JP2889768B2 - 3−チエニル基含有ケイ素化合物及びその製造方法 - Google Patents

3−チエニル基含有ケイ素化合物及びその製造方法

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JP2889768B2 JP4242352A JP24235292A JP2889768B2 JP 2889768 B2 JP2889768 B2 JP 2889768B2 JP 4242352 A JP4242352 A JP 4242352A JP 24235292 A JP24235292 A JP 24235292A JP 2889768 B2 JP2889768 B2 JP 2889768B2
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    • C07F7/18Compounds having one or more C—Si linkages as well as one or more C—O—Si linkages
    • C07F7/1804Compounds having Si-O-C linkages

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば基体表面に導
電性超薄膜を形成する材料として有用な新規物質である
3−チエニル基含有ケイ素化合物およびその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、チエニル基含有誘導体は電解
重合により導電性を有するポリチエニル基含有誘導体を
形成することが知られている。これらはダイオードや電
解効果トランジスター等のエレクトロニクスデバイスに
応用されたり、エレクトロクロミック素子、光メモリー
素子などのオプトエレクトロニクスデバイスに応用され
ている。近年の各種デバイスの小型化にともない、導電
性材料にも一層の薄膜化が要求されている。チエニル基
含有誘導体としては、導電性超薄膜をより容易にかつ強
固に形成できる物質の開発が望まれている。
【0003】チエニル基含有誘導体を使用して基体表面
に導電性超薄膜を形成する方法には、チエニル基に長鎖
有機基を結合させて単量体を合成し、ラングミュアーブ
ロジェット(Langmuir-Blodget法、LB法)によって基
体表面に単量体単分子膜を形成し、基体表面で重合する
方法が考えられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
チエニル基含有誘導体の場合、LB法を用いて単量体単
分子膜を形成しようとしても単分子膜は本質的に基体に
物理吸着しているだけで、単量体は重合前あるいは重合
時に基体表面から簡単に蒸発飛散ないしは物理的接触な
どにより離脱してしまい、十分な導電性超薄膜を形成出
来ないという問題点を有していた。
【0005】本発明は上記のような問題点を解決するた
め、基体表面に導電性単分子膜を形成するにあたり、チ
エニル基含有誘導体であって、単分子膜を基体表面に容
易にしかも強固に吸着させることのできる新規な3−チ
エニル基含有ケイ素化合物およびその製造方法を提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の新規化合物である3−チエニル基含有ケイ素化
合物は、記式(化)で示されるものである(ただし
下記式(化6)で示されるω−(3−チエニル)−オク
チル−トリクロロシランを除く。)。
【0007】
【化5】
【0008】
【化6】
【0009】次に本発明の3−チエニル基含有ケイ素化
合物の製造方法は、記式(化)で示されるω−(3
−チエニル)−1−アルケンと、記式(化)で示さ
れる水素化ケイ素化合物とを、遷移金属触媒の存在下に
反応させるものである。
【0010】
【化7】
【0011】
【化8】
【0012】アルキル基は直鎖であり、炭素数は6〜3
0である。基体表面での単分子膜の形成に当たり、アル
キル基の炭素数が30を超えると分子鎖に絡み合いが生
じ易くなる。分子鎖が絡み合うと基体表面で所望の精度
の膜形成ができなくなり、好ましくない。炭素数が6未
満であると炭素鎖間の相互作用が小さくなって単分子膜
を形成しなくなり好ましくない。アルコキシ基の炭素数
は1〜4である。ハロゲンは塩素でもよく臭素でもよ
い。
【0013】
【作用】前記した本発明の3−チエニル基含有ケイ素化
合物は、Si−X基が基体表面のヒドロキシ基と反応し
たり、加水分解してシロキサン結合等の共有結合を起こ
す。これにより、基体表面に強固に化学吸着する。本発
明の化合物から得られる単分子膜は、基体表面で化学的
に強固に結合しているので蒸発飛散等による離脱がな
く、強固に均一膜を形成している。また、単分子状態で
基体表面と共有結合するので、膜の厚さはオングストロ
ームレベルないしはナノメーターレベルの超薄膜とする
ことができる。
【0014】さらに基体表面の3−チエニル基含有ケイ
素化合物の3−チエニル基を電解重合すると、導電性超
薄膜を形成する。得られた導電性超薄膜は、マイクロエ
レクトロニクスデバイスあるいはマイクロオプトエレク
トロニクスデバイスに応用可能である。
【0015】
【実施例】以下実施例を用いて本発明をさらに具体的に
説明する。本発明の新規化合物の具体例は、たとえば、
ω−(3−チエニル)−アルキル−トリハロゲノシラン
(ただしω−(3−チエニル)−オクチル−トリクロロ
シランを除く。)、Si−〔ω−(3−チエニル)−ア
ルキル〕−アルコキシ−ジハロゲノシラン、Si−〔ω
−(3−チエニル)−アルキル〕−ジアルコキシ−ハロ
ゲノシラン又はSi−〔ω−(3−チエニル)−アルキ
ル〕−トリアルコキシシランなどである。
【0016】さらに構造式を用いて一例を挙げると例え
ば次の(化12)を示すことができる。 (化):ω−(3−チエニル)−デシル−トリクロロ
シラン
【0017】
【化9】
【0018】 (化10):ω−(3−チエニル)−テトラデシル−ト
リクロロシラン
【0019】
【化10】
【0020】 (化11):Si−(ω−(3−チエニル)−デシル)
−トリメトキシシラン
【0021】
【化11】
【0022】 (化12):Si−(ω−(3−チエニル)−テトラデ
シル)−ジメトキシ−モノクロロシラン
【0023】
【化12】
【0024】上記のような化合物は特定の水素化ケイ素
化合物とω−(3−チエニル)−1−アルケン化合物と
を反応させることで得られる。水素化ケイ素化合物と反
応させるω−(3−チエニル)−1−アルケン化合物
は、炭素数6〜30の直鎖状1−アルケンの末端に3−
チエニル基を結合している化合物で、例えば下記(化
16)に示す化合物などが挙げられる。これらの化
合物はエム.クマダ(M.Kumada)等の方法(Org.Syn.,Col
l.Vol.6407(1988))により3−ブロモチオフェンから容
易に合成できる。 (化13):ω−(3−チエニル)−1−デセン
【0025】
【化13】
【0026】 (化14):ω−(3−チエニル)−1−ドデセン
【0027】
【化14】
【0028】 (化15):ω−(3−チエニル)−1−ヘキサデセン
【0029】
【化15】
【0030】 (化16) ω−(3−チエニル)−1−ドコセン
【0031】
【化16】
【0032】ω−(3−チエニル)−1−アルケン化合
物と反応させる水素化ケイ素化合物は、モノシランの4
個の水素原子の内の3個をハロゲン又はアルコキシ基で
置換したモノシラン誘導体化合物である。ハロゲンは、
塩素、臭素などである。アルコキシ基としてはメトキシ
基、エトキシ基等が例示される。
【0033】そのようなモノシラン誘導体化合物として
は、たとえば、トリクロロシラン:HSiCl3、トリ
ブロモシラン:HSiBr3、トリメトキシシラン:H
Si(OCH33、トリエトキシシラン:HSi(OC
2CH33、ジメトキシクロロシラン:HSiCl
(OCH32などが挙げられる。
【0034】水素化ケイ素化合物とω−(3−チエニ
ル)−1−アルケン化合物との反応には遷移金属触媒が
用いられる。具体的には、ヘキサクロロ白金(IV)酸水
素:H2PtCl6、ジクロロビス(トリフェニルホスフ
ィン)白金(II):[PtCl2(PPh32]、ジクロ
ロビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(II):
[PdCl2(PPh32]、またはクロロトリス(ト
リフェニルホスフィン)ロジウム(I) :[RhCl(P
Ph33]等を用いる。これらの遷移金属触媒は単独で
用いられてもよく、任意の組み合わせで用いられてもよ
い。
【0035】反応系中に添加する触媒の量は、上記ω−
(3−チエニル)−1−アルケン化合物に対し、10〜
500ppmが適当である。上記の反応には、反応釜に
撹拌機、温度計、還流冷却器、滴下ロートを備えた反応
器を使用するとよい。反応温度は20〜150℃とし、
水素化ケイ素化合物を反応釜中のω−(3−チエニル)
−1−アルケン化合物に滴下にしながら行うとよい。必
要に応じ、反応溶媒としてトルエン、キシレン、テトラ
ヒドロフラン(THF)などの非プロトン系溶媒を用い
てもよい。
【0036】反応停止後、減圧下に蒸留することにより
高純度のω−(3−チエニル)−アルキルシラン化合物
が得られる。得られた化合物についての確認は、質量ス
ペクトル、核磁気共鳴スペクトル、赤外吸収スペクトル
などを用いて測定できる。
【0037】上記のようにして得られた3−チエニル基
含有ケイ素化合物(化学吸着剤)からは、以下の方法で
基体表面に単分子膜を形成できる。まず表面に水酸基
(−OH)、カルボキシル基(−COOH)、アミノ基
(−NH2)、イミノ基(>NH)などの活性水素を有
するか付与した基体1(図3)を準備する。次に、上記
の化学吸着剤をヘキサン、クロロホルム、四塩化炭素な
どの非水系有機溶媒に溶解する。得られた溶液中に前記
基体を浸漬して引き上げる。基体表面にはその溶液をス
プレーやローラー等で塗布してもよい。これにより、基
体表面の前記活性水素と化学吸着剤の官能基(ハロゲノ
シリル基またはアルコキシシリル基)とが、脱ハロゲノ
水素または脱アルコール反応して前記化学吸着剤が基体
表面と共有結合する。反応終了後、基体をクロロホルム
などの非水系有機溶液で洗浄して未反応化学吸着剤を除
去する。水洗処理し、常温で放置するかあるいは加熱下
で乾燥すると3−チエニル基含有ケイ素化合物の単分子
膜2(図3)が定着する。単分子膜の膜厚はω−(3−
チエニル)−アルキルシラン化合物のアルキル基の炭素
数で調整できる。
【0038】さらに、得られた単分子膜を電解重合する
と基体表面に導電性超薄膜が形成できる。たとえば、前
記単分子膜表面の一部分に白金3を蒸着し、作用電極と
する(図4)。支持電解質としてたとえば無水過塩素酸
リチウム(テトラエチルアンモニウムテトラフルオロボ
ラート、テトラブチルアンモニウムペルクロラートでも
よい)の0.05mol/L濃度のアセトニトリル溶液
を調製し、前記アセトニトリル溶液中に前記超薄膜基板
1を浸漬し、金電極を対電極とし、NaCl−カロメル
電極を参照電極として同様に浸漬した。不活性ガス雰囲
気下(たとえば、ヘリウムガス中)で、電流密度〜15
0μA/cm2、1秒当り100mVの走査速度の条件
で重合を行い、基板表面上にポリチエニル誘導体超薄膜
4を形成した(図4)。ポリチエニル形成は、フーリエ
変換赤外吸収分光分析器によって確認した。
【0039】実施例1 10−(3−チエニル)−1−デセンを合成し、得られ
た10−(3−チエニル)−1−デセンとトリクロロシ
ランとを反応させて10−(3−チエニル)−デシルト
リクロロシランを合成した。
【0040】10−(3−チエニル)−1−デセンは次
のようにして合成した。撹拌機、還流冷却器、温度計お
よび滴下ロートを備えた200ミリリットルのガラスフ
ラスコ反応器に4.28g(0.176モル)のマグネ
シウム及びエーテル88ミリリットルを仕込んだ。次い
で、その中に10−ブロモ−1−デセン38.6g
(0.176mol)を滴下ロートから加え、40〜5
0℃でマグネシウムと10−ブロモ−1−デセンとを反
応させてグリニャ−ル試薬10−ブロモマグネシウム−
1−デセンを調製した。
【0041】次に、撹拌機、還流冷却器、温度計および
滴下ロートを備えた500mlガラスフラスコ反応器に
3−ブロモチオフェン25.6g(0.157mol)
と、塩化ニッケル・1,1,5,5−テトラフェニル−
1,5−ホスファ−ペンタン[NiCl2((C652
PCH2CH2CH2P(C652)]を0.078g
(0.145mmol)とエーテル160mlとを仕込
み、滴下ロートから上記で得られたグリニャール試薬を
0〜5℃で滴下し、グリニャール反応で10−(3−チ
エニル)−1−デセンの粗反応液を得た。この粗反応液
に水100mlを加えて有機層を分離し、その有機層か
ら溶媒を除去後、脱溶媒した有機層を蒸留温度115〜
117℃、蒸留圧力2mmHgで蒸留して精製された1
0−(3−チエニル)−1−デセン23.6gを得た。
【0042】得られた10−(3−チエニル)−1−デ
センから10−(3−チエニル)−デシルトリクロロシ
ランを合成した。撹拌機、還流冷却器、温度計および滴
下ロートを備えた100mlガラスフラスコの反応器に
10−(3−チエニル)−1−デセン22.2g(0.100
mol)及びヘキサクロロ白金(IV)酸水素・6水塩H2Pt
Cl6・6H2Oの4%イソプロピルアルコ−ル溶液0.
1gを仕込み、そこに滴下ロ−トからトリクロロシラン
16.3g(0.120mol)を60〜70℃にて1
時間かけて滴下し、70℃にて2時間熟成しながら10
−(3−チエニル)−1−デセンに対してトリクロロシ
ランを付加し、得られた粗反応液を蒸留温度124〜1
27℃、蒸留圧力0.15mmHgで蒸留し、精製物2
2.0gを得た。収率は61.5%であった。
【0043】得られた化合物の質量スペクトル(M
S)、核磁気共鳴スペクトル(NMR)、及び赤外吸収
スペクトル(IR)の測定結果を以下に示す。 質量スペクトル(MS):m/z(帰属) 356,358,360 (分子イオンピーク) 133,135,137 (SiCl3) 98 (M−C917SiCl3) 核磁気共鳴スペクトル(NMR):δ(ppm)(図1
参照) 赤外吸収スペクトル(IR):cm-1(図2参照) これらの結果から、得られた化合物が、10−(3−チ
エニル)−デシルトリクロロシランであることが確認さ
れた。
【0044】実施例2 以下に、3−チエニル基含有ケイ素化合物を用いた超薄
膜及びその製造方法の実施例を図3を用いて説明する。
【0045】まず、前記製造方法によって得られた3−
チエニル基含有ケイ素化合物、たとえば10−(3−チ
エニル)−デシルトリクロロシラン10mgを非水系の
溶媒、たとえば80重量%のn−ヘキサデカン(トルエ
ン、キシレン、ヘキサンでもよい)、12重量%の四塩
化炭素、8重量%のクロロホルムの混合溶媒100mL
に溶かした。超薄膜を形成する基板、たとえば図3に示
す石英基板1(金属板、石英板、セラミック基板、プラ
スチック成形基板でもよい)を有機溶媒洗浄、水洗など
施してクリーニングし、乾燥させたのち、前記溶液に浸
漬した。浸漬時間は、基板の種類、凹凸など基板表面の
状態によって若干異なるが、1時間の浸漬で十分であっ
た。前記基板表面は、水酸基が露出されており、前記1
0−(3−チエニル)−デシルトリクロロシランのSi
Cl基と前記水酸基が反応して下記式(化1)に示す
ように脱塩酸反応が生じる。
【0046】
【化17】
【0047】つぎに、フレオン−113などの非水系溶
媒を用いて未反応の前記10−(3−チエニル)−デシ
ルトリクロロシランを洗浄、除去し、その後に水と反応
させると、基板全面にわたり、下記(化1)に示すよ
うに残基のクロロシリル基がシラノール基に加水分解さ
れる。
【0048】
【化18】
【0049】次に乾燥すると、前記シラノール基どうし
が脱水架橋してシロキサン結合を生じる。このようにし
て得られた単分子膜を下記式(化1)に示す。
【0050】
【化19】
【0051】得られた10−(3−チエニル)−デシル
シラノール系からなる単分子膜2が基板1表面と化学結
合した状態で、約2.5nmの膜厚で形成できた(図
3)。また得られた単分子膜は、無水塩化第2鉄のエー
テル溶液0.12mol/L濃度300mLに前記10
−(3−チエニル)−デシルトリクロロシランからなる
超薄膜2の形成した石英基板を浸漬した。ポリチエニル
の形成は、フーリエ変換赤外吸収分光分析器によって確
認した。
【0052】実施例3 以下に、3−チエニル基含有ケイ素化合物を用いた超薄
膜を重合してなるチエニル基含有誘導体超薄膜及びその
ポリチエニル基含有誘導体超薄膜の製造方法の実施例を
図4を用いて説明する。
【0053】3−チエニル基含有ケイ素化合物を用いた
超薄膜の例として前記10−(3−チエニル)−デシル
トリクロロシランからなる単分子膜2で説明する。ま
ず、前記超薄膜表面の一部分に白金3を蒸着し、作用電
極とした。支持電解質として無水過塩素酸リチウム(テ
トラエチルアンモニウムテトラフルオロボラート、テト
ラブチルアンモニウムペルクロラートでもよい)の0.
05mol/L濃度のアセトニトリル溶液を調製した。
前記アセトニトリル溶液中に前記超薄膜基板1を浸漬
し、金電極を対電極とし、NaCl−カロメル電極を参
照電極として同様に浸漬した。不活性ガス雰囲気下(た
とえば、ヘリウムガス中)で、電流密度〜150μA/
cm2、1秒当り100mVの走査速度の条件で重合を
行い、基板表面上にポリチエニル誘導体超薄膜4を形成
した。ポリチエニル形成は、フーリエ変換赤外吸収分光
分析器によって確認した。
【0054】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の3
−チエニル基含有ケイ素化合物およびその製造方法によ
れば、たとえばチエニル誘導体単分子膜を基体表面に強
固に形成するために有用な物質とすることができる。ま
た、基体表面に対する導電性超薄膜の形成が容易な原料
化合物を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例で得られた化合物10−
(3−チエニル)−デシルトリクロロシランの核磁気共
鳴スペクトルのチャート図。
【図2】 本発明の一実施例で得られた化合物10−
(3−チエニル)−デシルトリクロロシランの赤外線吸
収スペクトルのチャート図。
【図3】 本発明の実施例2の単分子膜を模式的に示し
た概略図。
【図4】 本発明の実施例3のポリチエニル誘導体超薄
膜を模式的に示した概略図。
【符号の説明】
1 基板 2 単分子膜 3 白金電極 4 ポリチエニル誘導体超薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C07B 61/00 300 C07B 61/00 300 (72)発明者 久保田 透 新潟県中頚城郡頚城村大字西福島28番地 の1 信越化学工業株式会社 合成技術 研究所内 (72)発明者 石原 俊信 新潟県中頚城郡頚城村大字西福島28番地 の1 信越化学工業株式会社 合成技術 研究所内 (72)発明者 朝倉 和之 新潟県中頚城郡頚城村大字西福島28番地 の1 信越化学工業株式会社 合成技術 研究所内 (72)発明者 遠藤 幹夫 新潟県中頚城郡頚城村大字西福島28番地 の1 信越化学工業株式会社 合成技術 研究所内 (56)参考文献 特開 平5−87559(JP,A) 特開 平2−90679(JP,A) 特開 昭62−221103(JP,A) 特開 平4−218533(JP,A) 特開 平5−97867(JP,A) 特開 平3−76714(JP,A) 特開 昭60−24446(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C07F 7/08 C07F 7/12 C09K 3/00 G03F 7/075 CAPLUS(STN) REGISTRY(STN) WPIDS(STN)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記式(化1)で示される3−チエニル
    基含有ケイ素化合物(ただし下記式(化2)で示される
    ω−(3−チエニル)−オクチル−トリクロロシランを
    除く。)。 【化1】 【化2】
  2. 【請求項2】 下記式(化)で示されるω−(3−チ
    エニル)−1−アルケンと、下記式(化)で示される
    水素化ケイ素化合物とを、遷移金属触媒の存在下に反応
    させる3−チエニル基含有ケイ素化合物の製造方法。 【化3】 【化4】
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8178164B2 (en) 2006-04-12 2012-05-15 Panasonic Corporation Method of forming organic molecular film structure and organic molecular film structure

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3866809B2 (ja) * 1996-12-19 2007-01-10 松下電器産業株式会社 有機膜及びその製造方法
DE19815220C2 (de) * 1998-03-27 2003-12-18 Univ Dresden Tech Verfahren zur haftfesten und dichten chemischen oder galvanischen Metallisierung von Substraten sowie Haftvermittler zur Durchführung des Verfahrens
DE10025522B4 (de) * 2000-05-18 2004-05-13 Technische Universität Dresden Verfahren zur strukturierten Abscheidung leitfähiger Polymerer
CN100479220C (zh) 2002-02-08 2009-04-15 松下电器产业株式会社 有机电子器件及其生产方法
DE10328810B4 (de) * 2003-06-20 2005-10-20 Infineon Technologies Ag Syntheseverfahren für eine Verbindung zur Bildung einer selbstorganisierenden Monolage, Verbindung zur Bildung einer selbstorganisierenden Monolage und eine Schichtstruktur für ein Halbleiterbauelement
JP2005039222A (ja) * 2003-06-25 2005-02-10 Sharp Corp 機能性有機薄膜、有機薄膜トランジスタ及びそれらの製造方法
JP4612443B2 (ja) * 2004-03-18 2011-01-12 シャープ株式会社 機能性有機薄膜、有機薄膜トランジスタ及びそれらの製造方法
US7235492B2 (en) * 2005-01-31 2007-06-26 Applied Materials, Inc. Low temperature etchant for treatment of silicon-containing surfaces
WO2009120434A1 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 Dow Corning Corporation Silicone composition and organic light-emitting diode

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2640818A (en) * 1949-06-25 1953-06-02 Gen Electric Thienyl-substituted polysiloxanes
US4049676A (en) * 1975-06-30 1977-09-20 Union Carbide Corporation Sulfolanyloxyalkyl cyclic polysiloxanes
FR2362148A1 (fr) * 1976-08-17 1978-03-17 Rhone Poulenc Ind Composes silices polyethyleniques
FR2630442B1 (fr) * 1988-04-20 1990-09-07 Rhone Poulenc Chimie Composes organosilicies, materiaux et dispositifs electrooptiques les contenant
JP2697910B2 (ja) * 1989-08-21 1998-01-19 積水化学工業株式会社 導電性高分子の製造方法
DE69128160T2 (de) * 1990-02-05 1998-03-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Verfahren zur Herstellung eines organischen monomolekularen Überzuges
JP2507153B2 (ja) * 1990-07-31 1996-06-12 松下電器産業株式会社 有機デバイスとその製造方法
JP2992141B2 (ja) * 1991-09-26 1999-12-20 松下電器産業株式会社 走査型トンネル電子顕微鏡用原子間力顕微鏡の探針及び3−チエニル基含有珪素化合物

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8178164B2 (en) 2006-04-12 2012-05-15 Panasonic Corporation Method of forming organic molecular film structure and organic molecular film structure

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