JP2850426B2 - Ｉｃハンドラのマガジン供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ICハンドラのアンローダ部における分類部
マガジンポストにマガジンを供給するためのICハンドラ
のマガジン供給装置に関するものである。

［従来の技術］ ICデバイスの試験・測定装置はICテスタとICハンドラ
とから構成される。ICハンドラは、ICデバイスをICテス
タにおけるソケット部に供給して、その電気的特性の試
験・測定を行わせ、また試験・測定後のICデバイスを、
その測定結果に基づいて品質毎に分類分けして収納させ
るためのものであって、ローダ部，測定部及びアンロー
ダ部から構成される。

ローダ部は、ICデバイスの供給機構であって、試験・
測定を行うべきICデバイスを収納するマガジンが装着さ
れて、このマガジンからICデバイスを１個づつ分離して
搬送するようにしている。また、測定部は、ローダ部か
ら送り込まれるICデバイスを所定の位置に位置決めし、
ICテスタのソケットに挿脱する機構である。アンローダ
部は、測定部において試験・測定が収納されたICデバイ
スを、その測定結果に基づいて分類分けして収納するた
めのものである。

ここで、アンローダ部は、アンローダ側搬送部と、振
り分け機構部と、デバイス収納部とからなり、デバイス
収納部には分類部を構成するマガジンポストが複数列設
けられており、これら各マガジンポストにはマガジンが
設置されている。そして、測定部からアンローダ側搬送
部を介してICデバイスが振り分け機構部に搬入される
と、ICテスタからの測定結果に関する信号に基づいて、
該振り分け機構部が当該のICデバイスを収納させるべき
マガジンが設置されているマガジンポストと対面する位
置にまで移行して、そのICデバイスをマガジン内に送り
込むようにしている。

而して、各マガジンポストに設置したマガジン内に順
次ICデバイスが収納されて、収納デバイスが所定数にな
ると、マガジンを交換してアンロード作業を継続しなけ
ればならない。このために、マガジンポスト列に隣接し
た位置にマガジンストッカを設け、このマガジンストッ
カに多数の空マガジンを積み重ねた状態にして収納して
おき、このマガジンストッカの下部からマガジンを１本
ずつ分離して取り出して、マガジンポストに供給するよ
うにしたものは従来から知られている。そして、マガジ
ンストッカから取り出されたマガジンを所定のマガジン
ポストの位置にまで搬送すると共に、デバイス収納済み
のマガジンと交換して設置するためにマガジン供給装置
が設けられる。

このマガジン供給装置としては、一般に、マガジン搬
送手段と、マガジン交換・設置機構とから構成される。

而して、従来技術によるマガジン供給装置にあって
は、そのマガジン搬送手段としては、マガジンストッカ
の位置から、該マガジンストッカから最も離れた位置の
マガジンポストに至るまでの間において、マガジンポス
ト間の間隔毎にマガジンをピッチ送りする手段を有し、
該ピッチ送り手段に空マガジンの搭載部を設けるように
したものが用いられている。

また、マガジンポストへの空マガジンの供給は下方か
ら行われるものであって、所定数のICデバイスが収納さ
れて満杯となったマガジンは順次マガジンポストに沿っ
て上方に積み上げられることになる。しかも、ICデバイ
スの収納作業が行われるマガジンは、振り分け機構部か
らICデバイスを円滑に受け取るようにするために、その
マガジンポストの前方に所定量押し出したデバイス収納
作業位置に設置する必要がある。このために、新たなマ
ガジンと交換する際においては、まず所定数のICデバイ
スが収納された満杯マガジンをデバイス収納作業位置か
らマガジンポスト内にまで引き戻し、然る後にこのマガ
ジンを押し上げて、空マガジンを設置するスペースを確
保した後に、このデバイス収納作業位置に空マガジンの
供給を行うようにしなければならない。そこで、このデ
バイス収納後のマガジンの引き戻し、押し上げ及び新た
なマガジンの設置の各作業を行うためのマガジン交換・
設置機構を、それぞれのマガジンポストの下部に設け、
まず満杯マガジンの引き戻して、マガジンポストに沿っ
て押し上げることによってデバイス収納作業位置を開放
した後に、ピッチ送り手段によって空マガジンを当該の
マガジンポストの下部位置に移行させて、この空マガジ
ンを押し上げることによって、デバイス収納作業位置に
設置するようにしている。

［発明が解決しようとする課題］ 前述したように、満杯マガジンの引き戻し，押し上げ
及び空マガジンの装着の各作業を行うマガジン交換・設
置機構は、マガジンのチャック手段と、チャックしたマ
ガジンを前後方向に変位させる手段及びこのチャック手
段を昇降させる手段とから構成され、しかも満杯マガジ
ンの押し上げストロークと空マガジンを設置する際の押
し上げストロークとは異なるために、このマガジン押し
上げ作業をシリンダを用いて行うようにすると、少なく
とも２本のシリンダを必要とする。

而して、近年においては、ICデバイスの分類分けとし
ては、良品，不良品または良品，再検品，不良品という
ような単純な分類分けだけでなく、良品をさらに複数の
等級に分けることができるようにしたもの要求されるよ
うになってきている。かかる要請に対応するには、分類
分けする数に応じてマガジン交換・設置機構を増やさな
ければならず、このためにマガジン供給装置の全体構成
が著しく複雑となり、シリンダ等の駆動手段を多数必要
とする等部品点数が多くなるという問題点がある。ま
た、ピッチ送り手段によってマガジンの搬送を行うよう
にしているので、マガジンストッカから離れた位置のマ
ガジンポストの位置にマガジンを供給するのに多大の時
間を必要とし、マガジン供給作業の高速化を図れないと
いう欠点もある。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、構
造が簡単で、マガジンの供給速度を高速化することがで
きるようにしたICハンドラのマガジン供給装置を提供す
ることをその目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、マガジン
ストッカと各マガジンポストとの間を往復移動可能な直
線搬送手段を設けて、この直線搬送手段には、デバイス
収納済みのマガジンを押し上げるマガジン押し上げ手段
と、マガジンストッカから空マガジンを取り出して、マ
ガジンポストに設置するためのマガジン設置手段とが装
着され、これらマガジン押し上げ手段及びマガジン設置
手段は、台板と、該各台板に固定的に設けられ、マガジ
ンの前後の両端近傍を支持する支持部と、両支持部間の
位置に設けられ、マガジンを保持するためのチャック部
材とから構成し、またマガジン押し上げ手段におけるチ
ャック部材はマガジンをデバイス収納作業位置から引き
戻すための前後駆動手段に連結し、さらにマガジン設置
手段の台板は下降位置と上昇位置との間に、マガジン押
し上げ手段の台板は下降位置と、マガジン設置手段の台
板の上昇位置と同じ高さ位置と、それより上方の位置と
の２段階の上昇位置との間に、それぞれ個別的に昇降駆
動される昇降駆動手段に連結する構成としたことをその
特徴とするものである。

［作用］ このような構成を採用することによって、まずマガジ
ンストッカから空マガジンをマガジン設置手段に取り出
して、直線搬送手段によってこのマガジン設置手段及び
マガジン押し上げ手段を空マガジンを供給すべきマガジ
ンポストの下部にまで搬送する。そこで、マガジン押し
上げ手段を作動させて、所定数のICデバイスを収納した
満杯マガジンをデバイス収納作業位置から引き戻してこ
のマガジンを押し上げる。この作業が完了すると、直線
搬送手段によってマガジン設置手段をマガジンポストの
下部位置に移行させて、該マガジン設置手段を上昇させ
て、当該マガジンポストにおける所定の高さ位置まで押
し上げる。この状態で、この空マガジンを振り分ける機
構部に接続するデバイス収納作業位置にまで押し出す。
これによって、当該マガジンポストへの空マガジンの供
給が完了する。

このように、デバイス収納後の満杯マガジンの引き戻
し及び押し上げを行うマガジン押し上げ手段と、空マガ
ジンをマガジンポストに設置するマガジン設置手段とを
直線搬送手段に装着するように構成することによって、
ICデバイスを分類分けする種類を多くしても、マガジン
供給装置の構成が格別複雑となることはない。しかも、
空マガジンの送りを直線搬送手段としているから、この
空マガジンの搬送を高速で行うことができるようにな
り、全体としてマガジンの供給速度を高速化することが
できるようになる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

