JP2819198B2 - 固体レーザ電源装置 - Google Patents
固体レーザ電源装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ電源装置に関し、
詳しくはレーザの励起光源たるキセノンランプやクリプ
トンランプ等の駆動に適したレーザ電源装置に関する。
詳しくはレーザの励起光源たるキセノンランプやクリプ
トンランプ等の駆動に適したレーザ電源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光には用途に合わせた波形制御が
要求される。例えば金属板の溶接に利用される場合、夫
々の板厚、素材、メッキの有無等に合わせて、図２
（Ａ）〜（Ｄ）に示すような様々なレーザ出力の波形制
御が要求される。波形制御はレーザ媒質を励起する光源
の発光波形を制御することに依り行なわれる。
要求される。例えば金属板の溶接に利用される場合、夫
々の板厚、素材、メッキの有無等に合わせて、図２
（Ａ）〜（Ｄ）に示すような様々なレーザ出力の波形制
御が要求される。波形制御はレーザ媒質を励起する光源
の発光波形を制御することに依り行なわれる。
【０００３】発光波形を制御する為の回路の従来例を図
４に示す。この回路は特公昭６３−２００３２号公報に
記載されたものであり、詳細な動作は該公報の記載に依
るとして、この従来の回路では、高周波スイッチＳ１に
依り直流電源を断続して高周波パルス列を作り、コイル
ＬとコンデンサＣから成る平滑回路に依り該高周波パル
ス列から高周波成分を除去する。そしてこの回路では、
高周波スイッチＳ１の断続の時間を変化させる、即ち該
高周波のマーク、スペース比を変化させて所望の輪郭の
パルス列を得るようにしている。
４に示す。この回路は特公昭６３−２００３２号公報に
記載されたものであり、詳細な動作は該公報の記載に依
るとして、この従来の回路では、高周波スイッチＳ１に
依り直流電源を断続して高周波パルス列を作り、コイル
ＬとコンデンサＣから成る平滑回路に依り該高周波パル
ス列から高周波成分を除去する。そしてこの回路では、
高周波スイッチＳ１の断続の時間を変化させる、即ち該
高周波のマーク、スペース比を変化させて所望の輪郭の
パルス列を得るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の回
路は、基本的には、高周波スイッチＳ１の導通時にコイ
ルＬに流れる電流に依り、該コイルＬにエネルギーを蓄
積し、これを該スイッチＳ１の非導通時にコンデンサＣ
に蓄積するというものである。キセノンランプやクリプ
トンランプの駆動には１５０ボルト〜５００ボルトの電
圧とキロワット前後の電力を必要とする。この為コンデ
ンサＣの容量はそのエネルギーを蓄積できるだけの大き
さが必要で、外形が大きく高価なものを用いなければな
らない。
路は、基本的には、高周波スイッチＳ１の導通時にコイ
ルＬに流れる電流に依り、該コイルＬにエネルギーを蓄
積し、これを該スイッチＳ１の非導通時にコンデンサＣ
に蓄積するというものである。キセノンランプやクリプ
トンランプの駆動には１５０ボルト〜５００ボルトの電
圧とキロワット前後の電力を必要とする。この為コンデ
ンサＣの容量はそのエネルギーを蓄積できるだけの大き
さが必要で、外形が大きく高価なものを用いなければな
らない。
【０００５】また、大きなエネルギーが短時間にコンデ
ンサＣに流れるので、ダイオードＤには、許容電流が十
分に大きなものを用いなければならない。従来の回路で
は、多くの場合供給される直流電源電圧より高い電圧は
供給できないから、商用電源を昇圧し直流化するための
変圧器とダイオードが必要であり、それ等も自ずから電
力、電圧に見合った大きなもの、耐圧の高いものが必要
になって来る。
ンサＣに流れるので、ダイオードＤには、許容電流が十
分に大きなものを用いなければならない。従来の回路で
は、多くの場合供給される直流電源電圧より高い電圧は
供給できないから、商用電源を昇圧し直流化するための
変圧器とダイオードが必要であり、それ等も自ずから電
力、電圧に見合った大きなもの、耐圧の高いものが必要
になって来る。
【０００６】更に、従来の回路は、基本的にはコイルＬ
とコンデンサＣからなる共振回路にパルス列を供給する
というものである。従って、その共振周波数とパルス間
隔（周波数）との間にはマッチングが必要であり、パル
ス間隔、デューティ比に対するコイルＬとコンデンサＣ
の値の設定が難しい。これらの値が定められると、パル
ス間隔やデューティ比を自由に変えるということは出来
なくなる。従って、出力波形の制御は出来るとはいうも
のの、任意の波形を自由に生成するということは実際上
困難である。他の方法として、コンデンサバンクの切替
により波形を制御するという方法もあるが、これとても
制御可能なパルス幅や波形は限られている。本願各発明
の目的は、これら従来技術の問題点を解決し、上記制約
が無く、しかも用途に応じて第２の直流の電流波形、電
圧波形又は電力波形を自由に変えられる固体レーザ電源
装置を実現することにある。
とコンデンサＣからなる共振回路にパルス列を供給する
というものである。従って、その共振周波数とパルス間
隔（周波数）との間にはマッチングが必要であり、パル
ス間隔、デューティ比に対するコイルＬとコンデンサＣ
の値の設定が難しい。これらの値が定められると、パル
ス間隔やデューティ比を自由に変えるということは出来
なくなる。従って、出力波形の制御は出来るとはいうも
のの、任意の波形を自由に生成するということは実際上
困難である。他の方法として、コンデンサバンクの切替
により波形を制御するという方法もあるが、これとても
制御可能なパルス幅や波形は限られている。本願各発明
の目的は、これら従来技術の問題点を解決し、上記制約
が無く、しかも用途に応じて第２の直流の電流波形、電
圧波形又は電力波形を自由に変えられる固体レーザ電源
装置を実現することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項１の発明
では、商用交流電源を整流して第１の直流を出力する第
１の整流手段と、前記第１の直流を断続して前記商用交
流電源より高い周波数の高周波電力を発生する断続手段
と、前記高周波電力を変成する変成器と、前記変成され
た高周波電力を整流して第２の直流を出力する第２の整
流手段とを備え、前記第２の直流によりレーザ励起光源
を点灯するレーザ電源装置において、前記第２の直流の
電流波形、電圧波形又は電力波形を予め設定する設定回
路と、前記設定に基づいて前記第２の直流の波形が予め
設定されたものとなるように前記断続手段による第１の
直流の断続で生成されるパルスのパルス幅を制御する制
御手段とを備えることとして、上記課題の解決を図る。
また、請求項２の発明では、商用交流電源を整流して第
１の直流を出力する第１の整流手段と、前記第１の直流
を断続して前記商用交流電源より高い周波数の高周波電
力を発生する断続手段と、前記高周波電力を変成する変
成器と、前記変成された高周波電力を整流して第２の直
流を出力する第２の整流手段とを備え、前記第２の直流
によりレーザ励起光源を点灯するレーザ電源装置におい
て、前記第２の直流の電流波形、電圧波形又は電力波形
を予め設定する設定回路と、前記第２の直流の電圧を検
出する電圧検出手段と、前記第２の直流の電流を検出す
る電流検出手段と、前記設定に基づいて前記第２の直流
の波形が予め設定されたものとなるように前記断続手段
による第１の直流の断続で生成されるパルスのパルス幅
を制御し、かつ前記検出された第２の直流の電圧と電流
をフィードバックして前記第２の直流の波形が予め設定
されたものからずれないように前記パルス幅を調整する
制御手段とを備えることとして、上記課題の解決を図
る。
では、商用交流電源を整流して第１の直流を出力する第
１の整流手段と、前記第１の直流を断続して前記商用交
流電源より高い周波数の高周波電力を発生する断続手段
と、前記高周波電力を変成する変成器と、前記変成され
た高周波電力を整流して第２の直流を出力する第２の整
流手段とを備え、前記第２の直流によりレーザ励起光源
を点灯するレーザ電源装置において、前記第２の直流の
電流波形、電圧波形又は電力波形を予め設定する設定回
路と、前記設定に基づいて前記第２の直流の波形が予め
設定されたものとなるように前記断続手段による第１の
直流の断続で生成されるパルスのパルス幅を制御する制
御手段とを備えることとして、上記課題の解決を図る。
また、請求項２の発明では、商用交流電源を整流して第
１の直流を出力する第１の整流手段と、前記第１の直流
を断続して前記商用交流電源より高い周波数の高周波電
力を発生する断続手段と、前記高周波電力を変成する変
成器と、前記変成された高周波電力を整流して第２の直
流を出力する第２の整流手段とを備え、前記第２の直流
