JP2817865B2 - 光ファイバ母材延伸装置 - Google Patents
光ファイバ母材延伸装置Info
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- JP2817865B2 JP2817865B2 JP4212833A JP21283392A JP2817865B2 JP 2817865 B2 JP2817865 B2 JP 2817865B2 JP 4212833 A JP4212833 A JP 4212833A JP 21283392 A JP21283392 A JP 21283392A JP 2817865 B2 JP2817865 B2 JP 2817865B2
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- jacket tube
- fiber preform
- fluoride
- gas
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/0124—Means for reducing the diameter of rods or tubes by drawing, e.g. for preform draw-down
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/80—Non-oxide glasses or glass-type compositions
- C03B2201/82—Fluoride glasses, e.g. ZBLAN glass
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、低損失の単一モードフ
ッ化物光ファイバのための母材を作製するためのフッ化
物光ファイバ母材延伸装置（以下、光ファイバ母材延伸
装置という）に関するものである。
ッ化物光ファイバのための母材を作製するためのフッ化
物光ファイバ母材延伸装置（以下、光ファイバ母材延伸
装置という）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フッ化物光ファイバは、フッ化物ガラス
が低いフェノンエネルギーを持つことから、石英系ファ
イバを凌ぐ低損失値を実現できる伝送媒体として有望視
されているうえに、レーザや光アンプ用の活性イオンの
良好なホスト媒体としても注目されている。このような
応用にフッ化物光ファイバを適用するにはファイバを単
一モード化する必要があるが、このためにはガラス母材
をジャケット管内に挿入して延伸・一体化する、いわゆ
るジャケット延伸（特開平４−３１３３３号）という手
法を実施しなければならない。
が低いフェノンエネルギーを持つことから、石英系ファ
イバを凌ぐ低損失値を実現できる伝送媒体として有望視
されているうえに、レーザや光アンプ用の活性イオンの
良好なホスト媒体としても注目されている。このような
応用にフッ化物光ファイバを適用するにはファイバを単
一モード化する必要があるが、このためにはガラス母材
をジャケット管内に挿入して延伸・一体化する、いわゆ
るジャケット延伸（特開平４−３１３３３号）という手
法を実施しなければならない。
【０００３】すなわち、従来、ジャケット延伸はジャケ
ット管内を減圧したのち、ジャケット管の一部を加熱・
軟化させて引っ張ることによって、ジャケット管とその
中の母材を一体化していた。
ット管内を減圧したのち、ジャケット管の一部を加熱・
軟化させて引っ張ることによって、ジャケット管とその
中の母材を一体化していた。
【０００４】しかしながら、フッ化物ガラスは結晶化し
易いため、従来の延伸装置を用いた場合、ジャケット管
と母材の界面に結晶が析出するという欠点や、そのよう
な延伸で得た母材から作製されたファイバの伝送損失が
増大するという問題もあった。
易いため、従来の延伸装置を用いた場合、ジャケット管
と母材の界面に結晶が析出するという欠点や、そのよう
な延伸で得た母材から作製されたファイバの伝送損失が
増大するという問題もあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の技術的課題を解決し、低損失なフッ化物単一モード光
ファイバを製造するための母材延伸装置を提供すること
にある。
の技術的課題を解決し、低損失なフッ化物単一モード光
ファイバを製造するための母材延伸装置を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、フッ化物ガラスジャケット管と該ジャケ
ット管に挿入されたフッ化物ガラス光ファイバ母材とを
共に加熱する加熱手段と、該加熱手段による加熱のため
に軟化した前記光ファイバ母材および前記ジャケット管
に張力を加えて前記光ファイバ母材および前記ジャケッ
ト管の変形部分を延伸する張力印加手段とを有するフッ
化物光ファイバ母材延伸装置において、前記加熱手段に
よる加熱の前に前記光ファイバ母材と前記ジャケット管
との間の空間に反応性のフッ素化合物ガスのみ、あるい
は反応性のフッ素化合物ガスと不活性ガスとの混合ガス
のみを導入するガス導入手段とを有することを特徴とす
る。
に、本発明は、フッ化物ガラスジャケット管と該ジャケ
ット管に挿入されたフッ化物ガラス光ファイバ母材とを
共に加熱する加熱手段と、該加熱手段による加熱のため
に軟化した前記光ファイバ母材および前記ジャケット管
に張力を加えて前記光ファイバ母材および前記ジャケッ
ト管の変形部分を延伸する張力印加手段とを有するフッ
化物光ファイバ母材延伸装置において、前記加熱手段に
よる加熱の前に前記光ファイバ母材と前記ジャケット管
との間の空間に反応性のフッ素化合物ガスのみ、あるい
は反応性のフッ素化合物ガスと不活性ガスとの混合ガス
のみを導入するガス導入手段とを有することを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】本発明においては、フッ化物ガラス光ファイバ
母材が挿入されたフッ化物ガラスジャケット管を延伸装
置にセットした後に、反応性のフッ素化合物ガスのみ、
あるいは反応性のフッ素化合物ガスと不活性ガスとの混
合ガスのみをジャケット管内に導入することにより、ジ
ャケット管と母材の界面での結晶析出を抑制できるた
め、本発明の延伸装置により得られるフッ化物ガラス光
ファイバ母材からは低損失のフッ化物光ファイバを得る
ことができる。
母材が挿入されたフッ化物ガラスジャケット管を延伸装
置にセットした後に、反応性のフッ素化合物ガスのみ、
あるいは反応性のフッ素化合物ガスと不活性ガスとの混
合ガスのみをジャケット管内に導入することにより、ジ
ャケット管と母材の界面での結晶析出を抑制できるた
め、本発明の延伸装置により得られるフッ化物ガラス光
ファイバ母材からは低損失のフッ化物光ファイバを得る
ことができる。
【０００８】
【実施例】次に本発明を詳細に説明する。
【０００９】本発明の光ファイバ母材延伸装置の一実施
例の模式図を図１に示す。１はガラス母材、２はジャケ
ット管、３および４は第１および第２ジャケット管ホル
ダー、５は上部支持管、６は下部支持管、７は上部ロー
ドセル、８は下部ロードセル、９は張力印加手段として
の送り出しアーム、１０は張力印加手段としての引き下
げアーム、１１は加熱手段としての加熱炉、１２は真空
ポンプ、１３，１４，１５および１６は第１，第２，第
３および第４ストップバルブ、１７および１８は第１お
よび第２流量計、１９はガス導入手段としての反応性ガ
ス供給装置、２０，２１，２２および２３は第１，第
２，第３および第４ Ｏ−リング、２４は加熱温度調節
手段としての温度制御器である。
例の模式図を図１に示す。１はガラス母材、２はジャケ
ット管、３および４は第１および第２ジャケット管ホル
ダー、５は上部支持管、６は下部支持管、７は上部ロー
ドセル、８は下部ロードセル、９は張力印加手段として
の送り出しアーム、１０は張力印加手段としての引き下
げアーム、１１は加熱手段としての加熱炉、１２は真空
ポンプ、１３，１４，１５および１６は第１，第２，第
３および第４ストップバルブ、１７および１８は第１お
よび第２流量計、１９はガス導入手段としての反応性ガ
ス供給装置、２０，２１，２２および２３は第１，第
２，第３および第４ Ｏ−リング、２４は加熱温度調節
手段としての温度制御器である。
【００１０】上記構成の延伸装置を用いてジャケット管
２の内壁とガラス母材１の表面を前処理するには、ま
ず、ガラス母材１を挿入したジャケット管２の両端に第
１および第２ジャケット管ホルダー３および４をＯ−リ
ング２０および２１を介して取付ける。次に、そのジャ
ケット管ホルダー３および４を上部支持管５および下部
支持管６にＯ−リング２２および２３を介して装着す
る。第１，第２および第３ストップバルブ１３，１４お
よび１５を閉じ、第４ストップバルブ１６を開けてジャ
ケット管２内を真空引きした後、第４ストップバルブ１
６を閉じ、第１ストップバルブ１３を開けて管内に反応
性ガス供給装置１９からガスを入れ、その後第３ストッ
プバルブ１５を開けてガスを流しながら内部の表面を処
理する。このとき、ガス流量は第１流量計１７により設
定する。表面処理を特定の温度で行う場合は加熱炉１１
を所定の温度に上げ、送り出しアーム９と引き下げアー
ム１０を等速で上下に動かして加熱炉１１内でジャケッ
ト管２をスキャンして加熱する。
２の内壁とガラス母材１の表面を前処理するには、ま
ず、ガラス母材１を挿入したジャケット管２の両端に第
１および第２ジャケット管ホルダー３および４をＯ−リ
ング２０および２１を介して取付ける。次に、そのジャ
ケット管ホルダー３および４を上部支持管５および下部
支持管６にＯ−リング２２および２３を介して装着す
る。第１，第２および第３ストップバルブ１３，１４お
よび１５を閉じ、第４ストップバルブ１６を開けてジャ
ケット管２内を真空引きした後、第４ストップバルブ１
６を閉じ、第１ストップバルブ１３を開けて管内に反応
性ガス供給装置１９からガスを入れ、その後第３ストッ
プバルブ１５を開けてガスを流しながら内部の表面を処
理する。このとき、ガス流量は第１流量計１７により設
定する。表面処理を特定の温度で行う場合は加熱炉１１
を所定の温度に上げ、送り出しアーム９と引き下げアー
ム１０を等速で上下に動かして加熱炉１１内でジャケッ
ト管２をスキャンして加熱する。
【００１１】延伸工程では、まず、第１ストップバルブ
１３を閉じ、第２ストップバルブ１４を開けて第２流量
計１８より一定量のガスを流す。次に、第３ストップバ
ルブ１５を閉じ第４ストップバルブ１６を開いてジャケ
ット管２内を減圧して適当な反応性ガス分圧に保ったま
ま、加熱炉１１内でジャケット管２の下部を加熱・軟化
させる。続いて、ジャケット管２内の圧力を一定に保持
したまま、送り出しアーム９を一定速度で下降させ、ジ
ャケット管２を加熱炉１１内に送り込み通過させなが
ら、同時に引き下げアーム１０を所定の速度で下降させ
て内部の母材１とジャケット管２を延伸・一体化する。
このとき、上部ロードセル７と下部ロードセル８に加わ
る荷重を測定し、変形した延伸部にかかっている張力を
検出し、これが一定値をとるように温度制御器２４によ
って加熱炉の温度を調節する。
１３を閉じ、第２ストップバルブ１４を開けて第２流量
計１８より一定量のガスを流す。次に、第３ストップバ
ルブ１５を閉じ第４ストップバルブ１６を開いてジャケ
ット管２内を減圧して適当な反応性ガス分圧に保ったま
ま、加熱炉１１内でジャケット管２の下部を加熱・軟化
させる。続いて、ジャケット管２内の圧力を一定に保持
したまま、送り出しアーム９を一定速度で下降させ、ジ
ャケット管２を加熱炉１１内に送り込み通過させなが
ら、同時に引き下げアーム１０を所定の速度で下降させ
て内部の母材１とジャケット管２を延伸・一体化する。
このとき、上部ロードセル７と下部ロードセル８に加わ
る荷重を測定し、変形した延伸部にかかっている張力を
検出し、これが一定値をとるように温度制御器２４によ
って加熱炉の温度を調節する。
【００１２】以下、本発明を具体的な実施例によって詳
細に説明するが、本発明はこれにより何ら限定されるも
のではない。
細に説明するが、本発明はこれにより何ら限定されるも
のではない。
【００１３】（実施例１）コアが４９ＺｒＦ4 −２５Ｂ
ａＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −
１８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径６．８ｍｍ、コア径０．５ｍｍ、
長さ１５０ｍｍ、比屈折率差０．９５％）と、母材のク
ラッドガラスと同一の組成のフッ化物ジャケット管（外
径１５ｍｍ、内径７．０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）を用
い、図１に示した装置にセットした。ジャケット管２内
を真空に引いた後、フッ化水素ガスとフッ素ガスとアル
ゴンガスの混合ガス（濃度はそれぞれ２５％、１０ｐｐ
ｍ、７５％）を管内に導入し、室温で毎分２００ｃｃの
量を３０分間流した。続いて、加熱炉１１内で１０ｍｍ
／ｍｉｎの速度で上下にスキャンすることによりジャケ
ット管２を１８０℃に加熱した。この状態で６０分間保
って表面処理した後、混合ガスを止め、ジャケット管２
内を真空引きした。管内を真空に保ったまま、ジャケッ
ト管２の下部を２９０℃に加熱・軟化させ、送り出しア
ーム９を１．５ｍｍ／ｍｉｎで下降させてジャケット管
２を順次加熱炉１１内に送り込んだ。同時に引き下げア
ーム１０を６ｍｍ／ｍｉｎで引き下ろした。このとき、
各アームに取り付けたロードセル７および８にかかる荷
重をモニターして、加熱炉１１内のジャケット管２の変
形部分に５０ｇの張力が常に加わるように加熱炉１１の
温度を調節した。このように延伸して外径７．５ｍｍ、
長さ２５０ｍｍの母材を得た。この母材から線引いた９
００ｍのファイバ（外径１２５μｍ）は１．３μｍにカ
ットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍ
の損失値は１８ｄＢ／ｋｍであった。延伸に用いた母材
の残りを線引いて得たファイバの損失は波長１．３μｍ
で１７ｄＢ／ｋｍとなった。損失測定の精度を考慮する
と両者に差はないと判断でき、本発明の延伸装置による
延伸では損失増加は無視できると結論される。
ａＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −
１８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径６．８ｍｍ、コア径０．５ｍｍ、
長さ１５０ｍｍ、比屈折率差０．９５％）と、母材のク
ラッドガラスと同一の組成のフッ化物ジャケット管（外
径１５ｍｍ、内径７．０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）を用
い、図１に示した装置にセットした。ジャケット管２内
を真空に引いた後、フッ化水素ガスとフッ素ガスとアル
ゴンガスの混合ガス（濃度はそれぞれ２５％、１０ｐｐ
ｍ、７５％）を管内に導入し、室温で毎分２００ｃｃの
量を３０分間流した。続いて、加熱炉１１内で１０ｍｍ
／ｍｉｎの速度で上下にスキャンすることによりジャケ
ット管２を１８０℃に加熱した。この状態で６０分間保
って表面処理した後、混合ガスを止め、ジャケット管２
内を真空引きした。管内を真空に保ったまま、ジャケッ
ト管２の下部を２９０℃に加熱・軟化させ、送り出しア
ーム９を１．５ｍｍ／ｍｉｎで下降させてジャケット管
２を順次加熱炉１１内に送り込んだ。同時に引き下げア
ーム１０を６ｍｍ／ｍｉｎで引き下ろした。このとき、
各アームに取り付けたロードセル７および８にかかる荷
重をモニターして、加熱炉１１内のジャケット管２の変
形部分に５０ｇの張力が常に加わるように加熱炉１１の
温度を調節した。このように延伸して外径７．５ｍｍ、
長さ２５０ｍｍの母材を得た。この母材から線引いた９
００ｍのファイバ（外径１２５μｍ）は１．３μｍにカ
ットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍ
の損失値は１８ｄＢ／ｋｍであった。延伸に用いた母材
の残りを線引いて得たファイバの損失は波長１．３μｍ
で１７ｄＢ／ｋｍとなった。損失測定の精度を考慮する
と両者に差はないと判断でき、本発明の延伸装置による
延伸では損失増加は無視できると結論される。
【００１４】（実施例２）コアが５０ＺｒＦ4 −１９Ｂ
ａＦ2 −５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3−２．
５ＡｌＦ3 −１８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが２
３．７５ＺｒＦ4 −２３．７５ＨｆＦ4 −２３．５Ｂａ
Ｆ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3
−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラス母材
（外径６．８ｍｍ、コア径０．３ｍｍ、長さ１５０ｍ
ｍ、比屈折率差２．１％）と、４７．５ＺｒＦ4 −２
３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．
５ＡｌＦ3−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物
ジャケット管（外径１５ｍｍ、内径７．０ｍｍ、長さ１
５０ｍｍ）を用い、母材のクラッドガラスと同一の組成
のフッ化物ジャケット管（外径１５ｍｍ、内径７．０ｍ
ｍ、長さ１５０ｍｍ）を用い、実施例１と同様にして図
１に示した延伸装置にこれらをセットした。ジャケット
管２内を真空に引いた後、表面処理用の反応性ガスとし
てＮＦ3 ガスを管内に導入した。続いて、第１ストップ
バルブ１３を閉じ、第２および第４ストップバルブ１４
および１６を開け、第２流量計１８によりガスの流量を
調節してジャケット管２内の圧力を、大気より３００ｍ
ｍＨ2 Ｏだけ下げた。管内をこの圧力に保ったまま、ジ
ャケット管の下部を２８５℃に加熱・軟化させ、送り出
しアーム９を１ｍｍ／ｍｉｎで下降させてジャケット管
２を順次加熱炉１１内に送り込んだ。同時に引き下げア
ーム１０を４ｍｍ／ｍｉｎで引き下ろした。このとき、
各アームに取り付けたロードセル７および８にかかる荷
重をモニターして、加熱炉１１内のジャケット管２の変
形部分に６０ｇの張力が常に加わるように加熱炉１１の