まず、第１図にICデバイスの試験・測定装置の全体構
成を示す。

図中において、ＨはICハンドラ、ＴはICテスタをそれ
ぞれ示し、ICハンドラＨは、ローダ部１と測定部２及び
アンローダ部３から構成される。ローダ部１には、試験
・測定を行うべきICデバイスＤを多数収納したローダ用
マガジン４が搭載されるようになっており、このマガジ
ン４からICデバイスＤを１個ずつ分離して取り出して、
斜め下方に向けて配設したローダ側シュート５に沿って
自重で滑降せしめられるようになっている。そして、こ
のローダ側シュート５の端部にはデバイス方向転換部材
６が設けられており、該デバイス方向転換部材６によっ
てICデバイスＤは垂直方向に向くように方向転換せしめ
られるようになっている。

測定部２はシュートレール７と押動ブロック８とから
なり、このシュートレール７と押動ブロック８との間に
ICデバイスＤの走行路が形成されている。そして、この
走行路の途中位置において、位置決めストッパ９によっ
てICデバイスＤは位置決め停止せしめられるようになっ
ている。このICデバイスＤの停止位置に対面するよう
に、ICテスタＴのソケット10が配設されており、測定部
２に送り込まれたICデバイスＤはシュートレール７と押
動ブロック８との間に挾持された状態で、矢印方向に往
復動せしめられて、このソケット10に接離されるように
なっている。

アンローダ部３は、測定部２で試験・測定が行われた
後に垂直方向に向けて走行するICデバイスＤを斜め下方
に向くように方向転換するためのデバイス方向転換部材
11を有し、該デバイス方向転換部材11により方向転換さ
れたICデバイスＤは、振り分け機構部12を介してデバイ
ス分類分け収納部13に複数例設けたアンローダ用マガジ
ン14のいずれかに収納されるようになっている。この振
り分け機構部12は、デバイス方向転換部材11から試験・
測定済みのICデバイスＤを受け取った後に、当該のICデ
バイスＤを収納させるべきアンローダ用マガジン14に受
け渡すものであるから、該アンローダ用マガジン14の配
列方向に移動可能となっている。

次に、デバイス分類分け収納部13の具体的構成を第２
図に示す。同図から明らかなように、デバイス収納部13
においては、ICデバイスＤを８種類の品質に分類分けし
て収納させるように構成されており、このために、マガ
ジンポスト20が８列設けられている。これら各マガジン
ポスト20は、アンローダ用マガジン14の前後の両端部を
ガイドするガイドポスト20a,20bを有し、前方側のガイ
ドポスト20aの下端部には開口部21が設けられており、
アンローダ用マガジン14のデバイス入口14aの部分がこ
の開口部21を介して振り分け機構部12に接続可能なデバ
イス収納作業位置まで案内面22に沿って導出することが
できるようになっている。また、後方のガイドポスト20
bには、マガジン14を押し出すために、押動ブロック23
が設けられており、該押動ブロック23はシリンダ24によ
って前後動せしめられるようになっている。そして、開
口部21から導出した状態のマガジン14の後端部分を保持
するために、押動ブロック23にはマガジン端支持面23a
を備えている。

マガジンポスト20においては、第３図に示したよう
に、マガジン14は下方から供給されて、その内部に試験
・測定が終了したICデバイスＤを所定数収納すると、こ
の満杯マガジン14を押し上げてデバイス収納作業位置を
開放して、新たな空のマガジン14の供給を可能ならしめ
るようにしている。この空マガジンのデバイス収納作業
位置に供給するスペースを確保し、かつ満杯マガジンを
新たに供給されるマガジンから離間した状態に保持する
ために、マガジンポスト20を構成する両側のガイドポス
ト20a,20bには、その下端部からマガジン14の１個分の
高さ寸法より上方の位置に開設した透孔25にマガジン支
持部材26が装着されている。このマガジン支持部材26
は、軸26aを中心として回動する係止レバー26bを有し、
該係止レバー26bは常時にはばね26cの作用によって透孔
25のエッジ部に当接している。従って、下方からマガジ
ン14を押し上げると、該マガジン14のエッジ部分により
係止レバー26bをばね26cに抗して回動させて、このマガ
ジン支持部材26の位置を通過させることができるように
なっている。そして、マガジン14がマガジン支持部材26
の装着位置を通過すると、係止レバー26bはばね26cの作
用によって透孔25のエッジ部に当接する位置に復帰する
ことになる。この状態でマガジン14に対する押し上げ力
を解除すると、該マガジン14は係止レバー26bに係止し
た状態に保持される。

次に、前述した各マガジンポスト20に空マガジン14を
供給するために、マガジンストッカ27がマガジンポスト
20と並べて設置されている。このマガジンストッカ27
は、マガジンポスト20と同様に、マガジン14の両端部を
ガイドする前後一対のガイドポスト27a,27bを備えてい
る。これら各ガイドポスト27a,27bはマガジンポスト20
より丈高で、しかもこのマガジンストッカ27を２列設け
ることによって、極めて多数の空マガジンを一度に搭載
することができるようになっており、これによって空マ
ガジン搭載作業の頻度を少なくすることができる。そし
て、マガジンストッカ27には、その下端部に空マガジン
を１個ずつ分離して取り出すための分離機構（図示せ
ず）が設けられている。

前述したように、分離機構によって分離されたマガジ
ンを受け取ってマガジンポスト20に装着するために、マ
ガジン供給装置30が設けられる。このマガジン供給装置
30は、ボールねじ送り手段31と、該ボールねじ送り手段
31によって水平搬送されるマガジン設置手段32及びマガ
ジン押し上げ手段33から構成され、これらマガジン設置
手段32及びマガジン押し上げ手段33はボールねじ送り手
段31によって一体的に直線送りされるようになってい
る。ボールねじ送り手段31は、図示しないモータと、こ
のモータによって回転せしめられるねじ軸34と、該ねじ
軸34に嵌合したボールナット35とからなり、該ボールナ
ット35には搬送基台36が連結されている。そして、搬送
基台36は直線搬送手段を構成するものであり、その搬送
方向の左右両側には転動ローラ37が取り付けられてお
り、該各転動ローラ37はガイドレール38に沿って転動せ
しめられるようになっている。これによって、マガジン
設置手段32及びマガジン押し上げ手段33をマガジンスト
ッカ27と各マガジンポスト20との間に変位させ、かつそ
れらを任意の位置で停止させることができるようになっ
ている。

次に、マガジン設置手段32は、第４図に示したよう
に、搬送基台36に設置した昇降駆動手段としてのシリン
ダ40により昇降せしめられる台板41を有し、該台板41上
には空マガジン14を支持する支持部42が前後位置に設け
られており、また中間位置にはマガジン14をチャックす
る一対のチャック部片43,43が設けられ、このチャック
部片43,43はアクチュエータ44によって相互に近接・離
間する方向に変位可能となって、マガジン14の左右両端
部を挾持することができるものであり、これら一対のチ
ャック部片43,43とアクチュエータ44とでチャック部材
が構成される。

また、マガジン押し上げ手段33は、搬送基台36に設け
た昇降駆動手段としてのシリンダ50によって昇降せしめ
られる台板51を有し、該台板51上には満杯マガジン14を
支持する支持部52が前後位置に設けられ、かつ中間位置
にはチャック部片53,53と、該チャック部片53,53を開閉
駆動するアクチュエータ54が設けられている点について
は、マガジン設置手段32と同様である。然るに、このシ
リンダ50は、２段アクションで作動するようになってお
り、これによって下降位置から、デバイス収納作業位置
にある満杯マガジン14を引き戻す位置と、このようにし
て引き戻した満杯マガジン14をマガジンポスト20に沿っ
てマガジン支持部材26より上方位置にまで押し上げる位
置との２段階に台板51を上昇させることができるように
なっている。また、デバイス収納作業位置にまで上昇さ
せて、チャック部片53,53間でマガジン14をチャックし
た後に、該マガジン14を引き戻すために、チャック部片
53及びアクチュエータ54は引き戻しシリンダ55により台
板51の表面に沿って前後動させることができるようにな
っており、この引き戻しシリンダ55が前後動駆動手段で
ある。

本実施例は前述のように構成されるものであって、次
にその作動について説明する。

まず、デバイス分類分け収納部13における各マガジン
ポスト20にそれぞれ空マガジン14を設置する。而して、
この空マガジン14は、その前端部は案内面22上に支持さ
れており、後端部は押動ブロック23のマガジン支持面23
aに当接支持させるようにする。この状態で、ICデバイ
スＤを順次１個ずつローダ部１から測定部２に供給し
て、その試験・測定を行う。このようにして試験・測定
が行われたICデバイスＤはアンローダ部３に送り出され
て、該アンローダ部３に設けた振り分け機構部12によっ
て、試験・測定結果に基づいて、いずれかのマガジンポ
スト20に設置されたマガジン14のデバイス入口14aから
その内部に送り込まれる。

前述した作業を継続している間に、マガジン14は試験
・測定済みのICデバイスＤで満杯状態となる。このよう
に、満杯となったマガジン14は新たな空マガジンと交換
しなければならない。そこで、マガジン14が満杯になる
前の段階で、マガジンストッカ27から空マガジン14を１
個分離してマガジン設置手段32に取り出して、チャック
部片43,43によりチャックさせることによりマガジン14
を安定的に保持するようになし、この状態で、ボールね
じ送り手段31によって、満杯近いマガジン14が設置され
ているマガジンポスト20の下部位置にマガジン押し上げ
手段33が位置するように移行させて、待機させる。

そこで、このマガジン14が満杯になると、まず第６図
（ａ）に示したように、マガジン押し上げ手段33におけ
るシリンダ50を作動させて、台板51に設けた支持部52を
満杯マガジン14が設置されている位置にまで上昇させ
て、チャック部片53によってこの満杯マガジン14をチャ
ックさせて、引き戻しシリンダ55を作動させることによ
りマガジンポスト20を構成するガイドポスト20a,20b間
の位置にまで引き戻す。なお、このときには、シリンダ
24を作動させて押動ブロック23をガイドポスト20bの後
方位置に退避させる。

然る後に、第６図（ｂ）に示したように、シリンダ50
によって台板51をさらに上昇させることによって、この
マガジン押し上げ手段33に支持されている満杯マガジン
14をガイドポスト20a,20bに沿って上昇させて、マガジ
ン支持部材26を通過させる。この状態で、マガジン押し
上げ手段33を下降させると、当該の満杯マガジン14はマ
ガジン支持部材26を構成する係止レバー26bに係止され
ることになって、デバイス収納作業位置が開放される。

そこで、第６図（ｃ）に示したように、ボールねじ送
り手段31によって空マガジン14を搭載したマガジン設置
手段32をこのマガジンポスト20の下部に移行させて、シ
リンダ40によって台板41を上昇させて、その支持部42上
に搭載したマガジン14をデバイス収納作業位置の水準ま
で上昇させる。ここで、マガジン設置手段32は、空のマ
ガジン14を載置したままで、水平方向に移動するが、こ
のマガジン14はチャック部片43,43間に挾持されている
ので、みだりに位置ずれする等のおそれはない。然る後
に、シリンダ24によって押動ブロック23を前進させて、
空マガジン14をガイドポスト20aの開口部21から案内面2
2に沿って押し出して、そのデバイス入口14aが振り分け
機構部12に接続可能な位置となるように変位させたと共
に、マガジン設置手段32を下降させることによって、満
杯マガジンと空マガジンとの交換作業が完了する。

さらに、ボールねじ送り手段31を作動させて、マガジ
ン設置手段32をマガジンストッカ27の下方位置に戻し
て、空マガジン14を受け取り次に満杯近くなっているマ
ガジンが置かれているマガジンポスト20の下部位置に待
機させる。そして、このマガジンが満杯になると、前述
と同様の動作を繰り返すことにより、当該のマガジンポ
ストに空マガジンの供給を行うことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、マガジンストッカか
ら空マガジンを取り出して、この空マガジンを所定のデ
バイス収納作業位置に配置すると共に、このデバイス収
納作業位置に配置されて、デバイスが収納されて満杯に
なったマガジンをマガジンポストに積み重ねる作業を行
うに当って、直線搬送手段にマガジン押し上げ手段とマ
ガジン設置手段とを装着する構成としたので、マガジン
設置手段に空マガジンを取り出して、直線搬送手段をデ
バイスが収納されて満杯になったマガジンの下方部位に
移行させた状態で、まずデバイス収納済みのマガジンを
押し上げ、次いでマガジンストッカから取り出された空
マガジンをマガジンポストに設置することにより、マガ
ジンの交換作業が極めて迅速に行うことができ、またマ
ガジン設置手段を、昇降駆動手段を備えた台板にマガジ
ンの前後の両端近傍を支持する支持部を固定的に設ける
だけでなく、両支持部間の位置にマガジンを保持するた
めのチャック部材を設けることにより、直線搬送手段の
移動中や昇降駆動手段によりマガジンを上昇させる際等
にマガジンがみだりに位置ずれすることがなく、確実に
所定のデバイス収納作業位置に配置でき、一方マガジン
押し上げ手段は、マガジン設置手段と同様、台板，支持
部及びチャック部材で構成されるが、チャック部材はマ
ガジンをデバイス収納作業位置から引き戻すための前後
動駆動手段に連結すると共に、台板を２段階で上昇させ
るようにしているので、デバイス収納作業位置まで押し
出されているマガジンを引き戻した上に確実にマガジン
ポストに供給できるようになり、マガジン押し上げ手段
を構成する各部材と、マガジン設置手段を構成する各部
材との間で部品の共通化が図られるようになり、試験・
測定を行ったICデバイスを分類分けする種類の数に関係
なく、簡単な構成で、極めて迅速に空マガジンを供給す
ることができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はICデバ
イスの試験測定装置の全体構成を示す説明図、第２図は
デバイス分類分け収納部の構成説明図、第３図はマガジ
ンポストとマガジン供給装置との構成を示す部分断面
図、第４図はマガジン設置手段の構成説明図、第５図は
マガジン押し上げ手段の構成説明図、第６図は（ａ），
（ｂ）及び（ｃ）はマガジン供給手段の作動説明図であ
る。 1:ローダ部、2:測定部、3:アンローダ部、12:デバイス
分類分け収納部、14:アンローダ用マガジン、20:マガジ
ンポスト、20a,20b:ガイドポスト、26:マガジン支持部
材、27:マガジンストッカ、30:マガジン供給装置、31:
ボールねじ送り手段、32:マガジン設置手段、33:マガジ
ン押し上げ手段、34:ねじ軸、35:ボールナット、40:シ
リンダ、41:台板、42:支持部、43:チャック部片、44:ア
クチュエータ、50:シリンダ、51:台板、52:支持部、53:
チャック部片、54:アクチュエータ、55:引き戻しシリン
ダ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B65G 57/00 - 61/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試験・測定済みのICデバイスを分類分けし
   て収納させるために、複数列にわたってマガジンが設置
   され、該マガジンをデバイス収納作業位置まで押し出す
   手段を有するマガジンポストと、該各マガジンポストに
   空マガジンを供給するためのマガジンストッカとを有す
   るアンローダ部に設けられ、所定数のICデバイスが収納
   されたマガジンを前記マガジンポストに沿って押し上げ
   て、その下部に空マガジンを供給するためのものにおい
   て、前記マガジンストッカと各マガジンポストとの間に
   往復移動可能な直線搬送手段を設け、該直線搬送手段に
   は、デバイス収納済みのマガジンを押し上げるマガジン
   押し上げ手段と、前記マガジンストッカから空マガジン
   を取り出して、前記マガジンポストに設置するためのマ
   ガジン設置手段とが装着され、これらマガジン押し上げ
   手段及びマガジン設置手段は、台板と、該各台板に固定
   的に設けられ、マガジンの前後の両端近傍を支持する支
   持部と、両支持部間の位置に設けられ、マガジンを保持
   するためのチャック部材とから構成し、かつ前記マガジ
   ン押し上げ手段におけるチャック部材は前記マガジンを
   デバイス収納作業位置から引き戻すための前後動駆動手
   段に連結し、さらに前記マガジン設置手段の台板は下降
   位置と上昇位置との間に、前記マガジン押し上げ手段の
   台板は下降位置と、前記マガジン設置手段の台板の上昇
   位置と同じ高さ位置と、それより上方の位置との２段階
   の上昇位置との間に、それぞれ個別的に昇降駆動される
   昇降駆動手段に連結する構成としたことを特徴とするIC
   ハンドラのマガジン供給装置。