JP3187298B2 - 液晶表示パネル修正装置 - Google Patents
液晶表示パネル修正装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルの生
産工程に関し、更に詳しくはパネル検査工程において、
パネルの欠陥を検出して修復を行う液晶表示パネルの自
動修正装置に関するものである。
産工程に関し、更に詳しくはパネル検査工程において、
パネルの欠陥を検出して修復を行う液晶表示パネルの自
動修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から液晶の電気光学効果を利用して
テレビ画像等を表示する表示素子として、液晶表示パネ
ルが提供されている。この液晶表示パネルは行列状に配
列された多数の絵素電極と、それ印加された電圧に応じ
て光を変調する液晶層とを備えている。近年、このよう
な液晶表示パネルの高品位化に伴い、絵素電極の各々に
ＴＦＴ技術を用いてスイッチング素子を付加し、このス
イッチング素子を介して絵素電極に映像信号を印加する
方法が採られるようになってきている。
テレビ画像等を表示する表示素子として、液晶表示パネ
ルが提供されている。この液晶表示パネルは行列状に配
列された多数の絵素電極と、それ印加された電圧に応じ
て光を変調する液晶層とを備えている。近年、このよう
な液晶表示パネルの高品位化に伴い、絵素電極の各々に
ＴＦＴ技術を用いてスイッチング素子を付加し、このス
イッチング素子を介して絵素電極に映像信号を印加する
方法が採られるようになってきている。
【０００３】しかしながら、このようなスイッチング素
子の形成工程は複雑であり、このため絵素の不良、走査
線および信号線の断線、或いは短絡、更にはスイッチン
グ素子の不良などの発生が問題となってきている。この
ため、この種の不良状態の検査、解析、およびそれに基
づく修正は、最終製品の表示品位向上、歩留り向上を目
指す上で特に重要になっている。
子の形成工程は複雑であり、このため絵素の不良、走査
線および信号線の断線、或いは短絡、更にはスイッチン
グ素子の不良などの発生が問題となってきている。この
ため、この種の不良状態の検査、解析、およびそれに基
づく修正は、最終製品の表示品位向上、歩留り向上を目
指す上で特に重要になっている。
【０００４】液晶表示パネルの検査で判定した不良品
は、絵素欠陥に光エネルギーを照射して不良箇所の切断
および接続をすることにより修正が可能である。しか
し、この時、光エネルギーの照射により金属片が照射部
の周辺に生じ、ＴＦＴ基板とその対向電極との間に電気
的ショートを生じさせることがあった。この電気的ショ
ートを解消するために、液晶表示パネルの両面から修正
箇所に数Ｋｇ／ｃｍ2 の圧力を加える修正方法が用いら
れてきた。また、特開平３−２０９４２２号公報には、
光エネルギーによる液晶表示パネルの欠陥修正方法につ
いて開示されている。これら２つの修正方法は別工程で
行われていた。
は、絵素欠陥に光エネルギーを照射して不良箇所の切断
および接続をすることにより修正が可能である。しか
し、この時、光エネルギーの照射により金属片が照射部
の周辺に生じ、ＴＦＴ基板とその対向電極との間に電気
的ショートを生じさせることがあった。この電気的ショ
ートを解消するために、液晶表示パネルの両面から修正
箇所に数Ｋｇ／ｃｍ2 の圧力を加える修正方法が用いら
れてきた。また、特開平３−２０９４２２号公報には、
光エネルギーによる液晶表示パネルの欠陥修正方法につ
いて開示されている。これら２つの修正方法は別工程で
行われていた。
【０００５】上述したように光エネルギーによる絵素欠
陥修正と加圧修正が別工程になっているため、自動化ラ
インを構成する場合、高精度のステージコントロール機
能を持つ専用装置の開発を個々に行う必要があり、装置
開発期間および設備投資の費用増加、装置台数の増加、
設置スペースの確保および保守作業の増加による生産効
率の低下が問題となっている。
陥修正と加圧修正が別工程になっているため、自動化ラ
インを構成する場合、高精度のステージコントロール機
能を持つ専用装置の開発を個々に行う必要があり、装置
開発期間および設備投資の費用増加、装置台数の増加、
設置スペースの確保および保守作業の増加による生産効
率の低下が問題となっている。
【０００６】そこで、光エネルギーによる絵素欠陥修正
と加圧による修正とを同一工程で処理できるようにする
ことが必要であるが、従来、加圧修正の際に修正対象と
なる液晶表示パネルと加圧修正ヘッドの投入角度を垂直
に保つ必要があるため、加圧支え部分は平坦で、かつ大
きな面積を必要としていた。
と加圧による修正とを同一工程で処理できるようにする
ことが必要であるが、従来、加圧修正の際に修正対象と
なる液晶表示パネルと加圧修正ヘッドの投入角度を垂直
に保つ必要があるため、加圧支え部分は平坦で、かつ大
きな面積を必要としていた。
【０００７】また、従来の加圧修正方法を用いて光エネ
ルギー照射による修正と同一工程で修正するには、目視
点灯および修正後点灯確認に必要なバックライトが修正
動作の物理的障害となること、更に、液晶表示パネルの
端部（シール部等）に加圧修正が必要な場合、同様にプ
ローバーが物理的な障害になることから、別ステージへ
液晶表示パネルを移しかえる必要があった。
ルギー照射による修正と同一工程で修正するには、目視
点灯および修正後点灯確認に必要なバックライトが修正
動作の物理的障害となること、更に、液晶表示パネルの
端部（シール部等）に加圧修正が必要な場合、同様にプ
ローバーが物理的な障害になることから、別ステージへ
液晶表示パネルを移しかえる必要があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は光エ
ネルギーの照射による絵素欠陥修正と加圧による修正と
を同一工程で処理することを可能とし、自動化ラインを
構成する際、装置台数の低減、保守時間の短縮、設置ス
ペースの低減による生産性の向上を図るものである。
ネルギーの照射による絵素欠陥修正と加圧による修正と
を同一工程で処理することを可能とし、自動化ラインを
構成する際、装置台数の低減、保守時間の短縮、設置ス
ペースの低減による生産性の向上を図るものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題に鑑
みなされたもので、液晶表示パネルの絵素欠陥を光エネ
ルギーの照射により修正した後、液晶表示信号を入力し
て修正の成否を確認できる絵素欠陥の修正装置におい
て、修正対象の絵素欠陥を光エネルギーの照射で切断お
よび接続して修正する時に発生する金属片により、ＴＦ
Ｔ基板とカラーフィルターの間に生じる電気的ショート
を修正するために、液晶表示パネルの上下より圧力を加
える修正機能を光エネルギーの照射による修正ステージ
と同一ステージに設ける。
みなされたもので、液晶表示パネルの絵素欠陥を光エネ
ルギーの照射により修正した後、液晶表示信号を入力し
て修正の成否を確認できる絵素欠陥の修正装置におい
て、修正対象の絵素欠陥を光エネルギーの照射で切断お
よび接続して修正する時に発生する金属片により、ＴＦ
Ｔ基板とカラーフィルターの間に生じる電気的ショート
を修正するために、液晶表示パネルの上下より圧力を加
える修正機能を光エネルギーの照射による修正ステージ
と同一ステージに設ける。
【００１０】また、前記修正装置において、パネルシー
ル部等の表示部以外に対して加圧修正が可能となるよう
に、該修正ステージの移動量を補正する機構を設ける。
ル部等の表示部以外に対して加圧修正が可能となるよう
に、該修正ステージの移動量を補正する機構を設ける。
【００１１】即ち、光エネルギー照射により欠陥絵素を
修復する修正装置に、液晶表示パネルのＴＦＴ側端部を
吸着する吸着手段と、前記吸着手段により液晶表示パネ
ルを吸着した状態でプローバーのコンタクトを解除する
手段と、液晶表示パネルの上下から加圧ヘッドと支柱と
で圧力を加える手段と、液晶表示パネルを加圧ヘッドに
対して垂直を保ったまま平面内を移動する手段を設けて
上記課題を解決する。また、ＴＦＴ基板とカラーフィル
ターとを有する液晶表示パネルの絵素欠陥に光エネルギ
ーを照射することで絵素欠陥を修正する照射光修正と、
該照射光修正によりＴＦＴ基板とカラーフィルターの間
に生じる電気的ショートを修正するために、液晶表示パ
ネルに圧力を加える加圧修正と、を同一の修正ステージ
で行う液晶表示パネル修正装置において、前記修正ステ
ージは、液晶表示パネルのＴＦＴ側端部を吸着する吸着
手段と、前記吸着手段により液晶表示パネルを吸着した
状態で、液晶表示パネルに液晶表示信号を入力するプロ
ーバーの液晶表示パネルとのコンタクトを解除する解除
手段と、を有し液晶表示パネルの表示部以外に対して加
圧修正が可能となるように、該修正ステージの移動量を
補正する移動機構とを設け、前記移動機構は、吸着手段
とプローバーとを共に移動するように修正ステージの移
動量を補正することにより、液晶表示パネルの表示部以
外に対する加圧修正を可能とする液晶表示パネル修正装
置にある。
修復する修正装置に、液晶表示パネルのＴＦＴ側端部を
吸着する吸着手段と、前記吸着手段により液晶表示パネ
ルを吸着した状態でプローバーのコンタクトを解除する
手段と、液晶表示パネルの上下から加圧ヘッドと支柱と
で圧力を加える手段と、液晶表示パネルを加圧ヘッドに
対して垂直を保ったまま平面内を移動する手段を設けて
上記課題を解決する。また、ＴＦＴ基板とカラーフィル
ターとを有する液晶表示パネルの絵素欠陥に光エネルギ
ーを照射することで絵素欠陥を修正する照射光修正と、
該照射光修正によりＴＦＴ基板とカラーフィルターの間
に生じる電気的ショートを修正するために、液晶表示パ
ネルに圧力を加える加圧修正と、を同一の修正ステージ
で行う液晶表示パネル修正装置において、前記修正ステ
ージは、液晶表示パネルのＴＦＴ側端部を吸着する吸着
手段と、前記吸着手段により液晶表示パネルを吸着した
状態で、液晶表示パネルに液晶表示信号を入力するプロ
ーバーの液晶表示パネルとのコンタクトを解除する解除
手段と、を有し液晶表示パネルの表示部以外に対して加
圧修正が可能となるように、該修正ステージの移動量を
補正する移動機構とを設け、前記移動機構は、吸着手段
とプローバーとを共に移動するように修正ステージの移
動量を補正することにより、液晶表示パネルの表示部以
外に対する加圧修正を可能とする液晶表示パネル修正装
置にある。
【００１２】本発明によれば、加圧修正作業のために液
晶表示パネルを別ステージに移しかえることなくプロー
バーのコンタクトを解除して、加圧修正時のプローバー
破損を防ぐことができるため、光エネルギー照射による
修正装置に加圧修正機能を付加することができる。
晶表示パネルを別ステージに移しかえることなくプロー
バーのコンタクトを解除して、加圧修正時のプローバー
破損を防ぐことができるため、光エネルギー照射による
修正装置に加圧修正機能を付加することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
１ないし図５を参照して説明する。図１は加圧修正機能
を付加した液晶表示パネル修正装置のシステム構成を示
す図であり、図２は光エネルギー照射による欠陥修復を
示す図であり、図３は加圧修正への移行を示す図であ
り、図４は加圧修正を示す図であり、更に、図５は液晶
表示パネルのシール部の加圧修正を示す図である。
１ないし図５を参照して説明する。図１は加圧修正機能
を付加した液晶表示パネル修正装置のシステム構成を示
す図であり、図２は光エネルギー照射による欠陥修復を
示す図であり、図３は加圧修正への移行を示す図であ
り、図４は加圧修正を示す図であり、更に、図５は液晶
表示パネルのシール部の加圧修正を示す図である。
【００１４】図１に示すように本発明による液晶表示パ
ネル修正装置のシステム構成は液晶表示パネル１の表面
状態を撮影するＣＣＤカメラ２、光エネルギー用光源と
なるレーザヘッド３、加圧修正のための加圧ヘッド４、
レーザヘッド３を駆動する光エネルギー発振器５、レー
ザを制御するレーザコントローラ６、加圧ヘッド４を制
御する加圧ヘッドコントローラ７、ＣＣＤカメラ２によ
る撮影画像を表示する拡大表示装置８、撮影画像を評価
するパターン認識装置９、液晶表示パネル１を搭載し移
動するＸＹステージ１０、ＸＹステージ１０の移動を制
御するＸＹステージコントーラ１１を含んで構成されて
いる。
ネル修正装置のシステム構成は液晶表示パネル１の表面
状態を撮影するＣＣＤカメラ２、光エネルギー用光源と
なるレーザヘッド３、加圧修正のための加圧ヘッド４、
レーザヘッド３を駆動する光エネルギー発振器５、レー
ザを制御するレーザコントローラ６、加圧ヘッド４を制
御する加圧ヘッドコントローラ７、ＣＣＤカメラ２によ
る撮影画像を表示する拡大表示装置８、撮影画像を評価
するパターン認識装置９、液晶表示パネル１を搭載し移
動するＸＹステージ１０、ＸＹステージ１０の移動を制
御するＸＹステージコントーラ１１を含んで構成されて
いる。
【００１５】また、ＣＦ基板１４およびＴＦＴ基板１５
で構成される液晶表示パネル１を固定するＸＹステージ
吸着部１２がＸＹステージ１０の上部に設けられ、ま
た、点灯表示信号を入力するためのプローバー１３がＸ
Ｙステージ１０の下部から、液晶表示パネル１の信号入
力端子に接触するように設置されている。更に、図３に
示すように、支柱１６が加圧ヘッド４と対応して修正装
置の下部に液晶表示パネル１を挟んで設けられている。
で構成される液晶表示パネル１を固定するＸＹステージ
吸着部１２がＸＹステージ１０の上部に設けられ、ま
た、点灯表示信号を入力するためのプローバー１３がＸ
Ｙステージ１０の下部から、液晶表示パネル１の信号入
力端子に接触するように設置されている。更に、図３に
示すように、支柱１６が加圧ヘッド４と対応して修正装
置の下部に液晶表示パネル１を挟んで設けられている。
【００１６】液晶表示パネル１をＴＦＴ基板１５側から
ＸＹステージ１０のＸＹステージ吸着部１２で固定し、
液晶表示パネル１を駆動するための表示信号を入力する
プローバー１３をコンタクトした後、予め本装置を制御
する制御部（図示せず）に登録された絵素欠陥の位置座
標データを基に液晶表示パネル１の欠陥部に光エネルギ
ーを照射するように液晶表示パネル１の位置に移動す
る。光エネルギーはレーザコントローラ６に制御された
光エネルギー発振器５によって駆動されるレーザヘッド
３からのレーザ光によって得られる。
ＸＹステージ１０のＸＹステージ吸着部１２で固定し、
液晶表示パネル１を駆動するための表示信号を入力する
プローバー１３をコンタクトした後、予め本装置を制御
する制御部（図示せず）に登録された絵素欠陥の位置座
標データを基に液晶表示パネル１の欠陥部に光エネルギ
ーを照射するように液晶表示パネル１の位置に移動す
る。光エネルギーはレーザコントローラ６に制御された
光エネルギー発振器５によって駆動されるレーザヘッド
３からのレーザ光によって得られる。
【００１７】光エネルギーの照射による修正が完了後、
図３に示すように液晶表示パネル１はＸＹステージ吸着
部１２に吸着されたまま、プローバー１３のＴＦＴ基板
１５とのコンタクトを解除し、加圧修正に移行する。
図３に示すように液晶表示パネル１はＸＹステージ吸着
部１２に吸着されたまま、プローバー１３のＴＦＴ基板
１５とのコンタクトを解除し、加圧修正に移行する。
【００１８】加圧修正は、まず、修正対象となる液晶表
示パネル１をＸＹステージ１０により、加圧修正位置座
標と光エネルギー照射位置座標との差分を光エネルギー
で修正した絵素欠陥位置座標に加算し、その値に基づい
て加圧修正位置座標へ移動する。
示パネル１をＸＹステージ１０により、加圧修正位置座
標と光エネルギー照射位置座標との差分を光エネルギー
で修正した絵素欠陥位置座標に加算し、その値に基づい
て加圧修正位置座標へ移動する。
【００１９】図４は加圧修正時の模式図であるが、絵素
欠陥に光エネルギーを照射した修正部分に上部から圧力
を加えるための加圧ヘッド４が下降してきて、また、下
部からはこの加圧ヘッド４と対応する位置に支柱１６が
上昇して、支柱１６を液晶表示パネル１の下部に当接さ
せる。このように加圧ヘッド４と支柱１６とで挟んで加
圧し、打ち込みを行って加圧修正が完了するものであ
る。
欠陥に光エネルギーを照射した修正部分に上部から圧力
を加えるための加圧ヘッド４が下降してきて、また、下
部からはこの加圧ヘッド４と対応する位置に支柱１６が
上昇して、支柱１６を液晶表示パネル１の下部に当接さ
せる。このように加圧ヘッド４と支柱１６とで挟んで加
圧し、打ち込みを行って加圧修正が完了するものであ
る。
【００２０】また、特開平３−２０９４２２号公報に
は、光エネルギーを照射し、液晶表示パネルの絵素欠陥
の修正方法について開示されているが、液晶表示部以外
のシール部等に光エネルギーを照射し修正することも考
えられる。しかし、本発明によれば図５に示すように、
液晶表示パネル１の光エネルギー照射による修正と加圧
修正とを行う際、ＸＹステージ吸着部１２から液晶表示
パネル１を離脱することなく行うものであり、従って、
精密モータ１８を駆動して精密モータ軸１７に沿ってＸ
Ｙステージ吸着部１２とプローバー１３の固定台を共に
スライドさせることにより、プローバー１３の位置に関
係なくシール部等の加圧修正も可能とするものである。
は、光エネルギーを照射し、液晶表示パネルの絵素欠陥
の修正方法について開示されているが、液晶表示部以外
のシール部等に光エネルギーを照射し修正することも考
えられる。しかし、本発明によれば図５に示すように、
液晶表示パネル１の光エネルギー照射による修正と加圧
修正とを行う際、ＸＹステージ吸着部１２から液晶表示
パネル１を離脱することなく行うものであり、従って、
精密モータ１８を駆動して精密モータ軸１７に沿ってＸ
Ｙステージ吸着部１２とプローバー１３の固定台を共に
スライドさせることにより、プローバー１３の位置に関
係なくシール部等の加圧修正も可能とするものである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、液
晶表示パネルの生産工程において、検査生産フローの簡
略化および処理時間短縮が実現でき、生産効率の向上に
よる液晶表示パネルの原価低下が実現できる。
晶表示パネルの生産工程において、検査生産フローの簡
略化および処理時間短縮が実現でき、生産効率の向上に
よる液晶表示パネルの原価低下が実現できる。
【図１】本発明による加圧修正機能を付加した液晶表示
パネル修正装置のシステム構成を示す図である。
パネル修正装置のシステム構成を示す図である。
【図２】光エネルギー照射による修正を示す図である。
【図３】加圧修正への移行を示す図である。
【図４】加圧修正を示す図である。
【図５】液晶表示パネルのシール部の加圧修正を示す図
である。
である。
１ 液晶表示パネル ２ ＣＣＤカメラ ３ レーザヘッド ４ 加圧ヘッド ５ 光エネルギー発振器 ６ レーザコントローラ ７ 加圧ヘッドコントーラ ８ 拡大表示装置 ９ パターン認識装置 １０ ＸＹステージ １１ ＸＹステージコントローラ １２ ＸＹステージ吸着部 １３ プローバー １４ ＣＦ基板 １５ ＴＦＴ基板 １６ 支柱 １７ 精密モータ軸 １８ 精密モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−77676（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/136 - 1/1368 G02F 1/13 101
Claims (1)
- 【請求項１】 ＴＦＴ基板とカラーフィルターとを有す
る液晶表示パネルの絵素欠陥に光エネルギーを照射する
ことで絵素欠陥を修正する照射光修正と、該照射光修正
によりＴＦＴ基板とカラーフィルターの間に生じる電気
的ショートを修正するために、液晶表示パネルに圧力を
加える加圧修正と、を同一の修正ステージで行う液晶表
示パネル修正装置において、前記修正ステージは、液晶表示パネルのＴＦＴ側端部を
吸着する吸着手段と、前記吸着手段により液晶表示パネ
ルを吸着した状態で、液晶表示パネルに液晶表示信号を
入力するプローバーの液晶表示パネルとのコンタクトを
解除する解除手段と、を有し 液晶表示パネルの表示部以
外に対して加圧修正が可能となるように、該修正ステー
ジの移動量を補正する移動機構とを設け、 前記移動機構は、吸着手段とプローバーとを共に移動す
るように修正ステージの移動量を補正することにより、
液晶表示パネルの表示部以外に対する加圧修正を可能と
する 液晶表示パネル修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23418795A JP3187298B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 液晶表示パネル修正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23418795A JP3187298B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 液晶表示パネル修正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0980479A JPH0980479A (ja) | 1997-03-28 |
| JP3187298B2 true JP3187298B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=16967048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23418795A Expired - Fee Related JP3187298B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 液晶表示パネル修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3187298B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101339352B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2013-12-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 컬러필터 기판의 검사장치 |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP23418795A patent/JP3187298B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0980479A (ja) | 1997-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |