JP2848580B2 - 加圧装置 - Google Patents
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Description
を加圧する加圧装置に関し、より詳しくは液晶表示パネ
ルの欠陥修正に好適な加圧装置に関する。
た表示絵素を選択することにより画面上に表示パターン
を形成する。表示絵素の選択方式として、個々の独立し
た絵素電極を基板上にマトリクス状に配列すると共に、
各絵素電極のそれぞれにTFT等のスイッチング素子を
接続して表示駆動するアクティブマトリクス駆動方式が
あり、この駆動方式によれば高コントラストの表示が可
能である。
晶表示装置は、平面ディスプレイとしての脚光を浴び、
精力的に研究開発が行われ、最近では液晶テレビジョ
ン、ワードプロセッサやコンピュータの端末表示装置等
に実用化されている。
の液晶表示装置は、高度な薄膜形成技術、微細パターン
エッチング技術等が要求されるため、良品率の向上を図
ることが困難であり、そのため製造コストが高くなると
いう問題がある。良品率の向上対策としては、作製され
た液晶表示パネルに欠陥が存在するか否かを検出し、続
いて修正工程でこの欠陥を修正、すなわち欠陥を有する
製品を修正し、最終的に良品として出荷することが試み
られている。
ネルに発生する欠陥の一例として、該液晶表示パネルの
作製中にパネル内に混入した導電性異物に起因するもの
がある。以下にその詳細を説明する。
示媒体としての液晶1を挟持した2枚の基板2、3を貼
り合わせて作製され、液晶(液晶層)1を挟んでベース
基板2の内面側に形成された絵素電極4と、対向基板3
の内面に形成された対向電極5とが向い合う構造になっ
ている。
向電極5の間に導電性異物6が挟まれた状態で、両基板
2、3の貼り合わせが行われると、絵素電極4と対向電
極5が導電性異物6を介して電気的に接続、すなわち短
絡されるため、絵素電極4と対向電極5との間で電気的
な漏洩が恒常的に生じる。すなわち、両者間で電流リー
クが生じる。以下導電性異物6に起因するこのような現
象を上下リークと称する。
電極5間の電圧を制御することで液晶の光透過状態を調
節し、これにより表示の白/黒を見せるものである。従
って、上下リークが発生すると、常に絵素電極4と対向
電極5との間の電位差が0になってしまうため、上下リ
ーク発生部分はノーマリーホワイト方式であれば常に白
表示、ノーマリーブラック方式であれば黒表示となる。
マリーホワイト方式が主流を占めているので、このよう
な表示方式の液晶表示装置では、上下リークが発生して
いる部分は明るい輝点若しくは輝線となり、製品の品質
上大きな欠陥として視認される。
る一般的な欠陥(絵素欠陥)の修正方法として、レーザ
光等を用いて配線パターンやアクティブマトリクス素子
を切断、接続する方式が知られている(例えば、特開平
2−193114号公報、特開平3−209422号公
報、特開平4−37823号公報等に開示)。
よる欠陥を修正することも可能である。すなわち、基板
を通して導電性異物6にレーザ光を照射して導電性異物
6を粉砕すれば上下リークを解消することが可能であ
る。
ーザ光照射による液晶1や基板2、3上の微細加工パタ
ーンに対する損傷が大きいため、レーザ光の照射光量を
アップする上で限界があり、直径30ミクロン以上の導
電性異物6には事実上適用できなかったのが現状であ
る。
するものであり、微細加工パターンに対して悪影響を及
ぼすことなく、直径30ミクロン以上の導電性異物が存
在する場合であっても、このような導電性異物に起因す
る上下リークに伴う欠陥を確実に修正でき、製品の良品
率を格段に向上できる加圧装置を提供することを目的と
する。
正作業を効率よく行える加圧装置を提供することにあ
る。
動的に行うことができる加圧装置を提供することにあ
る。
1電極がパターン形成され弾性変形可能な第1基板と第
2電極がパターン形成された第2基板とを該第1電極と
該第2電極とが液晶を挟んだ状態で貼り合わせて作製さ
れた液晶表示パネルであって、該第1電極と該第2電極
とを電気的に接続する導電性異物が混入した液晶表示パ
ネルを加圧する加圧装置であって、該液晶表示パネルが
載置される平面状のステージと、該ステージに固定支持
された昇降手段と、該第1基板よりも硬度の低い材料で
形成され、該昇降手段により該第1基板に対して接離す
る方向に昇降される加圧ヘッドとを備え、該液晶表示パ
ネルは、該第1基板と該加圧ヘッドとが対向するように
該ステージに載置されており、該加圧ヘッドは、該第1
基板を弾性変形させて撓ませることにより、該導電性異
物を押しつぶして塑性変形させるように該第1基板を加
圧し、そのことにより上記の目的が達成される。
ターン形成され弾性変形可能な第1基板と第2電極がパ
ターン形成された第2基板とを該第1電極と該第2電極
とが液晶を挟んだ状態で貼り合わせて作製された液晶表
示パネルであって、該第1電極と該第2電極とを電気的
に接続する導電性異物が混入した液晶表示パネルを加圧
する加圧装置であって、該液晶表示パネルが載置される
平面状のステージと、該ステージの上方において、該ス
テージの面と平行な第1の方向および該第1の方向と直
交する第2の方向に相対移動可能に支持された昇降手段
と、該第1基板よりも硬度の低い材料で形成され、該昇
降手段により該第1基板に対して接離する方向に昇降さ
れる加圧ヘッドとを備え、該液晶表示パネルは、該第1
基板と該加圧ヘッドとが対向するように該ステージに載
置されており、該加圧ヘッドは、該第1基板を弾性変形
させて撓ませることにより、該導電性異物を押しつぶし
て塑性変形させるように該第1基板を加圧し、そのこと
により上記の目的が達成される。
ルの加圧位置データを求め、該加圧位置データを前記昇
降手段の移動位置を制御する制御装置に与え、前記ステ
ージ上に加工対象の該液晶表示パネルを位置決めした状
態で載置し、該加圧位置データに基づき該制御装置が該
昇降手段の移動位置を制御するようにする。
ターン形成され弾性変形可能な第1基板と第2電極がパ
ターン形成され第2基板とを該第1電極と該第2電極と
が液晶を挟んだ状態で貼り合わせて作製された液晶表示
パネルであって、該第1電極と該第2電極とを電気的に
接続する導電性異物が混入した液晶表示パネルを加圧す
る加圧装置であって、該液晶表示パネルが載置される平
面状のステージと、該ステージを平面内の直交する2軸
方向に移動可能になす移動手段と、該液晶表示パネルの
移動域内の上方に固定支持された昇降手段と、該第1基
板よりも硬度の低い材料で形成され、該昇降手段により
該第1基板に対して接離する方向に昇降される加圧ヘッ
ドとを備え、該液晶表示パネルは、該第1基板と該加圧
ヘッドとが対向するように該ステージに載置されてお
り、該加圧ヘッドは、該第1基板を弾性変形させて撓ま
せることにより、該導電性異物を押しつぶして塑性変形
させるように該第1基板を加圧し、そのことにより上記
の目的が達成される。
ルの加圧位置データを求め、該加圧位置データを前記移
動手段の駆動制御を行う制御装置に与え、前記ステージ
上に加工対象の該液晶表示パネルを位置決めした状態で
載置し、該加圧位置データに基づき該制御装置が該ステ
ージの移動位置を制御するようにする。
識別手段を付加し、かつ装置側に該識別手段を判読する
判読装置を設ける。
ましく、また、前記加圧ヘッドの先端の該液晶パネルに
対する接触面積を10mm2以下に設定するのが好まし
い。該第1基板は、対向基板であり、該第1電極は対向
電極であり、該第2基板は、ベース基板であり、該第2
電極は絵素電極であってもよい。 該第1基板は、ベース
基板であり、該第1電極は絵素電極であり、該第2基板
は、対向基板であり、該第2電極は対向電極であっても
よい。
適当な電気信号を入力して点灯検査を行えば、表示状態
を視認することにより、上下リークの発生している部分
を発見できる。このようにして発見された部分に、例え
ばマーキングを施し、マーキングの施された液晶表示パ
ネルを本発明加圧装置のステージ上に載置する。このと
き、マーキング部が加圧ヘッドの直下に位置するように
する。
段により加圧ヘッドを下降させてマーキング部分に相当
する上側の基板を押圧する。そうすると、液晶表示パネ
ルが弾性変形し、内部の導電性異物が塑性変形する。こ
の状態から加圧ヘッドを上昇すると、液晶表示パネルは
元の形状に復元するものの、塑性変形を生じた導電性異
物は元の形状に復元することはない。従って、加圧を解
除した状態では導電性異物が加圧を加えた側のガラス基
板の内面に形成された電極と非接触状態になるので、導
電性異物に起因する上下リークを解消できる。
表示パネルの基板として多用されるガラス基板を傷つけ
ない程度の硬度を有する、例えばテフロン(デュポン社
の商標名)を用いるとよい。
をステージのステージ面におけるXY2軸方向に相対移
動可能にすると、ステージ上に載置される液晶表示パネ
ルのマーキング位置と加圧ヘッドの位置合わせを迅速、
確実に行える。
長方形状をなすステージ15の長手方向一端部であっ
て、幅方向中央部には、支柱14が立設されている。支
柱14の上端部には水平のシリンダ保持アーム13の一
端部が連結されている。シリンダ保持アーム13の他端
部はステージ15の中央部上方に位置している。シリン
ダ保持アーム13の他端部には、エアーシリンダ11の
基端部が鉛直姿勢で支持されている。エアーシリンダ1
1には圧縮空気供給用のチューブ12の一端部が接続さ
れている。チューブ12の他端部は圧縮空気供給源に接
続されている。
6が進出、退入可能に設けられており、該ロッド16の
先端に加圧ヘッド10が連結されている。加圧ヘッド1
0は全体として円錐形状をなし、先端面は円形に形成さ
れている。先端面の面積は10mm2程度に設定されて
いる。
する上下リークの検査工程を終え、上下リークの発生部
にマーキングが施された液晶表示パネルA(図2参照)
が、マーキング部を加圧ヘッド10の落下位置14に位
置合わせした状態で載置される。ここで、液晶表示パネ
ルAは、図2に示すように、表面に絵素電極4およびバ
スライン7がパターン形成され、その上に配向膜8が形
成されたベース基板2と、パターン形成された対向電極
5上に配向膜9が形成された対向基板3とを、表示媒体
としての液晶1を挟んだ状態で貼り合わして作製され
る。なお、図中6は作製中に液晶表示パネルA内に混入
した導電性異物であり、該導電性異物6を介して絵素電
極4と対向電極5とが電気的に接続し、この部分で上下
リークが発生している。
われ、液晶表示パネルAの信号線に適当な電気信号を入
力し、各絵素に電圧を加えて行われる。すなわち、該液
晶表示パネルAがノーマリホワイト方式であれば、液晶
1に電圧が加えられる正常絵素は黒表示となる。ところ
で、上下リークが起こっている絵素では、対向する基板
2、3は導電性異物6を介して常に短絡していることに
なるので、信号線に入力する電圧、対向電極5の電圧の
両者をどのように変化させても表示状態は常に白表示と
なる。従って、検査員がこの表示状態を視認すれば、上
下リークの発生箇所を目視で確認できる。確認された上
下リーク発生部には、その旨を示すマーキングが施され
る。
エアーシリンダ11内に圧縮空気を供給すると、ロッド
16が進出し、加圧ヘッド10が下降して液晶表示パネ
ルのマーキング部を押圧して、次に述べる上下リークの
修正動作が行われる。このため、加圧ヘッド10の材質
としては、マーキングが施される液晶表示パネルAのガ
ラス基板を傷つけない程度の硬度を有する、例えばテフ
ロンが好ましい。
ついて説明する。上記のようにしてロッド16を進出さ
せて加圧ヘッド10を下降すると、加圧ヘッド10がス
テージ15上に載置された液晶表示パネルAのマーキン
グ部を押圧する。これにより、液晶表示パネルAが図2
(a)に示すように弾性変形する。
を弾性変形させると、図2(a)に示すように、対向基
板2のマーキング部が下方に撓み、導電性異物6を押し
潰してこれを塑性変形させる。
内の圧縮空気を圧縮空気供給源側に戻してロッド16を
退入させて加圧ヘッド10を上昇すると、図2(b)に
示すように対向基板2側が元の状態に復元する。このと
き、塑性変形された導電性異物6は元の状態に復元する
ことはない。従って、加圧を解除した状態では、図2
(b)に示すように、導電性異物6と対向電極5とが非
接触状態になり、対向電極5と絵素電極4の電気的な接
続状態、つまり短絡状態が解除される。この結果、上下
リークが修正される。それ故、加圧工程を終えた液晶表
示パネルAは欠陥のない良品となる。
ンダ11に加える圧縮空気の空気圧を調節することで、
上下リーク修正の最適条件が決定される。表1は修正条
件の検討結果を示す。本発明者等の実験結果によるもの