温度を調節した。このように延伸して外径７．５ｍｍ、
長さ２５０ｍｍの母材を得た。この母材から線引いた９
００ｍのファイバ（外径１２５μｍ）は１．０μｍにカ
ットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍ
の損失値は２０ｄＢ／ｋｍと低損失であった。
ａＦ2 −５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3−２．
５ＡｌＦ3 −１８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが２
３．７５ＺｒＦ4 −２３．７５ＨｆＦ4 −２３．５Ｂａ
Ｆ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3
−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラス母材
（外径６．８ｍｍ、コア径０．３ｍｍ、長さ１５０ｍ
ｍ、比屈折率差２．１％）と、４７．５ＺｒＦ4 −２
３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．
５ＡｌＦ3−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物
ジャケット管（外径１５ｍｍ、内径７．０ｍｍ、長さ１
５０ｍｍ）を用い、母材のクラッドガラスと同一の組成
のフッ化物ジャケット管（外径１５ｍｍ、内径７．０ｍ
ｍ、長さ１５０ｍｍ）を用い、実施例１と同様にして図
１に示した延伸装置にこれらをセットした。ジャケット
管２内を真空に引いた後、表面処理用の反応性ガスとし
てＮＦ3 ガスを管内に導入した。続いて、第１ストップ
バルブ１３を閉じ、第２および第４ストップバルブ１４
および１６を開け、第２流量計１８によりガスの流量を
調節してジャケット管２内の圧力を、大気より３００ｍ
ｍＨ2 Ｏだけ下げた。管内をこの圧力に保ったまま、ジ
ャケット管の下部を２８５℃に加熱・軟化させ、送り出
しアーム９を１ｍｍ／ｍｉｎで下降させてジャケット管
２を順次加熱炉１１内に送り込んだ。同時に引き下げア
ーム１０を４ｍｍ／ｍｉｎで引き下ろした。このとき、
各アームに取り付けたロードセル７および８にかかる荷
重をモニターして、加熱炉１１内のジャケット管２の変
形部分に６０ｇの張力が常に加わるように加熱炉１１の
温度を調節した。このように延伸して外径７．５ｍｍ、
長さ２５０ｍｍの母材を得た。この母材から線引いた９
００ｍのファイバ（外径１２５μｍ）は１．０μｍにカ
ットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍ
の損失値は２０ｄＢ／ｋｍと低損失であった。
【００１５】本実施例では、本発明の装置を用いた場
合、延伸工程の進行中においても、管内の一定のガス分
圧を設定できるため、反応性ガスでジャケット管内壁と
母材表面を浄化しながら延伸できることを示すものであ
る。
合、延伸工程の進行中においても、管内の一定のガス分
圧を設定できるため、反応性ガスでジャケット管内壁と
母材表面を浄化しながら延伸できることを示すものであ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高品質なフッ化物光ファイバ母材が得られるので、この
フッ化物光ファイバ母材からは低損失のフッ化物単一モ
ードファイバを得ることが可能である。この低損失のフ
ッ化物単一モードファイバにより、伝送距離の増大や、
光増幅器の特性向上が期待できるため、光通信システム
の低コスト化および高性能化が図れるという利点があ
る。
高品質なフッ化物光ファイバ母材が得られるので、この
フッ化物光ファイバ母材からは低損失のフッ化物単一モ
ードファイバを得ることが可能である。この低損失のフ
ッ化物単一モードファイバにより、伝送距離の増大や、
光増幅器の特性向上が期待できるため、光通信システム
の低コスト化および高性能化が図れるという利点があ
る。
【図１】本発明の光ファイバ母材延伸装置の一実施例の
構成を示す模式図である。
構成を示す模式図である。
１ ガラス母材 ２ ジャケット管 ３ 第１ジャケット管ホルダー ４ 第２ジャケット管ホルダー ５ 上部支持管 ６ 下部支持管 ７ 上部ロードセル ８ 下部ロードセル ９ 送り出しアーム １０ 引き下げアーム １１ 加熱炉 １２ 真空ポンプ １３ 第１ストップバルブ １４ 第２ストップバルブ １５ 第３ストップバルブ １６ 第４ストップバルブ １７ 第１流量計 １８ 第２流量計 １９ 反応性ガス供給装置 ２０ 第１ Ｏ−リング ２１ 第２ Ｏ−リング ２２ 第３ Ｏ−リング ２３ 第４ Ｏ−リング ２４ 温度制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 37/012 C03B 37/07
Claims (1)
- 【請求項１】 フッ化物ガラスジャケット管と該ジャケ
ット管に挿入されたフッ化物ガラス光ファイバ母材とを
共に加熱する加熱手段と、該加熱手段による加熱のため
に軟化した前記光ファイバ母材および前記ジャケット管
に張力を加えて前記光ファイバ母材および前記ジャケッ
ト管の変形部分を延伸する張力印加手段とを有するフッ
化物光ファイバ母材延伸装置において、 前記加熱手段による加熱の前に前記光ファイバ母材と前
記ジャケット管との間の空間に反応性のフッ素化合物ガ
スのみ、あるいは反応性のフッ素化合物ガスと不活性ガ
スとの混合ガスのみを導入するガス導入手段とを有する
ことを特徴とするフッ化物光ファイバ母材延伸装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4212833A JP2817865B2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 光ファイバ母材延伸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4212833A JP2817865B2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 光ファイバ母材延伸装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656453A JPH0656453A (ja) | 1994-03-01 |
| JP2817865B2 true JP2817865B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=16629115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4212833A Expired - Lifetime JP2817865B2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 光ファイバ母材延伸装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817865B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5870231A (en) * | 1995-06-30 | 1999-02-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Zoom lens system |
| US9212082B2 (en) | 2012-12-26 | 2015-12-15 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | System and method for fabricating optical fiber preform and optical fiber |
| EP3323791B1 (en) * | 2016-11-22 | 2019-08-28 | Heraeus Quartz North America LLC | Upward collapse process and apparatus for making glass preforms |
| EP3683195A1 (en) * | 2019-01-15 | 2020-07-22 | Heraeus Quartz North America LLC | Automated large outside diameter preform tipping process |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2835385B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-12-14 | 日本電信電話株式会社 | フッ化物光ファイバの製造方法 |
-
1992
- 1992-08-10 JP JP4212833A patent/JP2817865B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0656453A (ja) | 1994-03-01 |
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