JPS623177A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS623177A JPS623177A JP14018985A JP14018985A JPS623177A JP S623177 A JPS623177 A JP S623177A JP 14018985 A JP14018985 A JP 14018985A JP 14018985 A JP14018985 A JP 14018985A JP S623177 A JPS623177 A JP S623177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold
- reflector
- buffle
- water
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はクライオポンプに係り、特にポンプの再生時間
の短縮を図ることを可能としたクライオポンプに関する
。
の短縮を図ることを可能としたクライオポンプに関する
。
通常、クライオポンプは、ケーシングの内部に約７０’
Ｋに冷却されルーバ状のコールドバッフルを有するレフ
レクタと、このレフレクタの内部に配設される約２０°
Ｋのコールドパネルと、この約２０°Ｋのコールドパネ
ルの内面に接着される活性炭とをそれぞれ有しており、
上記各コールドパネルは冷凍機に接続された多段のコー
ルドヘッドに接続されている。そして、上記的７０°Ｋ
のコールドバッフルによりＨ２０等蒸気圧の高い気体を
凝結捕集し、上記的２０°ＫのコールドパネルによりＮ
ｅ、Ｈ２およびＨｅ以外の気体を凝縮捕集して排気し、
さらに、上記活性炭によりＮｅ、Ｈ２およびＨｅを収着
排気するようになされている。
Ｋに冷却されルーバ状のコールドバッフルを有するレフ
レクタと、このレフレクタの内部に配設される約２０°
Ｋのコールドパネルと、この約２０°Ｋのコールドパネ
ルの内面に接着される活性炭とをそれぞれ有しており、
上記各コールドパネルは冷凍機に接続された多段のコー
ルドヘッドに接続されている。そして、上記的７０°Ｋ
のコールドバッフルによりＨ２０等蒸気圧の高い気体を
凝結捕集し、上記的２０°ＫのコールドパネルによりＮ
ｅ、Ｈ２およびＨｅ以外の気体を凝縮捕集して排気し、
さらに、上記活性炭によりＮｅ、Ｈ２およびＨｅを収着
排気するようになされている。
上記クライオポンプを作動する場合は、上記冷凍機によ
りコールドバッフルおよびコールドパネルを冷却して排
気するようになされており、コールドパネルや活性炭の
気体捕集聞が限界に達した場合は、捕集気体をポンプ外
に排出する再生作業が必要となる。
りコールドバッフルおよびコールドパネルを冷却して排
気するようになされており、コールドパネルや活性炭の
気体捕集聞が限界に達した場合は、捕集気体をポンプ外
に排出する再生作業が必要となる。
このポンプ再生は、ポンプの運転を停止させ、コールド
バッフルやコールドパネルに補集された気体を蒸発させ
ることにより行なうものである。
バッフルやコールドパネルに補集された気体を蒸発させ
ることにより行なうものである。
この場合Ｎ２やＡｒ等のガスは比較的速やかに蒸発する
が、Ｈ２Ｏは氷となってコールドバッフルに補集されて
いるので、その溶解に時間がかかり再生時間が長く必要
である。さらに、氷が溶解して水となった場合に、その
水がポンプの下部に溜まり、正常なポンプ作用を行なわ
せるために取り外し清掃等を行なわなければならず、そ
の処理に困っていた。
が、Ｈ２Ｏは氷となってコールドバッフルに補集されて
いるので、その溶解に時間がかかり再生時間が長く必要
である。さらに、氷が溶解して水となった場合に、その
水がポンプの下部に溜まり、正常なポンプ作用を行なわ
せるために取り外し清掃等を行なわなければならず、そ
の処理に困っていた。
本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、ポンプの
再生時間の短縮を図ることができ容易に再生作業を行な
うことができるクライオポンプを提供することを目的と
するものである。
再生時間の短縮を図ることができ容易に再生作業を行な
うことができるクライオポンプを提供することを目的と
するものである。
上記目的を達成するため本発明に係るクライオポンプは
、被排気容器に接続するように一端部が開口する筒状ケ
ーシングの内部に、約７０°Ｋに冷却されるルーバ状の
コールドバッフルを有するレフレクタと、約２０°Ｋに
冷却されるコールドパネルと、この約２０°Ｋのコール
ドパネル内面に接着される活性炭とを、排気する気体の
流入側から順次配設してなるクライオポンプにおいて、
上記コールドバッフルから滴下する液体を受ける水受け
およびこの水受けに接続され上記液体を上記ケーシング
の外部へ排出する水排出管路を設けるとともに、上記ケ
ーシング内部に上記７０°Ｋのレフレクタ面に当接１１
ｔｌＢ！自在とされる加熱ヒータを設けて構成されてお
り、ポンプ再生時に加熱ヒータをコールドパネルに当接
させて該パネルを加熱する一方この加熱により滴下する
水を水受けで受けて水排出管路により外部へ排出するよ
うになされて 、いる。
、被排気容器に接続するように一端部が開口する筒状ケ
ーシングの内部に、約７０°Ｋに冷却されるルーバ状の
コールドバッフルを有するレフレクタと、約２０°Ｋに
冷却されるコールドパネルと、この約２０°Ｋのコール
ドパネル内面に接着される活性炭とを、排気する気体の
流入側から順次配設してなるクライオポンプにおいて、
上記コールドバッフルから滴下する液体を受ける水受け
およびこの水受けに接続され上記液体を上記ケーシング
の外部へ排出する水排出管路を設けるとともに、上記ケ
ーシング内部に上記７０°Ｋのレフレクタ面に当接１１
ｔｌＢ！自在とされる加熱ヒータを設けて構成されてお
り、ポンプ再生時に加熱ヒータをコールドパネルに当接
させて該パネルを加熱する一方この加熱により滴下する
水を水受けで受けて水排出管路により外部へ排出するよ
うになされて 、いる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図面は本発明に係るクライオポンプの一実施例を示した
もので、下端部が閉塞された円筒状のケーシング１の内
側に、約７０°Ｋに冷却される円筒状のレフレクタ２が
配設されるとともに、このレフレクタ２の上端開口部分
には、ルーバを同心円状に形成してなり約７０°Ｋに冷
却されるコールド′ バッフル３が一体に取付けられて
いる。また、上記７０°Ｋのレフレクタ２の内側には、
約２０°Ｋに冷却される円筒状のコールドパネル４が設
けられており、このコールドパネル４の内周面には、活
性炭５が接着されている。
もので、下端部が閉塞された円筒状のケーシング１の内
側に、約７０°Ｋに冷却される円筒状のレフレクタ２が
配設されるとともに、このレフレクタ２の上端開口部分
には、ルーバを同心円状に形成してなり約７０°Ｋに冷
却されるコールド′ バッフル３が一体に取付けられて
いる。また、上記７０°Ｋのレフレクタ２の内側には、
約２０°Ｋに冷却される円筒状のコールドパネル４が設
けられており、このコールドパネル４の内周面には、活
性炭５が接着されている。
上記ケーシング１の下面中央には冷凍機６が設けられ、
この冷凍機６からケーシング１の内部に延びる多段のコ
ールドヘッド７が上記レフレクタ２およびコールドパネ
ル４に接続されており、コールドバッフル３、レフレク
タ２およびコールドパネル４を所定の温度に冷却するよ
うになされている。また、コールドバッフル３は、樋と
して機能するようにその下端部分がＶ字状に形成されて
おり、このＶ字状部分の下端には排水孔８．８・・・が
穿設されている。この排水孔８，８・・・の下方該当位
置には、水受け９が配設され、この水受け９には、７０
’にのレフレクタ２の下面を貫通して伸ひる排水樋１０
が接続されており、さらに、この排水樋１０の下端には
、ケーシング１の外部にバルブ１１を介して連通する排
水管１２が接続されている。
この冷凍機６からケーシング１の内部に延びる多段のコ
ールドヘッド７が上記レフレクタ２およびコールドパネ
ル４に接続されており、コールドバッフル３、レフレク
タ２およびコールドパネル４を所定の温度に冷却するよ
うになされている。また、コールドバッフル３は、樋と
して機能するようにその下端部分がＶ字状に形成されて
おり、このＶ字状部分の下端には排水孔８．８・・・が
穿設されている。この排水孔８，８・・・の下方該当位
置には、水受け９が配設され、この水受け９には、７０
’にのレフレクタ２の下面を貫通して伸ひる排水樋１０
が接続されており、さらに、この排水樋１０の下端には
、ケーシング１の外部にバルブ１１を介して連通する排
水管１２が接続されている。
また、ケーシング１の下方側には、ケーシング゛１に取
付けられた端子１３からの電流により加熱される加熱ヒ
ータ１４が配設され、この加熱ヒー ゛り１４
には、例えばラック、ビニオン等の機構による昇降装置
１５が接続されており、この昇降装置１５の駆動により
上記加熱ヒータ１４を７０°Ｋのレフレクタ２の下面に
当接離脱できるようになされている。
付けられた端子１３からの電流により加熱される加熱ヒ
ータ１４が配設され、この加熱ヒー ゛り１４
には、例えばラック、ビニオン等の機構による昇降装置
１５が接続されており、この昇降装置１５の駆動により
上記加熱ヒータ１４を７０°Ｋのレフレクタ２の下面に
当接離脱できるようになされている。
本実施例においては、上記のように構成されたポンプを
被排気容器（図示せず）に接続して、被排気容器から流
入する気体を排気するようになされもので、冷凍機６を
作動させてコールドバッフル３およびコールドパネル４
を冷却することにより、被排気容器の排気が開始される
。そして、ＨＯ％ＣＯ２等をコールドバッフル３で凝結
排気し、次いで、コールドパネル４でＮ２．０２、Ａｒ
等を凝縮排気し、活性炭５でｘｅ、ｔ−１２゜Ｈｅ等を
含む蒸気圧の高い気体を収着排気するものであり、低真
空域から超高真空域にわたり、すべての気体を排気する
ことができる。
被排気容器（図示せず）に接続して、被排気容器から流
入する気体を排気するようになされもので、冷凍機６を
作動させてコールドバッフル３およびコールドパネル４
を冷却することにより、被排気容器の排気が開始される
。そして、ＨＯ％ＣＯ２等をコールドバッフル３で凝結
排気し、次いで、コールドパネル４でＮ２．０２、Ａｒ
等を凝縮排気し、活性炭５でｘｅ、ｔ−１２゜Ｈｅ等を
含む蒸気圧の高い気体を収着排気するものであり、低真
空域から超高真空域にわたり、すべての気体を排気する
ことができる。
また、ポンプの溜込み量が飽和状態になり、ポンプ再生
活性化を行なう場合は、冷凍機６をＯＦＦにするととも
にバルブ１１を開き、昇降装置１５により加熱ヒーター
４を上昇させてレフレクタ２に当接させ、加熱ヒーター
４への通電によりレフレクタ２およびコールドバッフル
３を加熱する。この加熱により、コールドバッフル３お
よびコールドパネル４等に溜込まれた気体は、加熱によ
り溶解あるいは気化し、コールドバッフル３に凝結され
た氷が溶解すると、その水が排水孔８゜８・・・から滴
して水受けに溜まり、排水ｖＡ１０および排水管１２を
介して外部へ排出される。
活性化を行なう場合は、冷凍機６をＯＦＦにするととも
にバルブ１１を開き、昇降装置１５により加熱ヒーター
４を上昇させてレフレクタ２に当接させ、加熱ヒーター
４への通電によりレフレクタ２およびコールドバッフル
３を加熱する。この加熱により、コールドバッフル３お
よびコールドパネル４等に溜込まれた気体は、加熱によ
り溶解あるいは気化し、コールドバッフル３に凝結され
た氷が溶解すると、その水が排水孔８゜８・・・から滴
して水受けに溜まり、排水ｖＡ１０および排水管１２を
介して外部へ排出される。
したがって、コールドバッフル３に凝結された氷を速や
かに溶解することができ、この溶解による水を確実にケ
ーシング１の外部へ排出することができるので、再生時
間を大幅に短縮することができ、しかも、清掃等が不要
となり再生作業を容易に行なうことが可能となる。
かに溶解することができ、この溶解による水を確実にケ
ーシング１の外部へ排出することができるので、再生時
間を大幅に短縮することができ、しかも、清掃等が不要
となり再生作業を容易に行なうことが可能となる。
以上述べたように本発明に係るクライオポンプは、ケー
シング内部にコールドバッフルから滴下する液体を受け
る水受けおよびこの水受けの液体を外部へ排出する水排
出管路を設けるとともに加熱ヒータを約７０°Ｋのレフ
レクタ面に当接離脱自在に設けて構成され、ポンプ再生
時には加熱された加熱ヒータをレフレクタに当接させる
ようにしたので、コールドバッフルに凝結した氷の溶解
を速やかに行なうことができ、さらに、この溶解により
発生した水を水受け、水排出管路を介して直接外部へ排
出することができ、その結果再生時間を短縮することが
でき、しかも、清掃等が不要となる等の効果を奏する。
シング内部にコールドバッフルから滴下する液体を受け
る水受けおよびこの水受けの液体を外部へ排出する水排
出管路を設けるとともに加熱ヒータを約７０°Ｋのレフ
レクタ面に当接離脱自在に設けて構成され、ポンプ再生
時には加熱された加熱ヒータをレフレクタに当接させる
ようにしたので、コールドバッフルに凝結した氷の溶解
を速やかに行なうことができ、さらに、この溶解により
発生した水を水受け、水排出管路を介して直接外部へ排
出することができ、その結果再生時間を短縮することが
でき、しかも、清掃等が不要となる等の効果を奏する。
図面は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
１・・・ケーシング、２・・・レフレクタ、３・・・コ
ールドバッフル、４・・・コールドパネル、５・・・活
性炭、６・・・冷凍機、７・・・コールドヘッド、８・
・・排水孔、９・・・水受け、１０・・・排水樋、１１
・・・バルブ、１２・・・排水管、１３・・・端子、１
４・・・加熱ヒータ、１５・・・昇降装置。
ールドバッフル、４・・・コールドパネル、５・・・活
性炭、６・・・冷凍機、７・・・コールドヘッド、８・
・・排水孔、９・・・水受け、１０・・・排水樋、１１
・・・バルブ、１２・・・排水管、１３・・・端子、１
４・・・加熱ヒータ、１５・・・昇降装置。
Claims (1)
- 被排気容器に接続するように一端部が開口する筒状ケー
シングの内部に、約７０°Ｋに冷却されるルーバ状のコ
ールドバッフルを有するレフレクタと、約２０°Ｋに冷
却されるコールドパネルと、この約２０°Ｋのコールド
パネル内面に接着される活性炭とを、排気する気体の流
入側から順次配設してなるクライオポンプにおいて、上
記コールドバッフルから滴下する液体を受ける水受けお
よびこの水受けに接続され上記液体を上記ケーシングの
外部へ排出する水排出管路を設けるとともに、上記ケー
シング内部に上記７０°Ｋのレフレクタ面に当接離脱自
在とされる加熱ヒータを設けたことを特徴とするクライ
オポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14018985A JPS623177A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14018985A JPS623177A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS623177A true JPS623177A (ja) | 1987-01-09 |
Family
ID=15262977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14018985A Pending JPS623177A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS623177A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5228299A (en) * | 1992-04-16 | 1993-07-20 | Helix Technology Corporation | Cryopump water drain |
| US5261244A (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-16 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
| JPH06329849A (ja) * | 1993-05-17 | 1994-11-29 | Nippon Unicar Co Ltd | 高透明性エチレン系樹脂フィルム |
| JP2008048800A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Hitachi High-Technologies Corp | デュワおよびそれを備えた生体磁気計測装置 |
| DE112008001303T5 (de) | 2007-05-18 | 2010-04-29 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Polymerzusammensetzung auf Ethylenbasis und Folie |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761188B2 (ja) * | 1975-04-10 | 1982-12-23 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14018985A patent/JPS623177A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761188B2 (ja) * | 1975-04-10 | 1982-12-23 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5228299A (en) * | 1992-04-16 | 1993-07-20 | Helix Technology Corporation | Cryopump water drain |
| US5333466A (en) * | 1992-04-16 | 1994-08-02 | Helix Technology Corporation | Cryopump water drain |
| US5261244A (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-16 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
| JPH06329849A (ja) * | 1993-05-17 | 1994-11-29 | Nippon Unicar Co Ltd | 高透明性エチレン系樹脂フィルム |
| JP2008048800A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Hitachi High-Technologies Corp | デュワおよびそれを備えた生体磁気計測装置 |
| DE112008001303T5 (de) | 2007-05-18 | 2010-04-29 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Polymerzusammensetzung auf Ethylenbasis und Folie |
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