によりレーザ励起光源を点灯するレーザ電源装置におい
て、前記第２の直流の電流波形、電圧波形又は電力波形
を予め設定する設定回路と、前記第２の直流の電圧を検
出する電圧検出手段と、前記第２の直流の電流を検出す
る電流検出手段と、前記設定に基づいて前記第２の直流
の波形が予め設定されたものとなるように前記断続手段
による第１の直流の断続で生成されるパルスのパルス幅
を制御し、かつ前記検出された第２の直流の電圧と電流
をフィードバックして前記第２の直流の波形が予め設定
されたものからずれないように前記パルス幅を調整する
制御手段とを備えることとして、上記課題の解決を図
る。
【０００８】
【作用】即ち、請求項１の発明では、第２の直流の電流
波形、電圧波形又は電力波形を、設定回路により予め設
定する。ここに第２の直流とは、第１の整流手段が商用
交流電源を整流して第１の直流を出力し、これを断続手
段が断続して前記商用交流電源より高い周波数の高周波
電力を発生し、変成器がこれを変成し、その出力を第２
の整流手段が整流して出力したものである。レーザ励起
光源は、この第２の直流で駆動され、制御手段は、前記
設定回路に基づいてこの第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように前記断続手段による第１の直流の
断続で生成されるパルスのパルス幅を制御する。また、
請求項２の発明でも、前記第２の直流の電流波形、電圧
波形又は電力波形を設定回路により予め設定する。前記
第２の直流の電圧が電圧検出手段で検出され、前記第２
の直流の電流が電流検出手段で検出される。制御手段
は、前記設定回路に基づいて前記第２の直流の波形が予
め設定されたものとなるように前記断続手段による第１
の直流の断続で生成されるパルスのパルス幅を制御し、
かつ前記検出された第２の直流の電圧と電流をフィード
バックして前記第２の直流の波形が予め設定されたもの
からずれないように前記パルス幅を調整する。
波形、電圧波形又は電力波形を、設定回路により予め設
定する。ここに第２の直流とは、第１の整流手段が商用
交流電源を整流して第１の直流を出力し、これを断続手
段が断続して前記商用交流電源より高い周波数の高周波
電力を発生し、変成器がこれを変成し、その出力を第２
の整流手段が整流して出力したものである。レーザ励起
光源は、この第２の直流で駆動され、制御手段は、前記
設定回路に基づいてこの第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように前記断続手段による第１の直流の
断続で生成されるパルスのパルス幅を制御する。また、
請求項２の発明でも、前記第２の直流の電流波形、電圧
波形又は電力波形を設定回路により予め設定する。前記
第２の直流の電圧が電圧検出手段で検出され、前記第２
の直流の電流が電流検出手段で検出される。制御手段
は、前記設定回路に基づいて前記第２の直流の波形が予
め設定されたものとなるように前記断続手段による第１
の直流の断続で生成されるパルスのパルス幅を制御し、
かつ前記検出された第２の直流の電圧と電流をフィード
バックして前記第２の直流の波形が予め設定されたもの
からずれないように前記パルス幅を調整する。
【０００９】
【実施例】以下本発明の詳細を図１に示す実施の一例に
基いて説明する。図に於て１は第１の整流手段たる整流
ブロックで、１００又は２００ボルトの単相又は三相の
商用電源ＡＣを整流し、第１の直流ＤＣ１を発生する。
２はコンデンサで、該直流ＤＣ１を平滑する。３は断続
手段たるスイッチング回路で、中央処理装置４から供給
される制御信号ＳＷに従い、トランジスタ５と８の組が
導通している間、変成器９の一次巻線９Ｐに電流＋Ｉ
を、トランジスタ６と７の組が導通している間、変成器
９の一次巻線９Ｐに逆方向の電流−Ｉを通電する。なお
以下の説明に於て、トランジスタ５，８の組は「第１組
トランジスタ」、トランジスタ６，７の組は「第２組ト
ランジスタ」と、中央処理装置は「ＣＰＵ」と称す。
基いて説明する。図に於て１は第１の整流手段たる整流
ブロックで、１００又は２００ボルトの単相又は三相の
商用電源ＡＣを整流し、第１の直流ＤＣ１を発生する。
２はコンデンサで、該直流ＤＣ１を平滑する。３は断続
手段たるスイッチング回路で、中央処理装置４から供給
される制御信号ＳＷに従い、トランジスタ５と８の組が
導通している間、変成器９の一次巻線９Ｐに電流＋Ｉ
を、トランジスタ６と７の組が導通している間、変成器
９の一次巻線９Ｐに逆方向の電流−Ｉを通電する。なお
以下の説明に於て、トランジスタ５，８の組は「第１組
トランジスタ」、トランジスタ６，７の組は「第２組ト
ランジスタ」と、中央処理装置は「ＣＰＵ」と称す。
【００１０】１０，１１は第２の整流手段たるダイオー
ドで、変成器の端子９Ａ，９Ｂに発生する高周波ＦＨを
整流し第２の直流ＤＣ２を発生する。該直流ＤＣ２はキ
セノンランプ１３の一方の端子１３Ａに供給される。な
おキセノンランプ１３の他端１３Ｂは変成器９の二次巻
線９Ｓのセンタータップ９Ｃに接続されている。１４は
電流検出プローブで、キセノンランプ１３に流れる電流
を検出する。検出プローブ１４の出力は電流検出回路１
５に供給される。該回路１５は電流の大きさに対応した
デジタル値ＤＩをＣＰＵ４に供給する。１６はシマー回
路で、キセノンランプ１３にシマー（ＳＩＭＭＥＲ）電
流を供給する。
ドで、変成器の端子９Ａ，９Ｂに発生する高周波ＦＨを
整流し第２の直流ＤＣ２を発生する。該直流ＤＣ２はキ
セノンランプ１３の一方の端子１３Ａに供給される。な
おキセノンランプ１３の他端１３Ｂは変成器９の二次巻
線９Ｓのセンタータップ９Ｃに接続されている。１４は
電流検出プローブで、キセノンランプ１３に流れる電流
を検出する。検出プローブ１４の出力は電流検出回路１
５に供給される。該回路１５は電流の大きさに対応した
デジタル値ＤＩをＣＰＵ４に供給する。１６はシマー回
路で、キセノンランプ１３にシマー（ＳＩＭＭＥＲ）電
流を供給する。
【００１１】１７は電圧検出器で、キセノンランプ１３
の端子電圧に対応したデジタル値ＤＶをＣＰＵ４に供給
する。１８はトリガ回路で、キセノンランプ１３にトリ
ガ電圧を供給する。１９は設定回路で、前記第２の直流
ＤＣ２の波形、電圧、その他装置の作動に必要な種々の
値を設定するのに用いられる。２０は表示回路で、ＣＰ
Ｕ４から供給される種々のデータを表示する。２１はイ
ンターロック回路で、冷却水の流量や水温の検出手段、
筐体の開閉検出手段等を含み、それらが異常を検知した
場合、ＣＰＵ４に割込み信号を供給し、装置作動を停止
させる。２２は外部インターフェースで、他のコンピュ
ータ等とＣＰＵ４との間のデータの授受を行なう。ＣＰ
Ｕ４は内蔵されたリードオンリメモリのプログラムに従
い、装置全体の作動を制御する。
の端子電圧に対応したデジタル値ＤＶをＣＰＵ４に供給
する。１８はトリガ回路で、キセノンランプ１３にトリ
ガ電圧を供給する。１９は設定回路で、前記第２の直流
ＤＣ２の波形、電圧、その他装置の作動に必要な種々の
値を設定するのに用いられる。２０は表示回路で、ＣＰ
Ｕ４から供給される種々のデータを表示する。２１はイ
ンターロック回路で、冷却水の流量や水温の検出手段、
筐体の開閉検出手段等を含み、それらが異常を検知した
場合、ＣＰＵ４に割込み信号を供給し、装置作動を停止
させる。２２は外部インターフェースで、他のコンピュ
ータ等とＣＰＵ４との間のデータの授受を行なう。ＣＰ
Ｕ４は内蔵されたリードオンリメモリのプログラムに従
い、装置全体の作動を制御する。
【００１２】第２の直流ＤＣ２の波形制御は第１組トラ
ンジスタの導通時間ＴＤ１と第２組トランジスタの導通
時間ＴＤ２及びどちらの組も導通させない不導通時間Ｔ
ＨＤの調節に依って行なう。要求される第２の直流ＤＣ
２の波形の第１例を図３（Ｂ）に示す。なお同図（Ａ）
はそのときのスイッチング回路３の出力電流Ｉの波形で
ある。ここで例えば第２の直流ＤＣ２は、期間Ｔ２に於
て最大値ＤＣＭに保たれるものとし、その前後の期間Ｔ
１及びＴ３に於てその５０パーセントの値（１／２ＤＣ
Ｍ）に保たれるものとする。
ンジスタの導通時間ＴＤ１と第２組トランジスタの導通
時間ＴＤ２及びどちらの組も導通させない不導通時間Ｔ
ＨＤの調節に依って行なう。要求される第２の直流ＤＣ
２の波形の第１例を図３（Ｂ）に示す。なお同図（Ａ）
はそのときのスイッチング回路３の出力電流Ｉの波形で
ある。ここで例えば第２の直流ＤＣ２は、期間Ｔ２に於
て最大値ＤＣＭに保たれるものとし、その前後の期間Ｔ
１及びＴ３に於てその５０パーセントの値（１／２ＤＣ
Ｍ）に保たれるものとする。
【００１３】本実施例ではダイオード１０，１１により
全波整流を行なっている．従って期間Ｔ２に於ける値を
最大値ＤＣＭに保つには、この期間に於て、不導通時間
ＴＨＤを「０」にし、第１組と第２組のトランジスタの
導通時間ＴＤ１およびＴＤ２を等しくして、変成器９の
一次巻線９Ｐに＋Ｉと−Ｉの電流を交互に通電する。こ
のときパルスデューティは１００パーセントとなる。期
間Ｔ１とＴ３に於て、ＤＣ２の値を５０パーセントに保
つには、第１組と第２組のトランジスタの導通時間ＴＤ
１およびＴＤ２を上記パルスデューティを１００パーセ
ントのときの２分の１の時間にすると共に、この第１組
と第２組のトランジスタの導通時間ＴＤ１およびＴＤ２
の間に、これらと同じ長さの不導通時間ＴＨＤを設け
る。なおこのときのパルスデューティは５０パーセント
になる。要求される第２の直流ＤＣ２の波形の第２例を
図３（Ｃ）に示す。同図（Ｄ）はそのときのスイッチン
グ回路３の出力電流Ｉの波形である。この波形例（Ｄ）
は第１の例と形は同じであるが、期間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３
が第１の例の半分になっている。この波形を得るため、
この第２の例の各期間に於ける第１組と第２組のトラン
ジスタの導通時間ＴＤ１およびＴＤ２並びにこれらの不
導通時間ＴＨＤは夫々上記第１例の半分にされる。
全波整流を行なっている．従って期間Ｔ２に於ける値を
最大値ＤＣＭに保つには、この期間に於て、不導通時間
ＴＨＤを「０」にし、第１組と第２組のトランジスタの
導通時間ＴＤ１およびＴＤ２を等しくして、変成器９の
一次巻線９Ｐに＋Ｉと−Ｉの電流を交互に通電する。こ
のときパルスデューティは１００パーセントとなる。期
間Ｔ１とＴ３に於て、ＤＣ２の値を５０パーセントに保
つには、第１組と第２組のトランジスタの導通時間ＴＤ
１およびＴＤ２を上記パルスデューティを１００パーセ
ントのときの２分の１の時間にすると共に、この第１組
と第２組のトランジスタの導通時間ＴＤ１およびＴＤ２
の間に、これらと同じ長さの不導通時間ＴＨＤを設け
る。なおこのときのパルスデューティは５０パーセント
になる。要求される第２の直流ＤＣ２の波形の第２例を
図３（Ｃ）に示す。同図（Ｄ）はそのときのスイッチン
グ回路３の出力電流Ｉの波形である。この波形例（Ｄ）
は第１の例と形は同じであるが、期間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３
が第１の例の半分になっている。この波形を得るため、
この第２の例の各期間に於ける第１組と第２組のトラン
ジスタの導通時間ＴＤ１およびＴＤ２並びにこれらの不
導通時間ＴＨＤは夫々上記第１例の半分にされる。
【００１４】導通時間ＴＤ１及びＴＤ２並びにこれらの
不導通時間ＴＨＤは、要求される波形に応じて変更され
る。制御の対象は電流波形、電圧波形の何れでも良い。
波形制御のみで無く、デジタル値ＤＩ、ＤＶを利用して
励起光源に供給される電力の制御を行なっても良い。実
施例では、スイッチング回路３が４つのトランジスタか
ら成るフルブリッジで構成されているが、２個のトラン
ジスタに依るハーフブリッジで、或いは１個のトランジ
スタのみでこのスイッチング回路３を構成してもよい。
トランジスタに代るサイリスタその他の素子を用いても
良い。変成器９の出力は２個のダイオード１０，１１で
全波整流されているが、これもダイオード４個から成る
フルブリッジで、或いは１個のダイオードのみで行なう
ようにしてもよい。実施例では要求された波形で光源を
断続的に駆動しているが、連続的に駆動しながらその電
流や電圧の波形（増減）を制御する場合にも、本発明を
適用することができる。
不導通時間ＴＨＤは、要求される波形に応じて変更され
る。制御の対象は電流波形、電圧波形の何れでも良い。
波形制御のみで無く、デジタル値ＤＩ、ＤＶを利用して
励起光源に供給される電力の制御を行なっても良い。実
施例では、スイッチング回路３が４つのトランジスタか
ら成るフルブリッジで構成されているが、２個のトラン
ジスタに依るハーフブリッジで、或いは１個のトランジ
スタのみでこのスイッチング回路３を構成してもよい。
トランジスタに代るサイリスタその他の素子を用いても
良い。変成器９の出力は２個のダイオード１０，１１で
全波整流されているが、これもダイオード４個から成る
フルブリッジで、或いは１個のダイオードのみで行なう
ようにしてもよい。実施例では要求された波形で光源を
断続的に駆動しているが、連続的に駆動しながらその電
流や電圧の波形（増減）を制御する場合にも、本発明を
適用することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、レーザ励起光源を駆動する第２の直流の電流波形、
電圧波形又は電力波形を、設定回路により予め設定し、
この設定に基づいてこの第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように、第１の直流の断続で生成される
パルスのパルス幅を制御手段が制御するようにした。そ
の結果、例えば図２（Ａ）〜（Ｄ）に示すような波形が
要求されても直ちに対応できるようになった。例えば、
図２（Ｄ）に示す波形が要求された場合、第２の直流を
図３（Ａ）または（Ｃ）に示すような波形に制御するこ
とにより得られる。このように、第１の直流の断続で生
成されるパルスのパルス幅を制御することで第２の直流
の電流波形、電圧波形又は電力波形を自由に変えること
ができ、用途に応じた最適のレーザ励起ができるように
なった。
は、レーザ励起光源を駆動する第２の直流の電流波形、
電圧波形又は電力波形を、設定回路により予め設定し、
この設定に基づいてこの第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように、第１の直流の断続で生成される
パルスのパルス幅を制御手段が制御するようにした。そ
の結果、例えば図２（Ａ）〜（Ｄ）に示すような波形が
要求されても直ちに対応できるようになった。例えば、
図２（Ｄ）に示す波形が要求された場合、第２の直流を
図３（Ａ）または（Ｃ）に示すような波形に制御するこ
とにより得られる。このように、第１の直流の断続で生
成されるパルスのパルス幅を制御することで第２の直流
の電流波形、電圧波形又は電力波形を自由に変えること
ができ、用途に応じた最適のレーザ励起ができるように
なった。
【００１６】また、請求項２の発明では、前記第２の直
流の電流波形、電圧波形又は電力波形を設定回路により
予め設定し、前記第２の直流の電圧を電圧検出手段で検
出し、前記第２の直流の電流を電流検出手段で検出し、
前記設定回路に基づいて前記第２の直流の波形が予め設
定されたものとなるように第１の直流の断続で生成され
るパルスのパルス幅を制御手段が制御し、かつ前記検出
された第２の直流の電圧と電流をフィードバックして前
記第２の直流の波形が予め設定されたものからずれない
ように前記パルス幅を調整するようにした。これによ
り、請求項１の発明より更に精密にレーザ励起を制御す
ることができるようになった。
流の電流波形、電圧波形又は電力波形を設定回路により
予め設定し、前記第２の直流の電圧を電圧検出手段で検
出し、前記第２の直流の電流を電流検出手段で検出し、
前記設定回路に基づいて前記第２の直流の波形が予め設
定されたものとなるように第１の直流の断続で生成され
るパルスのパルス幅を制御手段が制御し、かつ前記検出
された第２の直流の電圧と電流をフィードバックして前
記第２の直流の波形が予め設定されたものからずれない
ように前記パルス幅を調整するようにした。これによ
り、請求項１の発明より更に精密にレーザ励起を制御す
ることができるようになった。
【００１７】
【図１】本発明の一実施例の回路構成を示すブロック図
である。
である。
【図２】要求される制御波形の一例を示す波形図であ
る。
る。
【図３】要求される制御波形とその波形を得るための変
成器への供給電流の一例を示す波形図である。
成器への供給電流の一例を示す波形図である。
【図４】従来例を示す回路図である。
ＡＣ 商用電源 ＤＣ１ 直流化出力 ＤＣ２ 第２の整流手段出力 ＦＨ 高周波 １ 第１の整流手段 ３ 断続手段 ９ 変成器 １０，１１ 第２の整流手段 １３ レーザ励起光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/0915
Claims (2)
- 【請求項１】 商用交流電源を整流して第１の直流を出
力する第１の整流手段と、前記第１の直流を断続して前
記商用交流電源より高い周波数の高周波電力を発生する
断続手段と、前記高周波電力を変成する変成器と、前記
変成された高周波電力を整流して第２の直流を出力する
第２の整流手段とを備え、前記第２の直流によりレーザ
励起光源を点灯するレーザ電源装置において、 前記第２の直流の電流波形、電圧波形又は電力波形を予
め設定する設定回路と、 前記設定に基づいて前記第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように前記断続手段による第１の直流の
断続で生成されるパルスのパルス幅を制御する制御手段
とを備えたことを特徴とする固体レーザ電源装置。 - 【請求項２】 商用交流電源を整流して第１の直流を出
力する第１の整流手段と、前記第１の直流を断続して前
記商用交流電源より高い周波数の高周波電力を発生する
断続手段と、前記高周波電力を変成する変成器と、前記
変成された高周波電力を整流して第２の直流を出力する
第２の整流手段とを備え、前記第２の直流によりレーザ
励起光源を点灯するレーザ電源装置において、 前記第２の直流の電流波形、電圧波形又は電力波形を予
め設定する設定回路と、 前記第２の直流の電圧を検出する電圧検出手段と、 前記第２の直流の電流を検出する電流検出手段と、 前記設定に基づいて前記第２の直流の波形が予め設定さ
れたものとなるように前記断続手段による第１の直流の
断続で生成されるパルスのパルス幅を制御し、かつ前記
検出された第２の直流の電圧と電流をフィードバックし
て前記第２の直流の波形が予め設定されたものからずれ
ないように前記パルス幅を調整する制御手段とを備えた
ことを特徴とする固体レーザ電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3072381A JP2819198B2 (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 固体レーザ電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3072381A JP2819198B2 (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 固体レーザ電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04282880A JPH04282880A (ja) | 1992-10-07 |
| JP2819198B2 true JP2819198B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=13487658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3072381A Expired - Fee Related JP2819198B2 (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 固体レーザ電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2819198B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990007296A (ko) * | 1997-06-27 | 1999-01-25 | 죠우찌 다까시 | 레이저 전원장치 |
| TWI221791B (en) * | 2002-04-02 | 2004-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | Laser processing system and laser processing method |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6377371U (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | ||
| JPH02140984A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-30 | Nec Corp | エンハンスドパルス電流発生用レーザ電源 |
| JPH04276674A (ja) * | 1991-03-05 | 1992-10-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
-
1991
- 1991-03-11 JP JP3072381A patent/JP2819198B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04282880A (ja) | 1992-10-07 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |