JP2864114B2 - 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法 - Google Patents
有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法Info
- Publication number
- JP2864114B2 JP2864114B2 JP8242998A JP24299896A JP2864114B2 JP 2864114 B2 JP2864114 B2 JP 2864114B2 JP 8242998 A JP8242998 A JP 8242998A JP 24299896 A JP24299896 A JP 24299896A JP 2864114 B2 JP2864114 B2 JP 2864114B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic solvent
- mist
- tank
- perforated plate
- washing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は電子部品等の洗浄
を行う、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機
溶剤のミスト回収方法に関するものである。
を行う、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機
溶剤のミスト回収方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記の電子部品等を有機溶剤を用
いて洗浄する洗浄槽においては、その電子部品を洗浄槽
に入れる入口、又は洗浄した電子部品を取り出す取り出
し口等から、有機溶剤のミストが大気中に散逸する。
いて洗浄する洗浄槽においては、その電子部品を洗浄槽
に入れる入口、又は洗浄した電子部品を取り出す取り出
し口等から、有機溶剤のミストが大気中に散逸する。
【０００３】なおこの発明においてはミストはガスを有
するものとする。そして上記のように大気中に散逸した
ミストは公害をもたらすと共に洗浄剤の減少を来し、か
つ洗浄剤は通常高価であり、損害となる。なお従来の有
機溶剤のミスト回収方法としては図示は省略するが、一
般に冷却法が用いられ、冷媒を通した蛇管の外面等に霜
状に付着させ、後これを加熱装置により加熱して液化さ
せて回収していたが、その冷却温度が非常に低いため強
力な冷凍機を必要とし、かつ冷却と加熱を繰返し行うた
め、取扱いが面倒である。又、冷却と加熱を行うため装
置の連続運転をすることができず非能率である。又他の
方法としては活性炭を用いて吸着させ、回収する方法が
あるが、活性炭の使用に伴う劣化の問題が起り、保守が
面倒である。かつ同方法も活性炭を冷却して吸着させ、
後これを加熱して脱着させるため連続運転をすることが
できず非能率である。
するものとする。そして上記のように大気中に散逸した
ミストは公害をもたらすと共に洗浄剤の減少を来し、か
つ洗浄剤は通常高価であり、損害となる。なお従来の有
機溶剤のミスト回収方法としては図示は省略するが、一
般に冷却法が用いられ、冷媒を通した蛇管の外面等に霜
状に付着させ、後これを加熱装置により加熱して液化さ
せて回収していたが、その冷却温度が非常に低いため強
力な冷凍機を必要とし、かつ冷却と加熱を繰返し行うた
め、取扱いが面倒である。又、冷却と加熱を行うため装
置の連続運転をすることができず非能率である。又他の
方法としては活性炭を用いて吸着させ、回収する方法が
あるが、活性炭の使用に伴う劣化の問題が起り、保守が
面倒である。かつ同方法も活性炭を冷却して吸着させ、
後これを加熱して脱着させるため連続運転をすることが
できず非能率である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は上記
のように、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽において、
大気中に放散する有機溶剤のミストを効果的に回収する
ことであり、かつそれにより有機溶剤の大気中への放散
による公害を防止することである。又その回収の方法も
強力な冷凍と加熱をくり返すような面倒でしかも連続運
転のできない方法でなく、又活性炭を用いる場合のよう
