JPH06242185A - 信号波形測定装置及び信号波形測定方法 - Google Patents
信号波形測定装置及び信号波形測定方法Info
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- JPH06242185A JPH06242185A JP5025268A JP2526893A JPH06242185A JP H06242185 A JPH06242185 A JP H06242185A JP 5025268 A JP5025268 A JP 5025268A JP 2526893 A JP2526893 A JP 2526893A JP H06242185 A JPH06242185 A JP H06242185A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は信号波形測定装置の改善に関し、被
測定対象の測定周囲条件が変動した場合であっても、被
測定電圧波形の閾値レベルを横切るエッジタイミングを
高精度に、また、短時間に測定をすることを目的とす
る。 【構成】 被測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinのサ
ンプリング測定をする測定手段100 と、サンプリング測
定に基づく検出信号Ｓｘの信号処理をする信号処理手段
１４と、測定手段100 及び信号処理手段１４の入出力を
制御する制御手段１５とを具備し、被測定対象１６の周
期的な信号波形Ｓinに対して第１の信号レベルＶ１を持
つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とした第１のタ
イミング測定結果ｔ１と、該信号波形Ｓinに対して第２
の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを基準位相
点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２とに基づい
て信号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベ
ルＶ２との間で遷移する際の閾値レベルＶthを横切るタ
イミングｔｅを算出することを含み構成する。
測定対象の測定周囲条件が変動した場合であっても、被
測定電圧波形の閾値レベルを横切るエッジタイミングを
高精度に、また、短時間に測定をすることを目的とす
る。 【構成】 被測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinのサ
ンプリング測定をする測定手段100 と、サンプリング測
定に基づく検出信号Ｓｘの信号処理をする信号処理手段
１４と、測定手段100 及び信号処理手段１４の入出力を
制御する制御手段１５とを具備し、被測定対象１６の周
期的な信号波形Ｓinに対して第１の信号レベルＶ１を持
つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とした第１のタ
イミング測定結果ｔ１と、該信号波形Ｓinに対して第２
の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを基準位相
点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２とに基づい
て信号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベ
ルＶ２との間で遷移する際の閾値レベルＶthを横切るタ
イミングｔｅを算出することを含み構成する。
Description
【０００１】〔目 次〕 産業上の利用分野 従来の技術（図６） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１，２） 作用 実施例（図３〜５） 発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は、信号波形測定装置及び
信号波形測定方法に関するものであり、更に詳しく言え
ば、電気光学効果を利用して半導体集積回路装置等の高
速度な動作電圧波形を測定する装置及びその方法の改善
に関するものである。
信号波形測定方法に関するものであり、更に詳しく言え
ば、電気光学効果を利用して半導体集積回路装置等の高
速度な動作電圧波形を測定する装置及びその方法の改善
に関するものである。
【０００３】近年，半導体集積回路（以下ＬＳＩとい
う）装置の高集積化，高密度化及びそのトランジスタ動
作の高速化に伴い、ＬＳＩ装置の動作解析，不良解析及
び動作試験等を行うＬＳＩテスタ等のような電気的測定
方式では、正確な動作電圧波形の測定することが困難と
なりつつある。一方、電気光学効果の高速応答性や、極
めて短い時間幅の光パルスがレーザ光を用いて作れるこ
とに着目したＥＯサンプリング技術が考案され、被測定
対象の高速動作信号が計測できることが確認されている
（例えば、Ｊ．Ａ．Ｖaldmanis and Ｇ．Ｍourou ，”
Ｓubpicosecond electronics sampling ：principles a
nd application”ＩEEE ＪOURNAL ＯF ＱUANTUM ＥLE
CTRONICS，ＶOL. ＱE-22，pp.69-78等）。
う）装置の高集積化，高密度化及びそのトランジスタ動
作の高速化に伴い、ＬＳＩ装置の動作解析，不良解析及
び動作試験等を行うＬＳＩテスタ等のような電気的測定
方式では、正確な動作電圧波形の測定することが困難と
なりつつある。一方、電気光学効果の高速応答性や、極
めて短い時間幅の光パルスがレーザ光を用いて作れるこ
とに着目したＥＯサンプリング技術が考案され、被測定
対象の高速動作信号が計測できることが確認されている
（例えば、Ｊ．Ａ．Ｖaldmanis and Ｇ．Ｍourou ，”
Ｓubpicosecond electronics sampling ：principles a
nd application”ＩEEE ＪOURNAL ＯF ＱUANTUM ＥLE
CTRONICS，ＶOL. ＱE-22，pp.69-78等）。
【０００４】また、本発明の出願人によって、被測定Ｌ
ＳＩの入出力ピンを電気光学手段に接触させ、ＬＳＩ入
出力信号の測定を行う検出方法が特許出願（特開平０１
−２８５６６）されている。
ＳＩの入出力ピンを電気光学手段に接触させ、ＬＳＩ入
出力信号の測定を行う検出方法が特許出願（特開平０１
−２８５６６）されている。
【０００５】この検出方法（装置）は、特に、ＬＳＩの
入出力信号の遅延時間，すなわち、入力信号波形のエッ
ジタイミングとそれに対応する出力信号波形のエッジタ
イミングとの時間差を高精度に測定することを目的とし
ている。
入出力信号の遅延時間，すなわち、入力信号波形のエッ
ジタイミングとそれに対応する出力信号波形のエッジタ
イミングとの時間差を高精度に測定することを目的とし
ている。
【０００６】しかしながら、電気光学効果が一般に極め
て小さく、１回の信号サンプリング測定では必要かつ十
分な電圧分解能が得られない。このため、被測定波形の
各基準位相において、非常に多数回の繰り返しサンプリ
ング測定を行い、その加算平均処理を行うことにより電
圧分解能の向上を図っている。
て小さく、１回の信号サンプリング測定では必要かつ十
分な電圧分解能が得られない。このため、被測定波形の
各基準位相において、非常に多数回の繰り返しサンプリ
ング測定を行い、その加算平均処理を行うことにより電
圧分解能の向上を図っている。
【０００７】しかし、検出信号には有害な振動成分やド
リフト成分が含まれている場合が多く、このような状態
下では、サンプリング測定回数をいくら増加しても、上
記のような単純な加算平均処理では、電圧分解能の加算
回数に対する飽和が生じ、ある加算回数以上になると、
電圧分解能が向上しなくなる。このことで、単純にサン
プリング測定回数を多くする方法では、十分な電圧分解
能が得られない。
リフト成分が含まれている場合が多く、このような状態
下では、サンプリング測定回数をいくら増加しても、上
記のような単純な加算平均処理では、電圧分解能の加算
回数に対する飽和が生じ、ある加算回数以上になると、
電圧分解能が向上しなくなる。このことで、単純にサン
プリング測定回数を多くする方法では、十分な電圧分解
能が得られない。
【０００８】なお、この有害なノイズ成分は通常、被測
定波形の周波数成分のかなり低い部分に存在する。ま
た、この有害なノイズ成分を除去する方法としては、被
測定波形に基準位相を設定し、信号サンプリング測定の
最中に基準位相と測定位相の間で位相切替え処理を行
い、該基準位相から測定位相の電位差を測定する方法
（ベースライン測定）が採られる。
定波形の周波数成分のかなり低い部分に存在する。ま
た、この有害なノイズ成分を除去する方法としては、被
測定波形に基準位相を設定し、信号サンプリング測定の
最中に基準位相と測定位相の間で位相切替え処理を行
い、該基準位相から測定位相の電位差を測定する方法
（ベースライン測定）が採られる。
【０００９】この位相切替え時間間隔が有害ノイズの変
化の時間スケールよりも十分に短ければ、該有害ノイズ
の影響を差し引くことができ、上記の電圧分解能の加算
回数に対する飽和が見られなくなり、精度良い信号測定
が可能となる。
化の時間スケールよりも十分に短ければ、該有害ノイズ
の影響を差し引くことができ、上記の電圧分解能の加算
回数に対する飽和が見られなくなり、精度良い信号測定
が可能となる。
【００１０】また、この方式では、非常に多数回の繰り
返しサンプリング測定による加算平均処理が必要となる
ため、そのサンプリング測定時間に多くを要し、また、
基準位相の電圧レベルからの相対的な電圧しか測定でき
ない。また、信号検出系がノイズ成分に埋もれた極めて
小さい信号を検出していることに伴い、該検出系の検出
感度の安定性も必ずしも高いとは言えない。このような
場合においても、波形エッジタイミングを高精度、安定
に、かつ、短時間に測定を行うことができる装置及び方
法が望まれている。
返しサンプリング測定による加算平均処理が必要となる
ため、そのサンプリング測定時間に多くを要し、また、
基準位相の電圧レベルからの相対的な電圧しか測定でき
ない。また、信号検出系がノイズ成分に埋もれた極めて
小さい信号を検出していることに伴い、該検出系の検出
感度の安定性も必ずしも高いとは言えない。このような
場合においても、波形エッジタイミングを高精度、安定
に、かつ、短時間に測定を行うことができる装置及び方
法が望まれている。
【００１１】
【従来の技術】図６は、従来例に係る信号波形測定装置
の説明図であり、図６（ａ）はその測定処理に係る構成
図である。また、図６（ｂ）は、その動作タイムチャー
トをそれぞれ示している。
の説明図であり、図６（ａ）はその測定処理に係る構成
図である。また、図６（ｂ）は、その動作タイムチャー
トをそれぞれ示している。
【００１２】例えば、電気光学効果を利用して被測定Ｌ
ＳＩ２６の高速な動作電圧波形を測定する装置は、図６
（ａ）において、レーザ光源１Ａ，光学素子１Ｂから成
るレーザ発生系１と、ガラス基板２Ａ，ＥＯ（電気光学
結晶）結晶２Ｂ，光反射電極２Ｃ及び接触ピン２Ｄから
成る電気光学系２と、ビーム・スプリッタ３Ａ，スキャ
ナ３Ｂ，アナライザ３Ｃ及びディテクタ３Ｄから成る検
出系３と、レーザ発生系１，検出系３の入出力を制御す
る測定制御装置４と、被測定ＬＳＩ２６を駆動するＬＳ
Ｉ駆動制御装置５から構成される。
ＳＩ２６の高速な動作電圧波形を測定する装置は、図６
（ａ）において、レーザ光源１Ａ，光学素子１Ｂから成
るレーザ発生系１と、ガラス基板２Ａ，ＥＯ（電気光学
結晶）結晶２Ｂ，光反射電極２Ｃ及び接触ピン２Ｄから
成る電気光学系２と、ビーム・スプリッタ３Ａ，スキャ
ナ３Ｂ，アナライザ３Ｃ及びディテクタ３Ｄから成る検
出系３と、レーザ発生系１，検出系３の入出力を制御す
る測定制御装置４と、被測定ＬＳＩ２６を駆動するＬＳ
Ｉ駆動制御装置５から構成される。
【００１３】当該信号波形測定装置の機能は、ＬＳＩ駆
動制御装置５が被測定ＬＳＩ２６を駆動し、その駆動出
力タイミング信号（波形ストローブ信号）Ｓ１を測定制
御装置４に送る。被測定ＬＳＩ２６の入出力信号はテス
トボード26Ａと接触ピン２Ｄを介して電気光学結晶２Ｂ
の一方の面に付けられた光反射電極２Ｃに印加される。
電気光学結晶２Ｂの他方の面には、透明導電膜が取付け
られ、接地線ＧNDに接続される。これにより、電気光学
結晶２Ｂの両面の間には、被測定電圧が印加され、複屈
折状態が変化をする。レーザ光Ｌは電気光学結晶２Ｂ内
を通過する際に、電気光学結晶２Ｂの複屈折状態に応じ
て偏光状態が変化する。この光反射電極２を反射して帰
還するレーザ光Ｌの偏光状態が，該レーザ光ＬのＰ，Ｓ
偏光成分の光強度信号の差の変化として検出系３により
検出される。
動制御装置５が被測定ＬＳＩ２６を駆動し、その駆動出
力タイミング信号（波形ストローブ信号）Ｓ１を測定制
御装置４に送る。被測定ＬＳＩ２６の入出力信号はテス
トボード26Ａと接触ピン２Ｄを介して電気光学結晶２Ｂ
の一方の面に付けられた光反射電極２Ｃに印加される。
電気光学結晶２Ｂの他方の面には、透明導電膜が取付け
られ、接地線ＧNDに接続される。これにより、電気光学
結晶２Ｂの両面の間には、被測定電圧が印加され、複屈
折状態が変化をする。レーザ光Ｌは電気光学結晶２Ｂ内
を通過する際に、電気光学結晶２Ｂの複屈折状態に応じ
て偏光状態が変化する。この光反射電極２を反射して帰
還するレーザ光Ｌの偏光状態が，該レーザ光ＬのＰ，Ｓ
偏光成分の光強度信号の差の変化として検出系３により
検出される。
【００１４】すなわち、レーザ光Ｌの偏光状態は、検出
系３のビーム・スプリッタ３Ａ，アナライザ３Ｃ及びデ
ィテクタ３Ｄにより検出され、その検出信号Ｓｘが測定
制御装置４に取り込まれる。
系３のビーム・スプリッタ３Ａ，アナライザ３Ｃ及びデ
ィテクタ３Ｄにより検出され、その検出信号Ｓｘが測定
制御装置４に取り込まれる。
【００１５】また、測定制御装置４では、図６（ｂ）の
動作タイムチャートにおいて、被測定電圧波形に合わせ
て生成される波形ストローブ信号Ｓ１に基づいて遅延さ
れたレーザトリガ信号ＳＬが発生される。なお、レーザ
トリガ信号ＳＬは、基準位相Ｔ１，測定位相Ｔ２を設定
すべく被測定電圧波形の１周期又は数周期置きに設定さ
れる。これにより、その基準位相Ｔ１における検出信号
Ｓｘの複数回の測定と、その測定位相Ｔ２における検出
信号Ｓｘの複数回の測定と、各位相Ｔ１，Ｔ２における
検出信号Ｓｘのデジタル値に係る加算平均値の演算とを
することにより、被測定電圧波形の基準位相Ｔ１の電圧
値と測定位相Ｔ２の電圧値との差が測定される。さら
に、測定位相Ｔ２を変えてサンプリング測定をすること
によりその位相範囲の電圧波形を取得することができ
る。また、被測定電圧波形が閾値レベルＶthを横切るタ
イミング（以下エッジタイミングともいう）ｔｘが測定
される。
動作タイムチャートにおいて、被測定電圧波形に合わせ
て生成される波形ストローブ信号Ｓ１に基づいて遅延さ
れたレーザトリガ信号ＳＬが発生される。なお、レーザ
トリガ信号ＳＬは、基準位相Ｔ１，測定位相Ｔ２を設定
すべく被測定電圧波形の１周期又は数周期置きに設定さ
れる。これにより、その基準位相Ｔ１における検出信号
Ｓｘの複数回の測定と、その測定位相Ｔ２における検出
信号Ｓｘの複数回の測定と、各位相Ｔ１，Ｔ２における
検出信号Ｓｘのデジタル値に係る加算平均値の演算とを
することにより、被測定電圧波形の基準位相Ｔ１の電圧
値と測定位相Ｔ２の電圧値との差が測定される。さら
に、測定位相Ｔ２を変えてサンプリング測定をすること
によりその位相範囲の電圧波形を取得することができ
る。また、被測定電圧波形が閾値レベルＶthを横切るタ
イミング（以下エッジタイミングともいう）ｔｘが測定
される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例の信
号波形測定装置によれば、各位相点Ｔ１，Ｔ２，ｔｘに
おいて必要な信号測定精度を得るために、多くの加算平
均測定を必要とする。従って、エッジタイミングｔｘの
測定を行う際に、被測定電圧波形の注目範囲全体につい
て位相点の測定が行われ、その測定波形から閾値レベル
ｖthを決定してその値を横切るタイミングを決定する方
法が採られる。しかし、この方法では、信号サンプリン
グ測定に膨大な時間を要するという問題がある。
号波形測定装置によれば、各位相点Ｔ１，Ｔ２，ｔｘに
おいて必要な信号測定精度を得るために、多くの加算平
均測定を必要とする。従って、エッジタイミングｔｘの
測定を行う際に、被測定電圧波形の注目範囲全体につい
て位相点の測定が行われ、その測定波形から閾値レベル
ｖthを決定してその値を横切るタイミングを決定する方
法が採られる。しかし、この方法では、信号サンプリン
グ測定に膨大な時間を要するという問題がある。
【００１７】このため、最初に２分探索法のような探索
手段により、被測定電圧波形にエッジの存在しそうな位
相位置を高速に探索し、次に、そのエッジ部分で詳細な
タイミング測定を行う方法が採用され、その測定時間の
短縮化を図っている。
手段により、被測定電圧波形にエッジの存在しそうな位
相位置を高速に探索し、次に、そのエッジ部分で詳細な
タイミング測定を行う方法が採用され、その測定時間の
短縮化を図っている。
【００１８】なお、上述のような測定では常に、有害な
低周波ノイズを除去するため、被測定電圧波形の基準位
相Ｔ１又はＴ２と測定位相ｔｘとの間で位相切替え処理
を行いながら、該基準位相Ｔ１の信号レベルｖ１又は基
準位相Ｔ２の信号レベルｖ２と測定位相ｔｘに係る信号
レベルｖｔとの差を検出する。
低周波ノイズを除去するため、被測定電圧波形の基準位
相Ｔ１又はＴ２と測定位相ｔｘとの間で位相切替え処理
を行いながら、該基準位相Ｔ１の信号レベルｖ１又は基
準位相Ｔ２の信号レベルｖ２と測定位相ｔｘに係る信号
レベルｖｔとの差を検出する。
【００１９】通常、被測定信号はデジタル信号であり、
該信号に「Ｌ」（ロー）レベルと「Ｈ」（ハイ）レベル
の標準値が与えられ、その振幅の標準値が既知となって
いる。また、被測定波形のエッジには「Ｌ」レベルから
「Ｈ」レベルに遷移する立ち上がりエッジと、「Ｈ」レ
ベルから「Ｌ」レベルに遷移する立ち下がりエッジとが
ある。
該信号に「Ｌ」（ロー）レベルと「Ｈ」（ハイ）レベル
の標準値が与えられ、その振幅の標準値が既知となって
いる。また、被測定波形のエッジには「Ｌ」レベルから
「Ｈ」レベルに遷移する立ち上がりエッジと、「Ｈ」レ
ベルから「Ｌ」レベルに遷移する立ち下がりエッジとが
ある。
【００２０】さらに、エッジタイミングｔｘを決める閾
値レベルは被測定電圧波形の振幅の何〔％〕レベル（通
常５０％）というように決められる。ここで、被測定電
圧波形の「Ｌ」レベルを信号レベルｖ１，「Ｈ」レベル
を信号レベルｖ２とし、「Ｌ」レベルから見た閾値レベ
ルｖthの振幅に対する割合を上記の百分率〔％〕でなく
比率αで表せば、閾値レベルｖthはパラメータαを使用
して〔５〕式により与えられる。
値レベルは被測定電圧波形の振幅の何〔％〕レベル（通
常５０％）というように決められる。ここで、被測定電
圧波形の「Ｌ」レベルを信号レベルｖ１，「Ｈ」レベル
を信号レベルｖ２とし、「Ｌ」レベルから見た閾値レベ
ルｖthの振幅に対する割合を上記の百分率〔％〕でなく
比率αで表せば、閾値レベルｖthはパラメータαを使用
して〔５〕式により与えられる。
【００２１】ｖth＝ｖ１＋α（ｖ２−ｖ１）……〔５〕 ここで、信号波形の立ち上がりか立ち下がりかによっ
て、基準位相Ｔ１，Ｔ２の時間順を変えて、測定位相Ｔ
１を「Ｌ」レベル側に、測定位相Ｔ２を「Ｈ」レベル側
に採るようにし、該信号波形が立ち上がりエッジである
ならば、測定位相Ｔ１を信号波形の右側にとる。例え
ば、立ち上がりエッジのタイミング測定の場合には、信
号レベルｖ１を持つ基準位相Ｔ１からの差が（６）式，
すなわち、 ｖth−ｖ１＝α（ｖ２−ｖ１）……〔６〕 となり、基準位相Ｔ１を信号レベルｖ１を持つ位相とし
たベースライン測定により、測定値ががこの値を採るタ
イミングを探索，測定すれば良い。
て、基準位相Ｔ１，Ｔ２の時間順を変えて、測定位相Ｔ
１を「Ｌ」レベル側に、測定位相Ｔ２を「Ｈ」レベル側
に採るようにし、該信号波形が立ち上がりエッジである
ならば、測定位相Ｔ１を信号波形の右側にとる。例え
ば、立ち上がりエッジのタイミング測定の場合には、信
号レベルｖ１を持つ基準位相Ｔ１からの差が（６）式，
すなわち、 ｖth−ｖ１＝α（ｖ２−ｖ１）……〔６〕 となり、基準位相Ｔ１を信号レベルｖ１を持つ位相とし
たベースライン測定により、測定値ががこの値を採るタ
イミングを探索，測定すれば良い。
【００２２】これにより、サンプリング測定値が〔６〕
式を満足する測定位相ｔが探索されエッジタイミングｔ
ｘが求められる。ここで、振幅（ｖ２−ｖ１）の値はエ
ッジタイミングｔｘの測定前に、実際に、被測定電圧波
形に対してその測定値を求める方法が第１に考えられ
る。この場合には、振幅測定のための時間を必要とす
る。そこで、振幅（ｖ２−ｖ１）の値を実際に測定せず
に、予め与えられている上述の振幅の標準値を使用して
該振幅測定を省略する方法が考えられる。
式を満足する測定位相ｔが探索されエッジタイミングｔ
ｘが求められる。ここで、振幅（ｖ２−ｖ１）の値はエ
ッジタイミングｔｘの測定前に、実際に、被測定電圧波
形に対してその測定値を求める方法が第１に考えられ
る。この場合には、振幅測定のための時間を必要とす
る。そこで、振幅（ｖ２−ｖ１）の値を実際に測定せず
に、予め与えられている上述の振幅の標準値を使用して
該振幅測定を省略する方法が考えられる。
【００２３】後者の方法では、振幅測定に係る時間分，
測定時間を短縮することができるが、被測定電圧波形の
実際の振幅が標準値からずれている場合や、また、測定
装置の検出感度が何らかの原因により変動してずれてし
まう場合には、閾値レベルｖthにずれが起こり、タイミ
ング測定誤差が生じる。
測定時間を短縮することができるが、被測定電圧波形の
実際の振幅が標準値からずれている場合や、また、測定
装置の検出感度が何らかの原因により変動してずれてし
まう場合には、閾値レベルｖthにずれが起こり、タイミ
ング測定誤差が生じる。
【００２４】これにより、被測定電圧波形の測定処理に
係わる高精度と高速測定の妨げとなるという問題があ
る。本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作された
ものであり、被測定対象の測定周囲条件が変動した場合
であっても、被測定電圧波形の閾値レベルを横切るエッ
ジタイミングを高精度に、また、短時間に測定をするこ
とが可能となる信号波形測定装置及び信号波形測定方法
の提供を目的とする。
係わる高精度と高速測定の妨げとなるという問題があ
る。本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作された
ものであり、被測定対象の測定周囲条件が変動した場合
であっても、被測定電圧波形の閾値レベルを横切るエッ
ジタイミングを高精度に、また、短時間に測定をするこ
とが可能となる信号波形測定装置及び信号波形測定方法
の提供を目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】図１（ａ），（ｂ）は、
本発明に係る信号波形測定装置の原理図であり、図２
（ａ）〜（ｃ）は、本発明に係る信号波形測定方法の原
理図をそれぞれ示している。
本発明に係る信号波形測定装置の原理図であり、図２
（ａ）〜（ｃ）は、本発明に係る信号波形測定方法の原
理図をそれぞれ示している。
【００２６】本発明の信号波形測定装置は図１（ａ）に
示すように、被測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinの
サンプリング測定をする測定手段100 と、前記サンプリ
ング測定に基づく検出信号Ｓｘの信号処理をする信号処
理手段１４と、前記測定手段100 及び信号処理手段１４
の入出力を制御する制御手段１５とを具備し、被測定対
象１６の周期的な信号波形Ｓinに対して第１の信号レベ
ルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とし
た第１のタイミング測定結果ｔ１と、該信号波形Ｓinに
対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミング
を基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２
とに基づいて信号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他
の信号レベルＶ２との間で遷移する際の閾値レベルＶth
を横切るタイミングｔｅを算出することを特徴とする。
示すように、被測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinの
サンプリング測定をする測定手段100 と、前記サンプリ
ング測定に基づく検出信号Ｓｘの信号処理をする信号処
理手段１４と、前記測定手段100 及び信号処理手段１４
の入出力を制御する制御手段１５とを具備し、被測定対
象１６の周期的な信号波形Ｓinに対して第１の信号レベ
ルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とし
た第１のタイミング測定結果ｔ１と、該信号波形Ｓinに
対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミング
を基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２
とに基づいて信号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他
の信号レベルＶ２との間で遷移する際の閾値レベルＶth
を横切るタイミングｔｅを算出することを特徴とする。
【００２７】また、本発明の信号波形測定装置の測定手
段100 は、図１（ｂ）に示すように、被測定対象１６に
係合付けられた電気光学手段１２に超短性の光Ｌを供給
する光源１１と、前記被測定対象１６の信号変化に基づ
いて超短性の光Ｌの偏光状態を変化させる電気光学手段
１２と、前記超短性の光Ｌの偏光状態を検出する検出手
段１３から成ることを特徴とする。
段100 は、図１（ｂ）に示すように、被測定対象１６に
係合付けられた電気光学手段１２に超短性の光Ｌを供給
する光源１１と、前記被測定対象１６の信号変化に基づ
いて超短性の光Ｌの偏光状態を変化させる電気光学手段
１２と、前記超短性の光Ｌの偏光状態を検出する検出手
段１３から成ることを特徴とする。
【００２８】さらに、本発明の信号波形測定方法は、被
測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinのサンプリング測
定に基づいて、図２（ｂ）に示すように信号波形Ｓinが
１つの信号レベルＶ１から他の信号レベルＶ２に遷移す
る際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅを測定す
る方法であって、図２（ａ）の処理フローチャートに示
すように、まず、ステップＰ１で前記閾値レベルＶthの
パラメータをαとし、図２（ｃ）に示すように前記信号
波形Ｓinの測定位相ｔにおける電圧測定値をｖ(ｔ) と
し、前記信号波形Ｓinの２つの基準位相点Ｔ１，Ｔ２に
おける電圧測定値をｖ (Ｔ１) ，ｖ (Ｔ２) とすれば、
前記信号波形Ｓinに対して第１の信号レベルＶ１を持つ
１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とした第１のタイ
ミング測定結果ｔ１について、〔１〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔを求め、かつ、前記信号波形Ｓin
に対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミン
グを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ
２について、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔを求め、その後、ステップＰ２で
前記第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２の荷重
平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することを特徴とする。
測定対象１６の周期的な信号波形Ｓinのサンプリング測
定に基づいて、図２（ｂ）に示すように信号波形Ｓinが
１つの信号レベルＶ１から他の信号レベルＶ２に遷移す
る際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅを測定す
る方法であって、図２（ａ）の処理フローチャートに示
すように、まず、ステップＰ１で前記閾値レベルＶthの
パラメータをαとし、図２（ｃ）に示すように前記信号
波形Ｓinの測定位相ｔにおける電圧測定値をｖ(ｔ) と
し、前記信号波形Ｓinの２つの基準位相点Ｔ１，Ｔ２に
おける電圧測定値をｖ (Ｔ１) ，ｖ (Ｔ２) とすれば、
前記信号波形Ｓinに対して第１の信号レベルＶ１を持つ
１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１とした第１のタイ
ミング測定結果ｔ１について、〔１〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔを求め、かつ、前記信号波形Ｓin
に対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミン
グを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ
２について、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔを求め、その後、ステップＰ２で
前記第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２の荷重
平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することを特徴とする。
【００２９】なお、本発明の信号波形測定方法におい
て、前記第１のタイミング測定結果ｔ１の測定精度Ａ
と、前記第２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂと
の比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似させることを特徴とする。
て、前記第１のタイミング測定結果ｔ１の測定精度Ａ
と、前記第２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂと
の比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似させることを特徴とする。
【００３０】また、本発明の信号波形測定方法におい
て、前記第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２を
もたらす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測定位相ｔと
の間の繰り返し加算平均測定を複数回に分割し、前記第
１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に関して加算
平均測定を交互に行うことを特徴とし、上記目的を達成
する。
て、前記第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２を
もたらす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測定位相ｔと
の間の繰り返し加算平均測定を複数回に分割し、前記第
１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に関して加算
平均測定を交互に行うことを特徴とし、上記目的を達成
する。
【００３１】
【作 用】本発明の信号波形測定装置によれば、図１
（ａ）に示すように、測定手段100，信号処理手段１４
及び制御手段１５が具備され、第１，第２のタイミング
測定結果ｔ１，ｔ２とに基づいて信号波形Ｓinが１つの
信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２との間で遷移する
際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅが算出され
る。
（ａ）に示すように、測定手段100，信号処理手段１４
及び制御手段１５が具備され、第１，第２のタイミング
測定結果ｔ１，ｔ２とに基づいて信号波形Ｓinが１つの
信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２との間で遷移する
際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅが算出され
る。
【００３２】すなわち、図１（ｂ）に示すように、制御
手段１５を介して、測定手段100 の光源１１から被測定
対象１６に係合付けられた電気光学手段１２に超短性の
光Ｌが供給されると、該被測定対象１６の信号変化に基
づいて超短性の光Ｌの偏光状態が電気光学手段１２によ
り変化され、その超短性の光Ｌの偏光状態が検出手段１
３により検出される。また、被測定対象１６の周期的な
信号波形Ｓinが測定手段100 によりサンプリング測定さ
れると、その測定に基づく検出信号Ｓｘが信号処理手段
１４により信号処理される。
手段１５を介して、測定手段100 の光源１１から被測定
対象１６に係合付けられた電気光学手段１２に超短性の
光Ｌが供給されると、該被測定対象１６の信号変化に基
づいて超短性の光Ｌの偏光状態が電気光学手段１２によ
り変化され、その超短性の光Ｌの偏光状態が検出手段１
３により検出される。また、被測定対象１６の周期的な
信号波形Ｓinが測定手段100 によりサンプリング測定さ
れると、その測定に基づく検出信号Ｓｘが信号処理手段
１４により信号処理される。
【００３３】この際に、被測定対象１６の信号波形Ｓin
に対して第１の信号レベルＶ１を持つ１以上のタイミン
グを基準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定と、該
信号波形Ｓinに対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以
上のタイミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミン
グ測定とを行うことにより、タイミング測定結果ｔ１，
ｔ２が得られる。
に対して第１の信号レベルＶ１を持つ１以上のタイミン
グを基準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定と、該
信号波形Ｓinに対して第２の信号レベルＶ２を持つ１以
上のタイミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミン
グ測定とを行うことにより、タイミング測定結果ｔ１，
ｔ２が得られる。
【００３４】ここで、信号波形Ｓinの立ち上がり部分が
直線的に変化するものとし、閾値レベルＶthを一般化す
るためにパラメータα（０＜α＜１）と置き、閾値レベ
ルＶthを横切るタイミングｔｅとすれば、第１，第２の
タイミング測定結果ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを
〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、算出結果ｔｅを信号波形Ｓ
inが閾値レベルＶthを横切るタイミングとすることが可
能となる。
直線的に変化するものとし、閾値レベルＶthを一般化す
るためにパラメータα（０＜α＜１）と置き、閾値レベ
ルＶthを横切るタイミングｔｅとすれば、第１，第２の
タイミング測定結果ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを
〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、算出結果ｔｅを信号波形Ｓ
inが閾値レベルＶthを横切るタイミングとすることが可
能となる。
【００３５】このため、被測定対象１６の信号波形Ｖin
に対してある位相を決めて基準位相Ｔ１，Ｔ２とし、基
準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定と、他の任意の位相（測
定位相）ｔの電圧測定とを短い時間間隔で切り換えて行
い、基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定値から測定位相ｔ
の電圧測定値を差し引くことにより、光学系の特性の温
度変化や、外部から機械的振動が、検出信号Ｓｘに入り
込み、電圧検出値に低周波ノイズとして入り込むような
場合や電圧検出感度が極めて小さい場合であっても、ノ
イズ成分を除去することができ、また、従来例に比べて
半分の時間でエッジタイミングを測定することが可能と
なる。
に対してある位相を決めて基準位相Ｔ１，Ｔ２とし、基
準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定と、他の任意の位相（測
定位相）ｔの電圧測定とを短い時間間隔で切り換えて行
い、基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定値から測定位相ｔ
の電圧測定値を差し引くことにより、光学系の特性の温
度変化や、外部から機械的振動が、検出信号Ｓｘに入り
込み、電圧検出値に低周波ノイズとして入り込むような
場合や電圧検出感度が極めて小さい場合であっても、ノ
イズ成分を除去することができ、また、従来例に比べて
半分の時間でエッジタイミングを測定することが可能と
なる。
【００３６】これにより、被測定対象１６の信号波形Ｓ
inの振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場合であ
っても、また、被測定対象１６の閾値レベルｖthにずれ
を生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極力抑
制することができ、当該信号波形測定装置の測定精度の
向上が図られ、その信頼性の向上を図ることが可能とな
る。
inの振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場合であ
っても、また、被測定対象１６の閾値レベルｖthにずれ
を生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極力抑
制することができ、当該信号波形測定装置の測定精度の
向上が図られ、その信頼性の向上を図ることが可能とな
る。
【００３７】さらに、本発明の信号波形測定方法によれ
ば、図２（ａ）の処理フローチャートに示すように、ス
テップＰ１で閾値レベルＶthのパラメータをαとし、図
２（ｃ）に示すように信号波形Ｓinの測定位相ｔにおけ
る電圧測定値をｖ (ｔ) とし、信号波形Ｓinの２つの基
準位相点Ｔ１，Ｔ２における電圧測定値をｖ (Ｔ１)，
ｖ (Ｔ２) とすれば、信号波形Ｓinに対して第１の信号
レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１
とした第１のタイミング測定結果ｔ１について、〔１〕
式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔを求め、かつ、信号波形Ｓinに対
して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを
基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２に
ついて、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔを求めている。
ば、図２（ａ）の処理フローチャートに示すように、ス
テップＰ１で閾値レベルＶthのパラメータをαとし、図
２（ｃ）に示すように信号波形Ｓinの測定位相ｔにおけ
る電圧測定値をｖ (ｔ) とし、信号波形Ｓinの２つの基
準位相点Ｔ１，Ｔ２における電圧測定値をｖ (Ｔ１)，
ｖ (Ｔ２) とすれば、信号波形Ｓinに対して第１の信号
レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相点Ｔ１
とした第１のタイミング測定結果ｔ１について、〔１〕
式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔを求め、かつ、信号波形Ｓinに対
して第２の信号レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを
基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２に
ついて、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔを求めている。
【００３８】このため、被測定対象１６の出力信号レベ
ルが標準値からバラついて、閾値が変わった場合や、測
定周囲条件が変動した場合であっても、被測定対象１６
の周期的な信号波形Ｓinのサンプリング測定に基づい
て、ステップＰ２で第１，第２のタイミング測定結果ｔ
１，ｔ２の荷重平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、図２（ｂ）に示すような信
号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ
２との間で遷移する際の閾値レベルＶthを横切る真値に
最も近似するエッジタイミングを測定することが可能と
なる。
ルが標準値からバラついて、閾値が変わった場合や、測
定周囲条件が変動した場合であっても、被測定対象１６
の周期的な信号波形Ｓinのサンプリング測定に基づい
て、ステップＰ２で第１，第２のタイミング測定結果ｔ
１，ｔ２の荷重平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、図２（ｂ）に示すような信
号波形Ｓinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ
２との間で遷移する際の閾値レベルＶthを横切る真値に
最も近似するエッジタイミングを測定することが可能と
なる。
【００３９】なお、〔３〕式の根拠は、第１，第２のタ
イミング測定結果ｔ１，ｔ２における被測定信号レベル
ｖt1，ｖt2の閾値レベルｖthからのずれが、 ｖt1−ｖth＝α（Ｖ２−Ｖ１）−α（ｖ２−ｖ１） ｖt2−ｖth＝−（１−α）（Ｖ２−Ｖ１）＋（１−α）
（ｖ２−ｖ１） で表される。
イミング測定結果ｔ１，ｔ２における被測定信号レベル
ｖt1，ｖt2の閾値レベルｖthからのずれが、 ｖt1−ｖth＝α（Ｖ２−Ｖ１）−α（ｖ２−ｖ１） ｖt2−ｖth＝−（１−α）（Ｖ２−Ｖ１）＋（１−α）
（ｖ２−ｖ１） で表される。
【００４０】従って、被測定対象１６の信号波形Ｓinの
閾値レベルｖthの近傍における傾きをｋとすれば、その
エッジタイミングｔｅは、 ｔ１−ｔｅ＝〔α（Ｖ２−Ｖ１）−α（ｖ２−ｖ１）〕
／ｋ ｔ２−ｔｅ＝〔−（１−α）（Ｖ２−Ｖ１）＋（１−
α）（ｖ２−ｖ１）〕／ｋ が成立し、第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２
に係る荷重平均値ｔｅを求めることにより、エッジタイ
ミングｔｅとすることができる。
閾値レベルｖthの近傍における傾きをｋとすれば、その
エッジタイミングｔｅは、 ｔ１−ｔｅ＝〔α（Ｖ２−Ｖ１）−α（ｖ２−ｖ１）〕
／ｋ ｔ２−ｔｅ＝〔−（１−α）（Ｖ２−Ｖ１）＋（１−
α）（ｖ２−ｖ１）〕／ｋ が成立し、第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２
に係る荷重平均値ｔｅを求めることにより、エッジタイ
ミングｔｅとすることができる。
【００４１】なお、本発明の信号波形測定方法におい
て、第１のタイミング測定結果ｔ１の測定精度Ａと、第
２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂとの比を
〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように加算平均回数ｎを設定する。
て、第１のタイミング測定結果ｔ１の測定精度Ａと、第
２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂとの比を
〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように加算平均回数ｎを設定する。
【００４２】これは、第１，第２のタイミング測定結果
ｔ１，ｔ２に係る測定誤差の分散をそれぞれσ1 2，σ2 2
とすると、荷重平均値ｔｅに係る測定誤差の分散σ2 は
〔７〕式で与えられる。
ｔ１，ｔ２に係る測定誤差の分散をそれぞれσ1 2，σ2 2
とすると、荷重平均値ｔｅに係る測定誤差の分散σ2 は
〔７〕式で与えられる。
【００４３】 σ2 ＝（１−α）2 σ1 2＋ασ2 2……〔７〕 また、第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に係
る測定誤差の分散σ1 2，σ2 2は、それぞれの被測定信号
レベルｖt1，ｖt2の測定回数（サンプリング数）ｎ1 ，
ｎ2 に逆比例するものとすれば、〔８〕式で与えられ
る。但し、ａは定数である。
る測定誤差の分散σ1 2，σ2 2は、それぞれの被測定信号
レベルｖt1，ｖt2の測定回数（サンプリング数）ｎ1 ，
ｎ2 に逆比例するものとすれば、〔８〕式で与えられ
る。但し、ａは定数である。
【００４４】σ1 2＝ａ／ｎ1 σ2 2＝ａ／ｎ2 ……〔８〕 従って、荷重平均値ｔｅに係る測定誤差の分散σ2 は
〔９〕式で与えられる。
【００４５】 σ2 ＝ａ〔（１−α）2 ／ｎ1 ＋α／ｎ2 〕……
〔９〕 これにより、合計測定回数（サンプリング数）ｎ＝ｎ1
＋ｎ2 ＝一定の条件下では、荷重平均値ｔｅに係る測定
誤差の分散σ2 を最小にする基準位相Ｔ１又はＴ２に対
する被測定信号レベルｖ (ｔ) の測定回数（サンプリン
グ数）ｎ1 ，ｎ 2 が〔10〕式により与えられる。
＋ｎ2 ＝一定の条件下では、荷重平均値ｔｅに係る測定
誤差の分散σ2 を最小にする基準位相Ｔ１又はＴ２に対
する被測定信号レベルｖ (ｔ) の測定回数（サンプリン
グ数）ｎ1 ，ｎ 2 が〔10〕式により与えられる。
【００４６】 ｄσ2 ／ｄｎ ＝ａ〔（１−α）2 ／ｎ1 ＋α／ｎ2 〕＝０ ∴ ｎ2 ／ｎ1 ＝α／（１−α） σ1 ／σ2 ＝√ｎ2 ／√ｎ1 ＝√α／√（１−α）……〔10〕 以上のことから、第１のタイミング測定結果ｔ１の測定
精度Ａと、第２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂ
との比をＡ：Ｂ＝√α：√（１−α）に設定することに
より、ベースライン測定に係わり最小の合計加算回数，
すなわち、最小の測定時間により閾値レベルＶthを横切
るタイミングｔｅを測定することが可能となる。
精度Ａと、第２のタイミング測定結果ｔ２の測定精度Ｂ
との比をＡ：Ｂ＝√α：√（１−α）に設定することに
より、ベースライン測定に係わり最小の合計加算回数，
すなわち、最小の測定時間により閾値レベルＶthを横切
るタイミングｔｅを測定することが可能となる。
【００４７】また、本発明の信号波形測定方法におい
て、第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２をもた
らす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測定位相ｔとの間
の繰り返し加算平均測定が複数回に分割され、該第１，
第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に関して加算平均
測定が交互に行われる。
て、第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２をもた
らす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測定位相ｔとの間
の繰り返し加算平均測定が複数回に分割され、該第１，
第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に関して加算平均
測定が交互に行われる。
【００４８】このため、１つのエッジタイミングの測定
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合に、
測定誤差を低減することができる。例えば、第１，第２
のタイミング測定処理を続けて１回しか行わなかった場
合に比べ、第１のタイミング測定処理から第２のタイミ
ング測定処理に移行するまでに発生する測定誤差を低減
することが可能となる。
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合に、
測定誤差を低減することができる。例えば、第１，第２
のタイミング測定処理を続けて１回しか行わなかった場
合に比べ、第１のタイミング測定処理から第２のタイミ
ング測定処理に移行するまでに発生する測定誤差を低減
することが可能となる。
【００４９】これにより、高速に動作をする被測定対象
１６の信号波形測定に係る処理時間の短縮化を図るこ
と、及び、信号波形Ｓinの測定精度の向上を図ることが
可能となる。また、当該信号波形測定装置の信頼性の向
上を図ることが可能となる。
１６の信号波形測定に係る処理時間の短縮化を図るこ
と、及び、信号波形Ｓinの測定精度の向上を図ることが
可能となる。また、当該信号波形測定装置の信頼性の向
上を図ることが可能となる。
【００５０】
【実施例】次に、図を参照しながら本発明の各実施例に
ついて説明をする。図３〜５は、本発明の実施例に係る
信号波形測定装置及び信号波形測定方法を説明する図で
あり、図３は、本発明の実施例に係る電圧振幅測定装置
の構成図であり、図４は、被測定ＬＳＩの信号波形を説
明する図をそれぞれ示している。
ついて説明をする。図３〜５は、本発明の実施例に係る
信号波形測定装置及び信号波形測定方法を説明する図で
あり、図３は、本発明の実施例に係る電圧振幅測定装置
の構成図であり、図４は、被測定ＬＳＩの信号波形を説
明する図をそれぞれ示している。
【００５１】例えば、信号波形測定装置の一例となる被
測定対象１６の電圧波形を測定する電圧波形測定装置
は、図３において、ＥＯ（電気光学結晶）サンプリング
測定系２０，信号処理部２４，電圧測定制御装置２５及
びＬＳＩ駆動制御装置２６から成る。
測定対象１６の電圧波形を測定する電圧波形測定装置
は、図３において、ＥＯ（電気光学結晶）サンプリング
測定系２０，信号処理部２４，電圧測定制御装置２５及
びＬＳＩ駆動制御装置２６から成る。
【００５２】すなわち、ＥＯサンプリング測定系２０は
測定手段100 の一実施例であり、被測定対象１６の一例
となる被測定ＬＳＩ２７の周期的な信号波形（以下電圧
波形Ｖinという）Ｓinのサンプリング測定をするもので
ある。例えば、ＥＯサンプリング測定系２０はレーザ発
生系２１，電気光学系２２，信号検出系２３から成る。
測定手段100 の一実施例であり、被測定対象１６の一例
となる被測定ＬＳＩ２７の周期的な信号波形（以下電圧
波形Ｖinという）Ｓinのサンプリング測定をするもので
ある。例えば、ＥＯサンプリング測定系２０はレーザ発
生系２１，電気光学系２２，信号検出系２３から成る。
【００５３】レーザ発生系２１は光源１１の一例であ
り、被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系２２
に超短性の光Ｌの一例となるビーム状のレーザ光を供給
するものである。例えば、レーザ発生系２１はレーザ光
Ｌを発生するレーザ光源21Ａや、該レーザ光Ｌをビーム
状にするコリメータ等の光学素子21Ｂから成る。
り、被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系２２
に超短性の光Ｌの一例となるビーム状のレーザ光を供給
するものである。例えば、レーザ発生系２１はレーザ光
Ｌを発生するレーザ光源21Ａや、該レーザ光Ｌをビーム
状にするコリメータ等の光学素子21Ｂから成る。
【００５４】電気光学系２２は電気光学手段１２の一例
であり、被測定ＬＳＩ２７の信号変化に基づいてレーザ
光Ｌの偏光状態を変化させるものである。例えば、電気
光学系２２は、ガラス基板22Ａ，ＥＯ結晶22Ｂ，光反射
電極22Ｃ及び接触ピン22Ｄから成る。
であり、被測定ＬＳＩ２７の信号変化に基づいてレーザ
光Ｌの偏光状態を変化させるものである。例えば、電気
光学系２２は、ガラス基板22Ａ，ＥＯ結晶22Ｂ，光反射
電極22Ｃ及び接触ピン22Ｄから成る。
【００５５】信号検出系２３は検出手段１３の一例であ
り、レーザ光Ｌの偏光状態を検出するものである。例え
ば、信号検出系２３はビーム・スプリッタ23Ａ，スキャ
ナ23Ｂ，アナライザ23Ｃ，ディテクタ23Ｄ及び増幅器23
Ｅから成り、レーザ光Ｌの偏光状態を検出して、該ディ
テクタ23Ｄから出力されるＰ，Ｓ偏光成分に係る光検出
信号の差動増幅をし、その検出信号Ｓｘを信号処理部２
４に出力するものである。
り、レーザ光Ｌの偏光状態を検出するものである。例え
ば、信号検出系２３はビーム・スプリッタ23Ａ，スキャ
ナ23Ｂ，アナライザ23Ｃ，ディテクタ23Ｄ及び増幅器23
Ｅから成り、レーザ光Ｌの偏光状態を検出して、該ディ
テクタ23Ｄから出力されるＰ，Ｓ偏光成分に係る光検出
信号の差動増幅をし、その検出信号Ｓｘを信号処理部２
４に出力するものである。
【００５６】信号処理部２４は信号処理手段１４の一実
施例であり、サンプリング測定に基づく検出信号Ｓｘの
信号処理をするものである。例えば、信号処理部２４は
検出信号Ｓｘに基づいて電圧波形Ｖinの基準位相Ｔ１に
対するデジタル加算値や測定位相Ｔ２に対するデジタル
加算値を出力するものである。
施例であり、サンプリング測定に基づく検出信号Ｓｘの
信号処理をするものである。例えば、信号処理部２４は
検出信号Ｓｘに基づいて電圧波形Ｖinの基準位相Ｔ１に
対するデジタル加算値や測定位相Ｔ２に対するデジタル
加算値を出力するものである。
【００５７】電圧測定制御装置２５は制御手段１５の一
実施例であり、ＥＯサンプリング測定系２０及び信号処
理部２４の入出力を制御するものである。例えば、電圧
測定制御装置２５はデータバス25Ａに接続されたタイミ
ング発生部25Ｂ及びＣＰＵ25Ｃから成る。タイミング発
生部25ＢはＣＰＵ25Ｃから遅延量の設定が可能な遅延時
間発生器から成り、波形ストローブ信号Ｓ１を受け取っ
て、これに設定された遅延時間をかけて出力し、レーザ
光Ｌの発生タイミングを制御する。このレーザ光パルス
（非常に短いパルス幅で、数十〔ｐｓ〕）が電気光学素
子中を通過する瞬間がＬＳＩ信号波形に対するサンプリ
ングタイミングである。
実施例であり、ＥＯサンプリング測定系２０及び信号処
理部２４の入出力を制御するものである。例えば、電圧
測定制御装置２５はデータバス25Ａに接続されたタイミ
ング発生部25Ｂ及びＣＰＵ25Ｃから成る。タイミング発
生部25ＢはＣＰＵ25Ｃから遅延量の設定が可能な遅延時
間発生器から成り、波形ストローブ信号Ｓ１を受け取っ
て、これに設定された遅延時間をかけて出力し、レーザ
光Ｌの発生タイミングを制御する。このレーザ光パルス
（非常に短いパルス幅で、数十〔ｐｓ〕）が電気光学素
子中を通過する瞬間がＬＳＩ信号波形に対するサンプリ
ングタイミングである。
【００５８】また、ＣＰＵ25Ｃは該データバス25Ａに伝
送される各種データの入出力制御をするものである。こ
こで、被測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinに対し
て第１の信号レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基
準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定結果ｔ１と、
該信号波形Ｖinに対して第２の信号レベルＶ２を持つ１
以上のタイミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミ
ング測定結果ｔ２とに基づいて、信号波形Ｖinが１つの
信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２との間で遷移する
際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅをＣＰＵ25
Ｃにより算出させても良く、また、電圧測定制御装置２
５にパーソナルコンピュータを接続して、これに演算せ
ても良い。
送される各種データの入出力制御をするものである。こ
こで、被測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinに対し
て第１の信号レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基
準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定結果ｔ１と、
該信号波形Ｖinに対して第２の信号レベルＶ２を持つ１
以上のタイミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミ
ング測定結果ｔ２とに基づいて、信号波形Ｖinが１つの
信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２との間で遷移する
際の閾値レベルＶthを横切るタイミングｔｅをＣＰＵ25
Ｃにより算出させても良く、また、電圧測定制御装置２
５にパーソナルコンピュータを接続して、これに演算せ
ても良い。
【００５９】なお、ＬＳＩ駆動制御装置２６は被測定Ｌ
ＳＩ２７の駆動制御をするものであり、例えば、サンプ
リング測定に際して電圧測定制御装置２５に波形ストロ
ーブ信号Ｓ１を出力する。また、ＬＳＩ駆動制御装置２
６は同一のＬＳＩ駆動パターンを繰り返し発生し、被測
定ＬＳＩ２７に該パターンを供給する。これは、１回の
サンプリング測定で得られる電圧分解能が十分でなく、
繰り返しサンプリング測定をすることにより、加算平均
を採るためである。
ＳＩ２７の駆動制御をするものであり、例えば、サンプ
リング測定に際して電圧測定制御装置２５に波形ストロ
ーブ信号Ｓ１を出力する。また、ＬＳＩ駆動制御装置２
６は同一のＬＳＩ駆動パターンを繰り返し発生し、被測
定ＬＳＩ２７に該パターンを供給する。これは、１回の
サンプリング測定で得られる電圧分解能が十分でなく、
繰り返しサンプリング測定をすることにより、加算平均
を採るためである。
【００６０】また、図４は、本発明の実施例に係る被測
定ＬＳＩの信号波形を説明する図である。図４におい
て、縦軸は信号値であり、横軸は時間である。また、実
線部分は被測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinの実
測値に基づく波形であり、一点鎖線が被測定ＬＳＩ２７
の周期的な電圧波形Ｖinの標準値（期待値）に基づく真
の電圧波形それぞれ示している。
定ＬＳＩの信号波形を説明する図である。図４におい
て、縦軸は信号値であり、横軸は時間である。また、実
線部分は被測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinの実
測値に基づく波形であり、一点鎖線が被測定ＬＳＩ２７
の周期的な電圧波形Ｖinの標準値（期待値）に基づく真
の電圧波形それぞれ示している。
【００６１】さらに、Ｔ１は基準位相であり、電圧波形
Ｖinの実測値や標準値の「Ｌ」レベルｖ１やＶ１を与え
る位相である。また、Ｔ２も基準位相であり、電圧波形
Ｖinの実測値や標準値の「Ｈ」レベルｖ２やＶ２を与え
る位相である。Ｖthは電圧波形Ｖinの標準値に係る閾値
レベルであり、これをパラメータαを用いて表すと、Ｖ
th＝Ｖ１＋α（Ｖ２−Ｖ１）となる。また、ｖthは電圧
波形Ｖinの実測値に係る閾値レベルであり、ｖth＝ｖ１
＋α（ｖ２−ｖ１）となる。なお、実測値に係る閾値レ
ベルｖthには誤差を含んでいる。
Ｖinの実測値や標準値の「Ｌ」レベルｖ１やＶ１を与え
る位相である。また、Ｔ２も基準位相であり、電圧波形
Ｖinの実測値や標準値の「Ｈ」レベルｖ２やＶ２を与え
る位相である。Ｖthは電圧波形Ｖinの標準値に係る閾値
レベルであり、これをパラメータαを用いて表すと、Ｖ
th＝Ｖ１＋α（Ｖ２−Ｖ１）となる。また、ｖthは電圧
波形Ｖinの実測値に係る閾値レベルであり、ｖth＝ｖ１
＋α（ｖ２−ｖ１）となる。なお、実測値に係る閾値レ
ベルｖthには誤差を含んでいる。
【００６２】ここで、ｔｅは電圧波形Ｖinのエッジタイ
ミングであり、その立ち上がり又は立ち下がりエッジ
（波形）が、ある閾値を横切るタイミングとして定義さ
れる。この閾値の定義には、グランドレベルに対して絶
対的な電圧レベルで与える場合と、被測定波形の「Ｌ」
レベルを基準にとして「Ｈ」レベルを100 〔％〕とし、
％値で定義する場合がある。本測定方式では、基準位相
の電圧値から測定位相の電圧値の差を求めるため、前者
の定義が使用できず、後者の場合に従う。
ミングであり、その立ち上がり又は立ち下がりエッジ
（波形）が、ある閾値を横切るタイミングとして定義さ
れる。この閾値の定義には、グランドレベルに対して絶
対的な電圧レベルで与える場合と、被測定波形の「Ｌ」
レベルを基準にとして「Ｈ」レベルを100 〔％〕とし、
％値で定義する場合がある。本測定方式では、基準位相
の電圧値から測定位相の電圧値の差を求めるため、前者
の定義が使用できず、後者の場合に従う。
【００６３】なお、ｖt1は電圧測定値であり、基準位相
Ｔ１に対する電圧波形Ｖinの実測値の「Ｌ」レベルｖ１
からα（Ｖ２−Ｖ１）だけ上方にシフトさせた電位を横
切るタイミング（以下測定位相ｔという）の電圧測定
値，ｖ（ｔ）＝ｖt1である。すなわち、この測定位相ｔ
が閾値レベルｖthを横切る電圧測定値ｖ（ｔ）を測定す
る際の第１のタイミング（以下第１のタイミング測定結
果ともいう）ｔ１を与える。
Ｔ１に対する電圧波形Ｖinの実測値の「Ｌ」レベルｖ１
からα（Ｖ２−Ｖ１）だけ上方にシフトさせた電位を横
切るタイミング（以下測定位相ｔという）の電圧測定
値，ｖ（ｔ）＝ｖt1である。すなわち、この測定位相ｔ
が閾値レベルｖthを横切る電圧測定値ｖ（ｔ）を測定す
る際の第１のタイミング（以下第１のタイミング測定結
果ともいう）ｔ１を与える。
【００６４】また、ｖt2も電圧測定値であり、基準位相
Ｔ２に対する電圧波形Ｖinの実測値の「Ｈ」レベルｖ２
からβ（Ｖ2 −Ｖ１）だけ下方にシフトさせた電位を横
切る測定位相ｔの電圧測定値，ｖ（ｔ）＝ｖt2である。
すなわち、この測定位相ｔが閾値レベルｖthを横切る電
圧測定値ｖ（ｔ）を測定する際の第２のタイミング（以
下第２のタイミング測定結果ともいう）ｔ２を与える。
なお、α＋β＝１ であり、第１，第２のタイミング
測定結果ｔ１，ｔ２に基づいて荷重平均値ｔｅが〔３〕
式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出される。
Ｔ２に対する電圧波形Ｖinの実測値の「Ｈ」レベルｖ２
からβ（Ｖ2 −Ｖ１）だけ下方にシフトさせた電位を横
切る測定位相ｔの電圧測定値，ｖ（ｔ）＝ｖt2である。
すなわち、この測定位相ｔが閾値レベルｖthを横切る電
圧測定値ｖ（ｔ）を測定する際の第２のタイミング（以
下第２のタイミング測定結果ともいう）ｔ２を与える。
なお、α＋β＝１ であり、第１，第２のタイミング
測定結果ｔ１，ｔ２に基づいて荷重平均値ｔｅが〔３〕
式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出される。
【００６５】このようにして、本発明の実施例に係る電
圧波形測定装置によれば、図３に示すように、ＥＯサン
プリング測定系２０，信号処理部２４，電圧測定制御装
置２５及びＬＳＩ駆動制御装置２６が具備され、第１，
第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２とに基づいて電圧
波形Ｖinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２
との間でに遷移する際の閾値レベルＶthを横切るタイミ
ングｔｅが該ＣＰＵ25Ｃにより算出される。
圧波形測定装置によれば、図３に示すように、ＥＯサン
プリング測定系２０，信号処理部２４，電圧測定制御装
置２５及びＬＳＩ駆動制御装置２６が具備され、第１，
第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２とに基づいて電圧
波形Ｖinが１つの信号レベルＶ１と他の信号レベルＶ２
との間でに遷移する際の閾値レベルＶthを横切るタイミ
ングｔｅが該ＣＰＵ25Ｃにより算出される。
【００６６】すなわち、ＬＳＩ駆動制御装置２６から電
圧測定制御装置２５に出力された波形ストローブ信号Ｓ
１を可変遅延処理したレーザトリガ信号ＳＬがＥＯサン
プリング測定系２０に出力されると、そのレーザ光源２
１から被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系２
２にレーザ光Ｌが供給され、該被測定ＬＳＩ２７の信号
変化に基づいてレーザ光Ｌの偏光状態が電気光学系２２
により変化され、そのレーザ光Ｌの偏光状態が信号検出
系２３により検出される。これにより、被測定ＬＳＩ２
７の周期的な電圧波形ＶinがＥＯサンプリング測定系２
０によりサンプリング測定されると、そのサンプリング
測定により検出された検出信号Ｓｘが信号処理部２４に
より信号処理される。
圧測定制御装置２５に出力された波形ストローブ信号Ｓ
１を可変遅延処理したレーザトリガ信号ＳＬがＥＯサン
プリング測定系２０に出力されると、そのレーザ光源２
１から被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系２
２にレーザ光Ｌが供給され、該被測定ＬＳＩ２７の信号
変化に基づいてレーザ光Ｌの偏光状態が電気光学系２２
により変化され、そのレーザ光Ｌの偏光状態が信号検出
系２３により検出される。これにより、被測定ＬＳＩ２
７の周期的な電圧波形ＶinがＥＯサンプリング測定系２
０によりサンプリング測定されると、そのサンプリング
測定により検出された検出信号Ｓｘが信号処理部２４に
より信号処理される。
【００６７】この際に、被測定ＬＳＩ２７の電圧波形Ｖ
inに対して「Ｌ」レベルＶ１を持つ１以上のタイミング
を基準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定と、該電
圧波形Ｖinに対して「Ｈ」レベルＶ２を持つ１以上のタ
イミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定
とを行うことにより、タイミング測定結果ｔ１，ｔ２が
得られる。
inに対して「Ｌ」レベルＶ１を持つ１以上のタイミング
を基準位相点Ｔ１とした第１のタイミング測定と、該電
圧波形Ｖinに対して「Ｈ」レベルＶ２を持つ１以上のタ
イミングを基準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定
とを行うことにより、タイミング測定結果ｔ１，ｔ２が
得られる。
【００６８】ここで、電圧波形Ｖinの立ち上がり部分が
直線的に変化するものとし、閾値レベルＶthのパラメー
タをα（０＜α＜１）と置き、閾値レベルＶthを横切る
タイミングｔｅとすれば、第１，第２のタイミング測定
結果ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを〔３〕式，すな
わち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、算出結果ｔｅを電圧波形Ｖ
inが閾値レベルＶthを横切るタイミングとすることが可
能となる。
直線的に変化するものとし、閾値レベルＶthのパラメー
タをα（０＜α＜１）と置き、閾値レベルＶthを横切る
タイミングｔｅとすれば、第１，第２のタイミング測定
結果ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを〔３〕式，すな
わち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することにより、算出結果ｔｅを電圧波形Ｖ
inが閾値レベルＶthを横切るタイミングとすることが可
能となる。
【００６９】このため、被測定ＬＳＩ２７の信号波形Ｖ
inに対してある位相を決めて基準位相Ｔ１，Ｔ２とし、
基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定と、他の任意の位相
（測定位相）ｔの電圧測定とを短い時間間隔で切り換え
て行い、基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定値から測定位
相ｔの電圧測定値を差し引くことにより、光学系の特性
の温度変化や、外部から機械的振動が、検出信号Ｓｘに
入り込み、電圧検出値に低周波ノイズとして入り込むよ
うな場合や電圧検出感度が極めて小さい場合であって
も、ノイズ成分を除去することができ、また、従来例に
比べて半分の時間でエッジタイミングを測定することが
可能となる。
inに対してある位相を決めて基準位相Ｔ１，Ｔ２とし、
基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定と、他の任意の位相
（測定位相）ｔの電圧測定とを短い時間間隔で切り換え
て行い、基準位相Ｔ１又はＴ２の電圧測定値から測定位
相ｔの電圧測定値を差し引くことにより、光学系の特性
の温度変化や、外部から機械的振動が、検出信号Ｓｘに
入り込み、電圧検出値に低周波ノイズとして入り込むよ
うな場合や電圧検出感度が極めて小さい場合であって
も、ノイズ成分を除去することができ、また、従来例に
比べて半分の時間でエッジタイミングを測定することが
可能となる。
【００７０】これにより、被測定ＬＳＩ２７の電圧波形
Ｖinの振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場合で
あっても、また、被測定ＬＳＩ２７の閾値レベルｖthに
ずれを生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極
力抑制することができ、当該信号波形測定装置の測定精
度の向上が図られ、その信頼性の向上を図ることが可能
となる。
Ｖinの振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場合で
あっても、また、被測定ＬＳＩ２７の閾値レベルｖthに
ずれを生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極
力抑制することができ、当該信号波形測定装置の測定精
度の向上が図られ、その信頼性の向上を図ることが可能
となる。
【００７１】次に、本発明の実施例に係るエッジタイミ
ング測定方法について、当該装置の動作を補足しながら
説明をする。図５は、本発明の実施例に係るエッジタイ
ミングの測定フローチャートであり、図５（ａ）は、エ
ッジタイミング測定フローチャート（メインルーチン）
であり、図５（ａ）は、第１，第２のエッジタイミング
ｔ１，ｔ２の探索測定フローチャート（サブルーチン）
をそれぞれ示している。例えば、図４に示したような被
測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinが閾値レベルＶ
thを横切るエッジタイミングｔｅを測定する場合、図５
（ａ）において、まず、ステップＰ１で初期探索位相ｔ
ｏ，基準位相Ｔ１，Ｔ２及び探索回数ｎ１，ｎ２を設定
する。なお、探索回数ｎ１，ｎ２は、第１のタイミング
測定結果ｔ１の測定精度Ａと、第２のタイミング測定結
果ｔ２の測定精度Ｂとの比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように設定する。また、エッジタイミング測
定に先立ち、ＬＳＩ駆動装置２５により被測定ＬＳＩ２
６を駆動し、最初に「Ｌ」レベルＶ１と「Ｈ」レベルＶ
２を持つと期待される位相間に基準位相Ｔ１，Ｔ２を設
定する。
ング測定方法について、当該装置の動作を補足しながら
説明をする。図５は、本発明の実施例に係るエッジタイ
ミングの測定フローチャートであり、図５（ａ）は、エ
ッジタイミング測定フローチャート（メインルーチン）
であり、図５（ａ）は、第１，第２のエッジタイミング
ｔ１，ｔ２の探索測定フローチャート（サブルーチン）
をそれぞれ示している。例えば、図４に示したような被
測定ＬＳＩ２７の周期的な電圧波形Ｖinが閾値レベルＶ
thを横切るエッジタイミングｔｅを測定する場合、図５
（ａ）において、まず、ステップＰ１で初期探索位相ｔ
ｏ，基準位相Ｔ１，Ｔ２及び探索回数ｎ１，ｎ２を設定
する。なお、探索回数ｎ１，ｎ２は、第１のタイミング
測定結果ｔ１の測定精度Ａと、第２のタイミング測定結
果ｔ２の測定精度Ｂとの比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように設定する。また、エッジタイミング測
定に先立ち、ＬＳＩ駆動装置２５により被測定ＬＳＩ２
６を駆動し、最初に「Ｌ」レベルＶ１と「Ｈ」レベルＶ
２を持つと期待される位相間に基準位相Ｔ１，Ｔ２を設
定する。
【００７２】次いで、ステップＰ２で基準位相Ｔ１、基
準位相Ｔ２の電圧値を基準にした第１，第２のエッジタ
イミングｔ１，ｔ２の探索測定をする。ここで、図５
（ｂ）に移行して、エッジタイミングｔｉの探索測定を
する場合、まず、ステップＰ21でエッジタイミングｔｉ
j の探索測定の初期化をするために、指定回数ｊ＝０，
エッジタイミングｔｉ0 ＝ｔ0 と置く。この際に、第１
のエッジタイミングｔ１に対してはパラメータｉ＝１を
設定し、第２のエッジタイミングｔ１に対してはパラメ
ータｉ＝２を設定する。
準位相Ｔ２の電圧値を基準にした第１，第２のエッジタ
イミングｔ１，ｔ２の探索測定をする。ここで、図５
（ｂ）に移行して、エッジタイミングｔｉの探索測定を
する場合、まず、ステップＰ21でエッジタイミングｔｉ
j の探索測定の初期化をするために、指定回数ｊ＝０，
エッジタイミングｔｉ0 ＝ｔ0 と置く。この際に、第１
のエッジタイミングｔ１に対してはパラメータｉ＝１を
設定し、第２のエッジタイミングｔ１に対してはパラメ
ータｉ＝２を設定する。
【００７３】次に、ステップＰ22で基準位相Ｔｉを基準
にしたｔｉj の電圧測定を各タイミングで複数回レーザ
光Ｌを照射する。この際に、電圧波形Ｖinのエッジ前に
設定した基準位相Ｔ１と測定位相ｔｉj でレーザ光Ｌが
発生し、被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系
２２に該レーザ光Ｌが供給される。ここで、レーザトリ
ガ信号ＳＬに基づいて発生したレーザ光Ｌが信号検出系
２３のビーム・スプリッタ23Ａ及びスキャナ23Ｂを介し
て電気光学系２２のガラス基板22Ａ，ＥＯ結晶22Ｂを介
して光反射電極22Ｃに照射される。また、基準位相Ｔ１
と測定位相ｔijとに対応するレーザ光Ｌの偏光状態の検
出処理をする。この際に、接触ピン22Ｄ及び光反射電極
22Ｃにより係合付けられた被測定ＬＳＩ２７の電圧変化
に基づいてレーザ光Ｌの偏光状態が電気光学系２２のＥ
Ｏ結晶22Ｂにより変化され、それがスキャナ23Ｂ及びビ
ーム・スプリッタ23Ａを介して帰還し、アナライザ23Ｃ
を介してディテクタ23Ｄに検出される。
にしたｔｉj の電圧測定を各タイミングで複数回レーザ
光Ｌを照射する。この際に、電圧波形Ｖinのエッジ前に
設定した基準位相Ｔ１と測定位相ｔｉj でレーザ光Ｌが
発生し、被測定ＬＳＩ２７に係合付けられた電気光学系
２２に該レーザ光Ｌが供給される。ここで、レーザトリ
ガ信号ＳＬに基づいて発生したレーザ光Ｌが信号検出系
２３のビーム・スプリッタ23Ａ及びスキャナ23Ｂを介し
て電気光学系２２のガラス基板22Ａ，ＥＯ結晶22Ｂを介
して光反射電極22Ｃに照射される。また、基準位相Ｔ１
と測定位相ｔijとに対応するレーザ光Ｌの偏光状態の検
出処理をする。この際に、接触ピン22Ｄ及び光反射電極
22Ｃにより係合付けられた被測定ＬＳＩ２７の電圧変化
に基づいてレーザ光Ｌの偏光状態が電気光学系２２のＥ
Ｏ結晶22Ｂにより変化され、それがスキャナ23Ｂ及びビ
ーム・スプリッタ23Ａを介して帰還し、アナライザ23Ｃ
を介してディテクタ23Ｄに検出される。
【００７４】また、ディテクタ23Ｄから出力されるＰ，
Ｓ偏光成分に係る光検出信号が電圧測定制御装置２４の
増幅器24Ａにより差動増幅され、その検出信号Ｓｘが信
号処理部24Ｂに出力される。これにより、電圧測定値ｖ
（ｔi j ）−ｖ（Ｔｉ）から次のエッジタイミングｔi
j+1 を決定する。
Ｓ偏光成分に係る光検出信号が電圧測定制御装置２４の
増幅器24Ａにより差動増幅され、その検出信号Ｓｘが信
号処理部24Ｂに出力される。これにより、電圧測定値ｖ
（ｔi j ）−ｖ（Ｔｉ）から次のエッジタイミングｔi
j+1 を決定する。
【００７５】その後、ステップＰ23で指定回数ｊ＝ｊ＋
１をし、ステップＰ24に移行する。ステップＰ24では、
与えられた指定回数ｊがｎｉを終了したか否かを判断す
る。この際に、指定回数ｊ＝ｎｉを終了しない場合（Ｎ
Ｏ）には、ステップＰ22に戻ってレーザ光Ｌの偏光状態
の検出処理を継続する。
１をし、ステップＰ24に移行する。ステップＰ24では、
与えられた指定回数ｊがｎｉを終了したか否かを判断す
る。この際に、指定回数ｊ＝ｎｉを終了しない場合（Ｎ
Ｏ）には、ステップＰ22に戻ってレーザ光Ｌの偏光状態
の検出処理を継続する。
【００７６】また、指定回数ｊ＝ｎｉが終了した場合
（ＹES）には、ステップＰ25に移行して、以上のエッジ
タイミングｔi j 又はｔi j と電圧測定値ｖ（ｔｉj ）
−ｖ（Ｔｉ）の測定値からエッジタイミングｔ１を決定
する。同様な手順により、ｉ＝２と置いてエッジタイミ
ングｔ２を決定する。例えば、エッジタイミングｔi j
（ｊ＝１〜ｎｉ）の平均値を採る。
（ＹES）には、ステップＰ25に移行して、以上のエッジ
タイミングｔi j 又はｔi j と電圧測定値ｖ（ｔｉj ）
−ｖ（Ｔｉ）の測定値からエッジタイミングｔ１を決定
する。同様な手順により、ｉ＝２と置いてエッジタイミ
ングｔ２を決定する。例えば、エッジタイミングｔi j
（ｊ＝１〜ｎｉ）の平均値を採る。
【００７７】そして、図５（ａ）のメインルーチンに戻
って、ステップＰ３で第１，第２のタイミング測定結果
ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを（３）式，すなわ
ち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出する。
って、ステップＰ３で第１，第２のタイミング測定結果
ｔ１，ｔ２に係る荷重平均値ｔｅを（３）式，すなわ
ち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出する。
【００７８】このようにして、本発明の実施例に係るエ
ッジタイミッグ測定によれば、図５の測定フローチャー
トに示すように、ステップＰ25で電圧波形Ｖinに対して
「Ｌ」レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相
点Ｔ１とした第１のタイミング測定結果ｔ１について、
〔１〕式，すなわち、 ｖ (ｔ１) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔ１を求め、かつ、電圧波形Ｖinに
対して「Ｈ」レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを基
準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２につ
いて、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ２) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔ２を求めている。
ッジタイミッグ測定によれば、図５の測定フローチャー
トに示すように、ステップＰ25で電圧波形Ｖinに対して
「Ｌ」レベルＶ１を持つ１以上のタイミングを基準位相
点Ｔ１とした第１のタイミング測定結果ｔ１について、
〔１〕式，すなわち、 ｖ (ｔ１) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相ｔ１を求め、かつ、電圧波形Ｖinに
対して「Ｈ」レベルＶ２を持つ１以上のタイミングを基
準位相点Ｔ２とした第２のタイミング測定結果ｔ２につ
いて、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ２) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相ｔ２を求めている。
【００７９】このため、被測定ＬＳＩ２７の出力信号レ
ベルが標準値からバラついて、その閾値が変わったり、
測定周囲条件が変動した場合であっても、周期的な電圧
波形Ｖinのサンプリング測定に基づいて、ステップＰ３
で第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に係る荷
重平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することで、図４に示すような電圧波形Ｖin
が「Ｌ」レベルＶ１と「Ｈ」レベルＶ２との間で遷移す
る際の閾値レベルＶthを横切る真のエッジタイミングｔ
ｅを測定することが可能となる。
ベルが標準値からバラついて、その閾値が変わったり、
測定周囲条件が変動した場合であっても、周期的な電圧
波形Ｖinのサンプリング測定に基づいて、ステップＰ３
で第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に係る荷
重平均値ｔｅを〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝（１−α）ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することで、図４に示すような電圧波形Ｖin
が「Ｌ」レベルＶ１と「Ｈ」レベルＶ２との間で遷移す
る際の閾値レベルＶthを横切る真のエッジタイミングｔ
ｅを測定することが可能となる。
【００８０】なお、本発明の実施例に係るエッジタイミ
ング測定方法において、第１のタイミング測定結果ｔ１
の測定精度Ａと、第２のタイミング測定結果ｔ２の測定
精度Ｂとの比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように加算平均回数ｎ１，ｎ２が設定され
る。
ング測定方法において、第１のタイミング測定結果ｔ１
の測定精度Ａと、第２のタイミング測定結果ｔ２の測定
精度Ｂとの比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似するように加算平均回数ｎ１，ｎ２が設定され
る。
【００８１】これにより、基準位相点Ｔ１又はＴ２の電
圧測定値かた測定位相点ｔの電圧測定値を差し引き、基
準位相点Ｔ１又はＴ２からの電圧差を測定するベースラ
イン測定に係わり最小の合計加算回数，すなわち、最小
の測定時間により閾値レベルＶthを横切るタイミングｔ
ｅを測定することが可能となる。
圧測定値かた測定位相点ｔの電圧測定値を差し引き、基
準位相点Ｔ１又はＴ２からの電圧差を測定するベースラ
イン測定に係わり最小の合計加算回数，すなわち、最小
の測定時間により閾値レベルＶthを横切るタイミングｔ
ｅを測定することが可能となる。
【００８２】また、本発明の実施例に係るエッジタイミ
ング測定において、第１，第２のタイミング測定結果ｔ
１，ｔ２をもたらす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測
定位相ｔとの間の繰り返し加算平均測定が複数回に分割
され、該第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に
関して加算平均測定が交互に行われる。
ング測定において、第１，第２のタイミング測定結果ｔ
１，ｔ２をもたらす基準位相Ｔ１又は基準位相Ｔ２と測
定位相ｔとの間の繰り返し加算平均測定が複数回に分割
され、該第１，第２のタイミング測定結果ｔ１，ｔ２に
関して加算平均測定が交互に行われる。
【００８３】このため、１つのエッジタイミングの測定
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合に、
測定誤差を低減することができる。例えば、第１，第２
のタイミング測定処理を続けて１回しか行わなかった場
合に比べて、第１のタイミング測定処理から第２のタイ
ミング測定処理に移行するまでに発生する測定誤差を低
減することが可能となる。
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合に、
測定誤差を低減することができる。例えば、第１，第２
のタイミング測定処理を続けて１回しか行わなかった場
合に比べて、第１のタイミング測定処理から第２のタイ
ミング測定処理に移行するまでに発生する測定誤差を低
減することが可能となる。
【００８４】これにより、高速に動作をする被測定ＬＳ
Ｉ２７のエッジタイミング測定に係る処理時間を従来例
に比べて約１／２に短縮化を図ること、及び、電圧波形
Ｖinの測定精度の向上を図ることが可能となる。また、
当該信号波形測定装置の信頼性の向上を図ることが可能
となる。
Ｉ２７のエッジタイミング測定に係る処理時間を従来例
に比べて約１／２に短縮化を図ること、及び、電圧波形
Ｖinの測定精度の向上を図ることが可能となる。また、
当該信号波形測定装置の信頼性の向上を図ることが可能
となる。
【００８５】なお、本発明の実施例ではＥＯサンプリン
グ測定の場合について説明をしたが、電子ビーム測定系
の内部処理に本発明を適用した場合についても、同様な
効果が得られる。
グ測定の場合について説明をしたが、電子ビーム測定系
の内部処理に本発明を適用した場合についても、同様な
効果が得られる。
【００８６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電圧波形
測定装置によれば、測定手段，信号処理手段及び制御手
段が具備され、被測定対象の信号波形に対する基準位相
の電圧測定と、他の任意の位相の電圧測定とを短い時間
間隔で切り換えて得た第１，第２のタイミング測定結果
に基づいて信号波形の閾値レベルを横切るタイミングが
算出される。
測定装置によれば、測定手段，信号処理手段及び制御手
段が具備され、被測定対象の信号波形に対する基準位相
の電圧測定と、他の任意の位相の電圧測定とを短い時間
間隔で切り換えて得た第１，第２のタイミング測定結果
に基づいて信号波形の閾値レベルを横切るタイミングが
算出される。
【００８７】このため、光学系の特性の温度変化や機械
的振動が検出信号に入り込んだり、また、電圧検出値に
それが低周波ノイズとして入り込むような場合や電圧検
出感度が極めて小さい場合であっても、そのノイズ成分
を除去することができ、また、従来例に比べて半分の時
間でエッジタイミングを測定することが可能となる。
的振動が検出信号に入り込んだり、また、電圧検出値に
それが低周波ノイズとして入り込むような場合や電圧検
出感度が極めて小さい場合であっても、そのノイズ成分
を除去することができ、また、従来例に比べて半分の時
間でエッジタイミングを測定することが可能となる。
【００８８】また、本発明の信号波形測定方法によれ
ば、信号波形に対して一方の信号レベルを持つ１以上の
タイミングを基準位相点とした第１のタイミング測定結
果と、他方の信号レベルを持つ１以上のタイミングを基
準位相点とした第２のタイミング測定結果とに基づいて
荷重平均値を算出している。
ば、信号波形に対して一方の信号レベルを持つ１以上の
タイミングを基準位相点とした第１のタイミング測定結
果と、他方の信号レベルを持つ１以上のタイミングを基
準位相点とした第２のタイミング測定結果とに基づいて
荷重平均値を算出している。
【００８９】このため、第１，第２のタイミング測定結
果に基づく荷重平均値により信号波形の閾値レベルを横
切る真のエッジタイミングと一致させることが可能とな
る。このことで、被測定対象の出力信号レベルが標準値
からバラついて、閾値が変わった場合や、測定周囲条件
が変動した場合であっても、精度良いエッジタイミング
を求めることが可能となる。
果に基づく荷重平均値により信号波形の閾値レベルを横
切る真のエッジタイミングと一致させることが可能とな
る。このことで、被測定対象の出力信号レベルが標準値
からバラついて、閾値が変わった場合や、測定周囲条件
が変動した場合であっても、精度良いエッジタイミング
を求めることが可能となる。
【００９０】なお、本発明の信号波形測定方法におい
て、第１のタイミング測定結果の測定精度Ａと、第２の
タイミング測定結果の測定精度Ｂとの比をＡ：Ｂ＝√
α：√ (１−α) に近似するように加算平均回数が設定
されるため、最小の測定時間により閾値レベルを横切る
タイミングを測定することが可能となる。
て、第１のタイミング測定結果の測定精度Ａと、第２の
タイミング測定結果の測定精度Ｂとの比をＡ：Ｂ＝√
α：√ (１−α) に近似するように加算平均回数が設定
されるため、最小の測定時間により閾値レベルを横切る
タイミングを測定することが可能となる。
【００９１】また、本発明の信号波形測定方法におい
て、第１，第２のタイミング測定結果をもたらす基準位
相と測定位相との間の繰り返し加算平均測定が複数回に
分割され、該第１，第２のタイミング測定結果に関して
加算平均測定が交互に行われる。
て、第１，第２のタイミング測定結果をもたらす基準位
相と測定位相との間の繰り返し加算平均測定が複数回に
分割され、該第１，第２のタイミング測定結果に関して
加算平均測定が交互に行われる。
【００９２】このため、１つのエッジタイミングの測定
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合の測
定誤差を低減することができる。さらに、被測定対象の
信号波形の振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場
合であっても、また、被測定対象の閾値レベルにずれを
生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極力抑制
することができる。
中に、測定系の検出感度が変動しているような場合の測
定誤差を低減することができる。さらに、被測定対象の
信号波形の振幅が真の信号波形（標準値）からずれた場
合であっても、また、被測定対象の閾値レベルにずれを
生じた場合であっても、タイミング測定誤差を極力抑制
することができる。
【００９３】これにより、信号波形測定時間の短縮化を
図ること、及び、信号波形の測定精度の向上を図ること
が可能となり、高信頼性の電圧波形測定装置等の提供に
寄与するところが大きい。
図ること、及び、信号波形の測定精度の向上を図ること
が可能となり、高信頼性の電圧波形測定装置等の提供に
寄与するところが大きい。
【図１】本発明に係る信号波形測定装置の原理図であ
る。
る。
【図２】本発明に係る信号波形測定方法の原理図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施例に係る電圧波形測定装置の構成
図である。
図である。
【図４】本発明の実施例に係る信号処理部の機能を説明
する信号波形図である。
する信号波形図である。
【図５】本発明の実施例に係るエッジタイミングの測定
フローチャートである。
フローチャートである。
【図６】従来例に係る信号波形測定装置の説明図であ
る。
る。
100 …測定手段、 １１…光源、 １２…電気光学手段、 １３…検出手段、 １４…信号処理手段、 １５…制御手段、 Ｌ…超短性の光、 Ｖth，ｖth…閾値レベル、 Ｖ１，Ｖ２…第１，第２の信号レベル、 ｖ１，ｖ２…被測定信号レベル、 ｖt1，ｖt2…第１，第２のタインミングに係る被測定信
号レベル、 ｖ（ｔ），ｖ（Ｔ１），ｖ（Ｔ２）…電圧測定値、 ｔ１，ｔ２…第１，第２のタインミング、 ｔｅ…閾値レベルを横切るタイミング（荷重平均値）、 Ｔ１…基準位相、 Ｔ２…基準位相、 Ｓin…被測定対象の信号波形。
号レベル、 ｖ（ｔ），ｖ（Ｔ１），ｖ（Ｔ２）…電圧測定値、 ｔ１，ｔ２…第１，第２のタインミング、 ｔｅ…閾値レベルを横切るタイミング（荷重平均値）、 Ｔ１…基準位相、 Ｔ２…基準位相、 Ｓin…被測定対象の信号波形。
Claims (5)
- 【請求項１】 被測定対象（１６）の周期的な信号波形
（Ｓin）のサンプリング測定をする測定手段（100 ）
と、前記サンプリング測定に基づく検出信号（Ｓｘ）の
信号処理をする信号処理手段（１４）と、前記測定手段
（100 ）及び信号処理手段（１４）の入出力を制御する
制御手段（１５）とを具備し、被測定対象（１６）の周
期的な信号波形（Ｓin）に対して第１の信号レベル（Ｖ
１）を持つ１以上のタイミングを基準位相点（Ｔ１）と
した第１のタイミング測定結果（ｔ１）と、該信号波形
（Ｓin）に対して第２の信号レベル（Ｖ２）を持つ１以
上のタイミングを基準位相点（Ｔ２）とした第２のタイ
ミング測定結果（ｔ２）とに基づいて信号波形（Ｓin）
が１つの信号レベル（Ｖ１）と他の信号レベル（Ｖ２）
との間で遷移する際の閾値レベル（Ｖth）を横切るタイ
ミング（ｔｅ）を算出することを特徴とする信号波形測
定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の信号波形測定装置におい
て、前記測定手段（100 ）が被測定対象（１６）に係合
付けられた電気光学手段（１２）に超短性の光（Ｌ）を
供給する光源（１１）と、前記被測定対象（１６）の信
号変化に基づいて超短性の光（Ｌ）の偏光状態を変化さ
せる電気光学手段（１２）と、前記超短性の光（Ｌ）の
偏光状態を検出する検出手段（１３）から成ることを特
徴とする信号波形測定装置。 - 【請求項３】 被測定対象（１６）の周期的な信号波形
（Ｓin）のサンプリング測定に基づいて、該信号波形
（Ｓin）が１つの信号レベル（Ｖ１）から他の信号レベ
ル（Ｖ２）に遷移する際の閾値レベル（Ｖth）を横切る
タイミング（ｔｅ）を測定する方法であって、 前記閾値レベル（Ｖth）のパラメータをαとし、前記信
号波形（Ｓin）の測定位相（ｔ）における電圧測定値を
ｖ (ｔ）とし、前記信号波形（Ｓin）の２つの基準位相
点（Ｔ１，Ｔ２）における電圧測定値をｖ (Ｔ１），ｖ
(Ｔ２）とすれば、 前記信号波形（Ｓin）に対して第１の信号レベル（Ｖ
１）を持つ１以上のタイミングを基準位相点（Ｔ１）と
した第１のタイミング測定結果（ｔ１）については、
〔１〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ１) ＝α（Ｖ２−Ｖ１）……〔１〕 を満足する測定位相（ｔ）を求め、前記信号波形（Ｓi
n）に対して第２の信号レベル（Ｖ２）を持つ１以上の
タイミングを基準位相点（Ｔ２）とした第２のタイミン
グ測定結果（ｔ２）については、〔２〕式，すなわち、 ｖ (ｔ) −ｖ (Ｔ２) ＝− (１−α) ・ (Ｖ２−Ｖ１) ……〔２〕 を満足する測定位相（ｔ）を求め、前記第１，第２のタ
イミング測定結果（ｔ１，ｔ２）の荷重平均値（ｔｅ）
を〔３〕式，すなわち、 ｔｅ＝ (１−α) ｔ１＋αｔ２……〔３〕 により算出することを特徴とする信号波形測定方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の信号波形測定方法におい
て、前記第１のタイミング測定結果（ｔ１）の測定精度
（Ａ）と、前記第２のタイミング測定結果（ｔ２）の測
定精度（Ｂ）との比を〔４〕式，すなわち、 Ａ：Ｂ＝√α：√ (１−α) ……〔４〕 に近似させることを特徴とする信号波形測定方法。 - 【請求項５】 請求項３記載の信号波形測定方法におい
て、前記第１，第２のタイミング測定結果（ｔ１，ｔ
２）をもたらす基準位相（Ｔ１）又は基準位相（Ｔ２）
と測定位相（ｔ）との間の繰り返し加算平均測定を複数
回に分割し、前記第１，第２のタイミング測定結果（ｔ
１，ｔ２）に関して加算平均測定を交互に行うことを特
徴とする信号波形測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5025268A JPH06242185A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 信号波形測定装置及び信号波形測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5025268A JPH06242185A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 信号波形測定装置及び信号波形測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242185A true JPH06242185A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12161287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5025268A Withdrawn JPH06242185A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 信号波形測定装置及び信号波形測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06242185A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07181204A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-07-21 | Tektronix Inc | ロジック信号表示方法 |
| WO2007077839A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、および、プログラム |
| WO2011024394A1 (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-03 | 株式会社アドバンテスト | 変調された被試験信号の試験装置および試験方法 |
| CN104502838A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-08 | 中国西电电气股份有限公司 | 一种计算瞬态恢复电压波形参数的方法 |
-
1993
- 1993-02-15 JP JP5025268A patent/JPH06242185A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07181204A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-07-21 | Tektronix Inc | ロジック信号表示方法 |
| WO2007077839A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、および、プログラム |
| US7805641B2 (en) | 2005-12-28 | 2010-09-28 | Advantest Corporation | Test apparatus for regulating a test signal supplied to a device under test and method thereof |
| TWI402522B (zh) * | 2005-12-28 | 2013-07-21 | Advantest Corp | 測試裝置、測試方法以及記錄媒體 |
| JP5255282B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2013-08-07 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法、および、プログラム |
| WO2011024394A1 (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-03 | 株式会社アドバンテスト | 変調された被試験信号の試験装置および試験方法 |
| CN104502838A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-08 | 中国西电电气股份有限公司 | 一种计算瞬态恢复电压波形参数的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |