JPH075861Y2 - 有害気体の回収装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案に係る有害気体の回収装置は、フロン等、大気
中に放散する事が好ましくない有機溶剤を使用する洗浄
器等に付設し、上記有機溶剤の蒸気を回収して、この有
機溶剤蒸気が大気中に放散される事を防止するのに利用
される。

（従来の技術） 集積回路等、各種物品を洗浄する為、フロン等の有機溶
剤が使用されているが、これら有機溶剤の蒸気をそのま
ま大気中に放散した場合、地球環境を破壊する原因とな
る為、使用後に大気中に排出される量を極力抑える必要
がある。

この為従来から、洗浄器等で発生する有機溶剤の蒸気を
冷却する事により凝縮し、回収して再使用する事が行な
われている。

又、凝縮により回収し切れなかった有機溶剤の蒸気を、
活性炭フィルタにより捕集する事も、従来から行なわれ
ている。この様に、活性炭フィルタにより捕集された有
機溶剤の蒸気は、或る程度溜まった状態で活性炭を加熱
する事により分離し、コンデンサに送り込んで、凝縮し
回収すると共に、活性炭を再生する。

（考案が解決しようとする課題） ところが、従来の活性炭を用いた有害気体の回収装置
は、活性炭を再生する際に、この活性炭を加熱する為の
装置が複雑で、装置全体として高価なものであり、必ず
しも一般的に普及していなかった。

本考案の有害溶気体の回収装置は、この様な問題を解決
する為、簡単で、安価に製作出来る、活性炭を用いた有
害気体の回収装置を提供するものである。

（課題を解決するための手段） 本考案の有害気体の回収装置の内、請求項１に記載され
たものは、内部に活性炭を充填した回収容器と、この回
収容器の一端にその一端を接続し、上記回収容器内に有
害気体を含む気体を送り込む送り込み管と、この送り込
み管の途中に設けた第一の開閉弁と、上記回収容器の他
端にその一端を接続し、その他端を大気に開放させた排
出管と、この排出管の途中に設けた第二の開閉弁と、上
記回収容器の周囲を囲む状態で設けたジャケットと、こ
のジャケットの底部に設けられ、このジャケットの底部
に溜った水を加熱蒸発させるヒータと、上記ジャケット
の側面で、底部よりも少し上方に設けられた排水管と、
この排水管の途中に設けられた第三の開閉弁と、上記ジ
ャケットの内周面中間部に設けられ、上記回収容器の外
周面に向けて冷却水を吹き付ける冷却ノズルと、一端を
上記回収容器に、他端を有害気体を凝縮させ回収する為
の、コンデンサ等の回収器に、それぞれ接続した回収管
と、それぞれこの回収管の途中に設けられた第四の開閉
弁及び真空ポンプとから構成されている。

又、請求項２に記載された有害気体の回収装置は、前記
排水管に代えて設けた循環パイプの途中に、送水ポンプ
を設け、上記循環パイプの下流側端部を冷却ノズルに通
じさせると共に、ジャケット内に、このジャケット内に
存在する水蒸気を凝縮させる為の冷却器を設けている。

更に、請求項３に記載の有害気体の回収装置は、冷却ノ
ズルと循環パイプと送水ポンプとを省略する代わりに、
冷却器を構成する冷却パイプを、回収容器の周囲に直接
巻回している。

（作用） 上述の様に構成される、本考案の有機気体の回収装置
は、次の様に作用する。

先ず、請求項１に記載された回収装置により、洗浄器等
から排出された、フロン等の有害気体を回収する場合、
第一、第二、第三の開閉弁を開き、第四の開閉弁を閉じ
た状態で、上記有害気体を含む気体を、送り込み管を通
じて、回収容器内に送り込むと共に、冷却ノズルから回
収容器の外周面に向けて冷却水を吹き付ける。

この結果、気体中に含まれる有害気体は、回収容器内に
充填された活性炭に吸着され、捕集される。そして、有
害気体を除かれた清浄空気のみが、排出管を通じて、大
気中に放散される。又、この際、冷却ノズルから回収容
器の外周面に向けて吹き付けられる冷却水により、この
回収容器の内部空間の温度が下がり、この有害気体の上
記活性炭への吸着が効率良く行なわれる。冷却ノズルか
ら回収容器に向けて吹き付けられ、ジャケットの底部に
溜った冷却水の内の余剰分は、排水管を通じて、下水等
の排水設備に排出される。

洗浄器の運転を繰り返す事により、回収容器内に充填さ
れた活性炭の吸着能力が衰えたならば、次の操作によ
り、この活性炭を再生すると共に、この活性炭に吸着し
ていた、フロン等の有害気体を回収する。

活性炭を再生する場合は、それ迄閉じていた第四の開閉
弁を開き、それ迄開いていた第一、第二、第三の開閉弁
を閉じた状態で、ヒータに通電すると共に、真空ポンプ
を運転する。

ヒータへの通電に伴なって、ジャケットの底部に溜って
いた水が加熱蒸発して、このジャケット内に充満し、こ
のジャケットにより周囲を囲まれた回収容器内部の温度
が上昇すると同時に、真空ポンプの運転に伴なって、上
記回収容器内の圧力が低下する。

この様に、回収容器内部の温度が上昇すると共に、回収
容器内部の圧力が低下した場合、有害気体が活性炭から
分離し易くなり、上記有害気体の内の多くの部分が、活
性炭から分離して、真空ポンプに吸引される。

この様にして、活性炭から分離した有害気体は、真空ポ
ンプの吐出口からコンデンサに向けて送り出され、この
コンデンサ内で冷却される事で、凝縮液化して、回収さ
れる。この様に、真空ポンプからコンデンサ等の回収器
に送り込まれる有害気体の濃度は、洗浄器等の運転時
に、この洗浄器等から排出される有害気体の濃度に比べ
て高い為、上記回収器による有害気体の凝縮、回収は、
効率良く行なわれる。

又、請求項２に記載された回収装置により、フロン等の
有害気体を回収する場合、冷却器によりジャケット内に
存在する水蒸気を凝縮しつつ、活性炭を充填した回収容
器内に有害気体を含む気体を送り込む事で、上記有害気
体の回収作業を行なう。

この結果、ジャケット内の圧力が、水蒸気が凝縮する分
だけ低下したままの状態で、冷却ノズルから回収容器に
向けて冷却水が吹き付けられる様になり、この冷却水
が、上記回収容器の外面で蒸発し、この回収容器から蒸
発潜熱を奪い、回収容器内部の温度をより一層低下さ
せ、活性炭への有害気体の吸着が、より効率良く行なわ
れる様にする。

更に、請求項３に記載された回収装置により、フロン等
の有害気体を回収する場合、冷却パイプにより回収容器
を冷却しつつ、活性炭を充填した回収容器内に有害気体
を含む気体を送り込む事で、上記有害気体の回収作業を
行なう。

この場合、回収容器を冷却する為に、蒸発潜熱を利用す
る事が出来ない為、回収容器内の冷却効率は若干悪くな
るが、冷却ノズルや送水ポンプを省略する事が出来る
為、装置の製作費の低廉化を図れる。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本考案を更に詳しく
説明する。

第１図は本考案の第一実施例として、請求項１に記載さ
れた考案の実施例を示している。

１は回収容器で、上下両端開口部を塞がれた円筒状に形
成されており、この回収容器１の内部には活性炭２を充
填している。但し、上記回収容器１の上下両端部内側に
は、フィルタ３、３を装着して、上記活性炭２が、次述
する送り込み管４や後述する排出管５内に入り込む事の
防止を図っている。

フロン洗浄器等から上記回収容器１内に、フロン蒸気を
含む気体を送り込む為の送り込み管４は、回収容器１の
上端にその一端を接続すると共に、途中には第一の開閉
弁６を設けている。

又、回収容器１内に充填された活性炭２を通過する間に
フロン蒸気を除かれた、清浄空気を大気中に排出する為
の排出管５は、上記回収容器１の下端にその一端を接続
し、その他端を大気に開放させており、この排出管５の
途中には第二の開閉弁７を設けている。

８は、上記回収容器１の周囲を囲む状態で設けたジャケ
ットで、このジャケット８内に冷却水を噴出して、回収
容器１内の温度を低下させたり、或はジャケット８内を
高温の水蒸気で充満させて、回収容器１内の温度を上昇
させたりする。

この様なジャケット８は、有底円筒状のジャケット本体
９と、このジャケット本体９の上端開口を塞ぐ蓋板10と
から構成されており、前記回収容器１は、その上端部を
上記蓋板10に貫通した状態で、ジャケット８内に支持さ
れている。

上記ジャケット８の内周面中間部には、前記回収容器１
の外周面に向けて冷却水を吹き付ける冷却ノズル12を設
け、回収容器１の内部空間を冷却自在としている。一
方、上述の様なジャケット８の底部にはヒータ11を設
け、上記冷却ノズル12から噴出し、上記ジャケット８の
底部に溜った水を加熱蒸発自在としている。

又、上記ジャケット８の側面で、ヒータ11を設けた底部
よりも少し上方部分には、排水管13の一端を接続し、上
記冷却ノズル12からジャケット８内に噴出した冷却水の
余剰分を、ジャケット８外に排出自在としている。14
は、この排水管13の途中に設けられた、第三の開閉弁で
ある。

更に、前記送り込み管４の途中で、第一の開閉弁６と回
収容器１との間部分には、回収管15の一端を接続してい
る。途中に第四の開閉弁16と真空ポンプ17とを設けた回
収管15の他端は、有害気体を凝縮させ回収するコンデン
サを組み込んだ回収器18に接続している。

尚、第１図に於いて、19は、水蒸気がジャケット８内で
凝縮する事で生じたドレンを、ジャケット８外に排出す
る為のトラップ、20は、ジャケット８内の圧力が上昇し
過ぎた場合に、この圧力を外部に逃がす為の安全弁、21
はジャケット８内の圧力を検出する為に圧力センサで、
前記ヒータ11への通電は、この圧力センサ21からの信号
により制御される。

上述の様に構成される、本考案の有害気体の回収装置に
より、洗浄器等から排出された、フロン等の有害気体を
回収する場合、第一、第二、第三の開閉弁６、７、14を
開き、第四の開閉弁16を閉じた状態で、上記有害気体を
含む気体を、送り込み管４を通じて、回収容器１内に送
り込むと共に、冷却ノズル12から回収容器１の外周面に
向けて冷却水を吹き付ける。

送り込み管４から回収容器１内に送り込まれた気体は、
この回収容器１を上方から下方に向けて、活性炭２の間
を流れ、この間に気体中に含まれる有害気体が、上記活
性炭２に吸着され、捕集される。そして、有害気体を除
かれた清浄空気のみが、回収容器１の下端部に接続され
た排出管５を通じて、大気中に放散される。

尚、活性炭２に吸着される有害気体の量は、この有害気
体の容積を小さくする程多くする事が出来るが、吸着作
業の際、冷却ノズル12から回収容器１の外周面に向けて
吹き付けられる冷却水により、この回収容器１の内部空
間の温度が下がり、この有害気体の上記活性炭２への吸
着が効率良く行なわれ、活性炭２に吸着する有害気体の
量を十分に多くする事が出来る。

冷却ノズル12から回収容器１に向けて吹き付けられた冷
却水の内、ヒータ11を完全に隠す程度に迄ジャケット８
の底部に溜った冷却水の内の余剰分は、排水管13を通じ
て、下水等の排水設備に排出される。

洗浄器の運転を繰り返し行なう等により、回収容器１内
に充填された活性炭２に多くの有害気体が吸着され、こ
の活性炭２の吸着能力が衰えたならば、次に述べる操作
により、この活性炭２を再生すると共に、この活性炭２
に吸着していた、フロン等の有害気体を回収する。

回収容器１内に充填された活性炭２を再生すると共に、
この活性炭２に吸着されていたフロン等の有害気体を回
収する場合は、それ迄閉じていた第四の開閉弁16を開
き、それ迄開いていた第一、第二、第三の開閉弁６、
７、14を閉じた状態で、ジャケット８の底部に設けたヒ
ータ11に通電すると共に、回収管15の途中に設けた真空
ポンプ17を運転する。又、上記回収管15の端部に設けた
回収器18内に配設したエバポレータ22には、冷媒を流通
させ、回収管15から回収器18に送り込まれた有害気体
を、凝縮可能な状態としておく。

本考案の回収装着を、上述の様な運転状態とした場合、
ヒータ11への通電に伴ない、ジャケット８の底部に溜っ
ていた水が加熱蒸発して、このジャケット８内に充満
し、このジャケット８により周囲を囲まれた回収容器１
の内部の温度が上昇する。同時に、回収管15の途中に設
けた真空ポンプ17の運転に伴なって、上記回収容器１内
の圧力が低下する。

この様に、回収容器１の内部の温度が上昇すると共に、
この回収容器１の内部の圧力が低下した場合、この有害
気体が活性炭２から分離し易くなる。この結果、上記活
性炭２に吸着していた有害気体の内の多くの部分が、活
性炭２から分離し、回収管15を通じて、上記真空ポンプ
17に吸引される。

この様にして、回収容器１内の活性炭２から分離し、回
収管15を通じて真空ポンプ17に吸引された、フロン等の
有害気体は、そのまま真空ポンプ17の吐出口から回収器
18に向けて送り出され、この回収器18に内蔵されたエバ
ポレータ22で冷却される事により、凝縮液化して、回収
される。

上述の様に、回収容器１内の活性炭２を再生する際に、
真空ポンプ17から回収器18に送り込まれる有害気体の濃
度は、洗浄器等の運転時に、この洗浄器等から排出され
る有害気体の濃度に比べて高い為、上記回収器18に内蔵
されたエバポレータ22による有害気体の凝縮、回収は、
効率良く行なわれる。

次に、第２図は本考案の第二実施例を示している。

本実施例の場合、前記第一実施例に於ける排水管13（第
１図）に代えて、ジャケット８の底部に、循環パイプ23
の一端を接続している。そして、この循環パイプ23の途
中には送水ポンプ24を設けると共に、上記循環パイプ23
の下流側端部を、回収容器１の外周面に対向した冷却ノ
ズル12に通じさせている。又、上記ジャケット８の内部
で、上記回収容器１の下側部分には、冷凍機のエバポレ
ータ等の冷却器25を設けて、このジャケット８内に存在
する水蒸気を凝縮自在としている。

上述の様に構成される、第二実施例の回収装置により、
フロン等の有害気体を回収する場合、冷却器25によりジ
ャケット８内に存在する水蒸気を凝縮しつつ、活性炭２
を充填した回収容器１内に有害気体を含む気体を送り込
む。

この様にして有害気体の回収作業を行なった場合、冷却
ノズル12からの冷却水が噴出するジャケット８内の圧力
が、冷却器25によって水蒸気が凝縮する分だけ低下した
ままの状態となる。この様に、ジャケット８内の圧力を
低下させた状態で、冷却ノズル12から回収容器１の外周
面に向けて冷却水を吹き付けた場合、この冷却水が、上
記回収容器１の外周面で効果的に蒸発し、この蒸発によ
って回収容器１から蒸発潜熱を奪い、回収容器１内部の
温度をより一層（冷却水の温度よりも低く）低下させ、
回収容器１内に充填された活性炭２への有害気体の吸着
が、より効率良く行なわれる。

その他の構成及び作用に就いては、前述した第一実施例
の場合と同様である為、同等部分には同一符号を付し
て、重複する説明を省略する。

次に、第３図は本考案の第三実施例を示している。

本実施例の場合、前記第二実施例に於ける冷却ノズル12
と循環パイプ23と送水ポンプ24（第２図）とを省略する
代わりに、冷却器を構成する冷却パイプ26を、回収容器
１の周囲に直接巻回している。

本実施例の回収装置により、フロン等の有害気体を回収
する場合、冷却パイプ26に冷却水、或は冷媒を流通させ
る事により、回収容器１を冷却しつつ、活性炭２を充填
した回収容器１内に有害気体を含む気体を送り込む事
で、上記有害気体の回収作業を行なう。

本実施例の場合、回収容器１を冷却する為に、蒸発潜熱
を利用する事が出来ない為、回収容器１内の冷却効率は
若干悪くなるが、前記第二実施例に於ける様な冷却ノズ
ル12や送水ポンプ24を省略する事が出来る為、装置の製
作費の低廉化を図れる。

尚、活性炭２による有害気体の捕集を、より確実に行な
う為には、第４〜５図に示す様に、それぞれが活性炭を
充填した回収容器１、１を、互いに直列に配設する事
が、効果がある。

又、一度に多量に排出される有害気体を効果的に捕集す
る為には、第６図に示す様に、それぞれが活性炭を充填
した回収容器１、１を、互いに並列に配設する事が、効
果がある。

更に、フロン等の有害気体を発生する洗浄器等を、連続
して運転する為、活性炭２の再生作業を行なうと同時
に、活性炭２による有害気体の捕集を行なう必要がある
場合第７図に示す様に、本考案の有害気体の回収装置を
２組、互いに並列に、且つ切り換え自在に設け、一方の
回収装置により有害気体の捕集を行なっている間に、他
方の回収装置の活性炭２を再生する様に構成する事も出
来る。

（考案の効果） 本考案の有害気体の回収装置は、以上に述べた通り構成
され作用する為、比較的簡単な構成で、安価に製作出来
るにも拘らず、フロン等の有害気体の捕集、回収を効果
的に行なう事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第一実施例を、第２図は同第二実施例
を、第３図は同第三実施例を、それぞれ示す配管系統
図、第４〜５図は回収容器を直列に連続した状態を示し
ており、第４図は斜視図、第５図は略縦断面図、第６図
は回収容器を並列に接続した状態を示す略縦断面図、第
７図は回収装置を２組、互いに切り換え自在に設けた例
を示す配管系統図である。 1:回収容器、2:活性炭、3:フィルタ、4:送り込み管、5:
排出管、6:第一の開閉弁、7:第二の開閉弁、8:ジャケッ
ト、9:ジャケット本体、10:蓋板、11:ヒータ、12:冷却
ノズル、13:排水管、14:第三の開閉弁、15:回収管、16:
第四の開閉弁、17:真空ポンプ、18:回収器、19:トラッ
プ、20:安全弁、21:圧力センサ、22:エバポレータ、23:
循環パイプ、24:送水ポンプ、25:冷却器、26:冷却パイ
プ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/81

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内部に活性炭を充填した回収容器と、この
   回収容器の一端にその一端を接続し、上記回収容器内に
   有害気体を含む気体を送り込む送り込み管と、この送り
   込み管の途中に設けた第一の開閉弁と、上記回収容器の
   他端にその一端を接続し、その他端を大気に開放させた
   排出管と、この排出管の途中に設けた第二の開閉弁と、
   上記回収容器の周囲を囲む状態で設けたジャケットと、
   このジャケットの底部に設けられ、このジャケットの底
   部に溜った水を加熱蒸発させるヒータと、上記ジャケッ
   トの側面で、底部よりも少し上方に設けられた排水管
   と、この排水管の途中に設けられた第三の開閉弁と、上
   記ジャケットの内周面中間部に設けられ、上記回収容器
   の外周面に向けて冷却水を吹き付ける冷却ノズルと、一
   端を上記回収容器に、他端を有害気体を凝縮させ回収す
   る回収器に、それぞれ接続した回収管と、それぞれこの
   回収管の途中に設けられた第四の開閉弁及び真空ポンプ
   とから成る有害気体の回収装置。
2. 【請求項２】排水管に代えて設けた循環パイプの途中
   に、送水ポンプを設け、上記循環パイプの下流側端部を
   冷却ノズルに通じさせると共に、ジャケット内に、この
   ジャケット内に存在する水蒸気を凝縮させる為の冷却器
   を設けた、請求項１に記載の有害気体の回収装置。
3. 【請求項３】冷却ノズルと循環パイプと送水ポンプとを
   省略する代わりに、冷却器を構成する冷却パイプを、回
   収容器の周囲に直接巻回した、請求項２に記載の有害気
   体の回収装置。