JP2751982B2 - 光ファイバの製造方法 - Google Patents
光ファイバの製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
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- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/027—Fibres composed of different sorts of glass, e.g. glass optical fibres
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C13/00—Fibre or filament compositions
- C03C13/04—Fibre optics, e.g. core and clad fibre compositions
- C03C13/041—Non-oxide glass compositions
- C03C13/042—Fluoride glass compositions
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- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/32—Non-oxide glass compositions, e.g. binary or ternary halides, sulfides or nitrides of germanium, selenium or tellurium
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- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/80—Non-oxide glasses or glass-type compositions
- C03B2201/82—Fluoride glasses, e.g. ZBLAN glass
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、低損失で比屈折率差Δ
ｎが高く、かつ機械強度に優れた光増幅用フッ化物単一
モード光ファイバの製造方法に関するものである。
ｎが高く、かつ機械強度に優れた光増幅用フッ化物単一
モード光ファイバの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フッ化物光ファイバはフッ化物ガラスが
低いフォノンエネルギーを持つことからレーザや光ファ
イバアンプ用の良好なホスト媒体として注目されてい
る。活性イオンのホスト媒体としての適用において、光
ファイバアンプの高効率化を図るべくファイバを単一モ
ード化し、コア−クラッド間の比屈折率差（Δｎ）を大
きくしてファイバのコア中での励起光のパワー密度を高
くする必要がある。高Δｎ化の方法としては特願平３−
２１３５６８号または特願平４−２２７６３０号に記載
されているようにＰｂＦ2 を添加してコアの屈折率を上
げる方法がある。
低いフォノンエネルギーを持つことからレーザや光ファ
イバアンプ用の良好なホスト媒体として注目されてい
る。活性イオンのホスト媒体としての適用において、光
ファイバアンプの高効率化を図るべくファイバを単一モ
ード化し、コア−クラッド間の比屈折率差（Δｎ）を大
きくしてファイバのコア中での励起光のパワー密度を高
くする必要がある。高Δｎ化の方法としては特願平３−
２１３５６８号または特願平４−２２７６３０号に記載
されているようにＰｂＦ2 を添加してコアの屈折率を上
げる方法がある。
【０００３】しかしながら、このようなガラスは熱安定
性が低下し、結晶化し易くなるため、ファイバへの加工
において損失が増大し、アンプの実効的な利得が低下す
るという問題があった。これまでにフッ化物光ファイバ
では、最低損失が予想されている２．５μｍ波長域で単
一モード化する技術は開発されていた。この技術は、特
開平４−３１３３３号に記載されているように、まず、
キャスティング法で作製したガラス母材を外径１２−１
５ｍｍのジャケット管に挿入し、部分的に加熱・軟化さ
せ、一体化しながら延伸する、いわゆるジャケット延伸
法を用いる工程と、次に、延伸した母材を外径１２−１
５ｍｍのジャケット管に入れ、部分的に加熱・軟化さ
せ、一体化しながらファイバに線引く、いわゆるジャケ
ット線引き法を用いる工程とを含む。なお、所定のコア
径を得るためにファイバ化工程の前に延伸工程を一回付
加する場合もあるとされている。２．５μｍ波長帯での
単一モード化ではコア径を１０−２０μｍと比較的太く
できるので２回以上の延伸工程は必要でなく、かつ、用
いるガラスの熱安定性も高いのでファイバ化での損失増
加はほとんどないとされている。光増幅用のファイバで
は１−２μｍの単波長域で単一モード化する必要があ
り、しかもΔｎが高いので要求されるコア径は１−３μ
ｍと極めて細くしなければならない。このようなコアの
細径化に前述した従来技術を適用した場合、高Δｎファ
イバ作製ではコアガラスに結晶化し易いガラスを用いる
ため、ジャケット線引き工程においてコアが結晶化し、
低損失なファイバを得ることは困難であった。
性が低下し、結晶化し易くなるため、ファイバへの加工
において損失が増大し、アンプの実効的な利得が低下す
るという問題があった。これまでにフッ化物光ファイバ
では、最低損失が予想されている２．５μｍ波長域で単
一モード化する技術は開発されていた。この技術は、特
開平４−３１３３３号に記載されているように、まず、
キャスティング法で作製したガラス母材を外径１２−１
５ｍｍのジャケット管に挿入し、部分的に加熱・軟化さ
せ、一体化しながら延伸する、いわゆるジャケット延伸
法を用いる工程と、次に、延伸した母材を外径１２−１
５ｍｍのジャケット管に入れ、部分的に加熱・軟化さ
せ、一体化しながらファイバに線引く、いわゆるジャケ
ット線引き法を用いる工程とを含む。なお、所定のコア
径を得るためにファイバ化工程の前に延伸工程を一回付
加する場合もあるとされている。２．５μｍ波長帯での
単一モード化ではコア径を１０−２０μｍと比較的太く
できるので２回以上の延伸工程は必要でなく、かつ、用
いるガラスの熱安定性も高いのでファイバ化での損失増
加はほとんどないとされている。光増幅用のファイバで
は１−２μｍの単波長域で単一モード化する必要があ
り、しかもΔｎが高いので要求されるコア径は１−３μ
ｍと極めて細くしなければならない。このようなコアの
細径化に前述した従来技術を適用した場合、高Δｎファ
イバ作製ではコアガラスに結晶化し易いガラスを用いる
ため、ジャケット線引き工程においてコアが結晶化し、
低損失なファイバを得ることは困難であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、フッ
化物ガラスの結晶化を抑制して低損失でΔｎが高く、か
つ機械強度に優れた光ファイバの製造方法を提供するこ
とにある。
化物ガラスの結晶化を抑制して低損失でΔｎが高く、か
つ機械強度に優れた光ファイバの製造方法を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項１記載の
発明は、フッ化物ガラスよりなるジャケット管内に、該
ジャケット管のフッ化物ガラスより高い屈折率部分を少
なくとも一部に有するフッ化物ガラスよりなるロッドを
挿入して複合体を得、該複合体を加熱し延伸して母材を
得る工程と、その後に前記母材を加熱し線引きして単一
モードの光ファイバを得る工程を有する光ファイバの製
造方法において、前記母材の延伸工程は、前記複合体の
内部を減圧しつつ、露点−８０℃以下の不活性ガス雰囲
気下の加熱炉内に前記複合体を２ｍｍ／分以上の速度で
送り込むことにより行うことを特徴とする。
発明は、フッ化物ガラスよりなるジャケット管内に、該
ジャケット管のフッ化物ガラスより高い屈折率部分を少
なくとも一部に有するフッ化物ガラスよりなるロッドを
挿入して複合体を得、該複合体を加熱し延伸して母材を
得る工程と、その後に前記母材を加熱し線引きして単一
モードの光ファイバを得る工程を有する光ファイバの製
造方法において、前記母材の延伸工程は、前記複合体の
内部を減圧しつつ、露点−８０℃以下の不活性ガス雰囲
気下の加熱炉内に前記複合体を２ｍｍ／分以上の速度で
送り込むことにより行うことを特徴とする。
【０００６】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の光ファイバの製造方法において、前記母材の延伸工
程の後に、該延伸工程による前記母材の表面層を除去す
る工程を行うことを特徴とする。
載の光ファイバの製造方法において、前記母材の延伸工
程の後に、該延伸工程による前記母材の表面層を除去す
る工程を行うことを特徴とする。
【０００７】さらに、請求項３記載の発明は、請求項２
記載の光ファイバの製造方法において、前記母材の表面
除去工程の後に、該工程による前記母材を露点−８０℃
以下の不活性ガス雰囲気下の加熱炉内に２ｍｍ／分以上
の速度で送り込むことにより光ファイバを得る工程を行
うことを特徴とする。
記載の光ファイバの製造方法において、前記母材の表面
除去工程の後に、該工程による前記母材を露点−８０℃
以下の不活性ガス雰囲気下の加熱炉内に２ｍｍ／分以上
の速度で送り込むことにより光ファイバを得る工程を行
うことを特徴とする。
【０００８】ここで、前記ロッドはコア・クラッド構造
を有するものであってもよいし、前記ジャケット管より
高い屈折率のコア用ガラスロッドであってもよい。ま
た、これらロッドは前記光ファイバ母材の延伸工程を少
なくとも１回経たものであってもよいし、前記光ファイ
バ母材の延伸工程およびこの工程の後に続く前記光ファ
イバ母材の表面層除去工程を少なくとも１回経たもので
あってもよい。すなわち、前記ロッドとしては、コア・
クラッド構造を有するガラス母材を延伸して作製したも
のを、あるいは、コア用ガラスロッドを延伸して作製し
たものを使用してもよいし、コア・クラッド構造を有す
るガラス母材を挿入したガラス管を、あるいは、コアガ
ラスロッドを挿入したガラス管を、内部を減圧しながら
加熱して軟化・延伸して作製したものを使用してもよい
し、あるいは、このジャケット延伸工程を複数回繰り返
すことにより作製したものを使用してもよい。
を有するものであってもよいし、前記ジャケット管より
高い屈折率のコア用ガラスロッドであってもよい。ま
た、これらロッドは前記光ファイバ母材の延伸工程を少
なくとも１回経たものであってもよいし、前記光ファイ
バ母材の延伸工程およびこの工程の後に続く前記光ファ
イバ母材の表面層除去工程を少なくとも１回経たもので
あってもよい。すなわち、前記ロッドとしては、コア・
クラッド構造を有するガラス母材を延伸して作製したも
のを、あるいは、コア用ガラスロッドを延伸して作製し
たものを使用してもよいし、コア・クラッド構造を有す
るガラス母材を挿入したガラス管を、あるいは、コアガ
ラスロッドを挿入したガラス管を、内部を減圧しながら
加熱して軟化・延伸して作製したものを使用してもよい
し、あるいは、このジャケット延伸工程を複数回繰り返
すことにより作製したものを使用してもよい。
【０００９】
【作用】本発明方法を用いれば、母材の延伸工程におい
ては、母材を挿入したジャケット管の加熱炉内への送り
速度を２ｍｍ／分以上としているので、延伸時のコアガ
ラスの加熱が短時間で済む。したがって、同一外径のジ
ャケット管を用いた、同一送り速度のジャケット線引き
に比べ、低い加熱温度でできるので、この工程では結晶
化はほとんど進行しない。さらに、光ファイバの線引き
工程においては、線引きに供する母材の外径を１０ｍｍ
以下、線引き時の母材の加熱炉内への送り速度を２ｍｍ
／分以上としているので、線引き時のコアガラスの加熱
が低い温度により短時間で済むことから、線引き時の結
晶化が抑制される。このように加工時のコアガラスの加
熱が短時間・低温度で可能になるため、コアに熱安定性
に問題のあるガラスを用いても結晶化の進行を抑制する
ことができ、ファイバの低損失化が実現できる。
ては、母材を挿入したジャケット管の加熱炉内への送り
速度を２ｍｍ／分以上としているので、延伸時のコアガ
ラスの加熱が短時間で済む。したがって、同一外径のジ
ャケット管を用いた、同一送り速度のジャケット線引き
に比べ、低い加熱温度でできるので、この工程では結晶
化はほとんど進行しない。さらに、光ファイバの線引き
工程においては、線引きに供する母材の外径を１０ｍｍ
以下、線引き時の母材の加熱炉内への送り速度を２ｍｍ
／分以上としているので、線引き時のコアガラスの加熱
が低い温度により短時間で済むことから、線引き時の結
晶化が抑制される。このように加工時のコアガラスの加
熱が短時間・低温度で可能になるため、コアに熱安定性
に問題のあるガラスを用いても結晶化の進行を抑制する
ことができ、ファイバの低損失化が実現できる。
【００１０】さらに、上記２つの工程においては、加熱
炉内の雰囲気を露点−８０℃以下の不活性ガスとしてい
るので、ガラスと水分との反応が抑制されることから、
ガラス表面での結晶核生成と結晶成長が防止される。
炉内の雰囲気を露点−８０℃以下の不活性ガスとしてい
るので、ガラスと水分との反応が抑制されることから、
ガラス表面での結晶核生成と結晶成長が防止される。
【００１１】これに加え、母材の表面層除去工程ではさ
らにガラス表面層を除去するため、ファイバの機械強度
低下の原因になる欠陥が低減され、これによりファイバ
強度の向上を図れる。
らにガラス表面層を除去するため、ファイバの機械強度
低下の原因になる欠陥が低減され、これによりファイバ
強度の向上を図れる。
【００１２】これに対し、前述した従来のジャケット線
引き法では、通常、外径１２ｍｍ以上のジャケット管を
被せた母材をそのまま線引いて外径１２５μｍのファイ
バに加工するため、本発明の、延伸工程の外径１２−２
０ｍｍのジャケット管を被せた母材を直径０．５−１０
ｍｍに延伸する場合、線引き工程の外径１０ｍｍ以下の
母材の線引きに比べ、コアガラスはより高い温度でより
長い時間加熱される。このため、従来のジャケット線引
きでは、コアガラスの加熱工程が１回だけであるにもか
かわらず、本発明における各工程後に比べ、コアに熱安
定性に問題のあるガラスを用いた場合、コアガラスの結
晶化がより進行し、損失が増大する不都合を生じる。本
発明方法を用いれば、このような不都合を解消すること
が可能である。
引き法では、通常、外径１２ｍｍ以上のジャケット管を
被せた母材をそのまま線引いて外径１２５μｍのファイ
バに加工するため、本発明の、延伸工程の外径１２−２
０ｍｍのジャケット管を被せた母材を直径０．５−１０
ｍｍに延伸する場合、線引き工程の外径１０ｍｍ以下の
母材の線引きに比べ、コアガラスはより高い温度でより
長い時間加熱される。このため、従来のジャケット線引
きでは、コアガラスの加熱工程が１回だけであるにもか
かわらず、本発明における各工程後に比べ、コアに熱安
定性に問題のあるガラスを用いた場合、コアガラスの結
晶化がより進行し、損失が増大する不都合を生じる。本
発明方法を用いれば、このような不都合を解消すること
が可能である。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１４】（実施例１）内径７ｍｍのモールドを用い
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１５ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成のフッ化物ジャケット管
（外径１５ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）を
ローティーショナル・キャスティング法で作製した。ガ
ラス母材およびジャケット管の外面を研磨・エッチング
した後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除
去した。次に、露点−８０℃の不活性ガス雰囲気下にお
いて、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を
真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を
上方から２８６℃に設定した加熱炉へ送り込み、軟化さ
せて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。この延伸
で得た母材からコア径が０．４ｍｍの部分を切りだし、
次の延伸用の母材とした。
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１５ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成のフッ化物ジャケット管
（外径１５ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）を
ローティーショナル・キャスティング法で作製した。ガ
ラス母材およびジャケット管の外面を研磨・エッチング
した後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除
去した。次に、露点−８０℃の不活性ガス雰囲気下にお
いて、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を
真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を
上方から２８６℃に設定した加熱炉へ送り込み、軟化さ
せて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。この延伸
で得た母材からコア径が０．４ｍｍの部分を切りだし、
次の延伸用の母材とした。
【００１５】延伸中の、加熱されたジャケット管の内面
および内部のガラス母材表面は透明状態を保ったままで
あり、得られた母材の表面および形成されたジャケット
界面はいずれも透明で、目視では欠陥は観察されなかっ
た。
および内部のガラス母材表面は透明状態を保ったままで
あり、得られた母材の表面および形成されたジャケット
界面はいずれも透明で、目視では欠陥は観察されなかっ
た。
【００１６】（比較例１）実施例１と同様に、同一組成
・寸法のガラス母材とジャケット管を同一方法で作製し
た。それらのガラス母材およびジャケット管をそのまま
露点−６０℃の不活性ガス雰囲気下におき、母材をジャ
ケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きなが
ら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から２８６
℃に設定した。実施例１と同一の加熱炉へ送り込み、軟
化させた下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。延伸
中の、加熱されたジャケット管の内面および内部のガラ
ス母材表面は薄く曇りし、得られた母材の表面は白濁し
た。これらの欠陥はガラス表面に吸着した水分が原因で
あり、その水分は低露点の雰囲気からきたものと考えら
れる。
・寸法のガラス母材とジャケット管を同一方法で作製し
た。それらのガラス母材およびジャケット管をそのまま
露点−６０℃の不活性ガス雰囲気下におき、母材をジャ
ケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きなが
ら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から２８６
℃に設定した。実施例１と同一の加熱炉へ送り込み、軟
化させた下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。延伸
中の、加熱されたジャケット管の内面および内部のガラ
ス母材表面は薄く曇りし、得られた母材の表面は白濁し
た。これらの欠陥はガラス表面に吸着した水分が原因で
あり、その水分は低露点の雰囲気からきたものと考えら
れる。
【００１７】（実施例２）実施例１で得た母材を３本に
切断し、そのうちの１本の母材をエッチングして表面層
を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気することにより
表面の水分を除去した。次に、露点−８０℃の不活性ガ
ス雰囲気下において、２ｍｍ／分の速度で母材を上方か
ら２７６℃に設定した加熱炉へ送り込み、軟化させて下
方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。
得られたファイバは引っ張り強度が５００ＭＰａと高強
度を示した。
切断し、そのうちの１本の母材をエッチングして表面層
を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気することにより
表面の水分を除去した。次に、露点−８０℃の不活性ガ
ス雰囲気下において、２ｍｍ／分の速度で母材を上方か
ら２７６℃に設定した加熱炉へ送り込み、軟化させて下
方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。
得られたファイバは引っ張り強度が５００ＭＰａと高強
度を示した。
【００１８】（比較例２）実施例２の残りの２本の中の
１本の母材を用い、それをそのまま露点−８０℃の不活
性ガス雰囲気下において、２ｍｍ／分の速度で母材を上
方から２７６℃に設定した、実施例２と同一の加熱炉へ
送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍ
のファイバに線引いた。得られたファイバの引っ張り強
度は２５０ＭＰａと低下した。本比較例と実施例２との
ファイバ強度の差は、母材の表面処理にのみ起因する。
したがって、実施例２では、ガラス表面の欠陥が大幅に
除去されるが、表面の薄い層にはまだファイバの強度低
下を引き起こす欠陥があること、このような母材表面の
欠陥は実施例２の表面処理により除くことができること
が分かる。
１本の母材を用い、それをそのまま露点−８０℃の不活
性ガス雰囲気下において、２ｍｍ／分の速度で母材を上
方から２７６℃に設定した、実施例２と同一の加熱炉へ
送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍ
のファイバに線引いた。得られたファイバの引っ張り強
度は２５０ＭＰａと低下した。本比較例と実施例２との
ファイバ強度の差は、母材の表面処理にのみ起因する。
したがって、実施例２では、ガラス表面の欠陥が大幅に
除去されるが、表面の薄い層にはまだファイバの強度低
下を引き起こす欠陥があること、このような母材表面の
欠陥は実施例２の表面処理により除くことができること
が分かる。
【００１９】（比較例３）実施例２の残りの１本の母材
をエッチングして表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、
真空脱気することにより表面の水分を除去した。次に、
露点−６０℃の不活性ガス雰囲気下において、２ｍｍ／
分の速度で母材を上方から２７６℃に設定した、実施例
２と同一の加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
ったが、加熱された母材の表面が白濁してファイバに線
引くことができなかった。本比較例と実施例２との効果
の差は、母材線引き雰囲気にのみ起因する。
をエッチングして表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、
真空脱気することにより表面の水分を除去した。次に、
露点−６０℃の不活性ガス雰囲気下において、２ｍｍ／
分の速度で母材を上方から２７６℃に設定した、実施例
２と同一の加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
ったが、加熱された母材の表面が白濁してファイバに線
引くことができなかった。本比較例と実施例２との効果
の差は、母材線引き雰囲気にのみ起因する。
【００２０】（実施例３）内径７ｍｍのモールドを用い
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１５ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成の３本のフッ化物ジャケッ
ト管（外径１５ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍ
ｍ）をローティーショナル・キャスティング法で作製し
た。第１ガラス母材および１本目のジャケット管の外面
をそれぞれ研磨・エッチングした後、両者を真空脱気す
ることにより表面の水分を除去した。ガラス母材に対す
る表面エッチングは、例えば図１の（Ａ）に示すように
ガラス母材１をエッチング浴６内に収容して行うことが
できる。
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１５ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成の３本のフッ化物ジャケッ
ト管（外径１５ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍ
ｍ）をローティーショナル・キャスティング法で作製し
た。第１ガラス母材および１本目のジャケット管の外面
をそれぞれ研磨・エッチングした後、両者を真空脱気す
ることにより表面の水分を除去した。ガラス母材に対す
る表面エッチングは、例えば図１の（Ａ）に示すように
ガラス母材１をエッチング浴６内に収容して行うことが
できる。
【００２１】次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気
下のグローブボックス内において、第１のガラス母材を
上記ジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から
加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７
ｍｍに延伸した。
下のグローブボックス内において、第１のガラス母材を
上記ジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から
加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７
ｍｍに延伸した。
【００２２】ここで、ガラス母材１のジャケット管２内
への挿入は、例えば図１の（Ｂ）に示すような状態で行
うことができる。そして、得られたジャケット管２は、
例えば図１の（Ｃ）に示すように加熱炉ボックス８にお
いて延伸される。このボックス８はその内部に円筒状の
加熱炉３と、この加熱炉３の上部に設けられた上記ジャ
ケット管２の上部をＯ−リング１０を介して保持するジ
ャケット管保持具７とを有している。保持具７には、保
持されたジャケット管２の内部を減圧にするための減圧
装置１１が接続されている。また、上記ボックス８の上
部壁には、ボッックス８の内部に所望の不活性ガスを供
給するためのガス供給装置１２が接続されている。な
お、上記保持具７は所定速度で下降するエレベータ（図
示略）により昇降が可能である。
への挿入は、例えば図１の（Ｂ）に示すような状態で行
うことができる。そして、得られたジャケット管２は、
例えば図１の（Ｃ）に示すように加熱炉ボックス８にお
いて延伸される。このボックス８はその内部に円筒状の
加熱炉３と、この加熱炉３の上部に設けられた上記ジャ
ケット管２の上部をＯ−リング１０を介して保持するジ
ャケット管保持具７とを有している。保持具７には、保
持されたジャケット管２の内部を減圧にするための減圧
装置１１が接続されている。また、上記ボックス８の上
部壁には、ボッックス８の内部に所望の不活性ガスを供
給するためのガス供給装置１２が接続されている。な
お、上記保持具７は所定速度で下降するエレベータ（図
示略）により昇降が可能である。
【００２３】次いで、上記の延伸で得た母材からコア径
が０．４ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の母材とし
た。この第２のガラス母材および２本目のジャケット管
の外面を図１に示すように研磨・エッチングした後、両
者を真空脱気することにより表面の水分を除去した。次
に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下のグローブボ
ックス内において、第２のガラス母材を上記ジャケット
管内に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、２
ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸し
た。この２回目の延伸で得た母材からコア径が０．２ｍ
ｍの部分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とした。
この第３のガラス母材および３本目のジャケット管の外
面を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気すること
により表面の水分を除去した。次に、露点−１００℃の
不活性ガス雰囲気下のグローブボックス内において、第
３のガラス母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径７ｍｍに延伸した。３回目の延伸で得た光フ
ァイバ母材をエッチングして表面層を０．１ｍｍ取り除
いた後、真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、２ｍｍ／分の速度で光ファイバ母材を上方から加熱
炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５
μｍのファイバに線引いた。図１において符号４はファ
イバ線引き工程に供される光ファイバ母材である。この
光ファイバ母材４は、図１の（Ｄ）に示すように母材保
持具９により保持される。なお、この保持具９は、上記
保持具７と同様に所定速度で下降するエレベータ（図示
略）により昇降が可能である。上記光ファイバ母材４か
らは光ファイバ５が線引きされる。なお、延伸および線
引きには同一の加熱炉を用いており、延伸時の炉温は２
８６℃、線引き時の炉温は２７６℃であった。得られた
ファイバは、長さ５００ｍ、コア径が１．７μｍで、
１．００μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値は０．０８ｄＢ／ｍと低損失
であった。また、得られたファイバは引っ張り強度が５
１０ＭＰａと高強度を示した。
が０．４ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の母材とし
た。この第２のガラス母材および２本目のジャケット管
の外面を図１に示すように研磨・エッチングした後、両
者を真空脱気することにより表面の水分を除去した。次
に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下のグローブボ
ックス内において、第２のガラス母材を上記ジャケット
管内に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、２
ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸し
た。この２回目の延伸で得た母材からコア径が０．２ｍ
ｍの部分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とした。
この第３のガラス母材および３本目のジャケット管の外
面を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気すること
により表面の水分を除去した。次に、露点−１００℃の
不活性ガス雰囲気下のグローブボックス内において、第
３のガラス母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径７ｍｍに延伸した。３回目の延伸で得た光フ
ァイバ母材をエッチングして表面層を０．１ｍｍ取り除
いた後、真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、２ｍｍ／分の速度で光ファイバ母材を上方から加熱
炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５
μｍのファイバに線引いた。図１において符号４はファ
イバ線引き工程に供される光ファイバ母材である。この
光ファイバ母材４は、図１の（Ｄ）に示すように母材保
持具９により保持される。なお、この保持具９は、上記
保持具７と同様に所定速度で下降するエレベータ（図示
略）により昇降が可能である。上記光ファイバ母材４か
らは光ファイバ５が線引きされる。なお、延伸および線
引きには同一の加熱炉を用いており、延伸時の炉温は２
８６℃、線引き時の炉温は２７６℃であった。得られた
ファイバは、長さ５００ｍ、コア径が１．７μｍで、
１．００μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値は０．０８ｄＢ／ｍと低損失
であった。また、得られたファイバは引っ張り強度が５
１０ＭＰａと高強度を示した。
【００２４】（比較例４）実施例３の第２回目の延伸で
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径１５ｍｍ，内
径７ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下のグロ
ーブボックス内において、母材をジャケット管に挿入
し、ジャケット管内を真空に引きながら、ジャケット管
を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。ガラス母材
１のジャケット管２への挿入は、例えば図２の（Ａ）に
示すように行う。なお、線引きには実施例３と同一の加
熱炉を用いており、線引きの前半の送り速度は０．６ｍ
ｍ／分、後半は２ｍｍ／分とした。この時、ファイバに
線引くのに必要な炉温はそれぞれ３００℃，３１０℃で
あった。得られたファイバは、コア径が１．８μｍで、
１．０６μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の２００
ｍは３０ｄＢ／ｍ、後半部の２００ｍは１０ｄＢ／ｋｍ
と非常に大きくなった。この比較例４は、従来のジャケ
ット線引き法では、熱安定性に劣る高Δｎ用のコアガラ
スが結晶化することを示している。
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径１５ｍｍ，内
径７ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下のグロ
ーブボックス内において、母材をジャケット管に挿入
し、ジャケット管内を真空に引きながら、ジャケット管
を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。ガラス母材
１のジャケット管２への挿入は、例えば図２の（Ａ）に
示すように行う。なお、線引きには実施例３と同一の加
熱炉を用いており、線引きの前半の送り速度は０．６ｍ
ｍ／分、後半は２ｍｍ／分とした。この時、ファイバに
線引くのに必要な炉温はそれぞれ３００℃，３１０℃で
あった。得られたファイバは、コア径が１．８μｍで、
１．０６μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の２００
ｍは３０ｄＢ／ｍ、後半部の２００ｍは１０ｄＢ／ｋｍ
と非常に大きくなった。この比較例４は、従来のジャケ
ット線引き法では、熱安定性に劣る高Δｎ用のコアガラ
スが結晶化することを示している。
【００２５】（実施例４）内径１０ｍｍのモールドを用
いて、コアが５６ＺｒＦ4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ
2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７Ｌ
ｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4 −２
３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．
５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物
ガラス母材（外径１０ｍｍ，長さ１００ｍｍ，比屈折率
差Δｎ＝３．７％）をサクション・キャスティング法で
作製し、内径２０ｍｍのモールドを用いて、母材のクラ
ッドガラスと同一組成の３本のフッ化物ジャケット管
（外径２０ｍｍ，内径１０ｍｍ，長さ１００ｍｍ）をロ
ーティーショナル・キャスティング法で作製した。ガラ
ス母材および１本目のジャケット管の外面を研磨・エッ
チングした後、両者を真空脱気することにより表面の水
分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気
下において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット
管内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケッ
ト管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引
っ張り、外径１０ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材
からコア径が０．６ｍｍの部分を切りだし、次工程の延
伸用の母材とした。このガラス母材および２本目のジャ
ケット管の外面を研磨・エッチングした後、両者を真空
脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露点
−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケ
ット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、
２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送
り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１０ｍｍに延
伸した。この２回目の延伸で得た母材からコア径が０．
３ｍｍの部分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とし
た。このガラス母材および３本目のジャケット管の外面
を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気することに
より表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃の不活
性ガス雰囲気下において、母材をジャケット管に挿入
し、ジャケット管内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の
速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化
させて下方に引っ張り、外径１０ｍｍに延伸した。３回
目の延伸で得た母材をエッチングして表面層を０．１ｍ
ｍ取り除いた後、真空脱気することにより表面の水分を
除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下に
おいて、２ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ送
り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍの
ファイバに線引いた。なお、延伸および線引きには同一
の加熱炉を用いており、延伸時の炉温は２９３℃、線引
き時の炉温は２８８℃であった。得られたファイバは、
長さ８００ｍ、コア径が１．９μｍで、１．０５μｍに
カットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μ
ｍの損失値は０．１６ｄＢ／ｍと低損失であった。ま
た、得られたファイバは引っ張り強度が４７０ＭＰａと
高強度を示した。
いて、コアが５６ＺｒＦ4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ
2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７Ｌ
ｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4 −２
３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．
５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物
ガラス母材（外径１０ｍｍ，長さ１００ｍｍ，比屈折率
差Δｎ＝３．７％）をサクション・キャスティング法で
作製し、内径２０ｍｍのモールドを用いて、母材のクラ
ッドガラスと同一組成の３本のフッ化物ジャケット管
（外径２０ｍｍ，内径１０ｍｍ，長さ１００ｍｍ）をロ
ーティーショナル・キャスティング法で作製した。ガラ
ス母材および１本目のジャケット管の外面を研磨・エッ
チングした後、両者を真空脱気することにより表面の水
分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気
下において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット
管内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の速度でジャケッ
ト管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引
っ張り、外径１０ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材
からコア径が０．６ｍｍの部分を切りだし、次工程の延
伸用の母材とした。このガラス母材および２本目のジャ
ケット管の外面を研磨・エッチングした後、両者を真空
脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露点
−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケ
ット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、
２ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送
り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１０ｍｍに延
伸した。この２回目の延伸で得た母材からコア径が０．
３ｍｍの部分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とし
た。このガラス母材および３本目のジャケット管の外面
を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気することに
より表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃の不活
性ガス雰囲気下において、母材をジャケット管に挿入
し、ジャケット管内を真空に引きながら、２ｍｍ／分の
速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化
させて下方に引っ張り、外径１０ｍｍに延伸した。３回
目の延伸で得た母材をエッチングして表面層を０．１ｍ
ｍ取り除いた後、真空脱気することにより表面の水分を
除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下に
おいて、２ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ送
り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍの
ファイバに線引いた。なお、延伸および線引きには同一
の加熱炉を用いており、延伸時の炉温は２９３℃、線引
き時の炉温は２８８℃であった。得られたファイバは、
長さ８００ｍ、コア径が１．９μｍで、１．０５μｍに
カットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μ
ｍの損失値は０．１６ｄＢ／ｍと低損失であった。ま
た、得られたファイバは引っ張り強度が４７０ＭＰａと
高強度を示した。
【００２６】（比較例５）実施例４の第２回目の延伸で
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径２０ｍｍ，内
径１０ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングし
た後、真空脱気することにより表面の水分を除去した。
次に、露点−７０℃の不活性ガス雰囲気下において、母
材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、ジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、
軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバ
に線引いた。なお、線引きには実施例４と同一の加熱炉
を用いており、線引きの前半の送り速度は０．５ｍｍ／
分、後半は１．５ｍｍ／分とした。この時、ファイバに
線引くのに必要な炉温はそれぞれ３０４℃，３１３℃で
あった。得られたファイバは、コア径が２．０μｍで、
１．１１μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の３００
ｍは５０ｄＢ／ｍ、後半部の３００ｍは３０ｄＢ／ｋｍ
と非常に大きくなった。この比較例５も、従来のジャケ
ット線引き法では、熱安定性に劣る高Δｎ用のコアガラ
スが結晶化することを示している。また、線引き雰囲気
の露点が低いためファイバ強度は２３０ＭＰａと低下し
た。
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径２０ｍｍ，内
径１０ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングし
た後、真空脱気することにより表面の水分を除去した。
次に、露点−７０℃の不活性ガス雰囲気下において、母
材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、ジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、
軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバ
に線引いた。なお、線引きには実施例４と同一の加熱炉
を用いており、線引きの前半の送り速度は０．５ｍｍ／
分、後半は１．５ｍｍ／分とした。この時、ファイバに
線引くのに必要な炉温はそれぞれ３０４℃，３１３℃で
あった。得られたファイバは、コア径が２．０μｍで、
１．１１μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイ
バで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の３００
ｍは５０ｄＢ／ｍ、後半部の３００ｍは３０ｄＢ／ｋｍ
と非常に大きくなった。この比較例５も、従来のジャケ
ット線引き法では、熱安定性に劣る高Δｎ用のコアガラ
スが結晶化することを示している。また、線引き雰囲気
の露点が低いためファイバ強度は２３０ＭＰａと低下し
た。
【００２７】（実施例５）内径７ｍｍのモールドを用い
て、コアが５７ＺｒＦ4 −１０ＢａＦ2 −２０ＰｂＦ2
−３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −５Ｌｉ
Ｆ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4 −２３．
５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５Ａ
ｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラ
ス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比屈折率差
Δｎ＝４．６％）をサクション・キャスティング法で作
製し、内径１２ｍｍのモールドを用いて、母材のクラッ
ドガラスと同一組成の４本のフッ化物ジャケット管（外
径１２ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）をロー
ティーショナル・キャスティング法で作製した。ガラス
母材および１本目のジャケット管の外面を研磨・エッチ
ングした後、両者を真空脱気することにより表面の水分
を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下
において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径７ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材から
コア径が０．７ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の母
材とした。このガラス母材および２本目のジャケット管
の外面を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気する
ことにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃
の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケット管に
挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、３ｍｍ／
分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、
軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。こ
の２回目の延伸で得た母材からコア径が０．３ｍｍの部
分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とした。このガ
ラス母材および３本目のジャケット管の外面を研磨・エ
ッチングした後、両者を真空脱気することにより表面の
水分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲
気下において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケッ
ト管内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケ
ット管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に
引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。この３回目の延伸で
得た母材からコア径が０．１５ｍｍの部分を切りだし、
第４回目の延伸用の母材とした。このガラス母材および
４本目のジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上
方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、
外径７ｍｍに延伸した。４回目の延伸で得た母材をエッ
チングして表面層を０．１ｍｍ取り除いた後、真空脱気
することにより表面の水分を除去した。次に、露点−９
０℃の不活性ガス雰囲気下において、３ｍｍ／分の速度
で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に
引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。な
お、延伸および線引きには同一の加熱炉を用いており、
延伸時の炉温は２８６℃、線引き時の炉温は２８０℃で
あった。得られたファイバは、長さ３００，コア径が
１．６μｍで、０．９９μｍにカットオフ波長を持つ単
一モードファイバで、１．３μｍの損失値は０．１０ｄ
Ｂ／ｍと低損失であった。また、得られたファイバは引
っ張り強度が４８０ＭＰａと高強度を示した。
て、コアが５７ＺｒＦ4 −１０ＢａＦ2 −２０ＰｂＦ2
−３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −５Ｌｉ
Ｆ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4 −２３．
５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５Ａ
ｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラ
ス母材（外径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比屈折率差
Δｎ＝４．６％）をサクション・キャスティング法で作
製し、内径１２ｍｍのモールドを用いて、母材のクラッ
ドガラスと同一組成の４本のフッ化物ジャケット管（外
径１２ｍｍ，内径７．０ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）をロー
ティーショナル・キャスティング法で作製した。ガラス
母材および１本目のジャケット管の外面を研磨・エッチ
ングした後、両者を真空脱気することにより表面の水分
を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下
において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径７ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材から
コア径が０．７ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の母
材とした。このガラス母材および２本目のジャケット管
の外面を研磨・エッチングした後、両者を真空脱気する
ことにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃
の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケット管に
挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、３ｍｍ／
分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り込み、
軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。こ
の２回目の延伸で得た母材からコア径が０．３ｍｍの部
分を切りだし、第３回目の延伸用の母材とした。このガ
ラス母材および３本目のジャケット管の外面を研磨・エ
ッチングした後、両者を真空脱気することにより表面の
水分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲
気下において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケッ
ト管内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケ
ット管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に
引っ張り、外径７ｍｍに延伸した。この３回目の延伸で
得た母材からコア径が０．１５ｍｍの部分を切りだし、
第４回目の延伸用の母材とした。このガラス母材および
４本目のジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上
方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、
外径７ｍｍに延伸した。４回目の延伸で得た母材をエッ
チングして表面層を０．１ｍｍ取り除いた後、真空脱気
することにより表面の水分を除去した。次に、露点−９
０℃の不活性ガス雰囲気下において、３ｍｍ／分の速度
で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に
引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。な
お、延伸および線引きには同一の加熱炉を用いており、
延伸時の炉温は２８６℃、線引き時の炉温は２８０℃で
あった。得られたファイバは、長さ３００，コア径が
１．６μｍで、０．９９μｍにカットオフ波長を持つ単
一モードファイバで、１．３μｍの損失値は０．１０ｄ
Ｂ／ｍと低損失であった。また、得られたファイバは引
っ張り強度が４８０ＭＰａと高強度を示した。
【００２８】（比較例６）実施例５の第３回目の延伸で
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径１２ｍｍ，内
径７ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、ジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのフ
ァイバに線引いた。なお、線引きには実施例５と同一の
加熱炉を用いており、線引きの前半の送り速度は１．５
ｍｍ／分、後半は３ｍｍ／分とした。この時、ファイバ
に線引くのに必要な炉温はそれぞれ３００℃，３１０℃
であった。得られたファイバは、コア径が１．８μｍ
で、１．１１μｍにカットオフ波長を持つ単一モードフ
ァイバで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の１
００ｍは２８ｄＢ／ｍ、後半部の２００ｍは９ｄＢ／ｋ
ｍと非常に大きくなった。
得られた母材の残りの一部を用いて次のようにジャケッ
ト線引きした。そのガラス母材および外径１２ｍｍ，内
径７ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチングした
後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、ジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのフ
ァイバに線引いた。なお、線引きには実施例５と同一の
加熱炉を用いており、線引きの前半の送り速度は１．５
ｍｍ／分、後半は３ｍｍ／分とした。この時、ファイバ
に線引くのに必要な炉温はそれぞれ３００℃，３１０℃
であった。得られたファイバは、コア径が１．８μｍ
で、１．１１μｍにカットオフ波長を持つ単一モードフ
ァイバで、１．３μｍの損失値はファイバの前半部の１
００ｍは２８ｄＢ／ｍ、後半部の２００ｍは９ｄＢ／ｋ
ｍと非常に大きくなった。
【００２９】（実施例６）内径５ｍｍのモールドを用い
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径５．０ｍｍ，長さ１００ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１２ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成の２本のフッ化物ジャケッ
ト管（外径１２ｍｍ，内径５ｍｍ，長さ１００ｍｍと外
径１２ｍｍ，内径３ｍｍ，長さ１００ｍｍ）をローティ
ーショナル・キャスティング法で作製した。ガラス母材
および内径５ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチ
ングした後、両者を真空脱気することにより表面の水分
を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下
において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径３ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材から
コア径が０．１５ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の
母材とした。このガラス母材および内径３．０ｍｍのジ
ャケット管の外面をそれぞれ研磨・エッチングした後、
両者を真空脱気することにより表面の水分を除去した。
次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、母
材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から
加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径３
ｍｍに延伸した。２回目の延伸で得た母材をエッチング
して表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気する
ことにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃
の不活性ガス雰囲気下において、９ｍｍ／分の速度で母
材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。なお、延
伸および線引きには同一の加熱炉を用いており、延伸時
の炉温は２８８℃、線引き時の炉温は２８０℃であっ
た。得られたファイバは、長さ１７０ｍ、コア径が１．
６μｍで、０．９５μｍにカットオフ波長を持つ単一モ
ードファイバで、１．３μｍの損失値は０．０７ｄＢ／
ｍと低損失であった。また、得られたファイバは引っ張
り強度が５４０ＭＰａと高強度を示した。
て、コアが５６．５ＺｒＦ4 −１２ＢａＦ2 −１７．５
ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3
−６ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラッドが４７．５ＺｒＦ4
−２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −
４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）からなるフッ
化物ガラス母材（外径５．０ｍｍ，長さ１００ｍｍ，比
屈折率差Δｎ＝４．２％）をサクション・キャスティン
グ法で作製し、内径１２ｍｍのモールドを用いて、母材
のクラッドガラスと同一組成の２本のフッ化物ジャケッ
ト管（外径１２ｍｍ，内径５ｍｍ，長さ１００ｍｍと外
径１２ｍｍ，内径３ｍｍ，長さ１００ｍｍ）をローティ
ーショナル・キャスティング法で作製した。ガラス母材
および内径５ｍｍのジャケット管の外面を研磨・エッチ
ングした後、両者を真空脱気することにより表面の水分
を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下
において、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管
内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット
管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径３ｍｍに延伸した。この延伸で得た母材から
コア径が０．１５ｍｍの部分を切りだし、次の延伸用の
母材とした。このガラス母材および内径３．０ｍｍのジ
ャケット管の外面をそれぞれ研磨・エッチングした後、
両者を真空脱気することにより表面の水分を除去した。
次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、母
材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真空に引
きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から
加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径３
ｍｍに延伸した。２回目の延伸で得た母材をエッチング
して表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気する
ことにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃
の不活性ガス雰囲気下において、９ｍｍ／分の速度で母
材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ
張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。なお、延
伸および線引きには同一の加熱炉を用いており、延伸時
の炉温は２８８℃、線引き時の炉温は２８０℃であっ
た。得られたファイバは、長さ１７０ｍ、コア径が１．
６μｍで、０．９５μｍにカットオフ波長を持つ単一モ
ードファイバで、１．３μｍの損失値は０．０７ｄＢ／
ｍと低損失であった。また、得られたファイバは引っ張
り強度が５４０ＭＰａと高強度を示した。
【００３０】（比較例７）実施例６と全く同一条件で２
回の延伸を行って外径３ｍｍの母材を作製したが、母材
表面の研磨・エッチング工程を省略して、そのまま真空
脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露点
−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、９ｍｍ／分の
速度で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下
方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。
なお、線引き時の炉温は２８０℃であった。得られたフ
ァイバは、長さ１７０ｍ、コア径が１．５μｍで、０．
８９μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイバ
で、１．３μｍの損失値は０．０８ｄＢ／ｍと低損失で
あったが、引っ張り強度は２６０ＭＰａと低下した。こ
の強度の低下は母材の表面層の延伸時の結晶化に起因し
ており、単一モードファイバの高強度化には延伸前に母
材の表面層を取り除く必要があることを示している。
回の延伸を行って外径３ｍｍの母材を作製したが、母材
表面の研磨・エッチング工程を省略して、そのまま真空
脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露点
−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、９ｍｍ／分の
速度で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下
方に引っ張り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。
なお、線引き時の炉温は２８０℃であった。得られたフ
ァイバは、長さ１７０ｍ、コア径が１．５μｍで、０．
８９μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイバ
で、１．３μｍの損失値は０．０８ｄＢ／ｍと低損失で
あったが、引っ張り強度は２６０ＭＰａと低下した。こ
の強度の低下は母材の表面層の延伸時の結晶化に起因し
ており、単一モードファイバの高強度化には延伸前に母
材の表面層を取り除く必要があることを示している。
【００３１】（実施例７）内径７ｍｍのモールドを用い
て、コアがＰｒ3+を５００ｐｐｍドープした５６ＺｒＦ
4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２
ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラ
ッドが４７．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −２．５Ｌ
ａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ
（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラス母材（外径７．０
ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比屈折率差Δｎ＝３．７％）を
サクション・キャスティング法で作製し、内径１５ｍｍ
のモールドを用いて、母材のクラッドガラスと同一組成
のフッ化物ジャケット管（外径１５ｍｍ，内径３ｍｍ，
長さ１００ｍｍ）をローティーショナル・キャスティン
グ法で作製した。まず、ガラス母材は、外面を研磨・エ
ッチングした後、真空脱気することにより表面の水分を
除去した。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下
において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ
送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径３ｍｍに延
伸し、コア径が０．２ｍｍの部分を切りだし、次の延伸
用母材とした。このガラス母材およびジャケット管の外
面をそれぞれ研磨・エッチングした後、両者を真空脱気
することにより表面の水分を除去した。次に、露点−１
００℃の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケッ
ト管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、３
ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸し
た。この延伸で得た母材をエッチングして表面層を０．
０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気することにより表面の
水分を除去した。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰
囲気下において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加
熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２
５μｍのファイバに線引いた。なお、延伸および線引き
には同一の加熱炉を用いており、最初の延伸時の炉温は
２７５℃、２回目の延伸時の炉温は２９０℃、線引き時
の炉温は２８０℃であった。得られたファイバは、長さ
４９０ｍ、コア径が１．７μｍで、０．９５μｍにカッ
トオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍの
損失値は０．２ｄＢ／ｍ（図３）と低損失であった。な
お、図３中の大きなピークはＰｒ3+に起因する吸収であ
る。また、得られたファイバは引っ張り強度が５１０Ｍ
Ｐａと高強度を示した。本実施例で得たファイバを用い
て、波長１．０１７μｍの光励起による波長１．３１μ
ｍの信号光の増幅器を構成したところ、０．１２ｄＢ／
ｍＷの利得係数を得た。
て、コアがＰｒ3+を５００ｐｐｍドープした５６ＺｒＦ
4 −１４ＢａＦ2 −１５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２
ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ3 −７ＬｉＦ（ｍｏｌ％）、クラ
ッドが４７．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −２．５Ｌ
ａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ
（ｍｏｌ％）からなるフッ化物ガラス母材（外径７．０
ｍｍ，長さ１５０ｍｍ，比屈折率差Δｎ＝３．７％）を
サクション・キャスティング法で作製し、内径１５ｍｍ
のモールドを用いて、母材のクラッドガラスと同一組成
のフッ化物ジャケット管（外径１５ｍｍ，内径３ｍｍ，
長さ１００ｍｍ）をローティーショナル・キャスティン
グ法で作製した。まず、ガラス母材は、外面を研磨・エ
ッチングした後、真空脱気することにより表面の水分を
除去した。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰囲気下
において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ
送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径３ｍｍに延
伸し、コア径が０．２ｍｍの部分を切りだし、次の延伸
用母材とした。このガラス母材およびジャケット管の外
面をそれぞれ研磨・エッチングした後、両者を真空脱気
することにより表面の水分を除去した。次に、露点−１
００℃の不活性ガス雰囲気下において、母材をジャケッ
ト管に挿入し、ジャケット管内を真空に引きながら、３
ｍｍ／分の速度でジャケット管を上方から加熱炉へ送り
込み、軟化させて下方に引っ張り、外径７ｍｍに延伸し
た。この延伸で得た母材をエッチングして表面層を０．
０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気することにより表面の
水分を除去した。次に、露点−１００℃の不活性ガス雰
囲気下において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加
熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２
５μｍのファイバに線引いた。なお、延伸および線引き
には同一の加熱炉を用いており、最初の延伸時の炉温は
２７５℃、２回目の延伸時の炉温は２９０℃、線引き時
の炉温は２８０℃であった。得られたファイバは、長さ
４９０ｍ、コア径が１．７μｍで、０．９５μｍにカッ
トオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３μｍの
損失値は０．２ｄＢ／ｍ（図３）と低損失であった。な
お、図３中の大きなピークはＰｒ3+に起因する吸収であ
る。また、得られたファイバは引っ張り強度が５１０Ｍ
Ｐａと高強度を示した。本実施例で得たファイバを用い
て、波長１．０１７μｍの光励起による波長１．３１μ
ｍの信号光の増幅器を構成したところ、０．１２ｄＢ／
ｍＷの利得係数を得た。
【００３２】（実施例８）内径５ｍｍのモールドを用い
て、コア用の５５．５ＺｒＦ4 −１６ＢａＦ2 −１２．
５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ
3 −８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径
５．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製した。クラッド用の
ガラス管は、内径２０ｍｍのモールドを用いて、４７．
５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．
５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）組
成のガラスロッド（外径２０．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）
を作製し、超音波加工により内径０．５ｍｍのガラス管
に加工した。まず、コア用ガラスロッドは、外面を研磨
・エッチングした後、真空脱気することにより表面の水
分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気
下において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉
へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径０．５ｍ
ｍに延伸した。延伸したコア用ガラスロッドとクラッド
用ガラス管の表面をそれぞれ研磨・エッチングした後、
両者をフッ化水素ガスとフッ素ガスとアルゴンガスの混
合ガス雰囲気で１８０℃に加熱することにより表面の水
分と水酸化物を除去した。次に、露点−９０℃の不活性
ガス雰囲気下において、コア用ガラスロッドをクラッド
用ガラス管に挿入し、管内を真空に引きながら、２ｍｍ
／分の速度で管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させ
て下方に引っ張り、外径６ｍｍに延伸した。延伸で得ら
れた母材をエッチングして表面層を０．０５ｍｍ取り除
いた後、真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、４ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ送り込
み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのファ
イバに線引いた。なお、延伸および線引きには同一の加
熱炉を用いており、最初の延伸時の炉温は２７２℃、２
回目の延伸時の炉温は２９５℃、線引き時の炉温は２７
８℃であった。得られたファイバは、長さが１５０ｍ，
Δｎが３．８％、コア径が２．４μｍで、１．２５μｍ
にカットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３
μｍの損失値は０．１２ｄＢ／ｍと低損失であった。ま
た、得られたファイバは引っ張り強度が４６０ＭＰａと
高強度を示した。
て、コア用の５５．５ＺｒＦ4 −１６ＢａＦ2 −１２．
５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ
3 −８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径
５．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製した。クラッド用の
ガラス管は、内径２０ｍｍのモールドを用いて、４７．
５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −２．５ＬａＦ3 −２．
５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０ＮａＦ（ｍｏｌ％）組
成のガラスロッド（外径２０．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）
を作製し、超音波加工により内径０．５ｍｍのガラス管
に加工した。まず、コア用ガラスロッドは、外面を研磨
・エッチングした後、真空脱気することにより表面の水
分を除去した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気
下において、３ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉
へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、外径０．５ｍ
ｍに延伸した。延伸したコア用ガラスロッドとクラッド
用ガラス管の表面をそれぞれ研磨・エッチングした後、
両者をフッ化水素ガスとフッ素ガスとアルゴンガスの混
合ガス雰囲気で１８０℃に加熱することにより表面の水
分と水酸化物を除去した。次に、露点−９０℃の不活性
ガス雰囲気下において、コア用ガラスロッドをクラッド
用ガラス管に挿入し、管内を真空に引きながら、２ｍｍ
／分の速度で管を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させ
て下方に引っ張り、外径６ｍｍに延伸した。延伸で得ら
れた母材をエッチングして表面層を０．０５ｍｍ取り除
いた後、真空脱気することにより表面の水分を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、４ｍｍ／分の速度で母材を上方から加熱炉へ送り込
み、軟化させて下方に引っ張り、外径１２５μｍのファ
イバに線引いた。なお、延伸および線引きには同一の加
熱炉を用いており、最初の延伸時の炉温は２７２℃、２
回目の延伸時の炉温は２９５℃、線引き時の炉温は２７
８℃であった。得られたファイバは、長さが１５０ｍ，
Δｎが３．８％、コア径が２．４μｍで、１．２５μｍ
にカットオフ波長を持つ単一モードファイバで、１．３
μｍの損失値は０．１２ｄＢ／ｍと低損失であった。ま
た、得られたファイバは引っ張り強度が４６０ＭＰａと
高強度を示した。
【００３３】（実施例９）内径５ｍｍのモールドを用い
て、コア用の５５．５ＺｒＦ4 −１６ＢａＦ2 −１２．
５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ
3 −８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径
５．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製した。クラッド用と
ジャケット用の２本のガラス管は、内径１２ｍｍのモー
ルドを用いて、４７．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −
２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０
ＮａＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径１２．０
ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製し、超音波加工により内径
１．５ｍｍのガラス管に加工して作製した。まず、コア
用ガラスロッドは、外面を研磨・エッチングした後、真
空脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露
点−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、３ｍｍ／分
の速度で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて
下方に引っ張り、外径１．５ｍｍに延伸した。延伸した
コア用ガラスロッドとクラッド用ガラス管の表面をそれ
ぞれ研磨・エッチングした後、両者をフッ化水素ガスと
フッ素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気で１８０℃
に加熱することにより表面の水分と水酸化物を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、コア用ガラスロッドをクラッド用ガラス管に挿入
し、管内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度で管を
上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１．５ｍｍに延伸した。延伸したガラス母材お
よびジャケット管の外面をそれぞれ研磨・エッチングし
た後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去
した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上
方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、
外径５ｍｍに延伸した。延伸で得た母材をエッチングし
て表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気するこ
とにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃の
不活性ガス雰囲気下において、５ｍｍ／分の速度で母材
を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。なお、延伸
および線引きには同一の加熱炉を用いており、最初の延
伸時の炉温は２７１℃、２回目の延伸時の炉温は２９０
℃、３回目の延伸時の炉温は２８７℃、線引き時の炉温
は２７８℃であった。得られたファイバは、長さが１６
０ｍ，Δｎが３．８％、コア径が１．８μｍで、０．９
３μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイバで、
１．３μｍの損失値は０．１３ｄＢ／ｍと低損失であっ
た。また、得られたファイバは引っ張り強度が５５０Ｍ
Ｐａと高強度を示した。
て、コア用の５５．５ＺｒＦ4 −１６ＢａＦ2 −１２．
５ＰｂＦ2 −３．５ＬａＦ3 −２ＹＦ3 −２．５ＡｌＦ
3 −８ＬｉＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径
５．０ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製した。クラッド用と
ジャケット用の２本のガラス管は、内径１２ｍｍのモー
ルドを用いて、４７．５ＺｒＦ4 −２３．５ＢａＦ2 −
２．５ＬａＦ3 −２．５ＹＦ3 −４．５ＡｌＦ3 −２０
ＮａＦ（ｍｏｌ％）組成のガラスロッド（外径１２．０
ｍｍ，長さ５０ｍｍ）を作製し、超音波加工により内径
１．５ｍｍのガラス管に加工して作製した。まず、コア
用ガラスロッドは、外面を研磨・エッチングした後、真
空脱気することにより表面の水分を除去した。次に、露
点−９０℃の不活性ガス雰囲気下において、３ｍｍ／分
の速度で母材を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて
下方に引っ張り、外径１．５ｍｍに延伸した。延伸した
コア用ガラスロッドとクラッド用ガラス管の表面をそれ
ぞれ研磨・エッチングした後、両者をフッ化水素ガスと
フッ素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気で１８０℃
に加熱することにより表面の水分と水酸化物を除去し
た。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、コア用ガラスロッドをクラッド用ガラス管に挿入
し、管内を真空に引きながら、３ｍｍ／分の速度で管を
上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１．５ｍｍに延伸した。延伸したガラス母材お
よびジャケット管の外面をそれぞれ研磨・エッチングし
た後、両者を真空脱気することにより表面の水分を除去
した。次に、露点−９０℃の不活性ガス雰囲気下におい
て、母材をジャケット管に挿入し、ジャケット管内を真
空に引きながら、３ｍｍ／分の速度でジャケット管を上
方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張り、
外径５ｍｍに延伸した。延伸で得た母材をエッチングし
て表面層を０．０５ｍｍ取り除いた後、真空脱気するこ
とにより表面の水分を除去した。次に、露点−９０℃の
不活性ガス雰囲気下において、５ｍｍ／分の速度で母材
を上方から加熱炉へ送り込み、軟化させて下方に引っ張
り、外径１２５μｍのファイバに線引いた。なお、延伸
および線引きには同一の加熱炉を用いており、最初の延
伸時の炉温は２７１℃、２回目の延伸時の炉温は２９０
℃、３回目の延伸時の炉温は２８７℃、線引き時の炉温
は２７８℃であった。得られたファイバは、長さが１６
０ｍ，Δｎが３．８％、コア径が１．８μｍで、０．９
３μｍにカットオフ波長を持つ単一モードファイバで、
１．３μｍの損失値は０．１３ｄＢ／ｍと低損失であっ
た。また、得られたファイバは引っ張り強度が５５０Ｍ
Ｐａと高強度を示した。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
低損失で、かつ高強度を有する高Δｎフッ化物単一モー
ド光ファイバが得られる。この光ファイバを用いた光増
幅器は、大幅な特性向上が可能になるため、光通信シス
テムの低コスト化および高性能化が図れるという利点が
ある。
低損失で、かつ高強度を有する高Δｎフッ化物単一モー
ド光ファイバが得られる。この光ファイバを用いた光増
幅器は、大幅な特性向上が可能になるため、光通信シス
テムの低コスト化および高性能化が図れるという利点が
ある。
【図１】本発明の光ファイバの製造方法の一実施例（実
施例３）における各工程を示す模式的断面図である。
施例３）における各工程を示す模式的断面図である。
【図２】比較例４における各工程を示す模式的断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明の光ファイバの製造方法の他の実施例
（実施例７）により得られた光ファイバの損失特性を示
す特性図である。
（実施例７）により得られた光ファイバの損失特性を示
す特性図である。
１ ガラス母材 ２ ジャケット管 ３ 加熱炉 ４ 光ファイバ母材 ５ 光ファイバ ６ エッチング浴 ７ ジャケット管保持具 ８ 加熱炉ボックス ９ 母材保持具 １０ Ｏ−リング １１ 減圧装置 １２ ガス供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 37/012
Claims (7)
- 【請求項１】 フッ化物ガラスよりなるジャケット管内
に、該ジャケット管のフッ化物ガラスより高い屈折率部
分を少なくとも一部に有するフッ化物ガラスよりなるロ
ッドを挿入して複合体を得、該複合体を加熱し延伸して
母材を得る工程と、その後に前記母材を加熱し線引きし
て単一モードの光ファイバを得る工程を有する光ファイ
バの製造方法において、 前記母材の延伸工程は、前記複合体の内部を減圧しつ
つ、露点−８０℃以下の不活性ガス雰囲気下の加熱炉内
に前記複合体を２ｍｍ／分以上の速度で送り込むことに
より行うことを特徴とする光ファイバの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の光ファイバの製造方法に
おいて、前記母材の延伸工程の後に、該延伸工程による
前記母材の表面層を除去する工程を行うことを特徴とす
る光ファイバの製造方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の光ファイバの製造方法に
おいて、前記母材の表面除去工程の後に、該工程による
前記母材を露点−８０℃以下の不活性ガス雰囲気下の加
熱炉内に２ｍｍ／分以上の速度で送り込むことにより光
ファイバを得る工程を行うことを特徴とする光ファイバ
の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の光
ファイバの製造方法において、前記ロッドはコア・クラ
ッド構造を有するものであることを特徴とする光ファイ
バの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１ないし３のいずれかに記載の光
ファイバの製造方法において、前記ロッドは前記ジャケ
ット管より高い屈折率のコア用ガラスロッドであること
を特徴とする光ファイバの製造方法。 - 【請求項６】 請求項４または５に記載の光ファイバの
製造方法において、前記ロッドは、前記母材の延伸工程
を少なくとも１回経たものであることを特徴とする光フ
ァイバの製造方法。 - 【請求項７】 請求項４または５に記載の光ファイバの
製造方法において、前記ロッドは、前記母材の延伸工程
およびこの工程の後に続く前記母材の表面層除去工程を
少なくとも１回経たものであることを特徴とする光ファ
イバの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4298463A JP2751982B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-11-09 | 光ファイバの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-252787 | 1992-09-22 | ||
| JP25278792 | 1992-09-22 | ||
| JP4298463A JP2751982B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-11-09 | 光ファイバの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06157063A JPH06157063A (ja) | 1994-06-03 |
| JP2751982B2 true JP2751982B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=26540880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4298463A Expired - Lifetime JP2751982B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-11-09 | 光ファイバの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2751982B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006111461A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Asahi Glass Co Ltd | 光ファイバ製造方法 |
| CN113772945B (zh) * | 2021-10-29 | 2023-05-26 | 中国计量大学 | 软玻璃光纤预制棒制备装置及制备方法 |
-
1992
- 1992-11-09 JP JP4298463A patent/JP2751982B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06157063A (ja) | 1994-06-03 |
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