調整
重り５の位置を計算し、モータ６により移動させる。こ
の場合は回転軸７から高さ20cmの位置に取り付けられた
質量1kgのトルク調整重り５を、ウェハーが20枚入った
キャリアケース収納部３と反対方向に中心から19cmの位
置にモータ６で重り移動軸４を回転させて移動するの
で、回転軸７にかかるトルクは釣り合いが取れて、振動
は発生しなくなる。
明すると、ウェハーが入ったキャリアケースを回転中心
から対称的な位置に取り付けられたキャリアケース収納
部３にそれぞれ収納する。この際、片方のキャリアケー
スには、20枚のウェハーを、他方のキャリアケースに
は、10枚のウェハーを入れることにする。ウェハーの直
径を６インチとすると、１枚当りの質量は約25gである
ので、双方のキャリアケース収納部３の質量差は250gと
なる。回転中心からウェハーキャリアケース収納部３ま
での距離を30cmとし、回転数を800r.p.m.、回転軸７か
らキャリアケース収納部３までの高さを50cmとする。両
ウェハーキャリアケース収納部３の質量差が250gなの
で、回転軸７には26.7π2N・ｍの釣り合いの取れないト
ルクがかかることになる。そこで、制御部6aは光センサ
ー２からの信号より自動的に質量差，回転軸７にかかる
トルク、及びそのトルクに釣り合いが取れるトルク調整
重り５の位置を計算し、モータ６により移動させる。こ
の場合は回転軸７から高さ20cmの位置に取り付けられた
質量1kgのトルク調整重り５を、ウェハーが20枚入った
キャリアケース収納部３と反対方向に中心から19cmの位
置にモータ６で重り移動軸４を回転させて移動するの
で、回転軸７にかかるトルクは釣り合いが取れて、振動
は発生しなくなる。
また、重り５の調整機構を第２図に示すように変更し
てもよい。すなわち、第２図では、重り移動軸４の片側
にスプリング11が取り付けられており、更に重り移動軸
４の片側が回転槽９に差し込まれて固定されるようにな
っている。トルク調整重り５を移動する際にはモータ６
が重り移動軸４を突き押し、回転可能な状態にする。そ
してトルク調整重り５を移動し終った際には、モータ６
を元の位置に戻す。モータ６が元の位置に戻ると、スプ
リング11の復元力によって、重り移動軸４が再び回転槽
９に差し込まれて固定されるようになる。この第２図の
機構では回転中のトルク調整重り５の位置が全くずれる
ことがないという利点を有する。
てもよい。すなわち、第２図では、重り移動軸４の片側
にスプリング11が取り付けられており、更に重り移動軸
４の片側が回転槽９に差し込まれて固定されるようにな
っている。トルク調整重り５を移動する際にはモータ６
が重り移動軸４を突き押し、回転可能な状態にする。そ
してトルク調整重り５を移動し終った際には、モータ６
を元の位置に戻す。モータ６が元の位置に戻ると、スプ
リング11の復元力によって、重り移動軸４が再び回転槽
９に差し込まれて固定されるようになる。この第２図の
機構では回転中のトルク調整重り５の位置が全くずれる
ことがないという利点を有する。
（実施例２） 第４図は、本発明の実施例２を示す構成図である。
本実施例では、実施例１と異なり、トルク調整重り５
を移動させるのに、リニア誘導モータを使用している。
トルク調整重り５が移動する通路の下部にコイルが内蔵
された固定子12が設置されており、制御部6aは、センサ
ー２の出力に基いて固定子12のコイルへの通電量を制御
し、磁束の作用によってトルク調整重り５が移動する仕
組みになっている。
を移動させるのに、リニア誘導モータを使用している。
トルク調整重り５が移動する通路の下部にコイルが内蔵
された固定子12が設置されており、制御部6aは、センサ
ー２の出力に基いて固定子12のコイルへの通電量を制御
し、磁束の作用によってトルク調整重り５が移動する仕
組みになっている。
実施例１では回転槽９が目標回転速度に達するまでの
過程では回転軸７にかかるトルクに釣り合いが取れず振
動が発生してしまう場合があるが、この実施例２では目
標回転速度以前での回転数に合わせて、トルク調整重り
５の位置を調節するため、回転数が安定する前において
も、回転軸７にかかるトルクは釣り合いがとれ、常時に
おいて振動が発生しないという利点を有する。
過程では回転軸７にかかるトルクに釣り合いが取れず振
動が発生してしまう場合があるが、この実施例２では目
標回転速度以前での回転数に合わせて、トルク調整重り
５の位置を調節するため、回転数が安定する前において
も、回転軸７にかかるトルクは釣り合いがとれ、常時に
おいて振動が発生しないという利点を有する。
以上説明したように本発明によれば、回転槽内に設置
されたトルク調整重りの回転中心からの距離を変化させ
ることにより、回転中心から対称となったキャリアケー
ス収納部の質量が異なる場合、従来の技術では10％程度
生じたウェハー破損を、0.01％以下におさえることがで
きる。
されたトルク調整重りの回転中心からの距離を変化させ
ることにより、回転中心から対称となったキャリアケー
ス収納部の質量が異なる場合、従来の技術では10％程度
生じたウェハー破損を、0.01％以下におさえることがで
