JP2851738B2 - イメージセンサ素子収納用パッケージ - Google Patents
イメージセンサ素子収納用パッケージInfo
- Publication number
- JP2851738B2 JP2851738B2 JP4014836A JP1483692A JP2851738B2 JP 2851738 B2 JP2851738 B2 JP 2851738B2 JP 4014836 A JP4014836 A JP 4014836A JP 1483692 A JP1483692 A JP 1483692A JP 2851738 B2 JP2851738 B2 JP 2851738B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image sensor
- sensor element
- package
- base member
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
使用される画像情報を電気信号に変換するイメージセン
サ素子を収容するためのイメージセンサ素子収納用パッ
ケージの改良に関するものである。
メージセンサー素子を収容するためのイメージセンサー
素子収納用パッケージは、アルミナセラミックス等の電
気絶縁材料より成り、上面中央部にイメージセンサー素
子を収容するための凹部及び該凹部周辺から外周部にか
けて導出するメタライズ配線層を有するパッケージ本体
と前記メタライズ配線層の外周部位に銀ロウ等のロウ材
を介して取着された外部リード端子とガラス、サファイ
ア、樹脂等の透光性材料より成る透光性蓋体とから構成
され、前記パッケージ本体の凹部底面にイメージセンサ
ー素子を接着剤を介して接着固定するとともにイメージ
センサー素子の各電極をボンディングワイヤーを介して
メタライズ配線層に接続し、しかる後、パッケージ本体
の上面に透光性蓋体を樹脂等から成る封止材を介して接
合させ内部にイメージセンサー素子を気密に封止するこ
とによってイメージセンサー装置となる。
ケージにおけるパッケージ本体は、例えばアルミナセラ
ミックスから成る場合、アルミナ、シリカ、カルシア、
マグネシア等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加
混合してセラミックスラリーとなし、これをドクターブ
レード法を採用することによってセラミックグリーンシ
ート(セラミック生シート)を得、しかる後、前記セラ
ミックグリーンシートを複数枚積層するとともにこれを
還元雰囲気中、約1600℃の温度で焼成することによ
って製作される。
来のイメージセンサー素子収納用パッケージは、イメー
ジセンサー素子を収容するパッケージ本体がセラミック
グリーンシートを複数枚積層するとともにし、これを焼
成することによって製作されており、焼成時の収縮によ
って約100μm程度の反りが発生していること及び近
時、イメージセンサー素子の長さが、80mm以上の長
いものとなってきていること等からパッケージ本体の凹
部底面にイメージセンサー素子を接着固定し、パッケー
ジ内部にイメージセンサー素子を収容した場合、イメー
ジセンサー素子がパッケージ本体の凹部底面に傾いて固
定され、その結果、イメージセンサー素子と画像情報と
が対向せず、イメージセンサー素子における画像情報の
電気信号への変換が極めて不正確なものとなるという欠
点を有していた。
本体の凹部底面を平面研削板等を使用した機械研削法に
よって研削し、平坦なものとなすことが考えられる。
凹部底面の全周が側壁で囲まれており、該側壁によって
平面研削板の凹部底面への当接が阻害され、その結果、
パッケージ本体の凹部底面を完全に平坦となすことは実
質上、不可であった。
ので、その目的は、パッケージ本体の凹部底面を平面研
削板等を使用した機械研削法で容易に平坦となし、イメ
ージセンサー素子をパッケージ本体の凹部底面に傾きな
く搭載固定してイメージセンサー素子における画像情報
の電気信号への変換を極めて正確なものとなすことがで
きるイメージセンサー素子収納用パッケージを提供する
ことにある。
体と透光性蓋体とから成り、内部にイメージセンサ素子
を収容するための空所を有するイメージセンサ素子収納
用パッケージであって、前記パッケージ本体は底部と相
対向する一対の壁部とを有する基体部材と、相対向する
一対の壁部材とから構成され、且つ前記基体部材の底部
の反りが50μm以下であることを特徴とするものであ
る。
る。図1は本発明のイメージセンサ素子収納用パッケー
ジの一実施例を示す平面図、図2は図1に示すパッケー
ジの断面図、図3は図1に示すパッケージのパッケージ
本体の分解斜視図であり、1は基体部材、2は壁部材、
3は透光性蓋体である。
ンサー素子4を収容するための空所を有するパッケージ
本体5を構成し、また前記パッケージ本体5は透光性蓋
体3とでイメージセンサ素子4を収容するための容器6
を構成する。
一対の壁部1bとを有し、底部1aは概ね長方形で、そ
の上面に長尺のイメージセンサー素子4がガラス、樹脂
等の接着剤を介して搭載固定される。
等の電気絶縁材料から成り、例えば、アルミナセラミッ
クスから成る場合、アルミナ、シリカ、カルシア、マグ
ネシア等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合
してセラミックスラリーとなすとともに、これを従来周
知のドクターブレード法を採用することによってセラミ
ックグリーンシート(セラミック生シート)を得、次に
前記セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を
施すとともにこれを複数枚積層し、約1600℃の温度
で焼結一体化することによって製作される。
研削板等を使用する機械研削法によって反りが50μm
以下に加工されており、これによって基体部材1の底部
1a上に長尺のイメージセンサー素子4を載置固定した
としてもイメージセンサー素子4は底部1aが平坦であ
ることから傾いて載置固定されることはなく、その結
果、イメージセンサー素子4を常に画像情報に対向させ
ることが可能となる。
板等により平坦加工する場合、底部1aの上面部には一
対の相対向する壁部1bが存在するものの該壁部1bは
底部1aの相対向する2つの辺にしか存在しないことか
ら、壁部1bが存在しない方向に平面研削板等を摺動さ
せればその摺動は阻害されることがなく、底部1aの表
面を反りが50μm以下の平坦なものに容易に加工する
ことができる。
が50μmを越えると底部1a上に長さ80mm以上の
長尺なイメージセンサー素子4を搭載固定する際、イメ
ージセンサー素子4が底部1aの反りに起因して斜めに
傾きをもって固定され、イメージセンサー素子4に画像
信号を電気信号に正確に変換させることができなくな
る。従って、前記基体部材1の底部1aはその反りが5
0μm以下のものに限定される。
外周部へかけて導出するメタライズ配線層7が形成され
ており、壁部1bの内壁に位置するメタライズ配線層7
の一端にはイメージセンサー素子4の電極がボンディン
グワイヤー8を介して接続され、またメタライズ金属層
7の外周部に導出された部位には外部リード端子9が銀
ロウ等のロウ材を介して取着される。
イメージセンサー素子4の各電極を外部リード端子9に
電気的に接続する作用を成し、該メタライズ配線層7は
タングステン、モリブデン、マンガン等の高融点金属粉
末により形成されている。
ン、モリブデン、マンガン等の高融点金属粉末に適当な
有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを基体
部材1となるセラミックグリーンシートに予め従来周知
のスクリーン印刷法等により印刷塗布しておくことによ
って基体部材1の壁部1b内壁から外周部にかけて被着
形成される。
る外表面にニッケル、金等の耐食性に優れ、且つ良導電
性の金属をメッキにより1.0乃至20.0μmの厚み
に層着させておくと、メタライズ配線層7が酸化腐食す
るのを有効に防止することができると共にメタライズ配
線層7とボンディングワイヤー8及びメタライズ配線層
7と外部リード端子9との接合を強固なものとなすこと
ができる。従って前記メタライズ配線層7の露出する外
表面にはメタライズ配線層7が酸化腐食するのを有効に
防止すると共にメタライズ配線層7とボンディングワイ
ヤー8及びメタライズ配線層7と外部リード端子9との
接合を強固なものとなすためにニッケル、金等の耐食性
に優れ、且つ両導電性の金属をメッキにより1.0乃至
20.0μmの厚みに層着させておくことが好ましい。
線層7に接合される外部リード端子9はイメージセンサ
ー素子4を外部電気回路に接続する作用を為し、該外部
リード端子9はコバール(Fe−Ni−Co合金)や4
2アロイ(Fe−Ni合金)等の金属材料から成り、銀
ろう等のろう材を介してメタライズ配線層7に接合され
る。
(Fe−Ni−Co合金)から成る場合、該コバール合
金からなるインゴット(塊)に従来周知の圧延加工、プ
レス加工等の金属加工を施すことによって所定形状に形
成される。
ニッケル、金等の耐食性に優れ、且つ良導電性の金属を
メッキにより1.0乃至20.0μmの厚みに層着させ
ておくと外部リード端子9が酸化腐食するのを有効に防
止することができると共に外部リード端子7と外部電気
回路とを強固に接続することが可能となる。従って、前
記外部リード端子9の外表面には外部リード端子9が酸
化腐食するのを防止すると共に外部リード端子9と外部
電気回路とを強固に接続させるためにニッケル、金等の
耐食性に優れ、且つ良導電性の金属をメッキにより1.
0乃至20.0μmの厚みに層着させておくことが好ま
しい。
ズ金属層10が被着形成されており、該メタライズ金属
層10には壁部材2が銀ロウ等のロウ材を介し接合され
ている。
壁部材2を接合させる際の下地金属として作用し、タン
グステン、モリブデン、マンガン等の高融点金属粉末か
らな成り、該タングステン、モリブデン、マンガン等の
高融点金属粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して
得た金属ペーストを基体部材1の端面に従来周知のスク
リーン印刷法等により印刷塗布するとともに高温で焼き
付けることによって基体部材1の端面に被着形成され
る。
部材2はコバール(Fe−Co−Ni合金)、42アロ
イ(Fe−Ni合金)、銅−タングステン等の金属から
成る概ね直方体のブロックであり、基体部材1の端面に
接合させることによって基体部材1の壁部1bと壁部材
2とで内部にイメージセンサー素子4を収容するための
空所を形成する。
−Ni−Co合金)から成る場合は、該コバール合金か
らなるインゴットに従来周知の圧延加工、プレス加工、
研削加工等の金属加工を施すことによって所定形状に形
成される。
ス、サファイア、樹脂等の透光性材料からなる透光性蓋
体3が樹脂等の接着剤を介して接合され、これによって
内部にイメージセンサー素子4が気密に封止される。
に収容するイメージセンサー素子4に照射する作用を為
し、例えばガラスから成る場合、酸化珪素、酸化アルミ
ニウム、酸化カルシウム、酸化バリウム等のガラス成分
粉末を溶融冷却すると共に平板状に加工することによっ
て製作される。
パッケージによれば、パッケージ本体5を構成する基体
部材1の底部1a上にイメージセンサー素子4を搭載固
定すると共に該イメージセンサー素子4の各電極をボン
ディングワイヤー8を介してメタライズ配線層7に電気
的に接続させ、しかる後、パッケージ本体5の上面に透
光性蓋体3を樹脂等の封止材を介して接合させ、内部に
イメージセンサー素子4を気密に封止することによって
最終製品としてのイメージセンサー装置となる。
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種
々の変更は可能である。
ッケージによれば、パッケージ本体を底部と壁部を有す
る基体部材と壁部材とで構成したことから基体部材の底
部上面を平面研削板等により平坦加工する場合、底部の
上面部には一対の相対向する壁部が存在するものの該壁
部は底部の相対向する2つの辺にしか存在せず、壁部が
存在しない方向に平面研削板等を摺動させればその摺動
は阻害されることがない。そのため基体部材の底部を平
面研削板等により容易に平坦加工することがで、底部の
反りを50μm以下の平坦なものとしてその上部に長尺
のイメージセンサー素子を載置固定すれば、イメージセ
ンサー素子を常に画像情報に対向させ、イメージセンサ
ー素子における画像情報の電気信号への変換を極めて正
確なものとなすことができる。
ジの一実施例を示す平面図である。
斜視図である。
Claims (1)
- 【請求項1】パッケージ本体と透光性蓋体とから成り、
内部にイメージセンサ素子を収容するための空所を有す
るイメージセンサ素子収納用パッケージであって、前記
パッケージ本体は底部と相対向する一対の壁部とを有す
る基体部材と、相対向する一対の壁部材とから構成さ
れ、且つ前記基体部材の底部の反りが50μm以下であ
ることを特徴とするイメージセンサ素子収納用パッケー
ジ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4014836A JP2851738B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | イメージセンサ素子収納用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4014836A JP2851738B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | イメージセンサ素子収納用パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05283660A JPH05283660A (ja) | 1993-10-29 |
JP2851738B2 true JP2851738B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=11872124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4014836A Expired - Fee Related JP2851738B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | イメージセンサ素子収納用パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2851738B2 (ja) |
-
1992
- 1992-01-30 JP JP4014836A patent/JP2851738B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05283660A (ja) | 1993-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001356064A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2763446B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2851738B2 (ja) | イメージセンサ素子収納用パッケージ | |
JP2002107254A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2001102502A (ja) | イメージセンサ素子収納用パッケージ | |
JP2750237B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2522374Y2 (ja) | 固体撮像素子収納用パッケージ | |
JP2514094Y2 (ja) | 半導体素子収納用パッケ―ジ | |
JP3181011B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2948956B2 (ja) | センサー素子収納用パッケージ | |
JP3181013B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP3176267B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2549768Y2 (ja) | 固体撮像素子収納用パッケージ | |
JP3406710B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2724083B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2746802B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH04120248U (ja) | 固体撮像素子収納用パツケージ | |
JP2000196050A (ja) | イメージセンサ素子収納用パッケージ | |
JP4637342B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2514911Y2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2728593B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JP2866962B2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージの製造方法 | |
JPH10135434A (ja) | イメージセンサー装置 | |
JPH0723965Y2 (ja) | 半導体素子収納用パッケージ | |
JPH08316363A (ja) | 半導体素子収納用パッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071113 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081113 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091113 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101113 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101113 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111113 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |