JP2000147021A

JP2000147021A - 電気光学サンプリングオシロスコープ用受光回路

Info

Publication number: JP2000147021A
Application number: JP10321131A
Authority: JP
Inventors: Jun Kikuchi; 潤菊池; Nobunari Takeuchi; 伸成竹内; Koju Yanagisawa; 幸樹柳澤; Choichi Tomoshiro; 暢一伴城; Yoshio Endo; 善雄遠藤; Mitsuru Shinagawa; 満品川; Tadao Nagatsuma; 忠夫永妻; Junzo Yamada; 順三山田
Original assignee: Ando Electric Co Ltd; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Ando Electric Co Ltd; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1998-11-11
Filing date: 1998-11-11
Publication date: 2000-05-26
Also published as: GB9926557D0; US6384590B1; GB2343745A; GB2343745B; DE19954368A1

Abstract

(57)【要約】【課題】サンプリング周期が短くなっても、受光した
光信号を精度よく電気信号に変換することのできるＥＯ
Ｓオシロスコープ用受光回路を提供すること。【解決手段】正のバイアス電源５０Ｐと負のバイアス
電源５０Ｎとの間に直列接続されたフォトダイオード５
１および５２により、被測定信号の電圧に応じた偏光状
態を有する光信号を受光して電気信号に変換する。増幅
器５３は、フォトダイオード５１とフォトダイオード５
２との接続点Ｐに現れる電気信号を増幅する。電流モニ
タ５４，５７は、フォトダイオード５１，５２により変
換された電気信号をそれぞれ検出し、Ａ／Ｄ変換器５
５，５８がこれをＡ／Ｄ変換する。減算回路６０から構
成される調整部は、参照光を受光した場合の電流モニタ
５４，５７の検出値の差分を小さくする方向に光信号の
偏光比を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号が偏光
状態に反映された光信号を受光して、その光信号の偏光
状態により被測定信号に応じた電気信号を得る電気光学
サンプリングオシロスコープ用受光回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣなどの内部信号の波形を観測
するための装置として、被測定対象の信号を光学的にサ
ンプリングして波形を再現する電気光学サンプリング
（Electro Optic Sampling）オシロスコープ（以下「Ｅ
ＯＳオシロスコープ」と略記する）がある。

【０００３】このＥＯＳオシロスコープは、測定対象の
内部信号（以下、被測定信号と略記する）が現れる部位
に、電界により偏光面が変化する電気光学結晶を結合さ
せ、この電気光学結晶からの反射光の偏光状態により被
測定信号を再現するものであって、被測定信号に応じた
偏光状態を有する光信号を取り出すための光学系が内蔵
された電気光学プローブと、この光信号を受光してその
偏光状態に応じた電気信号を取り出すための受光回路を
備えて構成されている。

【０００４】ＥＯＳオシロスコープは、電気式プローブ
を用いた従来のサンプリングオシロスコープと比較し
て、１）信号を測定する際にグランド線を必要としないた
め、測定が容易２）電気光学プローブの先端にある金属ピンがオシロス
コープ側の回路系から電気的に絶縁されているので、被
測定信号の状態をほとんど乱すことなく波形観測が可能３）光パルスを利用することからギガヘルツのオーダー
までの広帯域測定が可能といった特徴を有するため、注
目を集めている。

【０００５】ＥＯＳオシロスコープに用いられる電気光
学プローブの構成例を図２により説明する。同図におい
て、符号１は、絶縁体からなるプローブヘッドであり、
この中心に被測定信号が現れる部位に接触する金属ピン
１ａが嵌め込まれている。符号２は、電界により偏光面
が変わる電気光学素子（電気光学結晶）であり、金属ピ
ン１ａ側の端面に反射膜２ａが設けられ、金属ピン１ａ
に接している。

【０００６】符号４は、１／２波長板であり、符号５
は、１／４波長板である。符号６及び８は、偏光ビーム
スプリッタである。符号７は、ファラデー素子である。
符号９は、ＥＯＳオシロスコープ本体（図示せず）から
出力されるパルス信号（制御信号）に応じてレーザ光を
発するレーザダイオードである。符号１０は、レーザダ
イオード９からのレーザー光を一方向に収束して平行光
に変換するコリメートレンズであり、これにより収束さ
れたレーザー光Ａの光路上に、電気光学素子２、１／２
波長板４、１／４波長板５、偏光ビームスプリッタ６，
８、ファラデー素子７が配置される。

【０００７】符号１１及び１３は、集光レンズであり、
偏光ビームスプリッタ６，８により分離されたレーザー
光を集光する。符号１２及び１４は、後述する受光回路
を構成するフォトダイオードであり、集光レンズ１１，
１３により集光されたレーザ光を電気信号に変換してＥ
ＯＳオシロスコープ本体へ出力する。

【０００８】符号１５は、プローブ本体である。符号１
７は、１／４波長板、２つの偏光ビームスプリッタ６、
８、及びファラディ素子８からなるアイソレータであ
り、レーザダイオード９が出射した光を通過させ、反射
膜２ａによって反射された光を分離するためのものであ
る。

【０００９】次に、ＥＯＳオシロスコープに用いられて
いる従来の受光回路の構成例を図３により説明する。同
図において、符号１００はバイアス電源、符号１０１，
１０４はフォトダイオード、符号１０２，１０５は抵
抗、符号１０３，１０６は増幅器、符号１０７は電流モ
ニタ、符号１０８はＡ／Ｄ変換器、符号１０９は抵抗１
０９Ａ〜１０９Ｄと演算増幅器１０９Ｅからなる差動増
幅器、符号１１０は抵抗、符号１１１はＡ／Ｄ変換器で
ある。

【００１０】すなわち、この受光回路は、バイアス電源
１００でバイアスされたフォトダイオード１０１が発生
する電流を増幅器１０３，１０６によりそれぞれ増幅
し、これら増幅器１０３，１０６の出力の差分を差動増
幅器１０９により増幅して測定信号を得るように構成さ
れ、この差動増幅器１０９の出力値はＡ／Ｄ変換器１１
によりＡ／Ｄ変換される。また、フォトダイオード１０
１，１０４が発生する電流は電流モニタ１０７によりモ
ニタされ、その電流値はＡ／Ｄ変換器１０８によりＡ／
Ｄ変換される。

【００１１】次に、この従来装置の動作を説明する。図
２に示すレーザダイオード１０は、パルス信号（制御信
号）に駆動されてサンプリング周期を有するパルス状の
レーザー光Ａを出射する。このレーザ光Ａは、コリメー
トレンズ９により平行光に変換され、偏光ビームスプリ
ッタ８、ファラデー素子７及び偏光ビームスプリッタ６
を直進し、さらに、１／４波長板５と１／２波長板４を
通って電気光学素子２に入射する。

【００１２】入射したレーザー光は、金属ピン１ａ側の
電気光学素子２の端面に形成された反射膜２ａにより反
射される。ここで、金属ピン１ａを測定点に接触させる
と、金属ピン１ａに加わる電圧に応じた電界が電気光学
素子２へ伝搬し、ポッケルス効果により電気光学素子２
の複屈折率が変化する現象が起きる。これにより、レー
ザダイオード９から発せられたレーザ光が電気光学素子
２を伝搬するときに光の偏光状態が変化し、この結果、
電気光学素子２の端面で反射されたレーザ光は、被測定
信号の電圧に応じた偏光成分を含むものとなる。

【００１３】電気光学素子２の端面で反射されたレーザ
光は、再び１／２波長板４と１／４波長板５を通り、こ
のレーザ光の一部（被測定信号の電圧に応じた偏光成
分）は、偏光ビームスプリッタ６により分離され、集光
レンズ１１によって集光されて、受光回路を構成するフ
ォトダイオード１０１へ入射される。偏光ビームスプリ
ッタ６を透過したレーザ光は、偏光ビームスプリッタ８
で分離され、集光レンズ１３によって集光されて、図３
に示すフォトダイオード１０４へ入射され、電気信号に
変換される。

【００１４】ここで、受光回路の動作を説明する。被測
定信号の電圧の変化にともなって、電気光学素子２の偏
光面が変化すると、フォトダイオード１０１とフォトダ
イオード１０４の出力に差が生じる。受光回路は、この
出力差を検出することによって、被測定信号に応じた測
定信号を出力するように動作する。

【００１５】すなわち、受光回路のフォトダイオード１
０１が偏光ビームスプリッタ６からのレーザー光を受光
すると、フォトダイオード１０１はこのレーザー光の強
度に応じた電流を発生し、この電流に応じた電圧が抵抗
１０２の一端側に現れ、増幅器１０３で増幅される。同
様にフォトダイオード１０４が発生する電流に応じた電
圧が抵抗１０５の一端側に現れ、増幅器１０６で増幅さ
れる。差動増幅器１０９は増幅器１０３と１０６との出
力差に応じた測定信号を出力する。

【００１６】上述のように、従来の受光回路によれば、
フォトダイオード１０１および１０４で検出された信号
は、増幅器１０３および１０６でそれぞれ増幅され、こ
の後、差動増幅器１０９でその差分を取ることにより測
定信号のみを検出するものとなっている。

【００１７】なお、電流モニタ１０７によりモニタされ
た電流はＡ／Ｄ変換器１０８によりＡ／Ｄ変換されて、
Ａ／Ｄ変換器１１１により変換された測定信号の値と共
に、フォトダイオード１０１，１０４の動作の検証やキ
ャリブレーションなどに用いられる。また、電気光学素
子２の結晶軸に対して、入射するレーザ光の偏光面を合
わせる必要があり、このため、１／２波長板４と１／４
波長板５を回転させることによって偏光面の調整が行わ
れる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の受光回路によれば、フォトダイオード１０１およ
び１０４で検出された信号は、増幅器１０３および１０
６で別々に増幅されるため、サンプリングが高速化され
てサンプリング周期が短くなると、増幅器１０３と１０
６の過渡応答特性の違いが顕在化する結果、フォトダイ
オード１０１，１０４の同相信号成分が差動増幅器１０
９から出力される測定信号の誤差となって現れ、波形の
Ｓ／Ｎが劣化するという問題があった。

【００１９】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、サンプリングが高速化されてサンプリング
周期が短くなっても、フォトダイオードの同相信号成分
が測定信号の誤差となって現れることがなく、受光した
光信号を精度よく電気信号に変換することのできる電気
光学サンプリングオシロスコープ用受光回路を提供する
ことを課題とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被測定信号の電圧に応じた偏光状態を有する光信号
を偏光分離して得られる第１および第２の光信号を受光
し、前記第１の光信号と前記第２の光信号との信号強度
の相対関係に応じた電気信号を得る電気光学サンプリン
グオシロスコープ用受光回路であって、第１のバイアス
電源と第２のバイアス電源との間に直列接続され、前記
第１および第２の光信号をそれぞれ受光して電気信号に
変換する第１および第２の光電変換素子と、前記第１の
光電変換素子と前記第２の光電変換素子との接続点に現
れる電気信号を入力して増幅する増幅器と、前記第１お
よび第２の光電変換素子により変換された電気信号をそ
れぞれ検出する第１および第２の検出器と、を備えたこ
とを特徴とする。

【００２１】また、請求項２に記載の発明は、前記第１
および第２の光電変換素子が参照光を受光した場合に、
前記第１および第２の検出器の検出値の差分を小さくす
る方向に前記光信号の偏光比を調整する調整部をさらに
備えたことを特徴とする。

【００２２】また、請求項３に記載の発明は、前記第１
および第２の検出器の検出値の和の変動量に応じて前記
増幅器の出力値を補正する補正部をさらに備えたことを
特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態にか
かる電気光学サンプリングオシロスコープ用受光回路に
ついて図面を参照して説明する。なお、この実施の形態
にかかる受光回路が適用されるＥＯＳオシロスコープ
は、図２に示す電気光学プローブを備えるものとする。
ただし、この電気光学プローブは、図２に示すフォトダ
イオード１０１，１０４に代えて図１に示すフォトダイ
オード５１，５２から構成される。

【００２４】図１に、この実施形態にかかる受光回路の
構成を示す。同図に示すように、正のバイアス電源５０
Ｐ（第１の電源）と負のバイアス電源５０Ｎ（第２の電
源）との間には、光電変換素子としてのフォトダイオー
ド５１（第１の光電変換素子）とフォトダイオード５２
（第２の光電変換素子）とが、電流方向を揃えて直列接
続されており、これらフォトダイオード５１とフォトダ
イオード５２との接続点Ｐには演算増幅器５３Ａと帰還
用の抵抗５３Ｂとからなる増幅器５３の入力部が接続さ
れている。この増幅器５３は、トランス・インピーダン
ス回路として構成され、電流／電圧変換回路として機能
する。

【００２５】ここで、フォトダイオード５１および５２
は、図３に示す従来回路にかかるフォトダイオード１０
１および１０４にそれぞれ対応するものであって、図２
に示す偏光ビームスプリッタ６および８からの光信号
（レーザー光）がフォトダイオード５１および５２に受
光される。

【００２６】バイアス電源５０Ｐとフォトダイオード５
１との間の電流経路には電流モニタ５４が設けられ、こ
の電流モニタ５４のモニタ値はＡ／Ｄ変換器５５により
Ａ／Ｄ変換されて、減算回路６０および加算回路６１に
入力される。同様に、バイアス電源５０Ｎとフォトダイ
オード５２との間の電流経路には電流モニタ５７が設け
られ、この電流モニタ５７のモニタ値はＡ／Ｄ変換器５
８によりＡ／Ｄ変換されて、減算回路６０および加算回
路６１に入力される。ここで、電流モニタ５４および５
７のモニタ値は、フォトダイオード５１および５２が発
生する電流の検出値（絶対値）を表す。

【００２７】減算回路６０は、フォトダイオード５１お
よびフォトダイオード５２の特性のバラツキ（特性の違
い）を補正するための調整部（符号なし）を構成するも
のであって、フォトダイオード５１およびフォトダイオ
ード５２が所定の信号強度を有する参照光を受光した場
合に、電流モニタ５４および５７の検出値の差分を小さ
くする方向にフォトダイオード５１，５２が受光する光
信号の偏光比を調整するものである。

【００２８】また、加算回路６１は、例えば図２に示す
レーザーダイオード９の出力変動に起因した測定信号の
変動量を補正するための補正部を構成するものであっ
て、電流モニタ５４，５７のモニタ値（検出値）の和の
変動量に応じて増幅器５３の出力値を補正するためのも
のである。

【００２９】なお、バイアス電源５０Ｐとフォトダイオ
ード５１との間、およびバイアス電源５０Ｎとフォトダ
イオード５２との間は、同軸ケーブル５６，５９で接続
される。この同軸ケーブルは、グランド電位にシールド
されると共に所定のキャパシタンスを有し、雑音などの
高周波成分を除去するフィルタとして機能する。また、
特に図示しないが、フォトダイオードの接続点Ｐと増幅
器５３の入力部との間は、シールド機能のみを有する同
軸ケーブルで接続されている。ただし、同軸ケーブル以
外で接続してもよい。

【００３０】以下、この実施の形態にかかる受光回路の
動作を説明する。受光回路のフォトダイオード５１は、
図２に示す偏光ビームスプリッタ６から被測定信号に応
じた偏光状態を有するレーザー光を受光し、このレーザ
ー光の強度に応じた電流を発生する。一方、フォトダイ
オード５２は、偏光ビームスプリッタ８からのレーザー
光を受光し、このレーザー光の強度に応じた電流を発生
する。

【００３１】フォトダイオード５１およびフォトダイオ
ード５２でそれぞれ発生した電流は接続点Ｐに現れ、こ
れら電流の差分が増幅器５３に流れ込み、この差分電流
に応じた電圧が測定信号として出力される。すなわち、
この測定信号は、フォトダイオード５１が受光する光信
号とフォトダイオード５２が受光する光信号との信号強
度の相対関係に応じた電気信号として得られる。そし
て、この受光回路が適用されたＥＯＳオシロスコープ
は、この受光回路により得られた測定信号から被測定信
号の波形を再現するための種々の処理を行う。

【００３２】ここで、仮にフォトダイオード５１と５２
との特性にバラツキが存在すると、見かけ上、フォトダ
イオード５１とフォトダイオード５２が受光する光信号
の信号強度が変化し、被測定信号を精度よく再現するこ
とができなくなる。そこで、減算回路６０が構成する調
整部により、フォトダイオード５１と５２との特性の違
いに起因する測定信号の変動量を補正する。

【００３３】具体的には、信号強度が既知の参照光をフ
ォトダイオード５１，５２に入射し、減算回路６０によ
り、このときの電流モニタ５４，５７のモニタ値の差分
を求める。このとき、フォトダイオード５１，５２の特
性が揃っていれば電流モニタ５４，５７のモニタ値は等
しくなり、これらの差分はゼロとなる。

【００３４】これに対して、特性に違いがある場合、差
分はゼロとはならず、特性の違いに応じた差分が得られ
る。そこでこの場合、フォトダイオード５１，５２の特
性の違いを考慮して、フォトダイオード５１，５２が参
照光を受光したときの電流モニタ５４，５７のモニタ値
の差分を小さくする方向に、フォトダイオード５１，５
２が受光する光信号の偏光比を調整しておく。この調整
は、例えば１／４波長板５を回転させることにより行わ
れる。

【００３５】また、レーザーダイオード９の出力が変動
すると、被測定信号が一定状態を保っていたとしても、
フォトダイオード５１と５２でそれぞれ発生する電流の
差分が変化し、この結果、測定信号が変動する。そこ
で、加算回路６１が構成する補正部により、レーザーダ
イオード９の出力変動に起因する測定信号の変動分を補
正する。

【００３６】ここで、フォトダイオード５１，５２が発
生する各電流は、フォトダイオード５１，５２がそれぞ
れ受光する各光信号の信号強度に依存し、これらフォト
ダイオード５１，５２がそれぞれ受光する各光信号の信
号強度の和は、レーザーダイオード９が出力するレーザ
ー光Ａの強度に等しい（各部での損失を無視）。したが
って、電流モニタ５４，５７の各電流の和からレーザー
ダイオード９が出力するレーザー光Ａの変動を知ること
できる。

【００３７】そこで、加算回路６１により、電流モニタ
５４，５７の各モニタ値の和を求め、この和に応じて測
定信号を補正する。具体的には、レーザーダイオード９
の出力変動がない場合の電流モニタ５４，５７の各モニ
タ値の和を基準として、各モニタ値の和の変動量の割合
だけ測定信号を増減する。たとえば、電流モニタ５４，
５７の各モニタ値の和が５パーセントだけ増加したとす
れば、測定信号の値を同じく５パーセントだけ減少させ
る。これにより、測定信号には被測定信号のみが反映さ
れ、波形を精度良く再現することが可能となる。

【００３８】なお、上述した実施の形態では、減算回路
６０が構成する調整部は、フォトダイオード５１，５２
の特性のバラツキに起因した電流差を調整するものとし
たが、被測定信号以外の要因によるフォトダイオード５
１，５２の電流差を調整するものであればよい。また、
加算回路６１が構成する補正部は、レーザーダイオード
９の出力変動に起因したフォトダイオード５１，５２の
電流差の変動を補正するものとしたが、被測定信号以外
の要因によるフォトダイオード５１，５２の電流差の変
動分を調整するものであればよい。

【００３９】また、減算回路６０を用いて、フォトダイ
オード５１，５２のバランスをモニタするものとした
が、図３に示す従来技術にかかる差動増幅器１０９の出
力をモニタすることにより、バランスをモニタするよう
に構成することも可能である。また、減算回路６０から
なる調整部や加算回路６１からなる補正部は、ＣＰＵな
どの演算回路により実現してもよい。

【００４０】また、フォトダイオード５１，５２の特性
のバラツキが充分に小さい場合には減算回路６０からな
る調整部を省略してもよく、レーザーダイオードの出力
の変動が充分に小さい場合には加算回路６１からなる補
正部を省略してもよい。また、フォトダイオード５１，
５２に代えて他の光電変換素子を用いることもできる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
以下の効果を得ることができる。すなわち、請求項１に
記載された発明によれば、被測定信号の電圧に応じた偏
光状態を有する第１および第２の光信号を受光し、これ
ら第１の光信号と第２の光信号との信号強度の差分に応
じた電流を増幅するようにしたので、サンプリングが高
速化されても、第１および第２の光信号の同相信号成分
が測定信号の誤差となって現れることがなく、受光した
光信号を精度よく電気信号に変換することができる。し
たがって、ＥＯＳオシロスコープの動作の高速化および
高感度化を実現することができる。

【００４２】また、請求項２に記載された発明によれ
ば、参照光を受光した場合に発生する電流値の差分を小
さくする方向に第１および第２の光信号の偏光比を調整
するようにしたので、例えば第１および第２の光信号を
電気信号に変換するための素子の特性にバラツキが生じ
たとしても、この特性のバラツキが測定信号の誤差とな
って現れることがなく、受光した光信号を精度よく電気
信号に変換することができる。

【００４３】さらに、請求項３に記載された発明によれ
ば、第１および第２の光信号に応じて発生する電気信号
の和の変動量に応じて出力値を補正するようにしたの
で、例えばサンプリング用のレーザー光の出力が変動し
ても、この変動が測定信号の誤差となって現れることが
なく、受光した光信号を精度よく電気信号に変換するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態にかかる電気光学サン
プリングオシロスコープ用受光回路の構成図である。

【図２】ＥＯＳオシロスコープに用いられる電気光学
プローブの構成図である。

【図３】従来技術にかかるＥＯＳオシロスコープ用受
光回路の構成図である。

【符号の説明】

１…プローブヘッド、１ａ…金属ピン、２…電気光学素
子、２ａ…反射膜、４…１／２波長板、５…１／４波長
板、６，８…偏光ビームスプリッタ、７…ファラデー素
子、９…レーザダイオード、１０…コリメートレンズ、
１１，１３…集光レンズ、１５…プローブ本体、１７…
アイソレータ、５０Ｐ…バイアス電源（＋）、５０Ｎ…
バイアス電源（−）、５１，５２…フォトダイオード、
５３…増幅器、５３Ａ…演算増幅器、５３Ｂ…抵抗、５
４，５７…電流モニタ、５５，５８…Ａ／Ｄ変換器、５
６，５９…同軸ケーブル、６０…減算回路、６１…加算
回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者竹内伸成東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者柳澤幸樹東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者伴城暢一東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者遠藤善雄東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者品川満東京都新宿区西新宿三丁目19番２号日本電信電話株式会社内 (72)発明者永妻忠夫東京都新宿区西新宿三丁目19番２号日本電信電話株式会社内 (72)発明者山田順三東京都新宿区西新宿三丁目19番２号日本電信電話株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定信号の電圧に応じた偏光状態を有
する光信号を偏光分離して得られる第１および第２の光
信号を受光し、前記第１の光信号と前記第２の光信号と
の信号強度の相対関係に応じた電気信号を得る電気光学
サンプリングオシロスコープ用受光回路であって、第１のバイアス電源と第２のバイアス電源との間に直列
接続され、前記第１および第２の光信号をそれぞれ受光
して電気信号に変換する第１および第２の光電変換素子
と、前記第１の光電変換素子と前記第２の光電変換素子との
接続点に現れる電気信号を入力して増幅する増幅器と、前記第１および第２の光電変換素子により変換された電
気信号をそれぞれ検出する第１および第２の検出器と、を備えたことを特徴とする電気光学サンプリングオシロ
スコープ用受光回路。
【請求項２】前記第１および第２の光電変換素子が参
照光を受光した場合に、前記第１および第２の検出器の
検出値の差分を小さくする方向に前記光信号の偏光比を
調整する調整部をさらに備えたことを特徴とする請求項
１に記載された電気光学サンプリングオシロスコープ用
受光回路。
【請求項３】前記第１および第２の検出器の検出値の
和の変動量に応じて前記増幅器の出力値を補正する補正
部をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２の
いずれかに記載された電気光学サンプリングオシロスコ
ープ用受光回路。