な活性炭の劣化に伴う保守の面倒さがなく、かつ上記同
様に連続運転のできない方法でなく、操作の全く容易な
方法で、しかも連続的に回収することができて能率の良
い、有機溶剤を用いる洗浄槽における有機溶剤のミスト
回収方法を提供することである。
のように、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽において、
大気中に放散する有機溶剤のミストを効果的に回収する
ことであり、かつそれにより有機溶剤の大気中への放散
による公害を防止することである。又その回収の方法も
強力な冷凍と加熱をくり返すような面倒でしかも連続運
転のできない方法でなく、又活性炭を用いる場合のよう
な活性炭の劣化に伴う保守の面倒さがなく、かつ上記同
様に連続運転のできない方法でなく、操作の全く容易な
方法で、しかも連続的に回収することができて能率の良
い、有機溶剤を用いる洗浄槽における有機溶剤のミスト
回収方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するこ
の発明について述べるとそれは、有機溶剤を用いて洗浄
する洗浄槽において発生する前記有機溶剤のミストを、
底部に前記有機溶剤と同一の有機溶剤を貯溜する貯溜部
を有し、該貯溜部の上方に、傾斜した多孔板を有し、か
つ上部に吸引装置を有する回収槽の前記貯溜部と多孔板
の間に連通させて供給し、前記多孔板の上部から、供給
された前記ミストと同一化学構造を有する有機溶剤を流
下させ、前記多孔板上で、該同一化学構造の有機溶剤の
液膜を形成し、前記ミストを該液膜中を通過させ、同一
化学構造による相溶性によって溶解させ、溶解させた該
有機溶剤を前記回収槽の貯溜部に落下させて回収し、回
収したミストを溶解した有機溶剤を更に前記多孔板の上
部から液膜形成用に供給して循環させ、一方前記ミスト
を除去されたガスを水により吸収して除去することを特
徴とする、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有
機溶剤のミスト回収方法である。なお前記親水性の部分
とは空気中の水分、又は被洗浄物からもたらされるもの
である。
の発明について述べるとそれは、有機溶剤を用いて洗浄
する洗浄槽において発生する前記有機溶剤のミストを、
底部に前記有機溶剤と同一の有機溶剤を貯溜する貯溜部
を有し、該貯溜部の上方に、傾斜した多孔板を有し、か
つ上部に吸引装置を有する回収槽の前記貯溜部と多孔板
の間に連通させて供給し、前記多孔板の上部から、供給
された前記ミストと同一化学構造を有する有機溶剤を流
下させ、前記多孔板上で、該同一化学構造の有機溶剤の
液膜を形成し、前記ミストを該液膜中を通過させ、同一
化学構造による相溶性によって溶解させ、溶解させた該
有機溶剤を前記回収槽の貯溜部に落下させて回収し、回
収したミストを溶解した有機溶剤を更に前記多孔板の上
部から液膜形成用に供給して循環させ、一方前記ミスト
を除去されたガスを水により吸収して除去することを特
徴とする、有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有
機溶剤のミスト回収方法である。なお前記親水性の部分
とは空気中の水分、又は被洗浄物からもたらされるもの
である。
【０００６】
【作用】この発明は前記のように構成され、洗浄槽から
発生する有機溶剤のミストは、上部に吸引装置を有する
回収槽の、前記有機溶剤と同一有機溶剤を貯溜する貯溜
部とその上方の多孔板の間に供給され、前記吸引装置に
より上昇させられる。そしてこの場合前記多孔板の上部
から、供給された前記ミストと同一化学構造を有する有
機溶剤を流下させ、前記多孔板上で、該同一化学構造の
有機溶剤の液膜を形成し、前記ミストを前記液膜中を通
過させることにより、その相溶性により溶解させ、つい
で前記貯溜部に落下させて回収する。そして回収したミ
スト及び有機溶剤から成るこの回収液は再び前記多孔板
の上部から供給して前記ミストの回収に役立たせる。一
方ミストを除去されたガスは水によって吸収され、除去
される。
発生する有機溶剤のミストは、上部に吸引装置を有する
回収槽の、前記有機溶剤と同一有機溶剤を貯溜する貯溜
部とその上方の多孔板の間に供給され、前記吸引装置に
より上昇させられる。そしてこの場合前記多孔板の上部
から、供給された前記ミストと同一化学構造を有する有
機溶剤を流下させ、前記多孔板上で、該同一化学構造の
有機溶剤の液膜を形成し、前記ミストを前記液膜中を通
過させることにより、その相溶性により溶解させ、つい
で前記貯溜部に落下させて回収する。そして回収したミ
スト及び有機溶剤から成るこの回収液は再び前記多孔板
の上部から供給して前記ミストの回収に役立たせる。一
方ミストを除去されたガスは水によって吸収され、除去
される。
【０００７】上記のようにミストは上昇させられる途中
で、同一化学構造の有機溶剤の液膜中を通過するため、
相溶性の最もよい状態で接触させられるから、効果的に
溶解され、捕捉させることができる。ミストを捕捉して
増量された上記有機溶剤は前記貯溜部に収容され、更に
再び前記多孔板の上部から供給され、次のミストを回収
することができる。即ち捕捉溶解したミストにより他の
ミストを捕捉溶解することができ、効果的に連続運転す
ることができる。更に又液膜を形成する有機溶剤、前記
ミスト、前記洗浄槽における洗浄液の三者は同一化学構
造を有する有機溶剤であるから、前記貯溜部に収容し、
液体は成分を改変することなくそのまま前記洗浄槽にお
いて再び使用することができる。従って大気中への散逸
による有機溶剤の損失も防止することができる。
で、同一化学構造の有機溶剤の液膜中を通過するため、
相溶性の最もよい状態で接触させられるから、効果的に
溶解され、捕捉させることができる。ミストを捕捉して
増量された上記有機溶剤は前記貯溜部に収容され、更に
再び前記多孔板の上部から供給され、次のミストを回収
することができる。即ち捕捉溶解したミストにより他の
ミストを捕捉溶解することができ、効果的に連続運転す
ることができる。更に又液膜を形成する有機溶剤、前記
ミスト、前記洗浄槽における洗浄液の三者は同一化学構
造を有する有機溶剤であるから、前記貯溜部に収容し、
液体は成分を改変することなくそのまま前記洗浄槽にお
いて再び使用することができる。従って大気中への散逸
による有機溶剤の損失も防止することができる。
【０００８】又ミストを失ったガスは更に水により吸収
させて除去する事により、ガスを含むミストの親油性の
部分を有機溶剤により除去し、親水性の部分を水により
除去できるから、ほぼ完全に有害成分を除去することが
でき、公害を防止することができる。そして、更にこの
発明の方法は前記従来の冷凍法に見るような冷却と加熱
を繰返し行う面倒さがなく、しかも連続的に運転できる
ため高能率であり、かつ又前記従来例の活性炭法に見る
ような活性炭の劣化による保守の面倒さがなく、又冷却
吸着、加熱脱着のような取扱いの面倒さがなく、かつそ
れによるバッチシステムの非能率さがなく、連続運転す
ることができる。
させて除去する事により、ガスを含むミストの親油性の
部分を有機溶剤により除去し、親水性の部分を水により
除去できるから、ほぼ完全に有害成分を除去することが
でき、公害を防止することができる。そして、更にこの
発明の方法は前記従来の冷凍法に見るような冷却と加熱
を繰返し行う面倒さがなく、しかも連続的に運転できる
ため高能率であり、かつ又前記従来例の活性炭法に見る
ような活性炭の劣化による保守の面倒さがなく、又冷却
吸着、加熱脱着のような取扱いの面倒さがなく、かつそ
れによるバッチシステムの非能率さがなく、連続運転す
ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１において、３０は有機溶剤を
用いて電子部品等を洗浄する洗浄槽であり、１は上記洗
浄槽３０に連通して設けられたミスト処理装置の本体で
ある。上記洗浄槽３０において発生するミスト（この発
明において、ミストはガスをも含むものとする）は上記
ミスト処理装置１のミスト入口２３に連通して供給され
る。そして前記ミスト処理装置１の下部に回収槽４が設
けられている。同槽４は更にその下部に回収液の貯溜部
２が形成され、同貯溜部２の上には多孔板３が、水平に
対して若干傾斜して設けられている。同多孔板３はその
上面に液膜を形成するものであり、一例として鉄板を用
いたパンチングメタルである。そして前記貯溜部２は前
記洗浄槽３０で用いられる有機溶剤と同一の有機溶剤を
収容するようになっている。
用いて電子部品等を洗浄する洗浄槽であり、１は上記洗
浄槽３０に連通して設けられたミスト処理装置の本体で
ある。上記洗浄槽３０において発生するミスト（この発
明において、ミストはガスをも含むものとする）は上記
ミスト処理装置１のミスト入口２３に連通して供給され
る。そして前記ミスト処理装置１の下部に回収槽４が設
けられている。同槽４は更にその下部に回収液の貯溜部
２が形成され、同貯溜部２の上には多孔板３が、水平に
対して若干傾斜して設けられている。同多孔板３はその
上面に液膜を形成するものであり、一例として鉄板を用
いたパンチングメタルである。そして前記貯溜部２は前
記洗浄槽３０で用いられる有機溶剤と同一の有機溶剤を
収容するようになっている。
【００１０】次に前記多孔板３は、その複数が図示のよ
うに互いに反対方向に傾斜して設けられており、これに
よりその上面に液膜を形成する長さを長く形成されてい
る。５は上記多孔板３の上部に対応して形成された液膜
の供給口であり、ポンプ６を有する連通路７によって上
記貯溜部２と連通されている。８はミストの供給口であ
り、上記回収槽４の多孔板３と貯溜部２との間に開口し
て形成されている。なお５ａは液膜形成部材であり、上
記多孔板３の面に対応して開口するスリット５ｂが形成
されている。
うに互いに反対方向に傾斜して設けられており、これに
よりその上面に液膜を形成する長さを長く形成されてい
る。５は上記多孔板３の上部に対応して形成された液膜
の供給口であり、ポンプ６を有する連通路７によって上
記貯溜部２と連通されている。８はミストの供給口であ
り、上記回収槽４の多孔板３と貯溜部２との間に開口し
て形成されている。なお５ａは液膜形成部材であり、上
記多孔板３の面に対応して開口するスリット５ｂが形成
されている。
【００１１】５ｃは多孔板３と平行して設けられたガイ
ド板を示す。これにより多孔板３上に貯溜部２のミスト
回収液が液膜を形成して供給されるようになっている。
２ａは上記貯溜部２に設けられた、回収液の採取通路を
示す。９は上記回収槽４の上部に設けられた液切り用の
フィルタであり、一例として籠状の容器中に工作機械の
切削等によって生じるいわゆる切粉状の金属片が収容さ
れている。なおこのフィルタ９はその他合成繊維をラン
ダムにからみ合せたもの、又は合成樹脂の連続多孔体
等、回収するミストに冒されないものであれば、その他
の公知のフィルタを任意に用いて差支えない。
ド板を示す。これにより多孔板３上に貯溜部２のミスト
回収液が液膜を形成して供給されるようになっている。
２ａは上記貯溜部２に設けられた、回収液の採取通路を
示す。９は上記回収槽４の上部に設けられた液切り用の
フィルタであり、一例として籠状の容器中に工作機械の
切削等によって生じるいわゆる切粉状の金属片が収容さ
れている。なおこのフィルタ９はその他合成繊維をラン
ダムにからみ合せたもの、又は合成樹脂の連続多孔体
等、回収するミストに冒されないものであれば、その他
の公知のフィルタを任意に用いて差支えない。
【００１２】１０は該フィルタ９上に形成された回収室
であり、同回収室１０はミスト回収後のガス回収を行う
もので、屋根状のガイド１１及び水槽１２が設けられて
おり、又上記ガイド１１の上部に、水を噴射するノズル
１３に対応して接触層１４が設けられている。この接触
層１４は一例として金属により形成された籠状の容器
に、前記の、いわゆる切粉状の金属片を収容したもの
で、同層１４において気液接触を行なわせるものであ
る。
であり、同回収室１０はミスト回収後のガス回収を行う
もので、屋根状のガイド１１及び水槽１２が設けられて
おり、又上記ガイド１１の上部に、水を噴射するノズル
１３に対応して接触層１４が設けられている。この接触
層１４は一例として金属により形成された籠状の容器
に、前記の、いわゆる切粉状の金属片を収容したもの
で、同層１４において気液接触を行なわせるものであ
る。
【００１３】前記フイルタ９を通過したガスは上記接触
層１４に入り、同層１４に対し上記ノズル１３から噴射
された水１３ａと接触し、この水１３ａに含有させられ
て上記ガイド１１上に落下し、かつ同ガイド１１に案内
されて水槽１２に入り、オーバーフローによりドレン１
８に至るようになっている。又上記水槽１２に回収され
た、ガスを含有した水は第二ポンプ１２ａにより上記ノ
ズル１３に供給され、このようにして循環させられるよ
うになっている。
層１４に入り、同層１４に対し上記ノズル１３から噴射
された水１３ａと接触し、この水１３ａに含有させられ
て上記ガイド１１上に落下し、かつ同ガイド１１に案内
されて水槽１２に入り、オーバーフローによりドレン１
８に至るようになっている。又上記水槽１２に回収され
た、ガスを含有した水は第二ポンプ１２ａにより上記ノ
ズル１３に供給され、このようにして循環させられるよ
うになっている。
【００１４】次に１５は液切り用のフィルタであり、そ
の上部に吸引装置１６が設けられている。同装置１６は
モータ１９に連結したファン２０から成っている。２１
は排気口を示す。又２２はミストの供給管、２３は同ミ
スト入口、２４は給水源、２５は回収槽、２６はタンク
２７に至る通路、２８、２９はそれぞれスイッチを示
す。
の上部に吸引装置１６が設けられている。同装置１６は
モータ１９に連結したファン２０から成っている。２１
は排気口を示す。又２２はミストの供給管、２３は同ミ
スト入口、２４は給水源、２５は回収槽、２６はタンク
２７に至る通路、２８、２９はそれぞれスイッチを示
す。
【００１５】ガスを含むミストはミスト供給口８から回
収槽４に供給され、本体１の上部に設けられた吸引装置
１６により上方に吸引される。この場合前記多孔板３上
には供給口５から上記ミストと同一化学構造の液体が供
給され、多孔板３上で液膜を形成しつつ流下している。
このため上記ミストはこの液膜中を上方に通過するうち
にこの液膜中に相溶性により吸収され回収される。
収槽４に供給され、本体１の上部に設けられた吸引装置
１６により上方に吸引される。この場合前記多孔板３上
には供給口５から上記ミストと同一化学構造の液体が供
給され、多孔板３上で液膜を形成しつつ流下している。
このため上記ミストはこの液膜中を上方に通過するうち
にこの液膜中に相溶性により吸収され回収される。
【００１６】ミストを失った残りのガスはそのまま上昇
し、フィルタ９を通り回収室１０に入り、ガイド１１上
に出、接触層１４に入り、同層１４においてノズル１３
から噴射される水１３ａに接し、この水１３ａに吸収さ
れ、上記ガイド１１上に落下し、かつ水槽１２に入り、
ドレン１８に排出される。こうしてミスト及びガスを失
った清浄空気は排気口２１から大気中に放出される。
し、フィルタ９を通り回収室１０に入り、ガイド１１上
に出、接触層１４に入り、同層１４においてノズル１３
から噴射される水１３ａに接し、この水１３ａに吸収さ
れ、上記ガイド１１上に落下し、かつ水槽１２に入り、
ドレン１８に排出される。こうしてミスト及びガスを失
った清浄空気は排気口２１から大気中に放出される。
【００１７】
【発明の効果】この発明は前記のように構成され、洗浄
槽から排出された有機溶剤のミストは回収槽内を上昇さ
せられ、その途中で同一化学構造の有機溶剤の液膜中を
通過するため、相溶性の最もよい状態で接触させられる
から効果的に溶解され、捕捉させることができる。ミス
トを捕捉して増量された上記有機溶剤は前記貯溜部に収
容され、更に再び前記多孔板の上部から供給され、次の
ミストを回収することができる。即ち、捕捉溶解したミ
ストにより他のミストを捕捉溶解することができ、効果
的に連続運転することができる。更に又液膜を形成する
有機溶剤、上記ミスト、前記洗浄槽における洗浄液の三
者は同一化学構造を有する有機溶剤であるから、前記の
貯溜部に収容した液体は成分を改変することなく、その
まま前記洗浄槽において再び使用することができる。従
って大気中の散逸による有機溶剤の損失を防止すること
ができる。
槽から排出された有機溶剤のミストは回収槽内を上昇さ
せられ、その途中で同一化学構造の有機溶剤の液膜中を
通過するため、相溶性の最もよい状態で接触させられる
から効果的に溶解され、捕捉させることができる。ミス
トを捕捉して増量された上記有機溶剤は前記貯溜部に収
容され、更に再び前記多孔板の上部から供給され、次の
ミストを回収することができる。即ち、捕捉溶解したミ
ストにより他のミストを捕捉溶解することができ、効果
的に連続運転することができる。更に又液膜を形成する
有機溶剤、上記ミスト、前記洗浄槽における洗浄液の三
者は同一化学構造を有する有機溶剤であるから、前記の
貯溜部に収容した液体は成分を改変することなく、その
まま前記洗浄槽において再び使用することができる。従
って大気中の散逸による有機溶剤の損失を防止すること
ができる。
【００１８】又ミストを失ったガスは更に水により吸収
させて除去する事により、ガスを含むミストの親油性の
部分を有機溶剤により除去し、親水性の部分を水により
除去できるから、ほぼ完全に有害成分を除去することが
でき、公害を防止することができる。そして更にこの発
明の方法は前記従来の冷凍法に見るような冷却と加熱を
繰返し行う面倒さがなく、しかも連続的に運転できるた
め高能率であり、かつ又前記従来例の活性炭法に見るよ
うな、活性炭の劣化による保守の面倒さがなく、又冷却
吸着、加熱脱着のような取扱いの面倒さがなく、かつそ
れによるバッチシステムの非能率さがなく、連続運転す
ることができる。
させて除去する事により、ガスを含むミストの親油性の
部分を有機溶剤により除去し、親水性の部分を水により
除去できるから、ほぼ完全に有害成分を除去することが
でき、公害を防止することができる。そして更にこの発
明の方法は前記従来の冷凍法に見るような冷却と加熱を
繰返し行う面倒さがなく、しかも連続的に運転できるた
め高能率であり、かつ又前記従来例の活性炭法に見るよ
うな、活性炭の劣化による保守の面倒さがなく、又冷却
吸着、加熱脱着のような取扱いの面倒さがなく、かつそ
れによるバッチシステムの非能率さがなく、連続運転す
ることができる。
【図１】この発明の実施例を示し、有機溶剤を用いて洗
浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法に用い
る装置の概略を示す図である。
浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法に用い
る装置の概略を示す図である。
１ 本体 ２ 貯溜部 ３ 多孔板 ４ 回収槽 ５ 供給口 ６ ポンプ ７ 連通路 ８ ミスト供給口 ９ フィルタ １０ 回収室 １１ ガイド １２ 水槽 １３ ノズル １４ 接触槽 １５ フィルタ １６ 吸引装置 ３０ 洗浄槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 53/77
Claims (1)
- 【請求項１】 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽におい
て発生する前記有機溶剤のミストを、底部に前記有機溶
剤と同一の有機溶剤を貯溜する貯溜部を有し、該貯溜部
の上方に、傾斜した多孔板を有し、かつ上部に吸引装置
を有する回収槽の、前記貯溜部と多孔板の間に連通させ
て供給し、前記多孔板の上部から、供給された前記ミス
トと同一化学構造を有する有機溶剤を流下させ、前記多
孔板上で、該同一化学構造の有機溶剤の液膜を形成し、
前記ミストを該液膜中を通過させ、同一化学構造による
相溶性によって溶解させ、溶解させた該有機溶剤を前記
回収槽の貯溜部に落下させて回収し、回収したミストを
溶解した有機溶剤を更に前記多孔板の上部から液膜形成
用に供給して循環させ、一方前記ミストを除去されたガ
スを水により吸収して除去することを特徴とする、有機
溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト
回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8242998A JP2864114B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8242998A JP2864114B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09103628A JPH09103628A (ja) | 1997-04-22 |
| JP2864114B2 true JP2864114B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=17097377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8242998A Expired - Fee Related JP2864114B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2864114B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101601952B (zh) * | 2008-06-09 | 2012-01-25 | 郑在亿 | 除尘和冷却装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4805463B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2011-11-02 | 株式会社東設 | 有毒ガスの除害装置 |
| CN103285702B (zh) * | 2013-06-09 | 2015-03-25 | 宁波太极环保设备有限公司 | 除尘雾净化器 |
| TW202131987A (zh) * | 2019-12-25 | 2021-09-01 | 日商東洋紡股份有限公司 | 有機溶劑回收系統 |
| TW202131986A (zh) * | 2019-12-25 | 2021-09-01 | 日商東洋紡股份有限公司 | 有機溶劑回收系統 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP8242998A patent/JP2864114B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101601952B (zh) * | 2008-06-09 | 2012-01-25 | 郑在亿 | 除尘和冷却装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09103628A (ja) | 1997-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5427610A (en) | Photoresist solvent fume exhaust scrubber | |
| JPH07185252A (ja) | 土壌中有機溶剤の除去装置 | |
| JP2864114B2 (ja) | 有機溶剤を用いて洗浄する洗浄槽における有機溶剤のミスト回収方法 | |
| CN212791008U (zh) | 一种移动式活性炭再生装置 | |
| JPH07328380A (ja) | 溶剤回収装置 | |
| JP3842161B2 (ja) | 有機系排ガスの処理方法及び装置 | |
| JP4530472B2 (ja) | 有機溶剤回収装置、及び同回収方法 | |
| JPH0671130A (ja) | 水溶性有機物蒸気を含むガスの処理装置 | |
| JP2002001042A (ja) | 排ガスの湿式除塵方法 | |
| JPH08150319A (ja) | 溶剤回収方法および装置 | |
| JP2004035091A (ja) | ガソリン蒸気捕集方法および捕集装置 | |
| JP2000237703A (ja) | 真空洗浄乾燥方法及び装置 | |
| JP2946321B1 (ja) | 溶剤等の油成分を含む排気ガス処理方法 | |
| JPH07100415A (ja) | 水性塗料ミスト除去装置 | |
| JP4292793B2 (ja) | 有機溶剤含有ガス処理装置 | |
| JP2004261780A (ja) | 有機溶剤を含む排気ガスの処理方法およびその処理装置 | |
| JP3542415B2 (ja) | ミスト回収装置 | |
| JP2004121921A (ja) | 有機溶剤回収システム | |
| JPH075861Y2 (ja) | 有害気体の回収装置 | |
| JP3971445B1 (ja) | 冷媒配管の洗浄装置 | |
| JP4396241B2 (ja) | クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 | |
| JPH077723U (ja) | ミスト処理装置 | |
| JPH075841Y2 (ja) | 有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装置 | |
| JPS6168122A (ja) | ジメチルホルムアミドの回収方法 | |
| TW523573B (en) | Coolant collector for evaporating solvent and oil molecules of vacuum pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081218 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101218 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111218 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |