JP2859720B2 - 半導体集積回路テスタ - Google Patents
半導体集積回路テスタInfo
- Publication number
- JP2859720B2 JP2859720B2 JP2207148A JP20714890A JP2859720B2 JP 2859720 B2 JP2859720 B2 JP 2859720B2 JP 2207148 A JP2207148 A JP 2207148A JP 20714890 A JP20714890 A JP 20714890A JP 2859720 B2 JP2859720 B2 JP 2859720B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- semiconductor integrated
- pad
- pulse
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
半導体集積回路の信号波形を測定するテスタに関し、 より正確に電圧を測定することを目的とし、 半導体集積回路上の電圧を、電気光学効果を奏する結
晶板上のパッドに印加し、該結晶板にパルス光を入射さ
せ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分に
分離し、該両成分を光検出器で検出し、該両光検出器の
出力をアンプで増幅し、該アンプの出力をピークホール
ド回路で保持し、２つの該ピークホールド回路の出力の
差に比例した値を検出し、該値から該パッドに印加され
た電圧を求めるように構成する。
晶板上のパッドに印加し、該結晶板にパルス光を入射さ
せ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分に
分離し、該両成分を光検出器で検出し、該両光検出器の
出力をアンプで増幅し、該アンプの出力をピークホール
ド回路で保持し、２つの該ピークホールド回路の出力の
差に比例した値を検出し、該値から該パッドに印加され
た電圧を求めるように構成する。
本発明は、半導体集積回路の信号波形を測定する半導
体集積回路テスタに関する。
体集積回路テスタに関する。
半導体集積回路の信号波形を測定するために、従来で
は、その入出力ピンをケーブルでテスタに接続して波形
観測していた。しかし、半導体集積回路の動作の高速化
に伴い、接続ケーブルの容量による信号波形の鈍りが大
きくなり、信号波形を正確に測定することが困難になっ
てきた。そこで、電気光学効果を利用した次のような半
導体集積回路テスタが提案されている（特開平１−2856
6号公報）。 すなわち、LSIのピンを、電気光学効果を奏する結晶
板上のパッドに当接し、この結晶板にパルス光を入射さ
せ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分に
分離する。そして、両成分をそれぞれ第３図に示す如
く、光検出器30A、30Bで検出し、アンプ32A,32Bで増幅
し、これらを差動アンプ36に供給して両者の差に比例し
た信号を得、A/D変換器38でデジタル化して信号処理装
置に供給する。信号処理装置は、これを、前記パッドの
パルス光照射時点（電圧波形上の一点）での電圧値に変
換する。
は、その入出力ピンをケーブルでテスタに接続して波形
観測していた。しかし、半導体集積回路の動作の高速化
に伴い、接続ケーブルの容量による信号波形の鈍りが大
きくなり、信号波形を正確に測定することが困難になっ
てきた。そこで、電気光学効果を利用した次のような半
導体集積回路テスタが提案されている（特開平１−2856
6号公報）。 すなわち、LSIのピンを、電気光学効果を奏する結晶
板上のパッドに当接し、この結晶板にパルス光を入射さ
せ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分に
分離する。そして、両成分をそれぞれ第３図に示す如
く、光検出器30A、30Bで検出し、アンプ32A,32Bで増幅
し、これらを差動アンプ36に供給して両者の差に比例し
た信号を得、A/D変換器38でデジタル化して信号処理装
置に供給する。信号処理装置は、これを、前記パッドの
パルス光照射時点（電圧波形上の一点）での電圧値に変
換する。
ところが、高速変化する信号波形上の点の電圧を測定
するためにパルス光の幅を例えば数十psと極めて狭くす
る必要があるので、製造上のばらつき等によるアンプ32
Aと32Bとの特性差やノイズ等により、第４図（Ａ）、
（Ｂ）に示す如く、アンプ32Aと32Bの出力信号間にジッ
タが生じる。このため、差動アンプ36の出力は同図
（Ｃ）に示す如くなり、パルス光に同期した同図（Ｄ）
に示すような変換開始パルスCSの立ち上がりのタイミン
グで、A/D変換器38によりデジタル変換しても、両偏光
成分の強度差を正確に測定することができなかった。し
たがって、この強度差で定る電圧を正確に測定すること
ができなかった。 本発明の目的は、このような問題点に鑑み、より正確
に電圧を測定することができる半導体集積回路テスタを
提供することにある。
するためにパルス光の幅を例えば数十psと極めて狭くす
る必要があるので、製造上のばらつき等によるアンプ32
Aと32Bとの特性差やノイズ等により、第４図（Ａ）、
（Ｂ）に示す如く、アンプ32Aと32Bの出力信号間にジッ
タが生じる。このため、差動アンプ36の出力は同図
（Ｃ）に示す如くなり、パルス光に同期した同図（Ｄ）
に示すような変換開始パルスCSの立ち上がりのタイミン
グで、A/D変換器38によりデジタル変換しても、両偏光
成分の強度差を正確に測定することができなかった。し
たがって、この強度差で定る電圧を正確に測定すること
ができなかった。 本発明の目的は、このような問題点に鑑み、より正確
に電圧を測定することができる半導体集積回路テスタを
提供することにある。
本発明に係る半導体集積回路テスタの構成を、実施例
図面第１図を参照して説明する。 半導体集積回路上の電圧を、電気光学効果を奏する結
晶板14上のパッドに印加し、結晶板14にパルス光を入射
させ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分
に分離し、該両成分を光検出器30A、30Bで検出する。両
光検出器30A、30Bの出力をアンプ32A,32Bで増幅し、ア
ンプ32A,32Bの出力をピークホールド回路34A,34Bで保持
し、ピークホールド回路34A,34Bの出力の差に比例した
値を検出する。そして、この値から該パッドに印加され
た電圧を求める。
図面第１図を参照して説明する。 半導体集積回路上の電圧を、電気光学効果を奏する結
晶板14上のパッドに印加し、結晶板14にパルス光を入射
させ、該パッドで反射されたパルス光を２つの偏光成分
に分離し、該両成分を光検出器30A、30Bで検出する。両
光検出器30A、30Bの出力をアンプ32A,32Bで増幅し、ア
ンプ32A,32Bの出力をピークホールド回路34A,34Bで保持
し、ピークホールド回路34A,34Bの出力の差に比例した
値を検出する。そして、この値から該パッドに印加され
た電圧を求める。
アンプ32Aと32Bとが同一構成であっても、製造上のば
らつき等により、両出力のパルス間にジッタが生ずる
が、本発明では、アンプ32A、32Bの出力をそれぞれピー
クホールド回路34A、34Bに供給して、第２図（Ｃ）、
（Ｅ）に示すように、ピーク値を検出保持しているの
で、両者のピークの差に比例した信号を正確に検出する
ことが可能となる。 したがって、この差に比例した値から、パルス光が照
射されたパッドの電圧を従来よりも正確に測定すること
が可能となる。
らつき等により、両出力のパルス間にジッタが生ずる
が、本発明では、アンプ32A、32Bの出力をそれぞれピー
クホールド回路34A、34Bに供給して、第２図（Ｃ）、
（Ｅ）に示すように、ピーク値を検出保持しているの
で、両者のピークの差に比例した信号を正確に検出する
ことが可能となる。 したがって、この差に比例した値から、パルス光が照
射されたパッドの電圧を従来よりも正確に測定すること
が可能となる。
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。 第１図は半導体集積回路テスタの構成を示す。 LSI10のピン10aはソケット12に装着され、ピン10aの
先端は、結晶板14上にプリントされたパッドい当接され
ている。この結晶板14は、電気光学効果を奏する、例え
ば面方位［100］のGaAs結晶板である。この結晶板14に
光を入射させてパッドで反射させると、そのパッドの電
圧に応じて、互いに直交する直線偏光成分間に位相差が
生ずる。 LSI10には、テスト信号発生回路16からソケット12を
介して、周期的変化するテスト信号が供給される。各周
期の始点を示すパルスがタイミング回路18へ供給され、
タイミング回路18はこのパルスを受けてから時間ｔ＝ｉ
Δｔ後にトリガパルスTGをドライバ20へ供給する。ドラ
イバ20は、トリガパルスTGに応答して、レーザ22に駆動
パルスを供給し、レーザ22から円偏光のパルスを放射さ
せる。このパルス光は、ビームスプリッタ24、走査光学
系26を通って結晶板14に入射され、あるピン10aが当接
したパッドに当たる。 通常、１つのパッドに対し、平均をとるために前記ｔ
＝ｉΔｔの各ｉについて複数回パルス光を照射し、信号
波形を得るためにｉをインクリメントしてこれを繰返
す。パルス光が照射されるパッドは、走査光学系26で切
り換えられる。 このパッドで反射されたパルス光は、走査光学系26を
通り、ビームスプリッタ24で90度折り曲げられて偏光ビ
ームスプリッタ28に入射し、互いに直交する２つの直線
偏光成分に分離され、それぞれ光検出器30A、30Bで検出
される。光検出器30A、30Bの出力はそれぞれ、アンプ32
A、32Bで増幅され、第２図（Ｂ）、（Ｄ）に示すような
パルスが得られる。 アンプ32Aと32Bとは同一構成であるが、製造上のばら
つき等により、両出力のパルス間にジッタが生ずる。こ
のジッタは僅かであるが、高速変化する信号波形上の点
の電圧を測定するためにパルス光の幅が例えば数十psと
極めて狭いので、アンプ32Aと32Bの両出力パルスのピー
ク値の差を求めるのに妨げとなる。 そこで本実施例では、アンプ32A、32Bの出力をそれぞ
れピークホールド回路34A、34Bに供給して、第２図
（Ｃ）、（Ｅ）に示すように、ピーク値を検出保持して
いる。そして、ピークホールド回路34Aの出力を差動ア
ンプ36の非反転入力端子に供給し、ピークホールド回路
34Bの出力を差動アンプ36の反転入力端子に供給して、
第２図（Ｆ）に示すような両者の差に比例した信号を得
ている。 差動アンプ36の出力は、A/D変換器38でデジタル化さ
れる。このデジタル化は、変換開始パルスCSの立ち上が
りで開始される。変換開始パルスCSは、タイミング回路
18から出力されるトリガパルスTGを遅延素子40で一定時
間T1遅延させて作成したものであり、第２図（Ａ）、
（Ｇ）にトリガパルスTGと変換開始パルスCSとの関係を
示す。ピークホールド回路34A及び34Bが保持しているピ
ーク値は、次のパルスが供給されるまでの間にリセット
される。すなわち、トリガパルスTGを遅延素子42で一定
時間T2遅延させた、第２図（Ｈ）に示すようなリセット
パルスＲで、ピークホールド回路34A及び34Bがリセット
される。 信号処理装置44は、A/D変換器38からの変換終了パル
スCEに応答して、A/D変換器38からデータを読込み、こ
れを、パルス光が照射されたパッドの電圧に変換する。
先端は、結晶板14上にプリントされたパッドい当接され
ている。この結晶板14は、電気光学効果を奏する、例え
ば面方位［100］のGaAs結晶板である。この結晶板14に
光を入射させてパッドで反射させると、そのパッドの電
圧に応じて、互いに直交する直線偏光成分間に位相差が
生ずる。 LSI10には、テスト信号発生回路16からソケット12を
介して、周期的変化するテスト信号が供給される。各周
期の始点を示すパルスがタイミング回路18へ供給され、
タイミング回路18はこのパルスを受けてから時間ｔ＝ｉ
Δｔ後にトリガパルスTGをドライバ20へ供給する。ドラ
イバ20は、トリガパルスTGに応答して、レーザ22に駆動
パルスを供給し、レーザ22から円偏光のパルスを放射さ
せる。このパルス光は、ビームスプリッタ24、走査光学
系26を通って結晶板14に入射され、あるピン10aが当接
したパッドに当たる。 通常、１つのパッドに対し、平均をとるために前記ｔ
＝ｉΔｔの各ｉについて複数回パルス光を照射し、信号
波形を得るためにｉをインクリメントしてこれを繰返
す。パルス光が照射されるパッドは、走査光学系26で切
り換えられる。 このパッドで反射されたパルス光は、走査光学系26を
通り、ビームスプリッタ24で90度折り曲げられて偏光ビ
ームスプリッタ28に入射し、互いに直交する２つの直線
偏光成分に分離され、それぞれ光検出器30A、30Bで検出
される。光検出器30A、30Bの出力はそれぞれ、アンプ32
A、32Bで増幅され、第２図（Ｂ）、（Ｄ）に示すような
パルスが得られる。 アンプ32Aと32Bとは同一構成であるが、製造上のばら
つき等により、両出力のパルス間にジッタが生ずる。こ
のジッタは僅かであるが、高速変化する信号波形上の点
の電圧を測定するためにパルス光の幅が例えば数十psと
極めて狭いので、アンプ32Aと32Bの両出力パルスのピー
ク値の差を求めるのに妨げとなる。 そこで本実施例では、アンプ32A、32Bの出力をそれぞ
れピークホールド回路34A、34Bに供給して、第２図
（Ｃ）、（Ｅ）に示すように、ピーク値を検出保持して
いる。そして、ピークホールド回路34Aの出力を差動ア
ンプ36の非反転入力端子に供給し、ピークホールド回路
34Bの出力を差動アンプ36の反転入力端子に供給して、
第２図（Ｆ）に示すような両者の差に比例した信号を得
ている。 差動アンプ36の出力は、A/D変換器38でデジタル化さ
れる。このデジタル化は、変換開始パルスCSの立ち上が
りで開始される。変換開始パルスCSは、タイミング回路
18から出力されるトリガパルスTGを遅延素子40で一定時
間T1遅延させて作成したものであり、第２図（Ａ）、
（Ｇ）にトリガパルスTGと変換開始パルスCSとの関係を
示す。ピークホールド回路34A及び34Bが保持しているピ
ーク値は、次のパルスが供給されるまでの間にリセット
される。すなわち、トリガパルスTGを遅延素子42で一定
時間T2遅延させた、第２図（Ｈ）に示すようなリセット
パルスＲで、ピークホールド回路34A及び34Bがリセット
される。 信号処理装置44は、A/D変換器38からの変換終了パル
スCEに応答して、A/D変換器38からデータを読込み、こ
れを、パルス光が照射されたパッドの電圧に変換する。
以上説明した如く、本発明に係る半導体集積回路テス
タでは、２つのアンプの出力パルス間にジッタが生じて
も、アンプの出力をピークホールド回路に供給してピー
ク値を検出保持しているので、両ピークの差に比例した
値を正確に検出することが可能となり、したがって、こ
の値から、パルス光が照射されたパッドの電圧を従来よ
りも正確に測定することが可能となるという効果を奏す
る。
タでは、２つのアンプの出力パルス間にジッタが生じて
も、アンプの出力をピークホールド回路に供給してピー
ク値を検出保持しているので、両ピークの差に比例した
値を正確に検出することが可能となり、したがって、こ
の値から、パルス光が照射されたパッドの電圧を従来よ
りも正確に測定することが可能となるという効果を奏す
る。
第１図及び第２図は本発明の半導体集積回路テスタの一
実施例に係り、 第１図は半導体集積回路テスタの構成を示すブロック
図、 第２図（Ａ）〜（Ｈ）はこの半導体集積回路テスタの回
路要部の波形図である。 第３図及び第４図は従来例に係り、 第３図は半導体集積回路テスタの要部回路図、 第４図はこの回路の波形図である。 図中、 10はLSI 10aはピン 12はソケット 14は結晶板 24はビームスプリッタ 28は偏光ビームスプリッタ 30A、30Bは光検出器 36は差動アンプ 38はA/D変換器 40、42は遅延素子
実施例に係り、 第１図は半導体集積回路テスタの構成を示すブロック
図、 第２図（Ａ）〜（Ｈ）はこの半導体集積回路テスタの回
路要部の波形図である。 第３図及び第４図は従来例に係り、 第３図は半導体集積回路テスタの要部回路図、 第４図はこの回路の波形図である。 図中、 10はLSI 10aはピン 12はソケット 14は結晶板 24はビームスプリッタ 28は偏光ビームスプリッタ 30A、30Bは光検出器 36は差動アンプ 38はA/D変換器 40、42は遅延素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−253878（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−98671（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 19/00 - 19/32 G01R 31/28 - 31/3193 H01L 21/66
Claims (1)
- 【請求項１】半導体集積回路（10）上の電圧を、電気光
学効果を奏する結晶板（14）上のパッドに印加し、該結
晶板にパルス光を入射させ、該パッドで反射されたパル
ス光を２つの偏光成分に分離し、該両成分を光検出器
（30A、30B）で検出し、該両光検出器の出力をアンプ
（32A、32B）で増幅する半導体集積回路テスタにおい
て、 該アンプの出力をピークホールド回路（34A、34B）で保
持し、２つの該ピークホールド回路の出力の差に比例し
た値を検出し、該値から該パッドに印加された電圧を求
めることを特徴とする半導体集積回路テスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207148A JP2859720B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体集積回路テスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207148A JP2859720B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体集積回路テスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0493678A JPH0493678A (ja) | 1992-03-26 |
| JP2859720B2 true JP2859720B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=16535009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2207148A Expired - Lifetime JP2859720B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 半導体集積回路テスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2859720B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3603872B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2004-12-22 | 松下電器産業株式会社 | 磁気センサとこれを用いた紙幣識別装置 |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP2207148A patent/JP2859720B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0493678A (ja) | 1992-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6252222B1 (en) | Differential pulsed laser beam probing of integrated circuits | |
| JPH0660912B2 (ja) | 電圧検出装置 | |
| EP0481016B1 (en) | Avalanche photodiode quenching circuit | |
| Shinagawa et al. | A laser-diode-based picosecond electrooptic prober for high-speed LSIs | |
| JP2859720B2 (ja) | 半導体集積回路テスタ | |
| JP2967656B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3406493B2 (ja) | 電気光学プローブの信号処理回路 | |
| JP2000147021A (ja) | 電気光学サンプリングオシロスコープ用受光回路 | |
| JP2000221213A (ja) | 電気光学プロ―ブ | |
| JPH0512657B2 (ja) | ||
| JP3154531B2 (ja) | 信号測定装置 | |
| JP3406497B2 (ja) | 電気光学プローブの信号処理回路 | |
| Baur et al. | High voltage resolution with a laser diode based electro-optic measurement system | |
| JPH0540133A (ja) | 信号波形測定装置 | |
| JP3270176B2 (ja) | 三角測距式光電センサ | |
| JP3039822B2 (ja) | 信号波形検出装置 | |
| RU2066870C1 (ru) | Бесконтактное электрооптическое измерительное устройство для сверхбыстродействующих тестеров ис | |
| JP3197325B2 (ja) | 光信号を用いた半導体試験装置 | |
| JPH0540132A (ja) | 信号波形測定装置 | |
| JPH06242185A (ja) | 信号波形測定装置及び信号波形測定方法 | |
| JP3005233B2 (ja) | 信号波形検出装置 | |
| JP2000056017A (ja) | 距離測定方法及び距離測定装置 | |
| JP2722524B2 (ja) | 光パルス試験器 | |
| JP2000338198A (ja) | 電位測定装置 | |
| JP3186544B2 (ja) | 電界検出装置 |