きる。
第１図、第２図は、本発明の実施例１を示す構成図、第
３図は、従来の例を示す構成図、第４図は、本発明の実
施例２を示す構成図である。 １……上蓋、２……光センサー ３……キャリアケース収納部 ４……重り移動軸、５……トルク調整重り ６……モータ、6a……制御部 ７……回転軸、８……駆動装置 ９……回転槽、10……外槽 11……スプリング、12……固定子
３図は、従来の例を示す構成図、第４図は、本発明の実
施例２を示す構成図である。 １……上蓋、２……光センサー ３……キャリアケース収納部 ４……重り移動軸、５……トルク調整重り ６……モータ、6a……制御部 ７……回転軸、８……駆動装置 ９……回転槽、10……外槽 11……スプリング、12……固定子
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 651 B04B 9/14 B04B 13/00 F26B 5/08
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸より対象な位置にあるキャリアケー
ス収納部に被乾燥物をセットし、回転による遠心力を作
用させて被乾燥物の乾燥を行う遠心脱水乾燥装置におい
て、 キャリアケース収納部のキャリアケースの有無及びウェ
ハーの枚数を感知するセンサーと、 回転軸にかかるトルクに釣り合いがとれる位置に移動可
能な重りと、 前記センサーからの信号を読み取りウエハキャリアケー
スの収納部の質量差を演算して、前記ウエハキャリアケ
ースの収納部の質量差により前記トルク調整重りを移動
させてバランスをとる機構とを有することを特徴とする
遠心脱水乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29118090A JP3182761B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 遠心脱水乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29118090A JP3182761B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 遠心脱水乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04166250A JPH04166250A (ja) | 1992-06-12 |
| JP3182761B2 true JP3182761B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=17765498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29118090A Expired - Fee Related JP3182761B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 遠心脱水乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3182761B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014116404A1 (de) * | 2014-11-11 | 2016-05-12 | Gea Mechanical Equipment Gmbh | Verfahren zum Überwachen und/oder Regeln des Betriebs einer Zentrifuge |
| CN106391329A (zh) * | 2016-11-10 | 2017-02-15 | 中国农业大学 | 一种蔬菜种子离心甩干机 |
| CN108981294A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-12-11 | 金寨崟鑫电子科技有限公司 | 一种二极管清洗后脱水装置 |
| CN110542290A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-12-06 | 太湖县木子峰农业发展有限公司 | 一种用于农林植物种子的干燥装置 |
| CN111430264A (zh) * | 2019-08-16 | 2020-07-17 | 合肥晶合集成电路有限公司 | 半导体加工设备及其装载晶圆盒的控制方法 |
| CN114636288B (zh) * | 2022-03-13 | 2023-05-26 | 江苏富邦纺织集团有限公司 | 一种节能型纺织物风干设备 |
-
1990
- 1990-10-29 JP JP29118090A patent/JP3182761B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04166250A (ja) | 1992-06-12 |
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