JP3385804B2

JP3385804B2 - フッ化物光ファイバ製造装置

Info

Publication number: JP3385804B2
Application number: JP16899295A
Authority: JP
Inventors: 好毅西田; 泰丈大石; 照寿金森; 幸雄照沼; 幸一中川; 耕一星野; 昭一須藤
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1995-07-04
Filing date: 1995-07-04
Publication date: 2003-03-10
Anticipated expiration: 2015-07-04
Also published as: JPH0920528A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、長距離伝送、赤外
光透過、光増幅等に用いられるフッ化物光ファイバの製
造装置に関し、特に強度の高いフッ化物光ファイバを製
造し得る装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、希土類元素をコア中に添加した多
成分ガラス光ファイバ、特にフッ化物光ファイバはレー
ザや光ファイバ増幅器の活性媒体として注目されてお
り、その中でも、特にＰｒ³⁺（プラセオジムイオン）を
コア中に添加したフッ化物光ファイバは光通信に重要な
波長帯である１．３μｍ帯において光増幅作用があるこ
とから、光ファイバ増幅器としての研究開発が盛んであ
る（例えば、応用物理、第６２巻、第１号、１９９３、
大石他、ｐ．３６参照）。

【０００３】ところで、光ファイバを実用に供するため
には、機械的強度が重要なパラメータとなる。石英系の
光ファイバでは５〜６ＧＰａ（ギガパスカル）程度の強
度が得られている。これに対し、フッ化物系の光ファイ
バの場合は、そのフッ化物ガラス自体の固有の機械的強
度が石英ガラスの約３分の１程度と低いこと、並びにフ
ッ化物ガラス自体が結晶化し易く、光ファイバ製造時の
母材の加熱延伸工程あるいは線引き工程においてガラス
の一部が結晶化してしまう不都合があることから、これ
までの光ファイバ増幅器に用いられたフッ化物単一モー
ド光ファイバの機械的強度は３００ＭＰａ（メガパスカ
ル）程度であり、実装に耐え得るレベルには達していな
いのが現状である。

【０００４】しかるに、発明者はフッ化物光ファイバの
強度が十分でない原因として、従来の線引き装置が線引
き炉内部に外気が混入しやすい構造となっており、線引
き時に外気中に含まれる水分との反応によって酸化物結
晶がファイバ表面に発生し、このことがファイバの強度
を大きく劣化させていることを見いだした。この知見に
基づき、発明者は特開平７−６１８３３号公報記載の発
明のように、従来の線引き装置に対し、線引き炉内部の
雰囲気を高純度化する（露点を下げる）改良を行った。

【０００５】即ち、母材支持棒と、母材を加熱線引きす
る線引き炉と、線引きされたファイバに被覆を施すコー
ティング部とを少なくとも有するフッ化物光ファイバ製
造装置において、前記コーティング部を内部に露点−６
０℃以下の不活性ガスが供給されるグローブボックスで
構成し、かつ該グローブボックスと線引き炉とを連結
し、母材支持棒には支持棒表面を外気から遮断するため
の支持棒覆いを設けるという改良を行った。

【０００６】この改良によって線引き炉内への外気の混
入を防ぎ、もって線引き炉内の雰囲気の露点を下げるこ
とにより、母材表面での結晶の発生を抑制し、高強度の
フッ化物ファイバを製造するようになした。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た装置では、線引き炉内への外気の混入は防止できたも
のの、線引き炉全体がベーキングできる構造となってい
なかったため、線引き炉の炉心管あるいは母材支持棒の
表面に吸着している水分の除去が不十分であり、さらな
る高強度ファイバの製造は困難であった。また、前記の
装置においてはグローブボックス内の雰囲気を循環精製
する装置がなかったため、グローブボックス内部の露点
を向上するには、高純度の不活性ガスを長時間流し続け
なくてはならないという問題があった。

【０００８】本発明の目的は、高強度のフッ化物光ファ
イバを製造できる装置を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は、コーティング部内部
の露点を効率良く向上でき、線引き炉における露点への
影響も少ない装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、フッ化物ファイバ母材を保持する母材
支持棒と、フッ化物ファイバ母材を加熱する線引き炉
と、該線引きされたフッ化物光ファイバをコーティング
するコーティング部とを少なくとも有するフッ化物光フ
ァイバ製造装置において、母材支持棒周囲の雰囲気と、
線引き炉内部の雰囲気と、コーティング部の雰囲気を外
気から遮断するための覆いを設けるとともに、コーティ
ング部の雰囲気を循環精製する装置を設け、さらに、内
部に加熱部材を有する母材支持棒を用いた。

【００１１】これによって、ファイバ母材を加熱線引き
しコーティングを施すまでの一連の工程を外気から遮断
された高純度のガス雰囲気下で行うことができ、ファイ
バ母材の表面で雰囲気中に含まれる水分との反応によっ
て発生する結晶の析出を抑制することが可能となり、高
強度のフッ化物光ファイバを製造できる。また、コーテ
ィング部内部の雰囲気を強制的に循環精製する装置を設
けたことにより、コーティング部から線引き炉内へのガ
ス混入による露点の劣化を防止するとともに、コーティ
ング部の雰囲気を高純度化するのに要する時間を短縮す
ることが可能となる。また、内部に加熱部材を有する母
材支持棒を用いたことにより、母材支持棒をベーキング
してその表面に吸着している水分の量を減少させること
が可能となり、該母材支持棒が線引き炉中に侵入してき
た場合においても、線引き炉内の雰囲気を劣化させるこ
となく、高純度の雰囲気を保持して線引きすることが可
能となる。

【００１２】

【００１３】

【００１４】また、前記課題を解決するため、本発明で
は、フッ化物ファイバ母材を保持する母材支持棒と、フ
ッ化物ファイバ母材を加熱する線引き炉と、該線引きさ
れたフッ化物光ファイバをコーティングするコーティン
グ部とを少なくとも有するフッ化物光ファイバ製造装置
において、母材支持棒周囲の雰囲気と、線引き炉内部の
雰囲気と、コーティング部の雰囲気を外気から遮断する
ための覆いを設けるとともに、コーティング部の雰囲気
を循環精製する装置を設け、さらに、炉心管の全長に亘
って加熱部材を有する線引き炉を用いた。これによっ
て、ファイバ母材を加熱線引きしコーティングを施すま
での一連の工程を外気から遮断された高純度のガス雰囲
気下で行うことができ、ファイバ母材の表面で雰囲気中
に含まれる水分との反応によって発生する結晶の析出を
抑制することが可能となり、高強度のフッ化物光ファイ
バを製造できる。また、コーティング部内部の雰囲気を
強制的に循環精製する装置を設けたことにより、コーテ
ィング部から線引き炉内へのガス混入による露点の劣化
を防止するとともに、コーティング部の雰囲気を高純度
化するのに要する時間を短縮することが可能となる。ま
た、炉心管の全長に亘って加熱部材を有する線引き炉を
用いたことにより、炉心管の全てを加熱ベーキングする
ことが可能となり、炉心管内面に吸着している水分を脱
離し、もって線引き炉内部の雰囲気をより高純度の状態
に保つことが可能となる。

【００１５】

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
い。

【００１９】図１は本発明のフッ化物光ファイバ製造装
置の一形態を示すもので、図中、１，２，３は第１，第
２，第３のフランジ、４はクランプ、５は支持棒覆い、
６は母材支持棒、７は線引き炉、８は線径測定機、９は
グローブボックス、１０はコーティング用ダイス、１１
は紫外線硬化炉、１２は張力計、１３はキャプスタン、
１４はファイバ巻き取り機、１５はガス精製機である。

【００２０】線引き炉７は、第２のフランジ２と第３の
フランジ３との間に、石英管に加熱部材を巻くことによ
って構成され、上部を第１のフランジ１に達する支持棒
覆い５により、また、下部をグローブボックス９により
覆われることによって外気から遮断されている。

【００２１】母材支持棒６は、第１のフランジ１の上部
に位置するクランプ４によって保持され、第２のフラン
ジ２及び第３のフランジ３を連通してグローブボックス
９の内部まで移動することが可能である。グローブボッ
クス９の内部にはファイバ素線に樹脂コーティングを施
すためのダイス１０が位置しており、表面に樹脂が貼付
されたファイバは、グローブボックス９下部に連通して
位置する紫外線硬化炉１１内を通過する際に固化し、張
力計１２、キャプスタン１３を経由してファイバ巻き取
り機１４によってボビンに巻き取られる。

【００２２】このように本装置においては、ファイバ線
引きから樹脂コーティングまでの一連の作業を外気から
遮断された高純度の雰囲気下で行うことが可能となって
いる。また、グローブボックス９は２本のパイプによっ
てガス精製機１５と連結されており、グローブボックス
９内部の雰囲気を強制的に循環精製することによって高
純度の雰囲気を実現している。なお、ファイバの線径は
線引き炉７下部に位置する線径測定機１８によって外径
が測定される。

【００２３】また、図２は図１中のＡの部分を拡大した
もので、図中、１６はフッ化物ファイバ母材である。こ
のフッ化物ファイバ母材１６は母材支持棒６によって保
持される。この母材支持棒６は中空の構造になってお
り、その上部に接続される図示しない真空排気装置によ
って内部を真空排気できる構造になっている。さらに該
母材支持棒６の内部には支持棒表面をベーキングするた
めの支持棒加熱ヒーター１７が埋め込まれている。

【００２４】支持棒覆い５は第１の支持棒覆い５ａ及び
第２の支持棒覆い５ｂとからなる２重構造となってお
り、それぞれの内部には２つのガス導入口１８より独立
して露点−６０℃以下の不活性ガスが供給され、母材支
持棒６の表面を高純度の雰囲気に保つように構成されて
いる。この支持棒覆い５の内部に供給される不活性ガス
は、それぞれ２つのガス排気口１９より排出される。な
お、支持棒覆いを２重にしたのはいずれかの覆いが破損
しても母材支持棒表面を高純度の雰囲気に保持するため
である。

【００２５】線引き炉７は、炉心管２０、ベーキング用
ヒーター２１及び母材加熱ヒーター２２によって構成さ
れており、炉心管２０の全長に亘ってベーキングするこ
とが可能な構造となっている。炉心管２０は第２のフラ
ンジ２とＯリングを介してシールされて接続されてお
り、その内部には炉内ガス導入口２３より炉内雰囲気と
して露点−１００℃の高純度アルゴンガスが供給されて
いる。また、炉心管２０の下部には内部にシャッター２
４が組み込まれた第３のフランジ３がＯリングによりシ
ールされて接続されており、前記シャッター２４により
線引き炉７内部の雰囲気が高純度に保たれるようにグロ
ーブボックスと分離されている。

【００２６】

【実施例１】本実施例においては、ファイバ母材として
内径７ｍｍのモールドを用いて、コアが５６．５ＺｒＦ
₄−１２ＢａＦ₂−１７．５ＰｂＦ₂−３．５ＬａＦ₃
−２ＹＦ₃−２．５ＡｌＦ₃−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、
クラッドが４６．５ＺｒＦ₄−２３．５ＢａＦ₂−３．
５ＬａＦ₃−２．５ＹＦ₃−４．５ＡｌＦ₃−２０Ｎａ
Ｆ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラス母材（外径７．
０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、比屈折率差Δｎ＝４．２％）
をサクション・キャスティング法で作製し、また、内径
１５ｍｍのモールドを用いて、母材のクラッドガラスと
同一組成のフッ化物ジャケット管（外径１５ｍｍ、内径
７．０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）をローテーショナル・キ
ャスティング法で作製した。

【００２７】ガラス母材及びジャケット管の外面を研磨
・エッチングした後、両者を真空脱気することにより表
面の水分を除去した。グローブボックス内でジャケット
管内にガラス母材を挿入することによって組み上げられ
たガラス母材は延伸装置にセットされ、加熱炉中で軟化
させて下方に引っ張ることにより外径４ｍｍに延伸され
た。このように延伸された母材のうちコア径が０．２ｍ
ｍの部分を２本切り出し、延伸母材とした。

【００２８】次に、この２本の延伸母材のうちの１本
と、外径１２ｍｍ、内径４ｍｍのジャケット管の表面を
研磨・エッチングし、真空乾燥を行った後、Ｆ₂及びＨ
Ｆの混合ガス雰囲気中で２時間の加熱処理を行い、表面
に吸着している水分を除去した。このような表面処理が
施された延伸母材及びジャケット管を、グローブボック
ス９内でジャケット管内に延伸母材を挿入することによ
ってファイバ母材を組み上げた。

【００２９】組み上げられたファイバ母材はグローブボ
ックス９内部まで下げられた母材支持棒６にセッティン
グされて、ジャケット管の内部を真空排気した後、線引
き炉７の上部に引き上げられた。引き上げられたファイ
バ母材は毎分３ｍｍの割合で母材加熱ヒーター２２内に
送り込まれ、該母材加熱ヒーター２２によって加熱軟化
されたファイバ母材の下端を下方に引っ張ることによっ
て光ファイバに線引きされた。

【００３０】線引きされた光ファイバの表面にはグロー
ブボックス９内においてＵＶ樹脂がコートされ、続いて
紫外線硬化炉１１中で硬化された後、巻き取り機１４に
巻き取られた。この時、線引き炉７内には露点−１００
℃の高純度Ａｒガスが毎分３００ｃｃの割合で流され、
また、母材加熱ヒーター２２の温度は２８０℃であっ
た。

【００３１】このようにして作製されたＵＶ樹脂コート
フッ化物光ファイバを、引っ張り強度試験機によってそ
の引っ張り強度を測定したところ、最高１ＧＰａの高い
強度が実現された。

【００３２】本実施例では、予め支持棒加熱ヒーター１
７、ベーキング用ヒーター２１、母材加熱ヒーター２２
に通電することによって２４時間以上ベーキングを行っ
た。また、第１及び第２の支持棒覆い５ａ及び５ｂの内
部には露点−８０℃の高純度窒素ガスを毎分１リットル
の割合で流し、グローブボックス９は連結するガス精製
機１５を運転することによって露点−８０℃まで高純度
化を行った。

【００３３】

【比較例】本比較例では実施例１で用いた装置におい
て、グローブボックス９に連結するガス精製機１５を停
止し、予め行っていた支持棒加熱ヒーター１７、ベーキ
ング用ヒーター２１、母材加熱ヒーター２２によるベー
キング処理を行わない状態で使用した。

【００３４】実施例１において作製した、延伸母材のう
ち残りの１本と、外径１２ｍｍ、内径４ｍｍのジャケッ
ト管の表面を研磨・エッチングし、真空乾燥を行った
後、実施例１と同様のＦ₂及びＨＦの混合ガス雰囲気中
で２時間の加熱処理を行い、表面に吸着している水分を
除去した。このような表面処理を行った延伸母材及びジ
ャケット管を、グローブボックス９内でジャケット管内
に延伸母材を挿入することによってファイバ母材を組み
上げた。

【００３５】組み上げられたファイバ母材はグローブボ
ックス９内部まで下げられた母材支持棒６にセッティン
グされて、ジャケット管内部を真空排気した後、線引き
炉７の上部に引き上げられた。引き上げられたファイバ
母材は毎分３ｍｍの割合で母材加熱ヒーター２２内に送
り込まれ、該母材加熱ヒーター２２によって加熱軟化さ
れたファイバ母材の下端を下方に引っ張ることによって
光ファイバに線引きされた。

【００３６】線引きされた光ファイバの表面にはグロー
ブボックス９内においてＵＶ樹脂がコートされ、続いて
紫外線硬化炉１１中で硬化された後、巻き取り機１４に
巻き取られた。この時、線引き炉７内には露点−１００
℃の高純度Ａｒガスが毎分３００ｃｃの割合で流され、
また、母材加熱ヒーター２２の温度は２８０℃であっ
た。

【００３７】このようにして作製されたＵＶ樹脂コート
フッ化物光ファイバを、引っ張り強度試験機によってそ
の引っ張り強度を測定したところ、強度は最高５００Ｍ
Ｐａと実施例１に比べて半減した。

【００３８】本比較例で用いたファイバ母材の引き残り
の表面をＳＥＭによって観察したところ、鱗状の結晶の
発生が認められた。これは、線引き炉７内あるいは母材
支持棒６の表面に吸着していた水分が、母材加熱ヒータ
ー２２による母材加熱時に表面から脱離し、あるいはグ
ローブボックス９内の露点の低い雰囲気が線引き炉７内
に混入し、フッ化物ガラス母材表面上で反応し、酸化物
結晶をファイバ表面に発生させたためである。

【００３９】なお、以下の実施例においては実施例１と
同様、装置に対し予め２４時間以上のベーキング処理を
行い、グローブボックスに連結するガス精製機を運転し
た状態で使用するものとする。

【００４０】

【実施例２】本実施例においては、内径７ｍｍのモール
ドを用いて、コアが３５ＩｎＦ₃−２０ＺｎＦ₂−２２
ＢａＦ₂−１０ＳｒＦ₂−５ＹＦ₃−３ＰｂＦ₂−５Ｎ
ａＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが３５ＩｎＦ₃−２０Ｚｎ
Ｆ₂−２０ＢａＦ₂−１０ＳｒＦ₂−５ＹＦ₃−５Ａｌ
Ｆ₃−５ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるインジウム系フッ
化物ガラス母材（外径７．０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、比
屈折率差Δｎ＝１．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、また、内径１５ｍｍのモールドを用い
て、母材のクラッドガラスと同一組成のフッ化物ジャケ
ット管（外径１５ｍｍ、内径７．０ｍｍ、長さ１５０ｍ
ｍ）をローテーショナル・キャスティング法で作製し
た。

【００４１】ガラス母材及びジャケット管の外面を研磨
・エッチングした後、両者を真空脱気することにより表
面の水分を除去した。次に、露点−９０℃以下のＮ₂ガ
スが供給されているグローブボックス内でジャケット管
内にガラス母材を挿入することによって組み上げられた
ガラス母材は延伸装置にセットされ、加熱炉中で軟化さ
せて下方に引っ張ることにより外径４ｍｍに延伸され
た。このように延伸された母材のうちコア径が０．２ｍ
ｍの部分を切り出し、延伸母材とした。

【００４２】次に、この延伸母材と、外径１２ｍｍ、内
径４ｍｍのインジウム系フッ化物ガラスジャケット管の
表面を研磨・エッチングし、真空乾燥を行った後、Ｆ₂
及びＨＦの混合ガス雰囲気中で２時間の加熱処理を行
い、表面に吸着している水分を除去した。このような表
面処理が施された延伸母材及びジャケット管を、グロー
ブボックス９内でジャケット管内に延伸母材を挿入する
ことによってファイバ母材を組み上げた。

【００４３】組み上げられたファイバ母材はグローブボ
ックス９内部まで下げられた母材支持棒６にセッティン
グされて、ジャケット管内部を真空排気した後、線引き
炉７内に引き上げられた。引き上げられたファイバ母材
は毎分３ｍｍの割合で母材加熱ヒーター２２内に送り込
まれ、該母材加熱ヒーター２２によって加熱軟化された
ファイバ母材の下端を下方に引っ張ることによって光フ
ァイバに線引きされた。

【００４４】線引きされた光ファイバの表面にはグロー
ブボックス９内においてＵＶ樹脂がコートされ、続いて
紫外線硬化炉１１中で硬化された後、巻き取り機１４に
巻き取られた。この時、線引き炉７内には露点−１００
℃の高純度Ａｒガスが毎分３００ｃｃの割合で流され、
また、母材加熱ヒーター２２の温度は３２０℃であっ
た。

【００４５】このようにして作製されたＵＶ樹脂コート
フッ化物光ファイバを、引っ張り強度試験機によってそ
の引っ張り強度を測定したところ、最高１ＧＰａの高い
強度が実現された。

【００４６】この外、アルミ系フッ化物ガラス、鉛系フ
ッ化物ガラス、さらには表面結晶の発生し易い塩素イオ
ンをドープしたフッ化物ガラス、塩化物ガラス等につい
ても同様の方法により、表面結晶の発生を抑制した高強
度の光ファイバを作製することができた。

【００４７】

【実施例３】内径５ｍｍのモールドを用いて、５６Ｚｒ
Ｆ₄−１４ＢａＦ₂−１５ＰｂＦ₂−３．５ＬａＦ₃−
２ＹＦ₃−２．５ＡｌＦ₃−７ＬｉＦ（ｍｏｌ％）から
なる組成のコア用のガラスロッド（外径５．０ｍｍ、長
さ５０ｍｍ）を作製した。クラッド用のガラス管は、内
径２０ｍｍのモールドを用いて、４６．５ＺｒＦ₄−２
３．５ＢａＦ₂−３．５ＬａＦ₃−２．５ＹＦ₃−４．
５ＡｌＦ₃−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッ
ドを作製し、超音波加工により内径０．５ｍｍの穴をあ
けた。

【００４８】コア用ガラスロッドの外面を研磨・エッチ
ングした後、真空脱気することにより表面の水分を除去
し、延伸装置にセットし、加熱炉中で軟化させて下方に
引っ張ることにより外径０．５ｍｍに延伸した。延伸し
たコア用ガラスロッドと、外面を研磨・エッチングした
クラッド用ガラス管をＦ₂及びＨＦの混合ガス雰囲気中
で２時間の加熱処理を行い、表面に吸着している水分を
除去した。この表面処理を施したコア用ガラスロッド及
びジャケット管を、グローブボックス９内でジャケット
管内にコア用ガラスロッドを挿入することによってファ
イバ母材を組み上げた。

【００４９】組み上げられたファイバ母材はグローブボ
ックス９内部まで下げられた母材支持棒６にセッティン
グされて、ジャケット管の内部を真空排気した後、線引
き炉７内に引き上げられた。線引き炉７内で加熱軟化さ
れたファイバ母材は毎分３ｍｍの割合で母材加熱ヒータ
ー２２内に送り込まれ、ファイバ母材の下端を下方に引
っ張ることによって外径１２５μｍの光ファイバに線引
きされた。

【００５０】得られた光ファイバは、長さ５００ｍ、コ
ア径１．７μｍ、0.95μｍにカットオフ波長を持つ単一
モード光ファイバで、１．３μｍでの損失値は０．２ｄ
Ｂ／ｍと低損失であった。また、得られた光ファイバは
７５０ＭＰａの高い引っ張り強度を示した。

【００５１】

【実施例４】内径５ｍｍのモールドを用いて、コアがＰ
ｒ³⁺を５００ｐｐｍドープした５６ＺｒＦ₄−１４Ｂａ
Ｆ₂−１５ＰｂＦ₂−３．５ＬａＦ₃−２ＹＦ₃−２．
５ＡｌＦ₃−７ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４６．
５ＺｒＦ₄−２３．５ＢａＦ₂−３．５ＬａＦ₃−２．
５ＹＦ₃−４．５ＡｌＦ₃−２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）か
らなるフッ化物ガラス母材（外径５．０ｍｍ、長さ１５
０ｍｍ、比屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キ
ャスティング法で作製し、内径１５ｍｍのモールドを用
いて、母材のクラッドガラスと同一組成のフッ化物ジャ
ケット管（外径１５ｍｍ、内径５．０ｍｍ、長さ１５０
ｍｍ）をローテーショナル・キャスティング法で作製し
た。実施例１と同様の延伸及び表面処理を行った後、グ
ローブボックス９内でファイバ母材を組み上げ、実施例
１と同様の条件で線引きを行い、外径１２５μｍの光フ
ァイバを得た。

【００５２】得られた光ファイバは、長さ５００ｍ、コ
ア径１．７μｍ、0.95μｍにカットオフ波長を持つ単一
モード光ファイバで、１．３μｍでの損失値は図３に示
すように、０．２ｄＢ／ｍと低損失であった。なお、図
３中の大きなピークはＰｒ³⁺に起因する吸収である。

【００５３】また、得られた光ファイバの引っ張り強度
は７５０ＭＰａと高い強度を示した。また、本実施例で
得られた光ファイバを用いて、波長1.017 μｍの光励起
による波長1.31μｍの信号光の増幅器を構成したとこ
ろ、０．２ｄＢ／ｍＷの利得係数が得られた。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、母材
支持棒周囲の雰囲気と、線引き炉内部の雰囲気と、コー
ティング部の雰囲気を外気から遮断するための覆いを設
けることにより、線引き炉の炉心管あるいは母材支持棒
の表面に吸着している水分を十分除去でき、母材表面で
の結晶を発生を極力抑えることができ、高強度で低損失
なフッ化物光ファイバを製造できる。従って、フッ化物
光ファイバの実用化、例えば光増幅器等に実装すること
が可能となり、光通信システムの低コスト化及び高性能
化に寄与することができる。

【００５５】また、コーティング部の雰囲気を循環精製
する装置を設けることにより、コーティング部から線引
き炉内へのガス混入による露点の劣化を防止するととも
に、コーティング部の雰囲気を高純度化するのに要する
時間を短縮することが可能となり、コーティング部内部
の露点を効率良く向上でき、線引き炉における露点への
影響も少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフッ化物光ファイバ製造装置の実施の
形態を示す概略構成図

【図２】図１の要部拡大図

【図３】実施例４で得られた光ファイバの損失特性図

【符号の説明】

１，２，３…フランジ、５…支持棒覆い、６…母材支持
棒、７…線引き炉、９…グローブボックス、１０…コー
ティング用ダイス、１１…紫外線硬化炉、１４…ファイ
バ巻き取り機、１５…ガス精製機、１６…フッ化物ファ
イバ母材、１７…支持棒加熱ヒーター、２０…炉心管、
２１…ベーキング用ヒーター、２２…母材加熱ヒータ
ー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者照沼幸雄東京都千代田区内幸町１丁目１番６号日本電信電話株式会社内 (72)発明者中川幸一東京都千代田区内幸町１丁目１番６号日本電信電話株式会社内 (72)発明者星野耕一東京都千代田区内幸町１丁目１番６号日本電信電話株式会社内 (72)発明者須藤昭一東京都千代田区内幸町１丁目１番６号日本電信電話株式会社内 (56)参考文献特開平６−247739（ＪＰ，Ａ) 特開平６−210157（ＪＰ，Ａ) 特開平４−240129（ＪＰ，Ａ) 特開昭53−24429（ＪＰ，Ａ) 特開平７−61833（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C03B 37/00 - 37/16

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フッ化物ファイバ母材を保持する母材支
持棒と、フッ化物ファイバ母材を加熱する線引き炉と、
該線引きされたフッ化物光ファイバをコーティングする
コーティング部とを少なくとも有するフッ化物光ファイ
バ製造装置において、母材支持棒周囲の雰囲気と、線引き炉内部の雰囲気と、
コーティング部の雰囲気を外気から遮断するための覆い
を設けるとともに、コーティング部の雰囲気を循環精製する装置を設け、さらに、内部に加熱部材を有する母材支持棒を用いたこ
とを特徴とするフッ化物光ファイバ製造装置。
【請求項２】フッ化物ファイバ母材を保持する母材支
持棒と、フッ化物ファイバ母材を加熱する線引き炉と、
該線引きされたフッ化物光ファイバをコーティングする
コーティング部とを少なくとも有するフッ化物光ファイ
バ製造装置において、母材支持棒周囲の雰囲気と、線引き炉内部の雰囲気と、
コーティング部の雰囲気を外気から遮断するための覆い
を設けるとともに、コーティング部の雰囲気を循環精製する装置を設け、さらに、炉心管の全長に亘って加熱部材を有する線引き
炉を用いたことを特徴とするフッ化物光ファイバ製造装
置。