JP2840815B2 - 電子部品の樹脂封止成形装置 - Google Patents

電子部品の樹脂封止成形装置

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JP2840815B2
JP2840815B2 JP7029948A JP2994895A JP2840815B2 JP 2840815 B2 JP2840815 B2 JP 2840815B2 JP 7029948 A JP7029948 A JP 7029948A JP 2994895 A JP2994895 A JP 2994895A JP 2840815 B2 JP2840815 B2 JP 2840815B2
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
    • B29C45/1468Plants therefor

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、リードフレ
ームに装着したIC,LSI,ダイオード、コンデンサ
ー等の電子部品を樹脂材料によって封止するための樹脂
封止成形装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、トランスファモールド法によ
って電子部品を樹脂封止成形することが行われている
が、この方法には、通常、次のような構成を基本構造と
する樹脂封止成形装置が用いられている。
【0003】即ち、この種の樹脂封止成形装置には、固
定上型と可動下型とを対向配置した一対の金型と、該金
型に配設した樹脂材料供給用のポットと、該ポットに嵌
装した樹脂加圧用のプランジャと、上記金型の型面に対
設したキャビティと、上記ポットとキャビティとの間に
配設した樹脂通路等が備えられている。そして、上記ポ
ット内に樹脂タブレットを供給すると共に、上記キャビ
ティ部の所定位置にリードフレームに装着した電子部品
を供給セットして金型の型締めを行い、更に、上記ポッ
ト内の樹脂タブレットを加熱溶融化すると共に、該溶融
樹脂材料を上記樹脂通路を通して該ポットの側方位置に
配設した所要数のキャビティ内に夫々注入充填させるこ
とにより、該各キャビティ内に嵌装した上記電子部品を
夫々樹脂封止成形するようにしている。
【0004】また、近年、同種の或は異種の成形品(樹
脂封止成形体)を同時に成形する目的で、例えば、図4
に示すように、電子部品を樹脂封止成形するモールディ
ングユニット50を複数個一列に配設して構成した樹脂
封止成形装置が提案されている(図例では4個のモール
ディングユニット50a・50b・50c・50d)。
図4に示す成形装置は、上記各モールディングユニット
50の一方側に配設したローダーユニット51を用い
て、整列された樹脂封止前リードフレーム60及び樹脂
タブレット61を該各モールディングユニット50の所
定位置に供給するように構成されている。また、上記各
モールディングユニット50の他方側に配設したアンロ
ーダーユニット52を用いて、該各モールディングユニ
ット50にて成形後の樹脂封止済リードフレームを取り
出すと共に、該アンローダーユニット52にて一体的に
装設されたクリーナーユニット53及び封止済リードフ
レーム移送ユニット54を用いて、金型の型面をクリー
ニングし、更に、上記封止済リードフレームを次工程に
移送するように構成されている。なお、上記各ユニット
51・52・53・54の各動作はコントローラーユニ
ット58にて連続的に且つ自動的に制御されるように構
成されている。従って、上記した成形装置において、上
記ローダーユニット51の移動領域55は上記各モール
ディングユニット50の一方側において細長いスペース
として設定されると共に、該ローダーユニット51は該
移動領域55内を移動することになり、また、上記した
アンローダーユニット52(及び、クリーナーユニット
53、封止済リードフレーム移送ユニット54)の移動
領域56は上記各モールディングユニット50の他方側
において同様の細長いスペースとして設定されると共
に、上記した各ユニット52・53・54は該移動領域
56内を移動することになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図4に示す
成形装置を用いる場合においては、いずれか1個のモー
ルディングユニット50を何らかの理由で停止して処理
作業を行なうときに、すべてのモールディングユニット
50若しくは上記成形装置全体を停止させなければなら
ないと云った問題が生じることがある。即ち、各モール
ディングユニット50において、成形不良発生等の異常
状態が発生して金型を保守点検しなければならないとき
や、成形品の生産が終了して次の生産のために金型を交
換するとき、或は、金型の型面に付着した樹脂バリを定
期的に除去するようなときにおいて、上記成形装置全体
を停止して当該処理作業を行わなければならない場合が
ある。例えば、モールディングユニット50bに異常が
発生したときは、上記ユニット50bのみを停止して所
要の保守作業を行なえば充分である。しかしながら、こ
のとき、他のユニット(50a・50c・50d)にお
ける成形作業を継続する場合には、ローダーユニット5
1及びアンローダーユニット52はその移動領域55・
56内を移動することになるため、これらのユニット5
1・52が作業位置J・Kにおいて上記保守作業を行な
っている作業者に衝突すると云った作業上の危険性があ
る。従って、上記した危険性を回避する目的で、本来的
には停止させる必要のない他のモールディングユニット
の成形作業を中断させるため、結局、装置全体を停止し
なければならないと云った問題がある。このために、こ
のような装置においては、上記した作業上の危険性を有
すると共に、これを回避する目的で成形装置全体を停止
するときは、全体的な成形品の生産性が低下すると云っ
た弊害がある。
【0006】図4に示したものは、前記したように、複
数個のモールディングユニット50を一列に配設すると
共に、ローダーユニット51やアンローダーユニット5
2の移動領域55・56を、上記モールディングユニッ
ト50列の両側位置に各別に設けるように構成したもの
であるが、図3に示すものは、複数個のモールディング
ユニット30(30a・30b・30c・30d)を一
列に配設すると共に、ローダーユニット6やアンローダ
ーユニット7の移動領域31・32を上記モールディン
グユニット30列の一方側位置のみに設けた構成例であ
る(例えば、特開昭61−148016号公報参照)。
なお、図3に示す構成において、図4に示したものと実
質的に同じ構成部材には、図4に示したものと同じ符号
を付している。図3に示す構成例においては、作業者の
作業位置Hを、上記したアンローダーユニット7等の移
動領域31・32とは反対側となる上記モールディング
ユニット30列の他方側の位置に設定することができる
ので、作業者はこの作業位置Hから各モールディングユ
ニット30に対して所要の保守点検作業を行なうことに
より、上記した作業上の危険性を回避できると云った
点がある。
【0007】そこで、本発明は、例えば、いずれか1個
のモールディングユニットを停止させたときに、上記し
たような作業上の危険性を発生させず、しかも、他のモ
ールディングユニットによる成形品の生産を停止するこ
となく、当該モールディングユニットのみの保守作業等
を行なうことができる電子部品の樹脂封止成形装置を提
供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の技術的課題を解決
するための本発明に係る電子部品の樹脂封止成形装置
は、電子部品を装着した多数枚の樹脂封止前リードフレ
ームの供給ユニットと、上記各樹脂封止前リードフレー
ムを所定方向へ整列させるリードフレーム整列ユニット
と、樹脂タブレットの供給ユニットと、樹脂タブレット
を整列して搬出する樹脂タブレットの搬出ユニットと、
上記した樹脂封止前リードフレーム上の電子部品を樹脂
封止成形するモールディングユニットと、整列させた上
記樹脂封止前リードフレーム及び樹脂タブレットを上記
したモールディングユニットに移送するローダーユニッ
トと、樹脂封止済リードフレームを取り出すアンローダ
ーユニットと、上記各ユニットの各動作を連続的に且つ
自動的に制御するコントローラーユニットとを備えた電
子部品の樹脂封止成形装置であって、四個のモールディ
ングユニットをXY方向へ二行二列として平行に配置す
ると共に、上記したローダーユニット及びアンローダー
ユニットの移動領域を上記各モールディングユニット間
におけるXY方向に各別に配設して構成したことを特徴
とするものである
【0009】
【作用】本発明は、四個のモールディングユニットをX
Y方向へ二行二列として平行に配置すると共に、上記し
たローダーユニット及びアンローダーユニットの移動領
域を上記各モールディングユニット間におけるXY方向
に各別に配設して構成したものであるから、作業者は上
記したアンローダーユニット等の移動領域を避けた安全
な作業位置から各モールディングユニットに対する保守
点検作業等を行なうことができる。 従って、装置の稼働
時において、例えば、いずれか1個のモールディングユ
ニットを停止してその保守点検作業を行なうような場合
であっても、その他のモールディングユニットについて
は各成形品の生産を継続して行なうことができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明を実施例図に基づいて詳細に説
明する。図1は、本発明に係る樹脂封止成形装置であっ
て、その全体構成を概略的に示している。図2は、該成
形装置の要部を示している。
【0011】即ち、図1及び図2に示す成形装置には、
電子部品を装着した樹脂封止前リードフレーム14の供
給ユニット1と、該樹脂封止前リードフレーム14を所
定方向へ整列させるリードフレーム整列ユニット2と、
樹脂タブレット15の供給ユニット3と、樹脂タブレッ
ト15を整列して搬出する樹脂タブレット搬出ユニット
4と、電子部品を樹脂封止成形するモールディングユニ
ット5(5a・5b・5c・5d)と、整列したリード
フレーム14及び樹脂タブレット15を上記モールディ
ングユニット5へ移送するローダーユニット6と、成形
後における樹脂封止済のリードフレームを取り出すアン
ローダーユニット7と、該アンローダーユニット7に一
体的に装設した金型のクリーナーユニット8及び樹脂封
止済リードフレームを移送する移送ユニット9と、樹脂
封止済リードフレームのゲートを除去するディゲーティ
ングユニット10と、ゲートを除去した樹脂封止済リー
ドフレームを個々に係着するピックアップユニット11
と、係着した個々の樹脂封止済リードフレームを各マガ
ジン内に各別に収容するリードフレーム収容ユニット1
2と、上記各ユニットの各動作を連続的に且つ自動的に
制御するためのコントローラーユニット13等が備えら
れている。
【0012】また、図1及び図2に示すように、上記モ
ールディングユニット5には、固定上型16及び該固定
上型16の下部に対向配設され且つ所要の型開閉機構に
より上下駆動される可動下型17とから成る一対の金型
が設けられており、該可動下型17側には複数個のポッ
ト18が設けられている。更に、上記各ポット18には
樹脂タブレット加圧用のプランジャが嵌装され、また、
上下両型16・17にはヒータ等の加熱手段が装設され
ており、また、該上下両型の型面には所要数の樹脂成形
用キャビティが対設され、また、上記各ポットと上記各
キャビティとの間には樹脂通路が配設されている(図示
なし)。従って、上下両型16・17を型締めした状態
で、各ポット内の樹脂タブレット15を加熱溶融化する
と共に、その溶融樹脂材料を上記樹脂通路を通して各キ
ャビティ内に夫々注入充填させることができるように構
成されている。
【0013】また、上記ローダーユニット6には、上記
リードフレーム整列ユニット2にて整列させた樹脂封止
前リードフレーム14(図例では、2枚)と、上記樹脂
タブレット供給ユニット3及び樹脂タブレット搬出ユニ
ット4にて整列搬出させた複数個(図例では3個)の樹
脂タブレット15を上記モールディングユニット5側へ
同時に移送するローダー21が配設されている(図2参
照)。また、該ローダー21は、リードフレーム整列ユ
ニット2の位置とモールディングユニット5の位置へ往
復移動するように設けられると共に、該ローダー21に
て上記モールディングユニット5における可動下型17
の上方に移動して各樹脂封止前リードフレーム14をキ
ャビティ部の所定位置に、また、各樹脂タブレット15
を各ポット18内に夫々供給することができるように設
けられている。なお、上記したローダー(21)におい
ては、これらの両者の移送機構を別体に構成すると共
に、該各移送機構を個々に作動させるような構成を採用
しても差し支えない。
【0014】また、上記したアンローダーユニット7に
は、上記モールディングユニット5にて樹脂成形された
樹脂封止済リードフレームをその上下両型16・17の
外部へ取り出すアンローダー22が配設されている(図
2参照)。また、該アンローダー22は上記モールディ
ングユニット5の位置に対して往復移動するように設け
られている。また、上記したクリーナーユニット8に
は、上記モールディングユニット5における上下両型1
6・17の型面にエアを吹き付けるエアブロー機構と、
該型面の塵埃を吸引除去するバキューム機構(図示な
し)が配設されている。更に、上記クリーナーユニット
8は上記アンローダーユニット7のアンローダー22に
一体化されており、従って、該クリーナーユニット8は
アンローダーユニット7の往復移動に伴って、モールデ
ィングユニット5の位置に対して同時に往復移動するよ
うに設けられている。なお、上記したアンローダーユニ
ット7とクリーナーユニット8とを別体に構成して個々
に作動させるような構成を採用しても差し支えない。
【0015】また、図1に示す成形装置においては、4
個のモールディングユニット5をXY方向へ二行二列と
して平行に配置すると共に、上記したローダーユニット
6及びアンローダーユニット7の移動領域19・20を
上記各モールディングユニット5間におけるXY方向に
各別に配設して構成されている。即ち、図1に示すよう
に、上記したモールディングユニット5aとモールディ
ングユニット5bとを、また、上記したモールディング
ユニット5cとモールディングユニット5dとを夫々X
方向(横方向)へ所要の間隔を保って互いに平行に配設
されている。また、このとき、上記したモールディング
ユニット5aとモールディングユニット5cとを、ま
た、上記したモールディングユニット5bとモールディ
ングユニット5dとは夫々Y方向(縦方向)に所要の間
隔を保って互いに平行にするように配設されている。ま
た、上記モールディングユニット5a・5bとモールデ
ィングユニット5c・5dとの間には上記ローダーユニ
ット6をX方向へ移動させるための移動領域19が設け
られると共に、該ローダーユニット6は該移動領域19
内でX方向へ移動することができるように設けられてい
る。また、上記したローダーユニット6には該移動領域
19内をX方向へ往復動すると共に、後述する作業領域
23へ上下動する適宜な往復動及び上下動機構24が設
けられている。また、上記モールディングユニット5a
・5cとモールディングユニット5b・5dとの間には
上記アンローダーユニット7(及び、クリーナーユニッ
ト8と、樹脂封止済リードフレーム移送ユニット9)を
Y方向へ移動させるための移動領域20が設けられると
共に、該アンローダーユニット7は該移動領域20内で
Y方向へ移動することができるように設けられている。
また、上記したアンローダーユニット7(及び、クリー
ナーユニット8と、樹脂封止済リードフレーム移送ユニ
ット9)には該移動領域20内をY方向へ往復動すると
共に、後述する作業領域23へ上下動する適宜な往復動
及び上下動機構25が設けられている。
【0016】また、図2に示すように、上記した固定上
型16及び可動下型17が型開状態にあるとき、上記両
型16・17間には樹脂成形作業を行なうための作業領
域23が設定されることになる。そして、上記した移動
領域19・20は該作業領域23の上下空間部に各別に
設けられている。例えば、図2に示すように、上記作業
領域23の上空間部には上記ローダーユニット6の移動
領域19が設けられると共に、上記作業領域23の下空
間部には上記アンローダーユニット7(及び、クリーナ
ーユニット8と、樹脂封止済リードフレーム移送ユニッ
ト9)の移動領域20が設けられている。従って、上記
移動領域19を移動してきた該ローダーユニット6は所
定のモールディングユニットの位置で停止して該作業領
域23の位置にまで下降すると共に、該作業領域23内
において、上記モールディングユニットにおける金型
(下型17)の所定位置に封止済リードフレーム14を
セットする等の作業を行なうことができる。また、上記
移動領域20を移動してきたアンローダーユニット7は
所定のモールディングユニットの位置で停止して上記作
業領域23にまで上昇すると共に、該モールディングユ
ニットにおける金型の所定位置から成形された樹脂封止
済リードフレームを取り出す等の作業を行なうことがで
きる。従って、二つの移動領域19・20は互いにその
領域を共有することなく、所謂、立体交差(図1のA位
置)の状態で独立して構成されている。
【0017】また、上記したコントローラーユニット1
3は、上記各ユニットの各動作を連続的に且つ自動的に
制御するものであり、該コントローラーユニット13に
よる電子部品の樹脂封止成形は、例えば、次のようにし
て行われる。
【0018】まず、リードフレーム供給ユニット1にお
いて、樹脂封止前リードフレーム14をリードフレーム
整列ユニット2側へ各別に移送する。次に、リードフレ
ーム整列ユニット2において、上記各樹脂封止前リード
フレーム14を所定の方向へ整列させる。上記各樹脂封
止前リードフレーム14の移送及び整列工程に続いて、
若しくは、該各工程と並行して、樹脂タブレット供給ユ
ニット3と樹脂タブレット搬出ユニット4にて、各樹脂
タブレット15を整列して搬出させる。次に、ローダー
ユニット6におけるローダー21にて上記リードフレー
ム整列ユニット2における各樹脂封止前リードフレーム
14と上記樹脂タブレット供給ユニット3における各樹
脂タブレット15とを係着する。次に、上記ローダーユ
ニット6を図1に示す移動領域19内のBの位置にまで
移動させ、更に、これをモールディングユニット5a
(或は、5c)における上下両型16・17間に移動さ
せると共に、該ローダー21による係着を解いて、上記
各樹脂封止前リードフレーム14を可動下型17におけ
るキャビティ部の所定位置に供給し、且つ、上記各樹脂
タブレット15を各ポット18内に供給する。次に、型
開閉機構により上下両型16・17を型締めすると共
に、各ポット18内の樹脂タブレット15を加熱溶融化
し、該溶融樹脂材料を樹脂通路を通して各キャビティ内
に夫々注入充填させて、該各キャビティ内に嵌装した電
子部品を夫々樹脂封止成形する。
【0019】次に、上記アンローダーユニット7を図1
に示す移動領域20のCの位置にまで移動させ、更に、
これをモールディングユニット5a(或は、5b)にお
ける上下両型16・17間に移動させそのアンローダー
22を介して、樹脂成形された樹脂封止済リードフレー
ム14を外部へ取り出す。また、このとき、該アンロー
ダー22の後退移動時に、クリーナーユニット8におけ
るエアブロー機構及びバキューム機構にて、該上下両型
16・17の型面をエアブロー及びバキュームしながら
該型面の塵埃を剥離吸引して除去することにより、該型
面のクリーニングを同時的に行なうことができる。次
に、アンローダーユニット7にて取り出された樹脂封止
済リードフレーム14を、上記移送ユニット9を介し
て、ディゲーティングユニット10の位置に移送する。
次に、上記ディゲーティングユニット10にて樹脂封止
済リードフレーム14のゲート部分を切断除去する。次
に、上記移送ユニット9にてゲート除去によって分離さ
れた各樹脂封止済リードフレーム14をリードフレーム
収容ユニット12の位置へ移送する。次に、上記ピック
アップユニット11にて切断分離された各樹脂封止済リ
ードフレーム14を各別に係着すると共に、該ピックア
ップユニット11を介して、上記各樹脂封止済リードフ
レーム14を上記収容ユニット12の各ストックマガジ
ン内に各別に収容する。
【0020】従って、例えば、上記モールディングユニ
ット5aを停止して保守作業を行なうような場合、作業
者は図1に示すDの作業位置からその金型(16・1
7)に対する所要の保守作業を行なうことができる。そ
して、この場合、上記作業位置Dと上記移動領域19・
20とは交錯しないので、上記保守作業中の作業者にロ
ーダーユニット6またはアンローダーユニット7が衝突
すると云った事故の発生を防止することができる。更
に、例えば、上記モールディングユニット5aに対する
ローダーユニット6及びアンローダーユニット7の供給
及び取り出し作業を中止させるように制御することによ
って、該モールディングユニット5aとローダーユニッ
ト6及びアンローダーユニット7との係合がなくなるた
め、該モールディングユニット5aの保守作業とは全く
無関係に、他のモールディングユニット5b・5c・5
dによる成形品の生産を続行することができるので、装
置の全てを停止させる場合と較べて生産性を向上させる
ことができる。
【0021】なお、上記したと同様に、上記モールディ
ングユニット5bを停止する場合にはEの作業位置か
ら、また、上記モールディングユニット5cを停止する
場合にはFの作業位置から、また、上記モールディング
ユニット5dを停止する場合にはGの作業位置から作業
者が所要の作業を行なうことができる。そして、これら
の場合においても、上記した作業者とローダーユニット
6またはアンローダーユニット7との衝突事故を防止で
きると共に、生産性の向上を図り得ることは明らかであ
る。
【0022】本発明は、上述した実施例のものに限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、複数のモールディング
ユニットによる樹脂成形時において、例えば、そのいず
れか1個のモールディングユニットを停止させる必要が
ある場合において、それ以外の他のモールディングユニ
ットによる成形品の生産を停止することなく、必要なモ
ールディングユニットについての保守作業等を行なうこ
とができるので、前述したような保守作業者に対する作
業上の危険性と、生産性を低下させると云った弊害を確
実に解消できる電子部品の樹脂封止成形装置を提供する
ことができると云った優れた実用的な効果を奏するもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る樹脂封止成形装置の全体構成を示
す概略平面図である。
【図2】図1に対応する成形装置の要部を示す拡大側面
図であって、ローダーユニットとアンローダーユニット
との二つの移動領域を作業領域の上下空間部に各別に配
設した状態を概略的に示している。
【図3】従来の樹脂封止成形装置の全体構成例を示す概
略平面図である。
【図4】従来の他の樹脂封止成形装置の全体構成例を示
す概略平面図である。
【符号の説明】
1 樹脂封止前リードフレーム供給ユニット 2 リードフレーム整列ユニット 3 樹脂タブレット供給ユニット 4 樹脂タブレット搬出ユニット 5(5a・5b・5c・5d) モールディングユニッ
ト 6 ローダーユニット 7 アンローダーユニット 8 クリーナーユニット 9 樹脂封止済リードフレーム移送ユニット 10 ディゲーティングユニット 11 ピックアップユニット 12 リードフレーム収容ユニット 13 コントローラーユニット 14 樹脂封止前リードフレーム 15 樹脂タブレット 16 固定上型 17 可動下型 18 ポット 19 移動領域 20 移動領域 21 ローダー 22 アンローダー 23 作業領域 24 往復動及び上下動機構 25 往復動及び上下動機構 30(30a・30b・30c・30d) モールディ
ングユニット 31 移動領域 32 移動領域

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を装着した多数枚の樹脂封止前
    リードフレームの供給ユニットと、上記各樹脂封止前リ
    ードフレームを所定方向へ整列させるリードフレーム整
    列ユニットと、樹脂タブレットの供給ユニットと、樹脂
    タブレットを整列して搬出する樹脂タブレットの搬出ユ
    ニットと、上記した樹脂封止前リードフレーム上の電子
    部品を樹脂封止成形するモールディングユニットと、整
    列させた上記樹脂封止前リードフレーム及び樹脂タブレ
    ットを上記したモールディングユニットに移送するロー
    ダーユニットと、樹脂封止済リードフレームを取り出す
    アンローダーユニットと、上記各ユニットの各動作を連
    続的に且つ自動的に制御するコントローラーユニットと
    を備えた電子部品の樹脂封止成形装置であって、四個の
    モールディングユニットをXY方向へ二行二列として平
    行に配置すると共に、上記したローダーユニット及びア
    ンローダーユニットの移動領域を上記各モールディング
    ユニット間におけるXY方向に各別に配設して構成した
    ことを特徴とする電子部品の樹脂封止成形装置。
JP7029948A 1995-01-25 1995-01-25 電子部品の樹脂封止成形装置 Expired - Fee Related JP2840815B2 (ja)

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