JPH0375127A - 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 - Google Patents
光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法Info
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- JPH0375127A JPH0375127A JP1210702A JP21070289A JPH0375127A JP H0375127 A JPH0375127 A JP H0375127A JP 1210702 A JP1210702 A JP 1210702A JP 21070289 A JP21070289 A JP 21070289A JP H0375127 A JPH0375127 A JP H0375127A
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は樹脂立体形状物の形成方法に関するものである
が、ＩＣ製造用のフォトレジスト等、平面的なリソグラ
フィー等への応用が可能な技術に関するものである。
が、ＩＣ製造用のフォトレジスト等、平面的なリソグラ
フィー等への応用が可能な技術に関するものである。
従来、樹脂の底形は樹脂を常温あるいは加熱後に型に注
入するか、熱又は・光等により硬化させる方法が一般的
に行なわれていた。
入するか、熱又は・光等により硬化させる方法が一般的
に行なわれていた。
このため、型となる鋳型の多くは手作業により作製する
必要があるため工程が煩雑となり、微小又は精密な形状
物を得るための鋳型の作製が困難であるばかりでなく、
作製不可能な複雑形状物用鋳型が存在していた。
必要があるため工程が煩雑となり、微小又は精密な形状
物を得るための鋳型の作製が困難であるばかりでなく、
作製不可能な複雑形状物用鋳型が存在していた。
また、熱又は光等によって硬化させる方法は、上記のよ
うな鋳型を必要としない利点があり、樹脂立体形成物を
熱又は光等によって効果させるには夫々多くの工夫が講
じられているが一長一短であり、工業的に満足できるも
のではなかった。
うな鋳型を必要としない利点があり、樹脂立体形成物を
熱又は光等によって効果させるには夫々多くの工夫が講
じられているが一長一短であり、工業的に満足できるも
のではなかった。
本発明は上記技術水準に鑑み、樹脂立体形状物を極めて
簡単な光硬化法によって得ることができる方法を提供し
ようとするものである。
簡単な光硬化法によって得ることができる方法を提供し
ようとするものである。
本発明は容器内に収納された光硬化型樹脂に、波長の異
なる２本のビームを所望の１点で交差するように照射し
、該交差点の光硬化型樹脂を硬化させると共に、この交
差点を移動させて立体形状を形成することを特徴とする
樹脂立体形状物形成方法である。
なる２本のビームを所望の１点で交差するように照射し
、該交差点の光硬化型樹脂を硬化させると共に、この交
差点を移動させて立体形状を形成することを特徴とする
樹脂立体形状物形成方法である。
本発明で使用する光硬化性樹脂は、それに混合している
色素に特殊性があるもので、こへで用いる色素は青色光
が照射されると青色を通すように変化し、赤色光が照射
されると赤色を通ずように変化するもので、赤色光、青
色光を同時に照射すると、どちらの光も半量ずつ吸収す
る性質を有するものである。
色素に特殊性があるもので、こへで用いる色素は青色光
が照射されると青色を通すように変化し、赤色光が照射
されると赤色を通ずように変化するもので、赤色光、青
色光を同時に照射すると、どちらの光も半量ずつ吸収す
る性質を有するものである。
下記に硬化させる樹脂と光重合開始剤となる色素の種類
、量と光の波長（ｎｍ）の代表例をあげる。
、量と光の波長（ｎｍ）の代表例をあげる。
神化させる樹脂
光重合開始剤（色素）乃び借
光の波長
上述したように、光硬化に必要な光重合開始剤として作
用する色素としては光異性化を伴う物質、例えば、アゾ
ベンゼン、ｐ−アミノアゾベンゼン等を用いる。このこ
とにより、１光線では光硬化反応は起らず、２光線を同
時に照射された部分のみ硬化反応が起こり、空間的に任
意の一点のみを選択的に硬化させることが可能となる。
用する色素としては光異性化を伴う物質、例えば、アゾ
ベンゼン、ｐ−アミノアゾベンゼン等を用いる。このこ
とにより、１光線では光硬化反応は起らず、２光線を同
時に照射された部分のみ硬化反応が起こり、空間的に任
意の一点のみを選択的に硬化させることが可能となる。
このような光学的操作により硬化部位を移動させ、任意
形状物を得ることができる。
形状物を得ることができる。
〔実施例１〕
粘性賦与剤としてヒドロキノンモノメチルエーテル５０
０ ｐｐｍを含む光硬化性樹脂ジペンタエリスリトール
モノヒドロキシペンタアクリレートに、１．３．３）リ
フチルインドリノ−６′ニトロベンゾピリロスピラン０
．０１％を混合し、溶融石英セル中に静置する。波長３
５１．１ｎｍ、出力２００ｍＷのレーザー光と波長５１
４． Ｏｎｍ、出力２００ｍＷのレーザー光を容器中で
交差するように照射し、交点部位の光硬化を行う。
０ ｐｐｍを含む光硬化性樹脂ジペンタエリスリトール
モノヒドロキシペンタアクリレートに、１．３．３）リ
フチルインドリノ−６′ニトロベンゾピリロスピラン０
．０１％を混合し、溶融石英セル中に静置する。波長３
５１．１ｎｍ、出力２００ｍＷのレーザー光と波長５１
４． Ｏｎｍ、出力２００ｍＷのレーザー光を容器中で
交差するように照射し、交点部位の光硬化を行う。
光学的な操作を行い製作する物体の形状に光の交点部位
を移動させる。その後、硬化した形状物を容器中より取
り出し、メタノール、トルエン等の溶剤で洗浄し、アク
リル樹脂成形物を得る。
を移動させる。その後、硬化した形状物を容器中より取
り出し、メタノール、トルエン等の溶剤で洗浄し、アク
リル樹脂成形物を得る。
〔実施例２〕
粘性賦与剤としてハイドロキノン１００ ｐｐｍを含む
光硬化性樹脂トリメチロールプロパントリメタクリレー
トにアゾベンゼンを０，０１％、成形性向上剤としてメ
タクリル酸メチル２０％を混合し、溶融石英セル中に静
置する。波長３６５、 Ｏｎｍ、出力１００ｍ１Ｊのラ
ンプ光と波長４８８゜Ｑ ｎｍ、出力５００ｍＷのレー
ザー光を容器中で交差するように照射し、交点部位の光
硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例１と同様に
行い、メタクリル樹脂成形物を得る。
光硬化性樹脂トリメチロールプロパントリメタクリレー
トにアゾベンゼンを０，０１％、成形性向上剤としてメ
タクリル酸メチル２０％を混合し、溶融石英セル中に静
置する。波長３６５、 Ｏｎｍ、出力１００ｍ１Ｊのラ
ンプ光と波長４８８゜Ｑ ｎｍ、出力５００ｍＷのレー
ザー光を容器中で交差するように照射し、交点部位の光
硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例１と同様に
行い、メタクリル樹脂成形物を得る。
〔実施例３〕
ヒドロキノンモノジチルエーテル５００ ｐｐｍを含む
光硬化性樹脂ジペンタエリスＩＪ ）−ルヘキサアクリ
レートにアゾベンゼンを０．０１％を混合し、溶融石英
セル中に静置する。波長３５１、１ ｎｍ、出力２００
ｍＷのレーザー光と波長４８８．０ ｎｍ、出力５００
ｍＷのレーザー光を容器中で交差するように照射し、交
点部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例
１と同様に行いアクリル樹脂成形物を得る。
光硬化性樹脂ジペンタエリスＩＪ ）−ルヘキサアクリ
レートにアゾベンゼンを０．０１％を混合し、溶融石英
セル中に静置する。波長３５１、１ ｎｍ、出力２００
ｍＷのレーザー光と波長４８８．０ ｎｍ、出力５００
ｍＷのレーザー光を容器中で交差するように照射し、交
点部位の光硬化を行う。光学的な操作及び洗浄を実施例
１と同様に行いアクリル樹脂成形物を得る。
〔発明の効果］
本発明により、従来の方法で必要であった鋳型作製が不
要となり、製作不可能な複雑形状物の製作を可能とし、
微小かつ精密な形状物の作製を容易なものとした。
要となり、製作不可能な複雑形状物の製作を可能とし、
微小かつ精密な形状物の作製を容易なものとした。
Claims (1)
- 容器内に収納された光硬化型樹脂に、波長の異なる２本
のビームを所望の１点で交差するように照射し、該交差
点の光硬化型樹脂を硬化させると共に、この交差点を移
動させて立体形状を形成することを特徴とする樹脂立体
形状物形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1210702A JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1210702A JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375127A true JPH0375127A (ja) | 1991-03-29 |
| JP2845968B2 JP2845968B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=16593682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1210702A Expired - Fee Related JP2845968B2 (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 光硬化性樹脂組成物及びその立体形状物形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845968B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006301591A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-11-02 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 露光装置及び露光方法並びに配線基板の製造方法 |
| WO2020126154A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-25 | Karlsruher Institut für Technologie | Parallelisierte 3d-lithographie mittels mehrstrahliger, mehrfarbiger lichtinduzierter polymerisation |
| WO2020245456A1 (en) | 2019-06-06 | 2020-12-10 | Xolo Gmbh | Process and apparatus for locally polymerizing a starting material by dual color photopolymerization and method for volumetric printing of a shaped body |
| CN113253572A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-13 | 之江实验室 | 一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法 |
-
1989
- 1989-08-17 JP JP1210702A patent/JP2845968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006301591A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-11-02 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 露光装置及び露光方法並びに配線基板の製造方法 |
| WO2020126154A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-25 | Karlsruher Institut für Technologie | Parallelisierte 3d-lithographie mittels mehrstrahliger, mehrfarbiger lichtinduzierter polymerisation |
| WO2020245456A1 (en) | 2019-06-06 | 2020-12-10 | Xolo Gmbh | Process and apparatus for locally polymerizing a starting material by dual color photopolymerization and method for volumetric printing of a shaped body |
| JP2022535843A (ja) * | 2019-06-06 | 2022-08-10 | クソロ ゲーエムベーハー | 二色光重合によって出発材料を局所的に重合するプロセスおよび装置ならびに成形体の体積印刷方法 |
| EP4224253A2 (en) | 2019-06-06 | 2023-08-09 | Xolo GmbH | Process, apparatus and photoswitchable photoinitiators for locally polymerizing a starting material by dual color photopolymerization and method for volumetric printing of a shaped body |
| US11993005B1 (en) | 2019-06-06 | 2024-05-28 | Xolo Gmbh | Process, apparatus and photoswitchable photoinitiators for locally polymerizing a starting material by dual color photopolymerization |
| CN113253572A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-13 | 之江实验室 | 一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法 |
| CN113253572B (zh) * | 2021-05-14 | 2024-01-19 | 之江实验室 | 一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2845968B2 (ja) | 1999-01-13 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |