JP2840743B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JP2840743B2 JP63078696A JP7869688A JP2840743B2 JP 2840743 B2 JP2840743 B2 JP 2840743B2 JP 63078696 A JP63078696 A JP 63078696A JP 7869688 A JP7869688 A JP 7869688A JP 2840743 B2 JP2840743 B2 JP 2840743B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光学的フィルタを備えた固体撮像装置に関
するものである。
[発明の概要] この発明は、ユニットセル毎に光信号を電気信号に変
換して動作する固体撮像装置において、 固体撮像素子チップと、該固体撮像素子チップの受光
部に対応し、集光レンズが形成された平板マイクロレン
ズとを有し、前記平板マイクロレンズの受光面側に、共
通電極を設け、該共通電極の受光面側に、液晶を介して
透明電極を設けたことにより、 光量調節機能の付与や、感度の低下の防止、並びにコ
ンパクト化が図れコストの低廉化を可能としたものであ
る。
[従来の技術] 従来、この種の固体撮像装置としては、第9図に示す
ように、パッケージ101内に固体撮像素子チップ102を載
置し、該パッケージ101をシールガラス103により封止し
たものがある。また、かゝるシールガラス103に色フィ
ルタが張り合わされたものが知られている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような従来の固体撮像装置にあっ
ては、光量の減水が著しかったり、外部に別途配設され
る光学低域フィルタ(以下、OPLPFと称する)や赤外線
(IR)カットフィルタ等の機構との組合せによりスペー
スが大きくなり、また製造上簡素化が難しいなどの問題
点があった。
本発明は、このような従来の問題点に着目して提案さ
れたものであって、集光機能並びに光量調節機能を有
し、然も感度の低下を防止すると共に、低価格化を期し
得る固体撮像装置を得んとするものである。
[課題を解決するための手段] そこで、本発明は、固体撮像素子チップと、該固体撮
像素子チップの受光部に対応し、集光レンズが形成され
た平板マイクロレンズとを有し、前記平板マイクロレン
ズの受光面側に、共通電極を設け、該共通電極の受光面
側に、液晶を介して透明電極を設けたことを、その解決
手段としている。
[作用] レンズにより、固体撮像素子チップ受光部毎の受光を
ばらつきのないものとなし、光学的フィルタにより、例
えば光量調節機能などを奏する固体撮像装置が可能とな
る。また、レンズ,光学的フィルタ及び固体撮像素子が
チップが一体的に設けられているため、システム構成の
簡易化を可能にする。
[実施例] 以下、本発明に係る固体撮像装置の詳細を図面に示す
各実施例に基づいて説明する。
(第1実施例) 第1図は、第1実施例を示す斜視図である。
本実施例の固体撮像装置は、固体撮像素子チップ1の
受光面側に、集光レンズ(図示省略)が当該固体撮像チ
ップ1の1画素毎に対向するように配置された平板マイ
クロレンズ2に配設されている。また、この平板マイク
ロレンズ2の受光面側には、共通電極3aが設けられたカ
ラー・フィルタ板3が一体に添設されている。そして、
カラー・フィルタ板3の受光面側には、液晶4を介し
て、透明電極5aが敷設されたガラス板5が配設されてい
る。更に、このガラス板5の受光面側には、偏光板6が
配設されて、大略固体撮像装置Aが構成されている。
本実施例にあっては、液晶4の光量調節機能により、
絞り調節が可能となり、良好な感度を得ることが可能と
なる。
(第2実施例) 第2図は、第2実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、固体撮像素子チップ1
と、液晶4を内蔵する平板マイクロレンズ2とを、バン
プ7をもって一体的に設けている。このバンプ7は、固
体撮像素子チップ1側の電極(図示省略)と、平板マイ
クロレンズ2側の配線2aとを接続している。
なお、この平板マイクロレンズ2を取り付けるパッケ
ージについては図示を省略している。
このような構成の固体撮像装置においても、液晶の機
能に基づいて光量調整を行う作用がある。
(第3実施例) 第3図は、第3実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、固体撮像素子チップ1が
ビームリード8を用いて製造されたものであって、この
ビームリード8を平板マイクロレンズ2の裏面に設けら
れている配線2aに接続させることにより、一体化を図っ
ている。
なお、当該平板マイクロレンズ2は、第2実施例と同
様液晶を備えたものである。
(第4実施例) 第4図は、第4実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、固体撮像素子チップ1を
基板9に取り付け、第2実施例と同様に液晶を備えた平
板マイクロレンズ2を光学用接着剤10を介して基板9に
一体に設けられている。なお、平板マイクロレンズ2に
カラー・フィルタを一体的に設けてもよい。また、上記
基板9は、第9図に示すような従来のパッケージ101で
代用しても勿論よい。
(第5実施例) 第5図は、第5実施例を示す断面説明図である。
本実施例の固体撮像装置は、固体撮像素子チップ1と
平板マイクロレンズ2とを対向するように一体的に設け
たものであるが、この平板マイクロレンズ2の受光面側
にはIRカットフィルタ11が、裏面側にはカラー・フィル
タ12が蒸着又は張り合せによって設けられている。ま
た、平板マイクロレンズ2の受光面側には外部から平板
マイクロレンズ2の基板に電解を与えてイオン交換を行
うことにより形成されたOPLPF13が設けられている。
なお、平板マイクロレンズ2の裏面側に設けられてい
るマイクロレンズ2bは、上記OPLPF13と同様に、平板マ
イクロレンズ2の基板に電界を与えて高屈折率イオンと
のイオン交換を行うプロセスにより形成されたものであ
る。
本実施例にあっては、光学的フィルタとして、IRカッ
トフィルタ11,カラー・フィルタ12及びOPLPF13を装置内
に備えており、システム構成を容易にしたものである。
特に、従来のように、上記した光学的フィルタを装置外
部でブロック化して組合せる煩を省略出来る。
また、平板マイクロレンズ2周辺に集積回路装置を搭
載することも容易である。
(第6実施例) 第6図は、第6実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、収容凹部14aを有するパ
ッケージ14内に固体撮像素子チップ1を配設し、該収容
凹部14aの開口段部14bに集光用レンズ(マイクロレンズ
ではない)15を接着し、固体撮像素子チップ1を封入し
た構造である。なお、この集光用レンズ15は、シールガ
ラスとしての機能を有する他、裏面(平坦面)にOPLPF1
3が蒸着により予め形成されており、所望のフィルタ効
果を有している。
また、更に集光用レンズ15にIRカットフィルタ,カラ
ー・フィルタ等を加えることも可能である。
(第7実施例) 第7図は、第7実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、第6実施例と同様なパッ
ケージ14内に固体撮像素子チップ1を配設し、収容凹部
の開口段部14bにシールガラス16を接着して固体撮像素
子チップ1を封入し、更にシールガラス16の外側面に第
6実施例と同様な集光用レンズ15を光学用接着剤10で接
着する。そして、前記シールガラス16はIRカットフィル
タ,OPLPF及びカラー・フィルタを備えていて、各種の光
学的フィルタの機能を備えている。
なお、集光用レンズ15は、非球面のプラスチックレン
ズやフルネルレンズであってもよい。
(第8実施例) 第8図は、第8実施例を示す断面図である。
本実施例の固体撮像装置は、パッケージ14に固体撮像
素子チップ1を配設し、シールガラス16Aで封止した構
造であり、このシールガラス16Aは、第5実施例におけ
る平板マイクロレンズ2と同様にIRカットフィルタ,カ
ラー・フィルタ及びOPLPF並びにマイクロレンズが備わ
っている。
以上、各実施例について説明したが、この他、各種の
設計変更が可能である。
例えば、上記第1実施例〜第4実施例にIRカットフィ
ルタ,OPLPF及びカラー・フィルタのうち少なくとも一つ
付加した構成としても勿論よい。
また、逆に第5実施例〜第8実施例に光学的フィルタ
としての液晶を組み込んだ構成としてもよい。
[発明の効果] 以上の説明より明らかなように、本発明に係る固体撮
像装置にあっては、各種の光学的フィルタが固体撮像素
子チップと一体に設けられており、また、集光機能を有
しているため、光量調節効果や、感度の低下を防止する
効果がある。また、一体的に構成されているため、シス
テムを構成するのを容易となし、製造コストの低廉化を
可能にする効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る固体撮像装置の第1実施例を示す
斜視図、第2図は同第2実施例を示す断面図、第3図は
同第3実施例を示す断面図、第4図は同第4実施例を示
す断面図、第5図は同第5実施例を示す断面図、第6図
は同第6実施例を示す断面図、第7図は同第7実施例を
示す断面図、第8図は同第8実施例を示す断面図、第9
図は従来例を示す断面図である。 1……固体撮像素子チップ、2……平板マイクロレン
ズ、3……カラー・フィルタ板、4……液晶、6……偏
光板、11……IRカットフィルタ、12……カラー・フィル
タ、13……OPLPF。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 27/14 H04N 5/335

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】固体撮像素子チップと、該固体撮像素子チ
    ップの受光部に対応し、集光レンズが形成された平板マ
    イクロレンズとを有し、 前記平板マイクロレンズの受光面側に、共通電極が設け
    られ、該共通電極の受光面側に、液晶を介して透明電極
    が設けられたことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】前記共通電極にカラーフィルタが一体に形
    成されたことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装
    置。
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