JP2858663B2 - プロセスデータの設定方法 - Google Patents
プロセスデータの設定方法Info
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- JP2858663B2 JP2858663B2 JP1325041A JP32504189A JP2858663B2 JP 2858663 B2 JP2858663 B2 JP 2858663B2 JP 1325041 A JP1325041 A JP 1325041A JP 32504189 A JP32504189 A JP 32504189A JP 2858663 B2 JP2858663 B2 JP 2858663B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、プロセス設備の運転条件となるプロセスデ
ータの設定方法に係り、特にプロセスデータが複雑な場
合に有効なプロセスデータの設定方法に関するものであ
る。
ータの設定方法に係り、特にプロセスデータが複雑な場
合に有効なプロセスデータの設定方法に関するものであ
る。
従来の技術 従来においては、プロセス設備の能力と加工対象品種
及び他の設定データをオペレータが考慮しながら、又は
プロセスデータをオペレータが設定する際、プロセスデ
ータが設定された後に、前記データを装置使用条件に応
じて各々チェックし、その適合結果をオペレータに通知
する方法がとられている。尚、この技術として関連する
ものには、例えば特開昭58−201107号公報、特開平１−
109411号公報が挙げられる。
及び他の設定データをオペレータが考慮しながら、又は
プロセスデータをオペレータが設定する際、プロセスデ
ータが設定された後に、前記データを装置使用条件に応
じて各々チェックし、その適合結果をオペレータに通知
する方法がとられている。尚、この技術として関連する
ものには、例えば特開昭58−201107号公報、特開平１−
109411号公報が挙げられる。
発明が解決しようとする課題 上記従来技術では設定データの最大値，最小値のチェ
ック、或はプロセスデータの使用条件への適合チェック
しか配慮されておらず、プロセスデータが複雑なもので
かつその量が多い場合、適合するプロセスデータを設定
するのに、オペレータに対してプロセス設備への熟練度
が要求され、また設定に長時間を要することが考えられ
る。
ック、或はプロセスデータの使用条件への適合チェック
しか配慮されておらず、プロセスデータが複雑なもので
かつその量が多い場合、適合するプロセスデータを設定
するのに、オペレータに対してプロセス設備への熟練度
が要求され、また設定に長時間を要することが考えられ
る。
本発明の目的は、プロセス設備において、複雑化し、
多くなるプロセスデータの設定ガイダンスをオペレータ
に表示装置上に通知すること、また、プロセス設備での
生産中の不具合いへの対策として変更すべきプロセスデ
ータの項目と内容をオペレータに通知することにより、
プロセス設備への熟練度の要求を無くし、データ設定の
ための時間短縮を実現できるプロセスデータの設定方法
を提供することにある。
多くなるプロセスデータの設定ガイダンスをオペレータ
に表示装置上に通知すること、また、プロセス設備での
生産中の不具合いへの対策として変更すべきプロセスデ
ータの項目と内容をオペレータに通知することにより、
プロセス設備への熟練度の要求を無くし、データ設定の
ための時間短縮を実現できるプロセスデータの設定方法
を提供することにある。
課題を解決するための手段 第１の発明は生産中にプロセスに不具合を生じた時、
入力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメー
タとその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策
テーブルから検索して表示する方法であって、不具合の
項目は一致しても、度合が一致しない場合、パラメータ
の変更内容を、前後の値から判断し、決定された変更内
容を表示することを特徴とする。
入力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメー
タとその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策
テーブルから検索して表示する方法であって、不具合の
項目は一致しても、度合が一致しない場合、パラメータ
の変更内容を、前後の値から判断し、決定された変更内
容を表示することを特徴とする。
第２の発明は生産中にプロセスに不具合を生じた時、
入力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメー
タとその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策
テーブルから検索して表示する方法であって、複数の不
具合とその度合が入力された場合、各々の不具合と変更
内容を決定する際、単一の不具合とその度合から単一の
変更項目とその内容を判断するのではなく、複数の不具
合とその度合から、ひとつひとつの変更内容とその内容
を決定して表示することを特徴とする。
入力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメー
タとその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策
テーブルから検索して表示する方法であって、複数の不
具合とその度合が入力された場合、各々の不具合と変更
内容を決定する際、単一の不具合とその度合から単一の
変更項目とその内容を判断するのではなく、複数の不具
合とその度合から、ひとつひとつの変更内容とその内容
を決定して表示することを特徴とする。
作用 第１の発明によれば、テーブルに該当する不具合に対
し、その度合が一致しない場合、プログラムによりその
変更内容を計算により求め決定する。
し、その度合が一致しない場合、プログラムによりその
変更内容を計算により求め決定する。
第２の発明によれば、複数の不具合とそれぞれの度合
が入力された場合において、一つのプロセスデータが複
数の不具合から、異なる内容の変更をすべき結果が出た
場合、プログラムにより、その変更内容を計算により求
め決定する。
が入力された場合において、一つのプロセスデータが複
数の不具合から、異なる内容の変更をすべき結果が出た
場合、プログラムにより、その変更内容を計算により求
め決定する。
実 施 例 以下、本発明の一実施例を説明する。本実施例は、ガ
ス流量・真空度・RFパワー・温度・時間等の条件を管理
することにより、薄膜をエッチングする機能を有する装
置（第１図（ａ），（ｂ）における、プロセスデータを
設定・変更する４つの場合について示している。
ス流量・真空度・RFパワー・温度・時間等の条件を管理
することにより、薄膜をエッチングする機能を有する装
置（第１図（ａ），（ｂ）における、プロセスデータを
設定・変更する４つの場合について示している。
（１） プロセス条件は対象となる製品により異なり、
その名称を英数字６文字で表わし、前半３文字をプロセ
ス条件のグルーピングに使用する。新たな製品に対する
プロセス条件を作成する場合、オペレータは装置に対し
て入力装置１でもってプロセス条件名を入力する。装置
は第３図のプロセスデータ設定フローチャートに従い、
入力された条件名の前半３文字をキーワードとしてプロ
セスデータのデータベース（第２図）を検索し類似デー
タを表示装置２でもって表示する。一方、キーワードに
対するプロセスデータが無い場合は、補助記憶３にあら
かじめ登録されている固定のプロセスデータを表示す
る。オペレータは表示されたプロセスデータに対し、入
力装置１でもって変更したいパラメータのみを変更する
ことにより、新しいプロセスデータを登録することがで
きる。
その名称を英数字６文字で表わし、前半３文字をプロセ
ス条件のグルーピングに使用する。新たな製品に対する
プロセス条件を作成する場合、オペレータは装置に対し
て入力装置１でもってプロセス条件名を入力する。装置
は第３図のプロセスデータ設定フローチャートに従い、
入力された条件名の前半３文字をキーワードとしてプロ
セスデータのデータベース（第２図）を検索し類似デー
タを表示装置２でもって表示する。一方、キーワードに
対するプロセスデータが無い場合は、補助記憶３にあら
かじめ登録されている固定のプロセスデータを表示す
る。オペレータは表示されたプロセスデータに対し、入
力装置１でもって変更したいパラメータのみを変更する
ことにより、新しいプロセスデータを登録することがで
きる。
（２） 装置運転時に製品のエッチング速度、均一性に
再現がなくなった場合のプロセスデータ変更についての
不具合対策フローチャート第４図に基き説明する。製品
に対する不具合とその原因と考えられるプロセスデータ
のパラメータおよびその度合いが、不具合−対策テーブ
ル（第５図）に登録されている。オペレータは不具合発
生時に、装置に対して入力装置１でもって不具合対策を
選択すると、第６図に示すように、不具合項目ガイダン
スが表示装置２によって表示される。次に、不具合項目
と不具合度合を入力すると不具合−対策テーブルが検索
され、プロセスデータの変更すべきパラメータと内容を
表示（第７図）する。オペレータは、表示されたパラメ
ータと内容をもとにプロセスデータを変更する。
再現がなくなった場合のプロセスデータ変更についての
不具合対策フローチャート第４図に基き説明する。製品
に対する不具合とその原因と考えられるプロセスデータ
のパラメータおよびその度合いが、不具合−対策テーブ
ル（第５図）に登録されている。オペレータは不具合発
生時に、装置に対して入力装置１でもって不具合対策を
選択すると、第６図に示すように、不具合項目ガイダン
スが表示装置２によって表示される。次に、不具合項目
と不具合度合を入力すると不具合−対策テーブルが検索
され、プロセスデータの変更すべきパラメータと内容を
表示（第７図）する。オペレータは、表示されたパラメ
ータと内容をもとにプロセスデータを変更する。
（３） （２）の場合において、不具合項目は一致した
が度合が一致しない場合（第８図）は、不具合−対策テ
ーブルにおいて入力された度合の前後の度合とその変更
すべきパラメータ内容から補間計算し、入力された度合
に対する適したパラメータと内容を表示（第９図）す
る。
が度合が一致しない場合（第８図）は、不具合−対策テ
ーブルにおいて入力された度合の前後の度合とその変更
すべきパラメータ内容から補間計算し、入力された度合
に対する適したパラメータと内容を表示（第９図）す
る。
（４） （２）の場合において２種類の不具合とその度
合が入力された場合、複数種類の不具合−対策テーブル
（第10図）を、フローチャート（第11図）に従い検索
し、不具合に対する変更パラメータを決定する。先ず、
不具合の種類数から種類毎のテーブル４を決定し、その
第１不具合を検索することにより最終段の不具合対策テ
ーブル４を決定する。このテーブル４において不具合項
目と不具合度合を検索し変更パラメータ５を決定する。
この変更すべきパラメータ５と内容を表示（第12図）す
る。オペレータは表示されたパラメータ５と内容をもと
にプロセスデータを変更する。
合が入力された場合、複数種類の不具合−対策テーブル
（第10図）を、フローチャート（第11図）に従い検索
し、不具合に対する変更パラメータを決定する。先ず、
不具合の種類数から種類毎のテーブル４を決定し、その
第１不具合を検索することにより最終段の不具合対策テ
ーブル４を決定する。このテーブル４において不具合項
目と不具合度合を検索し変更パラメータ５を決定する。
この変更すべきパラメータ５と内容を表示（第12図）す
る。オペレータは表示されたパラメータ５と内容をもと
にプロセスデータを変更する。
発明の効果 以上のように本発明によれば、プロセスデータが複雑
化し多量になっても、異なる品種と不具合に応じたプロ
セスデータを容易にしかも短時間に決定することができ
る。
化し多量になっても、異なる品種と不具合に応じたプロ
セスデータを容易にしかも短時間に決定することができ
る。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例に用いた装置
の概略図とブロック図、第２図はプロセスデータベース
の概念図、第３図は、プロセスデータ設定のフローチャ
ート、第４図は不具合対策のフローチャート、第５図は
不具合一対策テーブル図、第６図から第９図は不具合項
目入力による変更パラメータ決定画面の説明図、第10図
は複数種類の不具合一対策テーブル図、第11図は複数種
類不具合対策フローチャート、第12図は複数種類不具合
発生時の変更パラメータ決定画面の説明図である。 １……入力装置、２……表示装置、３……補助記憶、４
……不具合対策テーブル、５……変更パラメータ。
の概略図とブロック図、第２図はプロセスデータベース
の概念図、第３図は、プロセスデータ設定のフローチャ
ート、第４図は不具合対策のフローチャート、第５図は
不具合一対策テーブル図、第６図から第９図は不具合項
目入力による変更パラメータ決定画面の説明図、第10図
は複数種類の不具合一対策テーブル図、第11図は複数種
類不具合対策フローチャート、第12図は複数種類不具合
発生時の変更パラメータ決定画面の説明図である。 １……入力装置、２……表示装置、３……補助記憶、４
……不具合対策テーブル、５……変更パラメータ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−25419（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−296108（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−182715（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G05B 23/02
Claims (2)
- 【請求項１】生産中にプロセスに不具合を生じた時、入
力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメータ
とその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策テ
ーブルから検索して表示する方法であって、不具合の項
目は一致しても、度合が一致しない場合、パラメータの
変更内容を、前後の値から判断し、決定された変更内容
を表示することを特徴とするプロセスデータの設定方
法。 - 【請求項２】生産中にプロセスに不具合を生じた時、入
力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメータ
とその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策テ
ーブルから検索して表示する方法であって、複数の不具
合とその度合が入力された場合、各々の不具合と変更内
容を決定する際、単一の不具合とその度合から単一の変
更項目とその内容を判断するのではなく、複数の不具合
とその度合から、ひとつひとつの変更内容とその内容を
決定して表示することを特徴とするプロセスデータの設
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1325041A JP2858663B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | プロセスデータの設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1325041A JP2858663B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | プロセスデータの設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03185504A JPH03185504A (ja) | 1991-08-13 |
| JP2858663B2 true JP2858663B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=18172492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1325041A Expired - Fee Related JP2858663B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | プロセスデータの設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2858663B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3847457B2 (ja) * | 1998-06-17 | 2006-11-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP2009033198A (ja) * | 2008-10-14 | 2009-02-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置、膜の形成方法、及びプロセスレシピの作成方法 |
| JP5698576B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2015-04-08 | メタウォーター株式会社 | グラフ編集型シミュレーション装置、グラフ編集型シミュレーションプログラム、及びプラント維持管理システム |
-
1989
- 1989-12-14 JP JP1325041A patent/JP2858663B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03185504A (ja) | 1991-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |