JP2845968B2 - 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 - Google Patents
光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法Info
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- JP2845968B2 JP2845968B2 JP1210702A JP21070289A JP2845968B2 JP 2845968 B2 JP2845968 B2 JP 2845968B2 JP 1210702 A JP1210702 A JP 1210702A JP 21070289 A JP21070289 A JP 21070289A JP 2845968 B2 JP2845968 B2 JP 2845968B2
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は樹脂立体形状物の形成方法に関するものであ
るが、IC製造用のフォトレジスト等、平面的なリソグラ
フィー等への応用が可能な技術に関するものである。
るが、IC製造用のフォトレジスト等、平面的なリソグラ
フィー等への応用が可能な技術に関するものである。
従来、樹脂の成形は樹脂を常温あるいは加熱後に型に
注入するか、熱又は光等により硬化させる方法が一般的
に行なわれていた。
注入するか、熱又は光等により硬化させる方法が一般的
に行なわれていた。
このため、型となる鋳型の多くは手作業により作製す
る必要があるため工程が煩雑となり、微小又は精密な形
状物を得るための鋳型の作製が困難であるばかりでな
く、作製不可能な複雑形状が存在していた。
る必要があるため工程が煩雑となり、微小又は精密な形
状物を得るための鋳型の作製が困難であるばかりでな
く、作製不可能な複雑形状が存在していた。
また、熱又は光等によって硬化させる方法は、上記の
ような鋳型を必要としない利点があり、樹脂立体形成物
を熱又は光等によって硬化させるには夫々多くの工夫が
講じられているが一長一短であり、工業的に満足できる
ものではなかった。
ような鋳型を必要としない利点があり、樹脂立体形成物
を熱又は光等によって硬化させるには夫々多くの工夫が
講じられているが一長一短であり、工業的に満足できる
ものではなかった。
本発明は上記技術水準に鑑み、樹脂立体形状物を極め
て簡単な光硬化法によって得ることができる方法を提供
しようとするものである。
て簡単な光硬化法によって得ることができる方法を提供
しようとするものである。
本発明は（１）アクリル系又はメタクリル系の光硬化
性樹脂に重合開始剤としてアゾベンゼン系色素、スピラ
ン系色素及びチオインジゴ系色素よりなる群のうちから
選ばれた１種の色素を添加してなることを特徴とする光
硬化性樹脂組成物及び（２）容器内に収納されたアクリ
ル系又はメタクリル系の光硬化性樹脂に重合開始剤とし
てアゾベンゼン系色素、スピラン系色素及びチオインジ
ゴ系色素よりなる群のうちから選ばれた１種の色素を添
加してなる光硬化性樹脂組成物に、波長の異なる２本の
ビームを所望の１点で交差するように照射し、該交差点
の光硬化性樹脂組成物を硬化させると共に、この交差点
を移動させて立体形状を形成することを特徴とする樹脂
立体形状形成方法である。
性樹脂に重合開始剤としてアゾベンゼン系色素、スピラ
ン系色素及びチオインジゴ系色素よりなる群のうちから
選ばれた１種の色素を添加してなることを特徴とする光
硬化性樹脂組成物及び（２）容器内に収納されたアクリ
ル系又はメタクリル系の光硬化性樹脂に重合開始剤とし
てアゾベンゼン系色素、スピラン系色素及びチオインジ
ゴ系色素よりなる群のうちから選ばれた１種の色素を添
加してなる光硬化性樹脂組成物に、波長の異なる２本の
ビームを所望の１点で交差するように照射し、該交差点
の光硬化性樹脂組成物を硬化させると共に、この交差点
を移動させて立体形状を形成することを特徴とする樹脂
立体形状形成方法である。
本発明で使用する光硬化性樹脂組成物は、それに混合
している色素に特殊性があるもので、こゝで用いる色素
は青色光が照射されると青色を通すように変化し、赤色
光が照射されると赤色を通すように変化するもので、赤
色光、青色光を同時に照射すると、どちらの光も吸収す
る性質を有するものである。
している色素に特殊性があるもので、こゝで用いる色素
は青色光が照射されると青色を通すように変化し、赤色
光が照射されると赤色を通すように変化するもので、赤
色光、青色光を同時に照射すると、どちらの光も吸収す
る性質を有するものである。
なお、光硬化性樹脂組成物に照射する２本の光はそれ
ぞれ波長が異なっていれば同様の作用を奏する。従っ
て、樹脂組成物を硬化させるための光は青色光と紫外光
の２種類を使用してもよく、その場合、紫外光が光硬化
性樹脂組成物に照射されると、同樹脂組成物に混合して
いる色素は紫外光を通すように変化し、青色光と紫外光
が同時に照射されると、どちらの光も吸収する。
ぞれ波長が異なっていれば同様の作用を奏する。従っ
て、樹脂組成物を硬化させるための光は青色光と紫外光
の２種類を使用してもよく、その場合、紫外光が光硬化
性樹脂組成物に照射されると、同樹脂組成物に混合して
いる色素は紫外光を通すように変化し、青色光と紫外光
が同時に照射されると、どちらの光も吸収する。
下記に硬化させる樹脂と光重合開始剤となる色素の種
類、量と光の波長（nm）の代表例をあげる。
類、量と光の波長（nm）の代表例をあげる。
上述したように、光硬化に必要な光重合開始剤として
作用する色素としては光異性化を伴う物質、例えば、ア
ゾベンゼン、ｐ−アミノアゾベンゼン等を用いる。この
ことにより、１光線では光硬化反応は起らず、２光線を
同時に照射された部分のみ硬化反応が起こり、空間的に
任意の一点のみを選択的に硬化させることが可能とな
る。このような光学的操作により硬化部位を移動させ、
任意形状物を得ることができる。
作用する色素としては光異性化を伴う物質、例えば、ア
ゾベンゼン、ｐ−アミノアゾベンゼン等を用いる。この
ことにより、１光線では光硬化反応は起らず、２光線を
同時に照射された部分のみ硬化反応が起こり、空間的に
任意の一点のみを選択的に硬化させることが可能とな
る。このような光学的操作により硬化部位を移動させ、
任意形状物を得ることができる。
〔実施例１〕 粘性賦与剤としてヒドロキノンモノメチルエーテル50
0ppmを含む光硬化性樹脂ジペンタエリスリトールモノヒ
ドロキシペンタアクリレートに、1,3,3トリメチルイン
ドリノ−６′−ニトロベンゾピリロスピラン0.01％を混
合し、溶融石英セル中に静置する。波長351.1nm、出力2
00mWのレーザー光と波長514.0nm、出力200mWのレーザー
光を容器中で交差するように照射し、交点部位の光硬化
を行う。
0ppmを含む光硬化性樹脂ジペンタエリスリトールモノヒ
ドロキシペンタアクリレートに、1,3,3トリメチルイン
ドリノ−６′−ニトロベンゾピリロスピラン0.01％を混
合し、溶融石英セル中に静置する。波長351.1nm、出力2
00mWのレーザー光と波長514.0nm、出力200mWのレーザー
光を容器中で交差するように照射し、交点部位の光硬化
を行う。
光学的な操作を行い製作する物体の形状に光の交点部
位を移動させる。その後、硬化した形状物を容器中より
取り出し、メタノール、トルエン等の溶剤で洗浄し、ア
クリル樹脂成形物を得る。
位を移動させる。その後、硬化した形状物を容器中より
取り出し、メタノール、トルエン等の溶剤で洗浄し、ア
クリル樹脂成形物を得る。
〔実施例２〕 粘性賦与剤としてハイドロキノン100ppmを含む光硬化
性樹脂トリメチロールプロパントリメタクリレートにア
ゾベンゼンを0.01％、成形性向上剤としてメタクリル酸
メチル20％を混合し、溶融石英セル中に静置する。波長
365.0nm、出力100mWのランプ光と波長488.0nm、出力500
mWのレーザー光を容器中で交差するように照射し、交点
部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例１
と同様に行い、メタクリル樹脂成形物を得る。
性樹脂トリメチロールプロパントリメタクリレートにア
ゾベンゼンを0.01％、成形性向上剤としてメタクリル酸
メチル20％を混合し、溶融石英セル中に静置する。波長
365.0nm、出力100mWのランプ光と波長488.0nm、出力500
mWのレーザー光を容器中で交差するように照射し、交点
部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例１
と同様に行い、メタクリル樹脂成形物を得る。
〔実施例３〕 ヒドロキノンモノメチルエーテル500ppmを含む光硬化
性樹脂ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートにア
ゾベンゼン系を0.01％を混合し、溶融石英セル中に静置
する。波長351.1nm、出力200mWのレーザー光と波長488.
0nm、出力500mWのレーザー光を容器中で交差するように
照射し、交点部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗
浄を実施例１と同様に行いアクリル樹脂成形物を得る。
性樹脂ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートにア
ゾベンゼン系を0.01％を混合し、溶融石英セル中に静置
する。波長351.1nm、出力200mWのレーザー光と波長488.
0nm、出力500mWのレーザー光を容器中で交差するように
照射し、交点部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗
浄を実施例１と同様に行いアクリル樹脂成形物を得る。
本発明により、従来の方法で必要であった鋳型作製が
不要となり、製作不可能な複雑形状物の製作を可能と
し、微小かつ精密な形状物の作製を容易なものとした。
不要となり、製作不可能な複雑形状物の製作を可能と
し、微小かつ精密な形状物の作製を容易なものとした。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｂ２９Ｃ 35/08 Ｂ２９Ｃ 35/08 Ｂ２９Ｋ 105:24 (56)参考文献 特開 昭63−23238（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−209929（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−73062（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−251227（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B29C 67/00 G03F 7/20
Claims (2)
- 【請求項１】アクリル系又はメタクリル系の光硬化性樹
脂に重合開始剤としてアゾベンゼン系色素、スピラン系
色素及びチオインジゴ系色素よりなる群のうちから選ば
れた１種の色素を添加してなることを特徴とする光硬化
性樹脂組成物。 - 【請求項２】容器内に収納されたアクリル系又はメタク
リル系の光硬化性樹脂に重合開始剤としてアゾベンゼン
系色素、スピラン系色素及びチオインジゴ系色素よりな
る群のうちから選ばれた１種の色素を添加してなる光硬
化性樹脂組成物に、波長の異なる２本のビームを所望の
１点で交差するように照射し、該交差点の光硬化性樹脂
組成物を硬化させると共に、この交差点を移動させて立
体形状を形成することを特徴とする樹脂立体形状形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1210702A JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1210702A JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375127A JPH0375127A (ja) | 1991-03-29 |
| JP2845968B2 true JP2845968B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=16593682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1210702A Expired - Fee Related JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845968B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5080009B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2012-11-21 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 露光方法 |
| DE102018009916A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-07-02 | Karlsruher Institut für Technologie | Parallelisierte 3D-Lithographie mittels mehrstraliger, mehrfarbiger lichtinduzierter Polymerisation |
| EP4224253B1 (en) | 2019-06-06 | 2023-11-15 | Xolo GmbH | Process, apparatus and photoswitchable photoinitiators for locally polymerizing a starting material by dual color photopolymerization and method for volumetric printing of a shaped body |
| CN113253572B (zh) * | 2021-05-14 | 2024-01-19 | 之江实验室 | 一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法 |
-
1989
- 1989-08-17 JP JP1210702A patent/JP2845968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0375127A (ja) | 1991-03-29 |
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