である。なお、修正動作は、加圧ヘッド10を適当な圧
力で1秒間押し付けて行い、その後の検査は液晶表示パ
ネルAを点灯して行った。
に設定して、液晶表示パネルAを対向基板3側から加圧
すると、欠陥の修正率が90%以上となり、良好な結果
が得られることがわかる。
正成功率は本発明者等による別の実験結果によれば、7
0%強であるとの結果を得た。従って、上下リークの修
正に関しては、本発明の加圧装置を用いた加圧修正方法
のほうが、良品率の向上が図れる利点がある。また、空
気圧を調整するだけで、確実な修正作業が行えるので、
作業が容易になる利点がある。また、簡潔、且つ安価な
装置で実現できる利点もある。
例2を示す。この加圧装置は、加圧ヘッド10をステー
ジ15に対してX−Y直交座標系におけるX、Y2軸方
向、すなわちステージ15面に平行な前後方向及び左右
方向に移動可能なし、これでステージ15上に載置され
る液晶表示パネルAのマーキング位置に対する加圧ヘッ
ド10の位置合わせを迅速、確実に行う構成をとる。以
下にその構成を説明する。
18、18…がそれぞれ立設されており、図上前後方向
に相当する2本のフレーム18、18間には、水平ガイ
ド19、19がそれぞれ架けわたされている。加えて、
水平ガイド19、19間には、前後方向に相当するY軸
方向に往復移動可能にY軸アーム30が設けられてい
る。Y軸アーム30は、例えば図示しないモータによっ
てY軸方向に駆動され、該モータの駆動制御を制御用の
コントローラ(例えば、パーソナルコンピュータ)17
が行う。
交するX軸方向、すなわち左右方向に往復移動可能にな
ったシリンダ支持アーム20が設けられている。シリン
ダ支持アーム20には、上記同様のエアーシリンダ11
が支持され、該エアーシリンダ11のロッド16の先端
に同様の加圧ヘッド10が連結されている。シリンダ支
持アーム20も、不図示のモータによって駆動され、該
モータの駆動制御もコントローラ17によって行われ
る。
た検査済みの液晶表示パネルAをステージ15上に載置
し、Y軸アーム30及びシリンダ支持アーム20をY軸
方向およびX軸方向にそれぞれ所定量移動させれば、エ
アーシリンダ11、つまり加圧ヘッド10をマーキング
位置の鉛直上方位置に位置させることができる。すなわ
ち、この実施例2の加圧装置によれば、液晶表示パネル
Aのマーキング位置に加圧ヘッド10を迅速、確実に位
置合わせでき、その分、効率のよい修正作業が行える利
点がある。
の位置情報を定量化でき、かつこの位置情報をコントロ
ーラ17に伝達する手段を設ければ、マーキング作業が
不要になり、かつ加圧ヘッド10の上下リーク発生位置
に対する位置合わせが自動的に行われるので、修正作業
を更に一層効率よく行える利点がある。
ば検査工程で目視検査される液晶表示パネルAの上にタ
ッチパネル等の位置情報入力デバイスを設け、この位置
情報入力デバイスの上下リーク位置に対応する座標位置
を打点入力すれば定量化された座標データを得ることが
できる。そして、この座標データを検査装置を制御する
制御用のコントローラ(例えば、パーソナルコンピュー
タ)に登録する。
ントローラに一旦登録されたデータをコントローラ17
に伝達するためには、一例として、パソコン通信やフロ
ッピーディスクを用いればよい。すなわち、通信ケーブ
ルを用いたパソコン通信によれば、検査装置制御のコン
トローラと加圧装置制御用のコントローラ17との間の
交信により座標データをコントローラ17に直接データ
登録できる。
は、検査装置用のコントローラによって座標データをフ
ロッピーディスクに書き込み、このフロッピーディスク
をコントローラ17の外部メモリとして利用すればよ
い。
は、以下のようにして行われる。まず、検査工程で上下
リークの発生が確認され、かつその位置の座標データが
コントローラ17に登録された修正対象の液晶表示パネ
ルAをステージ15上に載置する。このとき、液晶表示
パネルAの座標系とステージ15の座標系が一致するよ
うに、液晶表示パネルAのアライメントが行われる。こ
のアライメントは、例えば加圧ヘッド10のホームポジ
ション位置をステージ15の座標原点とし、この位置に
液晶表示パネルAの原点位置(例えば、4隅の内の1
点)を位置合わせすることにより行われる。
トローラ17のRAMに一旦格納された当該修正対象の
液晶表示パネルAに関する上下リーク発生位置の座標デ
ータをコントローラ17が読み出し、該当する液晶表示
パネルAの座標位置に加圧ヘッド10を自動的に位置合
わせすべくモータを駆動制御する。
ダ11を駆動し、ロッド16を降下(進出)させて加圧
ヘッド10を上下リーク発生位置に所定の押圧力で押し
付ける。これにより、上記同様にして上下リークの修正
作業が行われる。修正箇所が複数ある場合は、上記の処
理を繰り返すことにより達成される。
は、液晶表示パネルAに認識番号等の識別手段を付加
し、加圧装置にこの識別手段を判読する判読装置を設け
ればよい。例えば、液晶表示パネルAにパネル番号が文
字や数字で刻印等されている場合には、装置側に数字を
読み取るカメラと、文字を判別できるパターン認識機能
を有するコンピュータを付設すればよい。
晶表示パネルAが搬送されて来ると、カメラの下に液晶
表示パネルAに刻印等されている認識番号を位置合わせ
し、カメラに認識番号を読み取らせる。そして、カメラ
からの情報が与えられたコントローラ17が該当する液
晶表示パネルAの座標データを読み出し、以下上記同様
にして加圧ヘッド10の位置決めを行って修正作業を行
わせる。このような装置構成によれば、修正作業に作業
者が不要になるので、自動化がより一層図れることにな
る。
には、液晶表示パネルAのローダ/アンローダ手段、自
動アライメント機構を付加する構成にすればよい。
例3を示す。この実施例3では、加圧ヘッド10の代わ
りにステージ15をステージ面に平行な互いに直交する
2軸方向に移動可能になし、これにより液晶表示パネル
Aの上下リーク発生位置に対する加圧ヘッド10の位置
合わせを迅速、確実に行う構成をとる。以下にその構成
を具体的に説明する。
イド23、23が所定間隔を隔てて互いに平行に配置さ
れている。走行ガイド23、23上には、X軸アーム2
4、24が互いに平行に、かつY軸方向への移動可能に
支持されている。また、X軸アーム24、24上にはス
テージ15がX軸方向への移動可能に支持されている。
X軸アーム24およびステージ15の移動は図示しない
それぞれのモータにより行われ、これらのモータの駆動
をコントローラ17が駆動制御するようになっている。
は、くの字状をなすシリンダ保持アーム21が立設さ
れ、該アーム21の先端部にエアーシリンダ11が支持
されている。エアーシリンダ11のロッド16の先端に
は上記同様の加圧ヘッド10が連結されている。
表示パネルAがステージ15に載置されると、検査工程
で該液晶表示パネルAに施されたマーキング位置と加圧
ヘッド10の位置合わせを行うべく、コントローラ17
がモータを駆動制御してステージ15をX軸方向および
Y軸方向に所定量に移動させる。
置に対する加圧ヘッド15の位置合わせを迅速、確実に
行える利点がある。
して修正作業の自動化を促進することができる。
混入した液晶表示パネルの修正装置として用いる場合
は、液晶封入状態で修正が出来るため、上下リークに起
因する欠陥の検出が容易であり、かつ修正した結果の確
認も即座にできる。また、修正作業自体も簡単なものに
なる。従って、良品率の向上を図ることができ、製造コ
ストの低減が可能になる。しかも、簡潔かつ安価な構成
の加圧装置で達成できる利点がある。
圧装置によれば、修正作業を迅速、確実に行える利点が
ある。
圧装置によれば、修正作業の自動化を図れる利点があ
る。
ば、自動化をより一層推進できる利点がある。
Claims (9)
- 【請求項1】 第1電極がパターン形成され弾性変形可
能な第1基板と第2電極がパターン形成された第2基板
とを該第1電極と該第2電極とが液晶を挟んだ状態で貼
り合わせて作製された液晶表示パネルであって、該第1
電極と該第2電極とを電気的に接続する導電性異物が混
入した液晶表示パネルを加圧する加圧装置であって、該液晶表示パネルが 載置される平面状のステージと、 該ステージに固定支持された昇降手段と、該第1基板よりも 硬度の低い材料で形成され、該昇降手
段により該第1基板に対して接離する方向に昇降される
加圧ヘッドとを備え、 該液晶表示パネルは、該第1基板と該加圧ヘッドとが対
向するように該ステージに載置されており、 該加圧ヘッドは、該第1基板を弾性変形させて撓ませる
ことにより、該導電性異物を押しつぶして塑性変形させ
るように該第1基板を加圧する、 加圧装置。 - 【請求項2】 第1電極がパターン形成され弾性変形可
能な第1基板と第2電極がパターン形成された第2基板
とを該第1電極と該第2電極とが液晶を挟んだ状態で貼
り合わせて作製された液晶表示パネルであって、該第1
電極と該第2電極とを電気的に接続する導電性異物が混
入した液晶表示パネルを加圧する加圧装置であって、該液晶表示パネルが 載置される平面状のステージと、 該ステージの上方において、該ステージの面と平行な第
1の方向および該第1の方向と直交する第2の方向に相
対移動可能に支持された昇降手段と、該第1基板 よりも硬度の低い材料で形成され、該昇降手
段により該第1基板に対して接離する方向に昇降される
加圧ヘッドとを備え、 該液晶表示パネルは、該第1基板と該加圧ヘッドとが対
向するように該ステージに載置されており、 該加圧ヘッドは、該第1基板を弾性変形させて撓ませる
ことにより、該導電性異物を押しつぶして塑性変形させ
るように該第1基板を加圧する、 加圧装置。 - 【請求項3】 検査工程で前記液晶表示パネルの加圧位
置データを求め、該加圧位置データを前記昇降手段の移
動位置を制御する制御装置に与え、前記ステージ上に加
工対象の該液晶表示パネルを位置決めした状態で載置
し、該加圧位置データに基づき該制御装置が該昇降手段
の移動位置を制御する請求項2記載の加圧装置。 - 【請求項4】 第1電極がパターン形成され弾性変形可
能な第1基板と第2電極がパターン形成され第2基板と
を該第1電極と該第2電極とが液晶を挟んだ状態で貼り
合わせて作製された液晶表示パネルであって、該第1電
極と該第2電極とを電気的に接続する導電性異物が混入
した液晶表示パネルを加圧する加圧装置であって、該液晶表示パネル が載置される平面状のステージと、 該ステージを平面内の直交する2軸方向に移動可能にな
す移動手段と、該液晶表示パネル の移動域内の上方に固定支持された昇
降手段と、該第1基板 よりも硬度の低い材料で形成され、該昇降手
段により該第1基板に対して接離する方向に昇降される
加圧ヘッドとを備え、 該液晶表示パネルは、該第1基板と該加圧ヘッドとが対
向するように該ステージに載置されており、 該加圧ヘッドは、該第1基板を弾性変形させて撓ませる
ことにより、該導電性異物を押しつぶして塑性変形させ
るように該第1基板を加圧する、 加圧装置。 - 【請求項5】 検査工程で前記液晶表示パネルの加圧位
置データを求め、該加圧位置データを前記移動手段の駆
動制御を行う制御装置に与え、前記ステージ上に加工対
象の該液晶表示パネルを位置決めした状態で載置し、該
加圧位置データに基づき該制御装置が該ステージの移動
位置を制御する請求項4記載の加圧装置。 - 【請求項6】 前記液晶表示パネルが識別手段を有し、
該識別手段を判読する判読装置を備えている請求項3又
は請求項5記載の加圧装置。 - 【請求項7】 前記昇降手段がエアーシリンダであり、
前記加圧ヘッドの先端の該液晶パネルに対する接触面積
を10mm2以下に設定した請求項1、請求項2、請求
項3、請求項4、請求項5又は請求項6記載の加圧装
置。 - 【請求項8】 該第1基板は、対向基板であり、 該第1電極は対向電極であり、 該第2基板は、ベース基板であり、 該第2電極は絵素電極である、請求項1、請求項2又は
請求項4記載の加圧装置。 - 【請求項9】 該第1基板は、ベース基板であり、 該第1電極は絵素電極であり、 該第2基板は、対向基板であり、 該第2電極は対向電極である、請求項1、請求項2又は
請求項4記載の加圧装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27196792A JP2848580B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 加圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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